JPH0454851B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0454851B2 JPH0454851B2 JP24248184A JP24248184A JPH0454851B2 JP H0454851 B2 JPH0454851 B2 JP H0454851B2 JP 24248184 A JP24248184 A JP 24248184A JP 24248184 A JP24248184 A JP 24248184A JP H0454851 B2 JPH0454851 B2 JP H0454851B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- dry
- dehumidifier
- clean
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Ventilation (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Other Air-Conditioning Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電気電子機器、精密機器、それらの
部品や半製品、素子類、薬品類、その他、湿度や
汚染を極端に嫌う各種の製品や半製品を清浄な乾
燥空間に保管（または保管中に乾燥）するための
装置に関する。
部品や半製品、素子類、薬品類、その他、湿度や
汚染を極端に嫌う各種の製品や半製品を清浄な乾
燥空間に保管（または保管中に乾燥）するための
装置に関する。
最近の産業技術の発達に伴い、生産工程の途中
または後において、半製品または製品を所定の期
間、特別に清浄な環境下に保管するためのクリー
ンドライチヤンバーに対する要求が強くなつてき
た。そして、単に清浄な環境のみならず、低露点
温度の空気にこのチヤンバー内を維持することに
よつて製品を湿分からまもり、場合によつてはこ
の間に製品を乾燥することのできるクリーンドラ
イチヤンバーに対する性能向上が強く望まれるよ
うになつてきた。
または後において、半製品または製品を所定の期
間、特別に清浄な環境下に保管するためのクリー
ンドライチヤンバーに対する要求が強くなつてき
た。そして、単に清浄な環境のみならず、低露点
温度の空気にこのチヤンバー内を維持することに
よつて製品を湿分からまもり、場合によつてはこ
の間に製品を乾燥することのできるクリーンドラ
イチヤンバーに対する性能向上が強く望まれるよ
うになつてきた。
従来において、このようなクリーンドライチヤ
ンバーを形成するには、チヤンバーに供給する空
気を高性能フイルター（以下、HEPAフイルタ
ーと呼ぶ）を通過させて浄化するか、或いは、不
活性ガス例えば窒素ガスを吹き込むなどの処法が
採られ、その気流吹き出しの状態を制御したり、
チヤンバー形状に特別の工夫をこらしたりしてい
た。また、クリーンドライチヤンバーを形成する
には、ドライな空気を得ることが必要となるが、
これには、化学吸湿剤を使用することによつて空
気中の湿分を除去するという処法が一般に採られ
ていた。すなわち、LiClなどの化学的吸湿剤を使
用した除湿機（乾式または湿式除湿機）によつて
除湿された空気を製造し、これをチヤンバー吹き
込むことが通常行われていた。
ンバーを形成するには、チヤンバーに供給する空
気を高性能フイルター（以下、HEPAフイルタ
ーと呼ぶ）を通過させて浄化するか、或いは、不
活性ガス例えば窒素ガスを吹き込むなどの処法が
採られ、その気流吹き出しの状態を制御したり、
チヤンバー形状に特別の工夫をこらしたりしてい
た。また、クリーンドライチヤンバーを形成する
には、ドライな空気を得ることが必要となるが、
これには、化学吸湿剤を使用することによつて空
気中の湿分を除去するという処法が一般に採られ
ていた。すなわち、LiClなどの化学的吸湿剤を使
用した除湿機（乾式または湿式除湿機）によつて
除湿された空気を製造し、これをチヤンバー吹き
込むことが通常行われていた。
前述の不活性ガス吹き込み処法では湿分の除去
に限界が存在し且つランニングコストが高くなる
と言う問題があり、また化学的吸湿剤を使用した
ドライ空気の製造では吸湿剤のキヤリオーバによ
つてチヤンバー内に保管する製品の品質を損なう
おそれがあると言う問題がある。本発明は、まず
第一に、このよう従来処法に内在する問題点を解
決しようとするものである。
に限界が存在し且つランニングコストが高くなる
と言う問題があり、また化学的吸湿剤を使用した
ドライ空気の製造では吸湿剤のキヤリオーバによ
つてチヤンバー内に保管する製品の品質を損なう
