JPH0455532B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、内部リード接合、外部リード接合、
ペレツト接合等を行うボンダのツールクリーニン
グ機構に関する。

［従来の技術］ 周知の如く、内部リード接合ボンダは、フイル
ムキヤリアの内部リードと半導体ペレツトの電極
とを一括して接合するものであり、外部リード接
合ボンダは、前記のようにフイルムキヤリアの内
部リード（外部リード接合の場合は一般に外部リ
ードと呼ばれている）に接合された半導体ペレツ
トを外部リードと共にフイルムキヤリアより打抜
き、この半導体ペレツトに取付けられた外部リー
ドをリードフレーム等に一括して接合するもの
で、ペレツト接合ボンダは、半導体ペレツトのみ
をリードフレーム等に接合するものである。以
下、内部リード接合ボンダの場合について説明す
る。

従来、内部リード接合ボンダとして、例えば特
開昭60−234336号公報及び特開昭61−16533号公
報に示すものが知られている。かかるボンダに用
いるツールは、一般に非常に硬い材質を用い、カ
ートリツジヒータ等で高温に加熱されている。従
つて、ツールは摩耗することは少なく、むしろ高
温のために種々の異物が接合の際に表面に付着す
る。この異物はツールが高温であるため、非常に
早く硬化すると共に、もろく、またツールの熱を
内部リード、半導体ペレツトに伝えにくくする性
質をもつている。

このように、内部リード接合ボンダでは、接合
を繰返すことによつてツール面に酸化物等の汚れ
が堆積し、クリーニングせずにそのまま接合を続
けると、ツール表面の熱伝導効率が悪くなり、内
部リードと半導体ペレツトとの接合状態が悪くな
る。そこで一般には50〜200毎にツールを定期的
にクリーニングすることが行われている。

従来、ツールクリーニング機構を備えた内部リ
ード接合ボンダとして、例えば特開昭60−246643
号公報に示すものが知られている。この構造は、
ツールをブラシングする金属ブラシと、ツールを
ラツピングするためのラツプ定盤（砥石）を備え
ている。

［発明が解決しようとする問題点］ 金属ブラシによるブラシングは、金属ブラシが
柔軟性を有するため、異物がツールにこびり付い
た場合には効果がない。そこで、接合の毎に金属
ブラシでブラシングする必要があるので、生産性
に劣るという問題点を有する。また金属ブラシで
は完全に異物を除去できないので、所定回数接合
動作後に砥石でラツピングする必要がある。

しかし、上記従来例は砥石をXYテーブルに固
定し、砥石とツールとを相対的にスライドさせる
のみであるので、ツール下面と砥石面とが合わな
く、ツール下面のクリーニングが部分的にしか行
えないという問題点があつた。

本発明の目的は、ツールの傾き角度に関係なく
ツール下面と砥石面とを密着させることができ、
安定したクリーニングが行えるボンダ用ツールク
リーニング機構を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記従来技術の問題点は、内部リード接合等を
行う接合位置の近傍に設けられ、回転自在に支承
されたクリーニング用テーブルと、このクリーニ
ング用テーブルと共に回転可能で、かつ径方向に
若干傾き得るようにクリーニング用テーブルに保
持されたクリーニング用回転台と、このクリーニ
ング用回転台の上面に取付けられた砥石と、この
砥石が前記ツールに密着するように前記クリーニ
ング用回転台を上方に付勢する弾性部材と、前記
クリーニング用テーブルを回転駆動するクリーニ
ングテーブル用回転駆動機構とから構成すること
により解決される。

［作用］ 砥石は回転駆動され、かつ自由に傾き得るフロ
ーチング機構であるので、ツール下面の傾き角度
にかかわらず砥石がツール下面に密着したクリー
ニングが行える。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第５図に
より説明する。本実施例は前記した特開昭60−
234336号公報及び特開昭61−16533号公報に示す
ボンダに適用した例を示す。そこで従来例と共通
する構造は簡単に説明する。

第５図に示すツール１０は第１図に示す接合位
置１１の上方に上下及びXY方向に移動可能に設
けられている。第１図乃至第４図に示すように、
ツール１０の下方には上面に２個のダイ載置台１
２、１２が固定された回転テーブル１３が上下ス
ライドブロツク１４に回転自在に支承されてお
り、回転テーブル１３は図示しないモータにより
180度づつ間欠駆動される。上下スライドブロツ
ク１４はXY方向に駆動されるXYテーブル１５
に固定された支持ブロツク１６に上下動自在に取
付けられている。

