JPH0455083A - Scanner device for laser beam - Google Patents
Scanner device for laser beamInfo
- Publication number
- JPH0455083A JPH0455083A JP2164323A JP16432390A JPH0455083A JP H0455083 A JPH0455083 A JP H0455083A JP 2164323 A JP2164323 A JP 2164323A JP 16432390 A JP16432390 A JP 16432390A JP H0455083 A JPH0455083 A JP H0455083A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- laser beam
- output end
- end side
- electromagnets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は光ファイバから出射されるレーザ光を走査さ
せるためのスキャナ装置に関する。Detailed Description of the Invention [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a scanner device for scanning laser light emitted from an optical fiber.
（従来の技術）
たとえば、レーザ光によってマーキングなどの加工を行
なう場合、レーザ光を被加工物上で走査させるというこ
とが行われる。そのような場合のスキャナ装置としては
、第５図に示すようにレーザ光りをレーザ光源から光フ
ァイバ１で導き、この光ファイバ１がら出射されたレー
ザ光りを集光レンズ２で集束してスキャニングミラー３
で反射させる。そして、このスキャニングミラー３を回
動させることで、上記集光レンズ２によって集束された
集光スポットｓを上記被加工物４上で走査させるように
している。(Prior Art) For example, when marking or other processing is performed using a laser beam, the laser beam is scanned over the workpiece. As shown in FIG. 5, a scanner device in such a case is to guide laser light from a laser light source through an optical fiber 1, and converge the laser light emitted from this optical fiber 1 with a condensing lens 2 to create a scanning mirror. 3
reflect it. By rotating the scanning mirror 3, the condensed spot s focused by the condensing lens 2 is scanned over the workpiece 4.
ところで、光ファイバ１がら出射されるレーザ光Ｌ＋７
）ＮＡ （開口数）は通常０．２〜０．２５なノテ、集
光スポットＳを光ファイバ１の径よりも小さくし、集光
密度を上げようとすると、第６図に示されるように光フ
ァイバ１の出射端面と集光レンズ２との間隔Ａおよび集
光レンズ２と被加工物４との間隔Ｂがともに小さくなる
。By the way, the laser beam L+7 emitted from the optical fiber 1
)NA (numerical aperture) is usually 0.2 to 0.25.If you try to increase the focusing density by making the focusing spot S smaller than the diameter of the optical fiber 1, as shown in Figure 6. Both the distance A between the output end face of the optical fiber 1 and the condensing lens 2 and the distance B between the condensing lens 2 and the workpiece 4 are reduced.
そのため、集光レンズ２と被加工物４との間にスキャニ
ングミラー３を設置することができないことがあり、そ
のような場合には第５図に示すスキャナ装置を構成する
ことが難しい。とくに、レーザ光りを被加工物４上でＸ
Ｙ力方向二方向に走査させる場合には、集光レンズ２と
被加工物４との狭い隙間に２つのスキャニングミラー３
を設置しなければならないから、実用上、種々の問題が
生じる。Therefore, it may not be possible to install the scanning mirror 3 between the condenser lens 2 and the workpiece 4, and in such a case, it is difficult to configure the scanner device shown in FIG. 5. In particular, the laser beam is
When scanning in two directions in the Y force direction, two scanning mirrors 3 are installed in a narrow gap between the condenser lens 2 and the workpiece 4.
must be installed, various practical problems arise.
（発明が解決しようとする課題）
このように、従来のスキャニング装置は、スキャニング
ミラーを回動させてレーザ光を走査させるようにしてい
たので、光ファイバから出射されるレーザ光の集光スポ
ットを小さくして集光密度を上げようとすると、集光レ
ンズと被加工物との間隔が小さくなり、レーザ光を走査
させるためのスキャニングミラーを設置することができ
ないということがあった。(Problem to be Solved by the Invention) As described above, in the conventional scanning device, the scanning mirror was rotated to scan the laser beam, so the condensed spot of the laser beam emitted from the optical fiber was If an attempt was made to increase the condensing density by making the lens smaller, the distance between the condenser lens and the workpiece would become smaller, making it impossible to install a scanning mirror for scanning the laser beam.
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、スキャニングミラーを用いることな
く光ファイバから出射されるレーザ光の集光密度を上げ
て走査させることができるようにしたレーザ光のスキャ
ナ装置を提供することにある。This invention was made based on the above circumstances, and its purpose is to increase the concentration density of laser light emitted from an optical fiber and scan it without using a scanning mirror. An object of the present invention is to provide a laser beam scanner device that uses a laser beam.