おそれがあると言う問題がある。本発明は、まず
第一に、このよう従来処法に内在する問題点を解
決しようとするものである。
また保管庫に製品を出し入れすることによる周
囲からの汚染と侵入湿分の影響により室内のクリ
ーン度の維持と湿分の維持に問題がある。そして
低露点温度の空気を得るのに吸湿剤を使用する代
わりに空気を低温にまで冷却することによつて湿
分を凝集させて除去するいわゆる冷却除湿処法を
採用しようとする場合には、冷却器に霜が発生し
て永続的な運転ができないという問題と始動時の
立上りに時間を要するという問題がある。第二
に、本発明はこのような問題を解決しようとする
ものである。
囲からの汚染と侵入湿分の影響により室内のクリ
ーン度の維持と湿分の維持に問題がある。そして
低露点温度の空気を得るのに吸湿剤を使用する代
わりに空気を低温にまで冷却することによつて湿
分を凝集させて除去するいわゆる冷却除湿処法を
採用しようとする場合には、冷却器に霜が発生し
て永続的な運転ができないという問題と始動時の
立上りに時間を要するという問題がある。第二
に、本発明はこのような問題を解決しようとする
ものである。
本発明は、図面に示したように、製品保管庫１
の出入口の部分にエアーカーテンを形成するため
の空気吹出ノズル２を設け、製品保管庫１内の空
気を送風機３によつて製品保管庫１に再循環させ
る空気循環路４を設けると共にこの空気循環路に
HEPAフイルター５を介装してなるクリーンド
ライチヤンバー６と、 このクリーンドライチヤンバー６にドライ空気
を供給するため空気除湿装置７であつて、複数基
の空気冷却器８をドライ空気吐出管９に対して切
替可能に接続してなる空気除湿装置７と、 からなり、そして、空気除湿装置７のドライ空
気吐出管９を、HEPAフイルター５′を介して空
気吹出ノズル２に送気管１０によつて接続すると
共に、空気除湿装置７における複数基の空気冷却
器８の夫々について冷却除湿運転と除霜運転とに
切替可能な送気路構造としたことを特徴とする装
置を提供するものであり、これによつて、前記の
問題点を解決したものである。
の出入口の部分にエアーカーテンを形成するため
の空気吹出ノズル２を設け、製品保管庫１内の空
気を送風機３によつて製品保管庫１に再循環させ
る空気循環路４を設けると共にこの空気循環路に
HEPAフイルター５を介装してなるクリーンド
ライチヤンバー６と、 このクリーンドライチヤンバー６にドライ空気
を供給するため空気除湿装置７であつて、複数基
の空気冷却器８をドライ空気吐出管９に対して切
替可能に接続してなる空気除湿装置７と、 からなり、そして、空気除湿装置７のドライ空
気吐出管９を、HEPAフイルター５′を介して空
気吹出ノズル２に送気管１０によつて接続すると
共に、空気除湿装置７における複数基の空気冷却
器８の夫々について冷却除湿運転と除霜運転とに
切替可能な送気路構造としたことを特徴とする装
置を提供するものであり、これによつて、前記の
問題点を解決したものである。
以下に本発明の装置の構成と作用を図面に従つ
て具体的に説明する。
て具体的に説明する。
クリーンドライチヤンバー６は、出入口扉１１
を有する閉鎖空間であり、出入口扉１１を開かな
いかぎり外部雰囲気とは実質上気密が保たれる。
このクリーンドライチヤンバー６の内部は、さら
に保管庫１と空気循環路４に区分される。
を有する閉鎖空間であり、出入口扉１１を開かな
いかぎり外部雰囲気とは実質上気密が保たれる。
このクリーンドライチヤンバー６の内部は、さら
に保管庫１と空気循環路４に区分される。
保管庫１はクリーンドライチヤンバー６の出入
口扉１１に面して設けられた製品収納室であり、
その底部はは空気が自由に通過する棚板１２を、
また天井部にはHEPAフイルター５を装着して
ある。そして出入口扉１１に面する天井部にはエ
アーカーテンを形成するための空気吹出ノズル２
が設けてある。製品は棚板１２の上に収納され
る。
口扉１１に面して設けられた製品収納室であり、
その底部はは空気が自由に通過する棚板１２を、
また天井部にはHEPAフイルター５を装着して
ある。そして出入口扉１１に面する天井部にはエ
アーカーテンを形成するための空気吹出ノズル２
が設けてある。製品は棚板１２の上に収納され
る。
空気循環路４は、保管庫１の床下（棚板１２の
下方空間）から保管庫１の天井裏（HEPAフイ
ルター５の上方空間）に至る空気通路であり、こ
の通路には送風機３が介装してある。この送風機
３の駆動によつて、保管庫１内の空気はこの空気
循環路４を経て保管庫１内に循環されることにな
るが、そのさい、HEPAフイルター５を通過す
ることによつて浄化される。
下方空間）から保管庫１の天井裏（HEPAフイ
ルター５の上方空間）に至る空気通路であり、こ