上下スライドブロツク１４には垂直に上下調整
ねじ２０が螺合されており、この上下調整ねじ２
０の下端側にはベベルギア２１が固定されてい
る。また上下スライドブロツク１４の側面にはホ
ルダ２２が固定され、このホルダ２２には水平に
配設された調整ピン２３が回転自在に支承されて
おり、この調整ピン２３には、一端にツマミ２４
が固定され、他端に前記ベベルギア２１に噛合す
るベベルギア２５が固定されている。

前記上下調整ねじ２０の上端には検出板３０が
固定されており、この検出板３０を挟持する形で
上下スライドブロツク１４には上限検出センサ３
１及び下限検出センサ３２が固定されている。上
下調整ねじ２０の下端にはカムフオロア３３が回
転自在に取付けられており、このカムフオロア３
３は上面にカム面を有するリニアカム３４に当接
している。リニアカム３４はXYテーブル１５に
固定されたエアシリンダ３５で水平動させられ
る。またリニアカム３４に対応したXYテーブル
１５上にはリニアカム３４の底面をガイドするガ
イドブロツク３６が固定され、このガイドブロツ
ク３６上にはリニアカム３４の両側側面をガイド
するカイドローラ３７が回転自在に支承されてい
る。

従つて、ツマミ２４を回すと、調整ピン２３、
ベベルギア２５，２１を介して上下調整ねじ２０
が回転する。この上下調整ねじ２０の回転に応じ
て上下スライドブロツク１４と共に回転テーブル
１３が上下動するので、ダイ載置台１２の上限位
置を調整することができる。またエアシリンダ３
５を作動させると、リニアカム３４のカム面に従
つてカムフオロア３３と共に上下調整ねじ２０が
上下動し、回転テーブル１３が上下動する。

そこで、接合動作時には、接合位置１１から離
れた方のダイ載置台１２上に半導体ペレツト４０
が位置決めされ、回転テーブル１３が回転されて
半導体ペレツト４０が接合位置１１に位置決めさ
れると、ツール１０が下降し、またエアシリンダ
３５が作動して回転テーブル１３が上昇して図示
しないフイルムキヤリアの内部リードを半導体ペ
レツト４０の電極に接合し、その後ツール１０は
上昇及び回転テーブル１３は下降する。

次に本発明の特徴とするツールクリーニング機
構について説明する。第１図、第５図乃至第７図
に示すように、前記接合位置１１の近傍には上面
に砥石５０が取付けられたクリーニング用回転台
５１が配設されている。このクリーニング用回転
台５１は取付け取外しを容易にするためにホルダ
５２にねじ５３で固定されている。ホルダ５２は
クリーニング用テーブル５４に若干の隙間を持つ
て嵌挿されている。従つてホルダ５２は前記隙間
の範囲内で自由に径方向に傾くことができる。ホ
ルダ５２はクリーニング用テーブル５４と共に回
転できるように縦溝５２ａが形成されており、こ
の縦溝５２ａにはクリーニング用テーブル５４に
螺合されたねじ５５の先端が係合している。また
ホルダ５２とクリーニング用テーブル５４間にホ
ルダ５２を上方に付勢するようにスプリング５６
が配設されている。またクリーニング用テーブル
５４にはプーリ５７が固定されている。前記クリ
ーニング用テーブル５４は軸受５８を介して支持
板５９及びこの支持板５９に固定された支持板６
０に回転自在に支承されている。

支持板５９は第３図し示す支持板６５に固定さ
れ、支持板６５は前記支持ブロツク１６に固定さ
れている。前記支持板６５にはモータ６６が固定
され、このモータ６６の出力軸に固定されたプー
リ６７と前記プーリ５７とにはベルト６８が掛け
渡されている。また前記砥石５０の近傍には前記
回転テーブル１３側から砥石５０に空気を吹き付
けるブロアーパイプ７０が前記支持板６５に固定
されて配設されている。またこのブロアーパイプ
７０からの空気を吸引する吸引ダクト７１が砥石
５０を中心として前記ブロアーパイプ７０の反対
側に配設されている。