［発明の構成コ
（課題を解決するための手段及び作用）上記課題を解決
するためにこの発明は、レーザ光が出射される出射端側
の所定の長さが軸方向と交差するＸＹ力方向変位自在に
設けられた光ファイバと、この光ファイバの出射端部に
取着された磁性体と、この磁性体の周囲に周方向に所定
間隔で配置された少なくとも３つ以上の電磁石と、各電
磁石に発生する電磁力を制御する制御手段と、上記光フ
ァイバの出射端側に設けられ上記磁性体が上記電磁石に
吸引されて生じる上記光ファイバの出射端側の変位に対
して反発力を発生する弾性部材とを具備する。[Structure of the Invention (Means and Effects for Solving the Problems) In order to solve the above problems, this invention provides an XY force direction in which a predetermined length on the emission end side from which the laser beam is emitted intersects with the axial direction. An optical fiber displaceably provided, a magnetic body attached to the output end of the optical fiber, at least three or more electromagnets arranged at predetermined intervals in the circumferential direction around the magnetic body, and each a control means for controlling electromagnetic force generated in the electromagnet; and a control means provided on the output end side of the optical fiber to generate a repulsive force against displacement of the output end side of the optical fiber caused when the magnetic body is attracted to the electromagnet. and an elastic member.
このような構成によれば、光ファイバの出射端側をＸＹ
力方向変位させてレーザ光を走査させるため、集光レン
ズと被加工物との間にスキャニングミラーを設置せずに
すむ。そのため、光ファイバから出射されるレーザ光の
集光スポットを小さくして集光密度を上げることにより
、集光レンズと被加工物との間隔が小さくなっても、実
用上、問題となることがない。According to such a configuration, the output end side of the optical fiber is
Since the laser beam is scanned by displacement in the force direction, there is no need to install a scanning mirror between the condenser lens and the workpiece. Therefore, even if the distance between the condenser lens and the workpiece is reduced by reducing the condensing spot of the laser beam emitted from the optical fiber and increasing the condensing density, it will not pose a problem in practice. do not have.
（実施例）
以下、この発明の一実施例を第１図乃至第３図を参照し
て説明する。第１図に示すスキャナ装置はレーザ光源１
１を備えている。このレーザ光源１１から出力されたレ
ーザ光りは光ファイバ１２の一端から入射し他端側であ
る出射端側から出射するようになっている。光ファイバ
１２の他端側は水平に配設された支持体１３に保持され
ている。光ファイバ１２はコア１２ａをクラッド１２ｂ
によって被覆してなる。この光ファイバ１２の上記支持
体１３の下面側に突出した部分はクラッド１２ｂが除去
され、コア１２ａが露出している。それによって、光フ
ァイバ１２の出射端側はクラッド１２ｂで被覆されてい
る部分に比べて可撓性が大きく、変形しやすい状態とな
っている。(Embodiment) An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 3. The scanner device shown in FIG.
1. The laser light output from the laser light source 11 enters from one end of the optical fiber 12 and exits from the other end, which is the output end. The other end of the optical fiber 12 is held by a horizontally disposed support 13. The optical fiber 12 has a core 12a and a cladding 12b.
It is coated with The cladding 12b of the portion of the optical fiber 12 that protrudes toward the lower surface of the support 13 is removed, and the core 12a is exposed. As a result, the output end side of the optical fiber 12 has greater flexibility than the portion covered with the cladding 12b and is more easily deformed.
上記光ファイバ１２の出射端部にはリング状の磁性体１
４が取着されている。また、光ファイバ１２のクラッド
１２ｂが除去された出射端側には弾性部材としてのコイ
ルばね１５が装着されている。このコイルばね１５は、
一端が上記支持体１３に連結され、他端が上記磁性体１
４に連結されている。したがって、光ファイバ１２の出
射端側は上記コイルばね１５の弾性力に抗して後述する
ように変形するようになっている。A ring-shaped magnetic body 1 is provided at the output end of the optical fiber 12.
4 is attached. Further, a coil spring 15 as an elastic member is attached to the output end side of the optical fiber 12 from which the cladding 12b has been removed. This coil spring 15 is
One end is connected to the support 13, and the other end is connected to the magnetic body 1.