の通路には送風機３が介装してある。この送風機
３の駆動によつて、保管庫１内の空気はこの空気
循環路４を経て保管庫１内に循環されることにな
るが、そのさい、HEPAフイルター５を通過す
ることによつて浄化される。
このようにチヤンバー内で空気を強制的に循環
させる同時に浄化されるように構成したクリーン
ドライチヤンバー６には、ドライ空気をチヤンバ
ー外より供給するのであるが、これは出入口扉１
１の上方に設けられたエアーカーテン形成用の空
気吹出ノズル２から供給される。この空気吹出ノ
ズル２から吹出されるドライ空気は出入口扉１１
の面積を覆うに十分なエアーカーテンを形成しつ
つ前記の空気通路４に入つて循環空気となる。
させる同時に浄化されるように構成したクリーン
ドライチヤンバー６には、ドライ空気をチヤンバ
ー外より供給するのであるが、これは出入口扉１
１の上方に設けられたエアーカーテン形成用の空
気吹出ノズル２から供給される。この空気吹出ノ
ズル２から吹出されるドライ空気は出入口扉１１
の面積を覆うに十分なエアーカーテンを形成しつ
つ前記の空気通路４に入つて循環空気となる。
一方、本発明装置においては、この空気吹出ノ
ズル２に供給するドライ空気は、冷却除湿運転と
除湿運転が運転ができるように構成された特殊な
空気除湿装置７によつて製造される。
ズル２に供給するドライ空気は、冷却除湿運転と
除湿運転が運転ができるように構成された特殊な
空気除湿装置７によつて製造される。
空気除湿装置７は、空気（外気）取入口１４と
ドライ空気吐出管９との間に互いに独立した複数
基の空気冷却器８を所定の関係をもつて接続され
た構造を有している。第１図には、空気冷却器
８、冷凍機１５、送風機１６を同じ送気路構造の
もとに構成した２系統の接続関係を示す。図面に
は、一方の系統の機器にａ、他方の系統のものに
ｂを付してあるが、両者ともその内容は同じもの
である。すなわち、空気冷却器８はその中に冷媒
が通液するフインチユーブ式熱交換器であり、冷
媒は冷凍機１５から循環供給されるようになつて
いる。この空気冷却器８は、周年にわたる全外気
を露点温度が−50℃の空気まで一過性に冷却除湿
できるような能力をもたせる。
ドライ空気吐出管９との間に互いに独立した複数
基の空気冷却器８を所定の関係をもつて接続され
た構造を有している。第１図には、空気冷却器
８、冷凍機１５、送風機１６を同じ送気路構造の
もとに構成した２系統の接続関係を示す。図面に
は、一方の系統の機器にａ、他方の系統のものに
ｂを付してあるが、両者ともその内容は同じもの
である。すなわち、空気冷却器８はその中に冷媒
が通液するフインチユーブ式熱交換器であり、冷
媒は冷凍機１５から循環供給されるようになつて
いる。この空気冷却器８は、周年にわたる全外気
を露点温度が−50℃の空気まで一過性に冷却除湿
できるような能力をもたせる。
各系統とも空気冷却器８の下流側における合流
点１７で接続され、ドライ空気吐出管９に通ずる
ことになるが、各系統とも同じ送気路構造を有す
る互いに独立運転可能なものである。これを具体
的に説明すると、各系統とも、空気取入口１４か
ら合流点１７に至る主送気路１８に送風機１６と
空気冷却器８が介装される。そして、空気冷却器
８と合流点１７との間には、排気口１９に通ずる
排気路２０が分岐され、この排気路２０の途中か
ら送風機１６の吸入側主送気路１８にレタン路２
１が接続されている。また合流点１７の近傍の主
送気路１８には切替ダンパ２２が介装され、排気
路には排気ダンパ２３、レタン路２１にはレタン
ダンパ２４、空気取入口には取入ダンパ２５が介
装されている。これらのダンパはいずれもその開
度を自由に調整できまた完全に送気を遮断できる
ものである。このように各系統を構成し、これを
合流点１７で接続することによつて、除湿運転と
除霜運転が交互に切替ることができ、また準備運
転のための密閉運転もできるようになつて、常に
一定したドライ空気の供給ができることになる。
点１７で接続され、ドライ空気吐出管９に通ずる
ことになるが、各系統とも同じ送気路構造を有す
る互いに独立運転可能なものである。これを具体
的に説明すると、各系統とも、空気取入口１４か
ら合流点１７に至る主送気路１８に送風機１６と
空気冷却器８が介装される。そして、空気冷却器
８と合流点１７との間には、排気口１９に通ずる
排気路２０が分岐され、この排気路２０の途中か
ら送風機１６の吸入側主送気路１８にレタン路２
１が接続されている。また合流点１７の近傍の主
送気路１８には切替ダンパ２２が介装され、排気
路には排気ダンパ２３、レタン路２１にはレタン
ダンパ２４、空気取入口には取入ダンパ２５が介
装されている。これらのダンパはいずれもその開