次に作用について説明する。前記したフイルム
キヤリア４１の内部リードを半導体ペレツト４０
の電極に接合する動作を一定回数行つた後、ツー
ル１０を砥石５０の上方に移動させ、その後下降
させてツール１０を砥石５０に当接させる。前記
したようにホルタ５２、即ちこのホルダ５２と一
体的に取付けられたクリーニング用回転台５１及
び砥石５０はクリーニング用テーブル５４に対し
て径方向にフローチングすることができるので、
砥石５０はスプリング５６の働きでツール１０の
下面に合わせられて密着する。この状態で砥石５
０が回転すると、ツール１０の下面に付着してい
る異物は削り取られるようにツール１０の下面か
ら剥離して除去される。

この場合、砥石５０により除去された異物は粉
塵となつて周囲に飛び散るので、ブロアーパイプ
７０によつて空気を吹き付け、吸引ダクト７１に
よつて粉塵を吸引して飛び散るのを防止する。

このように、砥石５０は回転駆動され、かつ自
由に傾き得るフローチング機構であるので、ツー
ル１０の下面の傾き角度にかかわらず砥石５０が
ツール１０の下面に密着したクリーニングが行え
る。またブロアーパイプ７０と吸引ダクト７１と
を設けることにより、粉塵の飛び散りを防止でき
る。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、内部リード接合等を行う接合位置の近傍に設
けられ、回転自在に支承されたクリーニング用テ
ーブルと、このクリーニング用テーブルと共に回
転可能で、かつ径方向に若干傾き得るようにクリ
ーニング用テーブルに保持されたクリーニング用
回転台と、このクリーニング用回転台の上面に取
付けられた砥石と、この砥石が前記ツールに密着
するように前記クリーニング用回転台を上方に付
勢する弾性部材と、前記クリーニング用テーブル
を回転駆動するクリーニングテーブル用回転駆動
機構とからなるので、ツールの下面の傾き角度に
かかわらず砥石がツールの下面に密着したクリー
ニングが行える。またブロアーパイプと吸引ダク
トとを設けることにより、粉塵の飛び散りを防止
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２
図は第１図正面図、第３図は第２図の３−３線一
部縦断面図、第４図は回転テーブルの上下調整機
構部分の断面図、第５図は第１図の５−５線断面
拡大図、第６図は第１図の要部右側面図、第７図
は第１図の要部背面図である。 １０……ツール、５０……砥石、５１……クリ
ーニング用回転台、５４……クリーニング用テー
ブル、５６……スプリング、５７……プーリ、６
６……モータ、６７……プーリ、６８……ベル
ト、７０……ブロアーパイプ、７１……吸引ダク
ト。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 上下及びXY方向に移動可能に設けられたツ
   ールで内部リード接合等を行うボンダにおいて、
   前記内部リード接合等を行う接合位置の近傍に設
   けられ、回転自在に支承されたクリーニング用テ
   ーブルと、このクリーニング用テーブルと共に回
   転可能で、かつ径方向に若干傾き得るようにクリ
   ーニング用テーブルに保持されたクリーニング用
   回転台と、このクリーニング用回転台の上面に取
   付けられた砥石と、この砥石が前記ツールに密着
   するように前記クリーニング用回転台を上方に付
   勢する弾性部材と、前記クリーニング用テーブル
   を回転駆動するクリーニングテーブル用回転駆動
   機構とからなることを特徴とするボンダ用ツール
   クリーニング機構。 ２ 上下及び及びXY方向に移動可能に設けられ
   たツールで内部リード接合等を行うボンダにおい
   て、前記内部リード接合等を行う接合位置の近傍
   に設けられ、回転自在に支承されたクリーニング
   用テーブルと、このクリーニング用テーブルと共
   に回転可能で、かつ径方向に若干傾き得るように
   クリーニング用テーブルに保持されたクリーニン
   グ用回転台と、このクリーニング用回転台の上面
   に取付けられた砥石と、この砥石が前記ツールに
   密着するように前記クリーニング用回転台を上方
   に付勢する弾性部材と、前記クリーニング用テー
   ブルを回転駆動するクリーニングテーブル用回転
   駆動機構と、前記クリーニング用回転台の近傍に
   設けられ、前記砥石に空気を吹きつけるブロアー
   パイプ及びこのブロアーパイプからの空気を吸引
   する吸引ダクトとからなることを特徴とするボン
   ダ用ツールクリーニング機構。