It is connected to 4. Therefore, the output end side of the optical fiber 12 is deformed against the elastic force of the coil spring 15 as described later.
上記光ファイバ１２から出射されたレーザ光りは集光レ
ンズ１６で集束されて被加工物１７を照射するようにな
っている。The laser light emitted from the optical fiber 12 is focused by a condenser lens 16 and irradiates the workpiece 17.
上記磁性体１４の周囲にはコイルからなる第１乃至第４
の電磁石１８ａ〜１８ｄが周方向に９０度間隔で配置さ
れている。各電磁石１８ａ〜１８ｄには、第３図に示す
ようにそれぞれ第１乃至第４のトランジスタ１９ａ〜１
９ｄを介して制御手段であるコントローラ２１が接続さ
れている。すなわち、各電磁石１８ａ〜１８ｄは各トラ
ンジスタ１９ａ〜１９ｄのエミッタＥに一端が接続され
、他端はアースされている。また、トランジスタ１９ａ
〜１９ｄのコレクタＣは図示しない電源に接続され、ベ
ースＢは上記コントローラ２１に設けられた第１乃至第
４の増幅器２２ａ〜２２ｄに接続されている。各増幅器
２２ａ〜２２ｄには第１乃至第４の位相器２３ａ〜２３
ｄが接続され、これら位相器２３ａ〜２３ｄには正弦波
からなる駆動電力を発生する発振器２６が接続されてい
る。Around the magnetic body 14, first to fourth coils are arranged.
Electromagnets 18a to 18d are arranged at intervals of 90 degrees in the circumferential direction. Each of the electromagnets 18a to 18d has first to fourth transistors 19a to 1, respectively, as shown in FIG.
A controller 21, which is a control means, is connected via 9d. That is, one end of each electromagnet 18a-18d is connected to the emitter E of each transistor 19a-19d, and the other end is grounded. In addition, the transistor 19a
The collector C of ~19d is connected to a power source (not shown), and the base B is connected to the first to fourth amplifiers 22a to 22d provided in the controller 21. Each of the amplifiers 22a to 22d has first to fourth phase shifters 23a to 23.
d is connected, and an oscillator 26 that generates driving power consisting of a sine wave is connected to these phase shifters 23a to 23d.
そして、上記各増幅器２２ａ〜２２ｄと位相器２３ａ〜
２３ｄはマイクロコンピュータ２５によって制御される
ようになっている。Then, each of the amplifiers 22a to 22d and phase shifters 23a to
23d is controlled by a microcomputer 25.
上記発振器２４で発生した正弦波からなる駆動電力が各
位相器２３ａ〜２３ｄに入力されると、各位相器２３ａ
〜２３ｄからの出力は上記マイクロコンピュータ２５か
らの制御信号によってたとえば第４図（ａ）〜（ｄ）に
示されるように９０度ずつ位相がずらされた出力信号と
なって第１乃至第４の増幅器２２ａ〜２２ｄに入力され
る。これら増幅器２２ａ〜２２ｄは各位相器２３ａ〜２
３ｄからの駆動電力の振幅を上記マイクロコンピュータ
２１からの信号にもとずいて制御する。When the driving power consisting of a sine wave generated by the oscillator 24 is input to each phase shifter 23a to 23d, each phase shifter 23a
The outputs from 23d to 23d become output signals whose phases are shifted by 90 degrees by the control signal from the microcomputer 25, as shown in FIGS. It is input to amplifiers 22a to 22d. These amplifiers 22a to 22d are each phase shifter 23a to 2.
The amplitude of the driving power from 3d is controlled based on the signal from the microcomputer 21.
したがって、各トランジス１９ａ〜１９ｄのベースＢに
は、位相と振幅とが制御された駆動電力が加わるから、
エミッタＥに接続された各電磁石１８ａ〜１８ｄにはベ
ースＢに加えられた駆動信号に対応する位相と振幅の電
流が流れることになる。Therefore, since driving power with controlled phase and amplitude is applied to the base B of each transistor 19a to 19d,
A current having a phase and amplitude corresponding to the drive signal applied to the base B flows through each of the electromagnets 18a to 18d connected to the emitter E.
つぎに、上記構成のスキャナ装置によって光ファイバ１
２から出射されるレーザ光りを被加工物１７上で走査さ
せる場合について説明する。まず、マイクロコンピュー
タ２５によってレーザ光りの走査軌跡を設定する。それ
によって、発振器２４で発生された正弦波からなる駆動
電力の位相と振幅とが各位相器２３ａ〜２３ｄと増幅器
２２ａ〜２２ｄによって制御されて第１乃至第４のトラ
ンジスタ１９ａ〜１９ｄのベースＢに加わる。Next, the optical fiber 1 is
A case where the workpiece 17 is scanned with laser light emitted from the laser beam 2 will be described. First, the microcomputer 25 sets the scanning trajectory of the laser beam. As a result, the phase and amplitude of the driving power consisting of a sine wave generated by the oscillator 24 are controlled by the phase shifters 23a to 23d and the amplifiers 22a to 22d, and are applied to the bases B of the first to fourth transistors 19a to 19d. join.
各トランジスタ１９ａ〜１９ｄのエミッタＥに接続され
た電磁石１８ａ〜１８ｄにはベースＢに加わった電力に
応じた電流が流れる。各電磁石１８ａ〜１８ｄに電流が
流れれば、各電磁石１８ａ〜１８ｄはその電流に応じた
電磁力を発生するから、その電磁力によって光ファイバ
１２の出射端部に取着された磁性体１４が吸引される。A current corresponding to the power applied to the base B flows through the electromagnets 18a to 18d connected to the emitter E of each transistor 19a to 19d. When a current flows through each electromagnet 18a to 18d, each electromagnet 18a to 18d generates an electromagnetic force corresponding to the current, so that the magnetic body 14 attached to the output end of the optical fiber 12 is caused by the electromagnetic force. be attracted.
第１乃至第４の電磁石１８ａ〜１８ｄに発生する電磁力
は位相器２３ａ〜２３ｄと増幅器２２ａ〜２２ｄとによ
ってそれぞれ位相と振幅とが制御される。したかって、
第１乃至第４の電磁石１８ａ〜１８ｄに位相と振幅とが
制御された電磁力を発生させれば、その差に応じて上記
磁性体１４とともに光ファイバ１２のクラッド１２ｂが
除去された出射端側の部分をコイルばね１５の復元力に
抗してＸＹ力方向変位させることができるから、光ファ
イバ１２から出射されるレーザ光りを被加工物１７上で
走査させることができる。The phase and amplitude of the electromagnetic forces generated in the first to fourth electromagnets 18a to 18d are controlled by phase shifters 23a to 23d and amplifiers 22a to 22d, respectively. I wanted to,
If the first to fourth electromagnets 18a to 18d generate electromagnetic force whose phase and amplitude are controlled, the output end side from which the cladding 12b of the optical fiber 12 is removed together with the magnetic body 14 according to the difference. Since the portion can be displaced in the XY force direction against the restoring force of the coil spring 15, the laser beam emitted from the optical fiber 12 can be scanned over the workpiece 17.
つぎに、各電磁石１８ａ〜１８ｄに発生する電磁力の位
相と振幅とを制御する具体例について説明する。まず、
光ファイバ１２の出射端の動き（ＸＳＹ）は、
Ｘ−Ｘｏ −ｓｉ口 （ωｔ ）
−１（１） 式Ｙ−Ｙｏ −５ｉｎ （ωｔ＋６
） −（２）式で表せられる。上記ωは角周波数、δ
はＸ、Ｙ方向における位相差である。したがって、（Ｘ
、Ｙ）は次式を満足する軌跡を描くことになる。Next, a specific example of controlling the phase and amplitude of the electromagnetic force generated in each of the electromagnets 18a to 18d will be described. first,
The movement (XSY) of the output end of the optical fiber 12 is expressed as
-1(1) Formula Y-Yo -5in (ωt+6
) − (2) Expression. The above ω is the angular frequency, δ
is the phase difference in the X and Y directions. Therefore, (X
, Y) will draw a trajectory that satisfies the following equation.
（Ｘ／Ｘｏ）２−２・ （Ｘ−Ｙ）
／ （Ｘｏ ” Ｙｏ ） ・ｃｏｓδ＋（Ｙ／Ｙｏ）
２＝ｓｉｎ２δ ・・・（３）式上記Ｘ
。、ＹｏはＶｘ 、ｖｙの電圧を互いに対向する電磁石
間で逆相にかけた場合の光ファイバ１２の出射端部が動
く最大偏位位置（座標）を示す。(X/Xo)2-2・(X-Y)/(Xo”Yo)・cosδ+(Y/Yo)
2=sin2δ...(3) formula above X
. , Yo indicate the maximum deflection position (coordinate) at which the output end of the optical fiber 12 moves when voltages Vx and vy are applied in opposite phases between mutually opposing electromagnets.
上記（３）式においてδ−〇のときには、（Ｘ／ Ｘｏ
Ｙ／ Ｙｏ ） ２＝ ０ − （５）式となるか
ら、光ファイバ１２の出射端部の軌跡は直線となる。In the above equation (3), when δ−〇, (X/
Y/Yo) 2=0-(5), so the trajectory of the output end of the optical fiber 12 is a straight line.
また、δ−π／２のときには、
（Ｘ／ＸＯ） ２＋ （Ｙ／Ｙｏ ） ２−１・・・（
６）式
となるから、光ファイバ１２の出射端部の軌跡は楕円と
なる。Also, when δ-π/2, (X/XO) 2+ (Y/Yo) 2-1...(
Since Equation 6) holds, the trajectory of the output end of the optical fiber 12 becomes an ellipse.
さらに、Ｘｏ−Ｙｏならば、光ファイバ１２の出射端部
の軌跡は円となる。Furthermore, in the case of Xo-Yo, the locus of the output end of the optical fiber 12 becomes a circle.
このように、４つの電磁石１８ａ〜１８ｄに流れる電流
の位相と振幅を制御すれば、各電磁石１８ａ〜１８ｄが
光ファイバ１２の出射端部に設けられた磁性体１４を吸
引する吸引力を変えることができるから、上記光ファイ
バ１２の出射端部の軌跡を任意にコントロールすること
ができる。In this way, by controlling the phase and amplitude of the current flowing through the four electromagnets 18a to 18d, it is possible to change the attractive force with which each electromagnet 18a to 18d attracts the magnetic body 14 provided at the output end of the optical fiber 12. Therefore, the trajectory of the output end of the optical fiber 12 can be arbitrarily controlled.
また、電磁石１８ａ〜１８ｄは光ファイバ１２の出射端
側に設けられたコイルばね１５の復元力に抗して上記光
ファイバ１２の出射端側がＸ１Ｙ方向に駆動される。そ
のため、各電磁石１８ａ〜１８ｄの電磁力のわずかな変
動に応じて上記光ファイバ１２の出射端側がコイルばね
１５の復元力によって応動するから、上記光ファイバ１
２の出射端部を精度よく変位させることができる。Further, the electromagnets 18a to 18d are driven at the output end side of the optical fiber 12 in the X1Y direction against the restoring force of the coil spring 15 provided at the output end side of the optical fiber 12. Therefore, the output end side of the optical fiber 12 responds by the restoring force of the coil spring 15 in response to slight fluctuations in the electromagnetic force of each of the electromagnets 18a to 18d.
The output end portion of No. 2 can be displaced with high precision.
しかも、光ファイバ１２を駆動してレーザ光りを走査さ
せるため、集光レンズ１６と被加工物１７との間にスキ
ャニングミラーなどの光学部品を配置せずにすむ。その
ため、光ファイバ１２から出射されるレーザ光りの集光
密度を上げることで、集光レンズ１６と被加工物１７と
の間隔が小さくなっても、スキャナ装置が構成できなく
なるようなことがない。Moreover, since the optical fiber 12 is driven to scan the laser beam, there is no need to dispose an optical component such as a scanning mirror between the condenser lens 16 and the workpiece 17. Therefore, even if the distance between the condenser lens 16 and the workpiece 17 becomes smaller by increasing the condensing density of the laser beam emitted from the optical fiber 12, the scanner device will not become impossible to configure.
なお、この発明は上記一実施例に限定されるものでなく
、種々変形可能である。たとえば、上記一実施例では磁
性体の周囲に４つの電磁石を配置したが、その数は限定
されるものでなく、３つあるいは５つ以上であってもよ
い。また、光ファイバの出射端側に設けられる弾性部材
はコイルばねに限定されず、ゴムなどの弾性材料で作ら
れた筒状部材あるいは２組の平行板ばねなどであっても
よく、要は光ファイバの出射端側を電磁石の吸引力に抗
して弾性的に変位するよう保持することができればよい
。Note that this invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and can be modified in various ways. For example, in the above embodiment, four electromagnets are arranged around the magnetic body, but the number is not limited and may be three or five or more. Further, the elastic member provided on the output end side of the optical fiber is not limited to a coil spring, but may be a cylindrical member made of an elastic material such as rubber or two sets of parallel leaf springs. It is sufficient if the output end side of the fiber can be held so as to be elastically displaced against the attraction force of the electromagnet.
［発明の効果］
以上述べたようにこの発明は、弾性部材が設けられた光
ファイバの出射端側に磁性体を取着し、この磁性体の周
囲に少なくとも３つ以上の電磁石を配置し、各電磁石に
発生する電磁力を制御して上記光ファイバの出射端側を
変位させることで、この光ファイバから出射されるレー
ザ光を走査させるようにした。したがって、集光密度を
上げることで上記光ファイバから出射されたレーザ光を
集光する集光レンズと被加工物との間隔が小さくなって
も、レーザ光をスキャニングミラーによって走査させる
従来の場合のようにスキャニングミラーを配置するスペ
ースが確保できなくなるというようなことがない。また
、質量的に比較的軽い光ファイバを変形させることでレ
ーザ光を走査させるため、応答速度を速くすることがで
きる。[Effects of the Invention] As described above, the present invention includes: attaching a magnetic body to the output end side of an optical fiber provided with an elastic member; arranging at least three or more electromagnets around the magnetic body; The laser beam emitted from the optical fiber is scanned by controlling the electromagnetic force generated in each electromagnet to displace the emitting end side of the optical fiber. Therefore, even if the distance between the condensing lens that condenses the laser beam emitted from the optical fiber and the workpiece becomes smaller by increasing the condensing density, the conventional case in which the laser beam is scanned by a scanning mirror is There is no need to run out of space to place a scanning mirror. Furthermore, since the laser beam is scanned by deforming the optical fiber, which is relatively light in mass, the response speed can be increased.
第１図はこの発明の一実施例を示すスキャナ装置の概略
的構成図、第２図は同じく第１図の■−ｎ線に沿う断面
図、第３図は同じくコントローラの構成図、第４図（ａ
）〜（ｄ）は各電磁石に加えられる電流の波形の説明図
、第５図と第６図はそれぞれ従来のレーザ光を走査させ
るための光学系の説明図である。
１２・・・光ファイバ、１４・・・磁性体、１５・・・
コイルばね（弾性部材）、１８ａ〜１８ｄ・・・電磁石
、２１・・・コントローラ（制御手段）。
出願人代理人 弁理士 鈴江武彦FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a scanner device showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line ■-n in FIG. Figure (a
) to (d) are explanatory diagrams of the waveforms of currents applied to each electromagnet, and FIGS. 5 and 6 are explanatory diagrams of conventional optical systems for scanning with laser light, respectively. 12... Optical fiber, 14... Magnetic material, 15...
Coil spring (elastic member), 18a-18d...electromagnet, 21...controller (control means). Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue
Claims (1)
交差するＸＹ方向に変位自在に設けられた光ファイバと
、この光ファイバの出射端部に取着された磁性体と、こ
の磁性体の周囲に周方向に所定間隔で配置された少なく
とも３つ以上の電磁石と、各電磁石に発生する電磁力を
制御する制御手段と、上記光ファイバの出射端側に設け
られ上記磁性体が上記電磁石に吸引されて生じる上記光
ファイバの出射端側の変位に対して反発力を発生する弾
性部材とを具備したことを特徴とする光ファイバのスキ
ャナ装置。An optical fiber whose predetermined length on the emission end side from which laser light is emitted is displaceable in XY directions intersecting the axial direction, a magnetic body attached to the emission end of this optical fiber, and at least three electromagnets arranged around the magnetic body at predetermined intervals in the circumferential direction; a control means for controlling the electromagnetic force generated in each electromagnet; and a control means provided on the output end side of the optical fiber, the magnetic body An optical fiber scanner device comprising: an elastic member that generates a repulsive force against displacement of the output end side of the optical fiber caused by attraction by the electromagnet.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2164323A JPH0455083A (en) | 1990-06-25 | 1990-06-25 | Scanner device for laser beam |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2164323A JPH0455083A (en) | 1990-06-25 | 1990-06-25 | Scanner device for laser beam |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0455083A true JPH0455083A (en) | 1992-02-21 |
Family
ID=15790979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2164323A Pending JPH0455083A (en) | 1990-06-25 | 1990-06-25 | Scanner device for laser beam |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0455083A (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0747514A (en) * | 1993-05-31 | 1995-02-21 | Yamaha Corp | Wood plate and floor material |
| US5736218A (en) * | 1993-05-31 | 1998-04-07 | Yamaha Corporation | Wood board and a flooring material made therefrom |
| JPH10146809A (en) * | 1996-11-15 | 1998-06-02 | Juken Sangyo Co Ltd | Plate material using porous herb material |
| US6010793A (en) * | 1993-11-22 | 2000-01-04 | Yamaha Corporation | Wood board, surface-decorated wood board, and manufacturing method therefor |
| US6339530B1 (en) | 1997-05-09 | 2002-01-15 | International Business Machines Corporation | Attachment structure for attaching a display device to and reducing an external size of a housing of equipment in which the attachment structure is provided |
| EP1824406A1 (en) * | 2004-08-05 | 2007-08-29 | Syneron Medical Ltd. | Optical scanning device |
| JP2008090193A (en) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Infovision Optoelectronics Holdings Ltd | Cover unit for liquid crystal display device and liquid crystal display device |
-
1990
- 1990-06-25 JP JP2164323A patent/JPH0455083A/en active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0747514A (en) * | 1993-05-31 | 1995-02-21 | Yamaha Corp | Wood plate and floor material |
| US5736218A (en) * | 1993-05-31 | 1998-04-07 | Yamaha Corporation | Wood board and a flooring material made therefrom |
| US6010793A (en) * | 1993-11-22 | 2000-01-04 | Yamaha Corporation | Wood board, surface-decorated wood board, and manufacturing method therefor |
| JPH10146809A (en) * | 1996-11-15 | 1998-06-02 | Juken Sangyo Co Ltd | Plate material using porous herb material |
| US6339530B1 (en) | 1997-05-09 | 2002-01-15 | International Business Machines Corporation | Attachment structure for attaching a display device to and reducing an external size of a housing of equipment in which the attachment structure is provided |
| EP1824406A1 (en) * | 2004-08-05 | 2007-08-29 | Syneron Medical Ltd. | Optical scanning device |
| JP2008508926A (en) * | 2004-08-05 | 2008-03-27 | シネロン メディカル リミテッド | Optical scanning device |
| JP2008090193A (en) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Infovision Optoelectronics Holdings Ltd | Cover unit for liquid crystal display device and liquid crystal display device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4475033A (en) | Positioning device for optical system element | |
| KR100281853B1 (en) | Electromagnetic alignment and scanning device | |
| DE69937547T2 (en) | DEVICE FOR ACCURATE HIGH-SPEED POSITIONING | |
| US5089740A (en) | Displacement generating apparatus | |
| US5883742A (en) | Image vibration reduction device | |
| US6604863B2 (en) | Actuator mechanism for precision alignment of optical components | |
| TW201813261A (en) | Optical device for enhancing resolution of an image using multistable states | |
| JPH0455083A (en) | Scanner device for laser beam | |
| CN109586609A (en) | Mibration wave actuator, imaging device and the platform device using Mibration wave actuator | |
| US6949868B2 (en) | Surface acoustic wave actuator and deflector employing the same | |
| JPS63149838A (en) | Objective lens drive device | |
| KR20050040791A (en) | Two-dimensional position control method and two-dimensional position control apparatus | |
| JP2828871B2 (en) | Trepanning head | |
| JP2004074166A (en) | Optical scanner and laser beam machine | |
| CN221239109U (en) | Driving structure and projection equipment | |
| JPS61246812A (en) | Minute moving device using impact force | |
| KR900019119A (en) | Method and apparatus for controlling binding of optically charged particles | |
| CA1280823C (en) | Optical scanning unit | |
| DE102019106443A1 (en) | Device and method for focus adjustment for a device for material processing and device for laser material processing | |
| JPS61124915A (en) | Driving and positioning device for extremely small stage | |
| JPS6187229A (en) | Optical head objective lens actuator | |
| JPS62254682A (en) | Moving coil linear DC motor | |
| SU1087948A1 (en) | Device for light beam angular modulation | |
| JPH0412657A (en) | Stage unit | |
| KR19990039243A (en) | XY-stage with linear step motor |