度を自由に調整できまた完全に送気を遮断できる
ものである。このように各系統を構成し、これを
合流点１７で接続することによつて、除湿運転と
除霜運転が交互に切替ることができ、また準備運
転のための密閉運転もできるようになつて、常に
一定したドライ空気の供給ができることになる。
この運転操作を次に説明する。
先ず、一方の系統Ａで切替ダンパ２２ａを開成
して除湿運転を行つている場合には、他方の系統
Ｂでは切替ダンパ２２ｂを閉成し、運転を休止す
るか或いは除霜運転または準備運転を実施する。
すなわち、系統Ａでは、排気ダンパ２３ａ、レタ
ンダンパ２４ａは閉成し、空気冷却器８で除湿さ
れたドライ空気を吐出管９に供給する。そのさい
系統Ｂでは、切替ダンパ２２ｂを閉成し、排気ダ
ンパ２３ｂを開、レタンダンパ２４ｂを閉にして
除霜運転を行うか、切替ダンパ２２ｂを閉成し、
排気ダンパ２３ｂを閉、レタンダンパ２４ｂを
開、取入れダンパ２５ｂを閉にして準備運転を行
うか、あるいは運転を休止する。除霜運転では、
冷凍機１５ｂからの冷媒の空気冷却器８への通液
を止めた状態で送風機１６ｂを駆動してホツトガ
スを循環させ、空気冷却器８の表面に被着した霜
を除去し、その排気は排気口１８ｂから系外に排
出する。準備運転、系統を切り替えるさいの立上
りに備えるもので、立上り時に直ちにドライ空気
を供給できるようにすると共に立上り時間の短縮
を図る運転であり、レタン路２１ｂを通じて空気
冷却器８に系内の空気を閉回路で循環を繰り返す
運転である。これにより系内をドライ空気で満た
して系統の切替に備える。
して除湿運転を行つている場合には、他方の系統
Ｂでは切替ダンパ２２ｂを閉成し、運転を休止す
るか或いは除霜運転または準備運転を実施する。
すなわち、系統Ａでは、排気ダンパ２３ａ、レタ
ンダンパ２４ａは閉成し、空気冷却器８で除湿さ
れたドライ空気を吐出管９に供給する。そのさい
系統Ｂでは、切替ダンパ２２ｂを閉成し、排気ダ
ンパ２３ｂを開、レタンダンパ２４ｂを閉にして
除霜運転を行うか、切替ダンパ２２ｂを閉成し、
排気ダンパ２３ｂを閉、レタンダンパ２４ｂを
開、取入れダンパ２５ｂを閉にして準備運転を行
うか、あるいは運転を休止する。除霜運転では、
冷凍機１５ｂからの冷媒の空気冷却器８への通液
を止めた状態で送風機１６ｂを駆動してホツトガ
スを循環させ、空気冷却器８の表面に被着した霜
を除去し、その排気は排気口１８ｂから系外に排
出する。準備運転、系統を切り替えるさいの立上
りに備えるもので、立上り時に直ちにドライ空気
を供給できるようにすると共に立上り時間の短縮
を図る運転であり、レタン路２１ｂを通じて空気
冷却器８に系内の空気を閉回路で循環を繰り返す
運転である。これにより系内をドライ空気で満た
して系統の切替に備える。
次いで、系統Ａの空気冷却器８に霜が発生して
その機能の低下が始まつたら、準備運転している
系統Ｂと切替える（切替ダンパ２２ａを閉、切替
ダンパ２ｂを開に切替える）。系統Ｂにおける準
備運転から除湿運転の切替は、レタンダンパ２４
ｂを閉とし、取入れダンパ２５ｂを開にすること
によつて行う。系統Ａでは、系統Ｂの除湿運転の
間に、前記と同様に除霜運転、休止、準備運転を
適宜実施し、次の切替に備える。
その機能の低下が始まつたら、準備運転している
系統Ｂと切替える（切替ダンパ２２ａを閉、切替
ダンパ２ｂを開に切替える）。系統Ｂにおける準
備運転から除湿運転の切替は、レタンダンパ２４
ｂを閉とし、取入れダンパ２５ｂを開にすること
によつて行う。系統Ａでは、系統Ｂの除湿運転の
間に、前記と同様に除霜運転、休止、準備運転を
適宜実施し、次の切替に備える。
この切替によつて、クリーンドライチヤンバー
６には連続的に常に一定したドライ空気が供給さ
れることになる。
６には連続的に常に一定したドライ空気が供給さ
れることになる。
このように、本発明装置によると、吸湿剤を使
用しないでドライ空気を製造できるので、吸湿剤
による製品の品質低下の問題が回避されると共に
冷却除湿方式あるにもかかわらず露点温度が−50
℃程度のドライ空気を連続供給できることにな
る。そして、切替にさいして、除霜運転のほかに
準備運転を実施して除湿運転に備えことにより運
転コストの低減と一定したドライ空気の連続供給
ができることになる。また、クリーンドライチヤ
ンバーにおいては、ドライ空気の循環によりクリ
ーンドライエアの雰囲気が常時維持され、製品の
出入れに際しても、外部雰囲気からの汚染と外気
侵入による湿分の易経がドライ空気によるエアー
カーテンによつて効果的に防止されることにな
る。
用しないでドライ空気を製造できるので、吸湿剤
による製品の品質低下の問題が回避されると共に
冷却除湿方式あるにもかかわらず露点温度が−50
℃程度のドライ空気を連続供給できることにな
る。そして、切替にさいして、除霜運転のほかに
準備運転を実施して除湿運転に備えことにより運
転コストの低減と一定したドライ空気の連続供給
ができることになる。また、クリーンドライチヤ
ンバーにおいては、ドライ空気の循環によりクリ
ーンドライエアの雰囲気が常時維持され、製品の
出入れに際しても、外部雰囲気からの汚染と外気
侵入による湿分の易経がドライ空気によるエアー
カーテンによつて効果的に防止されることにな
る。
第１図は本発明装置の一実施例を示す機器配置
系統図である。 １……保管庫、２……空気吹出ノズル、３……
送風機、４……空気循環路、５，５′……HEPA
フイルター、６……クリーンドライチヤンバー、
７……空気除湿装置、８……空気冷却器、９……
ドライ空気吐出管、１１……出入口、１２……棚
板、１４……空気取入口、１５……冷凍機、１６
……送風機、１７……合流点、１９……排気口、
２１……レタンダクト、２２……切替ダンパ。
系統図である。 １……保管庫、２……空気吹出ノズル、３……
送風機、４……空気循環路、５，５′……HEPA
フイルター、６……クリーンドライチヤンバー、
７……空気除湿装置、８……空気冷却器、９……
ドライ空気吐出管、１１……出入口、１２……棚
板、１４……空気取入口、１５……冷凍機、１６
……送風機、１７……合流点、１９……排気口、
２１……レタンダクト、２２……切替ダンパ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 製品保管庫１の出入口の部分にエアーカーテ
ンを形成するための空気吹出ノズル２を設け、製
品保管庫１内の空気を送風機３によつて製品保管
庫１に再循環させる空気循環路４を設けると共に
この空気循環路にHEPAフイルター５を介装し
てなるクリーンドライチヤンバー６と、 このクリーンドライチヤンバー６にドライ空気
を供給するため空気除湿装置７であつて、複数基
の空気冷却器８をドライ空気吐出管９に対して切
替可能に接続してなる空気除湿装置７と、 からなり、そして、 空気除湿装置７のドライ空気吐出管９を前記の
空気吹出ノズル２に送気管１０によつて接続する
と共に、空気除湿装置７における複数基の空気冷
却器８の夫々について冷却除湿運転と除霜運転と
に切替可能な送気路構造としたことを特徴とする
清浄乾燥空間に製品を保管するための装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24248184A JPS61122434A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 清浄乾燥空間に製品を保管するための装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24248184A JPS61122434A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 清浄乾燥空間に製品を保管するための装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61122434A JPS61122434A (ja) | 1986-06-10 |
| JPH0454851B2 true JPH0454851B2 (ja) | 1992-09-01 |
Family
ID=17089725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24248184A Granted JPS61122434A (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 清浄乾燥空間に製品を保管するための装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61122434A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6005588B2 (ja) * | 2013-05-31 | 2016-10-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置 |
-
1984
- 1984-11-19 JP JP24248184A patent/JPS61122434A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61122434A (ja) | 1986-06-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |