JPH045555A - 発光分光検出器 - Google Patents
発光分光検出器Info
- Publication number
- JPH045555A JPH045555A JP10713390A JP10713390A JPH045555A JP H045555 A JPH045555 A JP H045555A JP 10713390 A JP10713390 A JP 10713390A JP 10713390 A JP10713390 A JP 10713390A JP H045555 A JPH045555 A JP H045555A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- sample
- microwave
- light
- induced plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、マイクロ波誘導プラズマを利用して試料中の
元素を分析する発光分光分析計に検出器として装着され
る発光分光検出器に関する。
元素を分析する発光分光分析計に検出器として装着され
る発光分光検出器に関する。
〈従来の技術〉
従来から知られている発光分光検出器は、実験的に試作
されて実験室などで使用されているものはかりである。
されて実験室などで使用されているものはかりである。
即ち、マイクロ波誘導プラズマを利用して試料中の元素
を分析する発光分光分析計用の発光分光検出器として市
販されているは見当たらない。
を分析する発光分光分析計用の発光分光検出器として市
販されているは見当たらない。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明は、かかる状況に鑑みてなされたものであり、そ
の目的は、高感度検出が可能なうえ保守性に優れた発光
分光検出器を提供することにある。
の目的は、高感度検出が可能なうえ保守性に優れた発光
分光検出器を提供することにある。
く問題点を解決するための手段〉
上述のような問題点を解決する本発明の特徴は、発光分
光検出器において、外管および内管でなる二重管構造の
放電管と、マイクロ波を空洞共鳴させて前記外管内にマ
イクロ波誘導プラズマを発生させるキャビティと、前記
マイクロ波誘導プラズマから発せられた光を前記外管の
軸方向にとり出して集光する光学系と、該光学系で集光
された光を分光して信号処理する信号処理部とを具偏し
、前記試料中の被測定元素を検出するようにしたことに
ある。
光検出器において、外管および内管でなる二重管構造の
放電管と、マイクロ波を空洞共鳴させて前記外管内にマ
イクロ波誘導プラズマを発生させるキャビティと、前記
マイクロ波誘導プラズマから発せられた光を前記外管の
軸方向にとり出して集光する光学系と、該光学系で集光
された光を分光して信号処理する信号処理部とを具偏し
、前記試料中の被測定元素を検出するようにしたことに
ある。
〈実施例〉
以下、本発明について図を用いて詳細に説明する。第１
図は本発明実施例の構成説明図であり、図中、１ａは例
えば石英管でなる外管、１ｂはたとえば石英管やステン
レス内管でなる内管、１は外管１ａと内管１とでなる二
重管構造の放電管、２ａ〜２ｃは接手、３ａ、３ｂはナ
ツト、４は試料導入口、５はマイクロ波発生器１０から
供給された例えば２゜４５ＧＨ，−のマイクロ波を空洞
共鳴させて外管１内にマイクロ波誘導プラズマ６を誘起
させる例えば円筒型のキャビティ、７は光学窓、８は集
光系であって凹面鏡８１と反射鏡８２を有している。ま
た、９は信号処理部、１１はスライダー １２は基台、
１３は支点、１４は調整ネジである。一方、第２図は調
整ネジ１４を説明するための断面図であり、図中、第１
図と同一記号は同一意味をもたせて使用しここでの重複
説明は省略する。
図は本発明実施例の構成説明図であり、図中、１ａは例
えば石英管でなる外管、１ｂはたとえば石英管やステン
レス内管でなる内管、１は外管１ａと内管１とでなる二
重管構造の放電管、２ａ〜２ｃは接手、３ａ、３ｂはナ
ツト、４は試料導入口、５はマイクロ波発生器１０から
供給された例えば２゜４５ＧＨ，−のマイクロ波を空洞
共鳴させて外管１内にマイクロ波誘導プラズマ６を誘起
させる例えば円筒型のキャビティ、７は光学窓、８は集
光系であって凹面鏡８１と反射鏡８２を有している。ま
た、９は信号処理部、１１はスライダー １２は基台、
１３は支点、１４は調整ネジである。一方、第２図は調
整ネジ１４を説明するための断面図であり、図中、第１
図と同一記号は同一意味をもたせて使用しここでの重複
説明は省略する。
このような構成からなる本発明の実施例において、導入
口４からプラズマガス（例えばＡｒやＨｅ）と−緒に導
入された試料（ｇＡＪえばｌｌｌｆＩ体パーティクル）
は、内管１ｂを通って供給され、マイクロ波誘導プラズ
マ６内で解離されて発光する。この発光スペクトルは、
外管１ａから軸方向に取出され光学窓７を介して光学系
８内に導かれて集光され、その後、スリット８３を通り
信号処理部９で分光されてのち信号処理され試料中の元
素が測定表示される。このため、内管１ｂの外壁の汚れ
などに影響されず試料中の被測定元素を正確に測定でき
る。
口４からプラズマガス（例えばＡｒやＨｅ）と−緒に導
入された試料（ｇＡＪえばｌｌｌｆＩ体パーティクル）
は、内管１ｂを通って供給され、マイクロ波誘導プラズ
マ６内で解離されて発光する。この発光スペクトルは、
外管１ａから軸方向に取出され光学窓７を介して光学系
８内に導かれて集光され、その後、スリット８３を通り
信号処理部９で分光されてのち信号処理され試料中の元
素が測定表示される。このため、内管１ｂの外壁の汚れ
などに影響されず試料中の被測定元素を正確に測定でき
る。
一方、測定終了後や保守作業時などには、次のようにし
て内管１ｂの交換が行われる。即ち、スライダー１１を
第１図の矢印方向にスライドさせて例えば６０ｍｍ引出
すことによって放電管１をキャピテイ５から引出し、そ
の後、３点１３を中心にして反時計方向に９０゛回転さ
せる。このようにすることによって、内管１ｂが第１図
の上方向から覗けるようになる。また、外管１ａを交換
した後、第２図の調整ネジ１４ａ〜１４Ｃ（第１図の調
整ネジ１４に相当する）を調整することにより、外管１
ａの中心に内管１ｂの中心を合わせることができる。
て内管１ｂの交換が行われる。即ち、スライダー１１を
第１図の矢印方向にスライドさせて例えば６０ｍｍ引出
すことによって放電管１をキャピテイ５から引出し、そ
の後、３点１３を中心にして反時計方向に９０゛回転さ
せる。このようにすることによって、内管１ｂが第１図
の上方向から覗けるようになる。また、外管１ａを交換
した後、第２図の調整ネジ１４ａ〜１４Ｃ（第１図の調
整ネジ１４に相当する）を調整することにより、外管１
ａの中心に内管１ｂの中心を合わせることができる。
尚、本発明は上述の実論例に限定されることなく種々の
変形が可能であり、例えば導入口４に前処理装置を付加
し、液体、気体、及び固体のいずれの試料をも測定可能
となるようにしてもよい。
変形が可能であり、例えば導入口４に前処理装置を付加
し、液体、気体、及び固体のいずれの試料をも測定可能
となるようにしてもよい。
また、集光系からの光を光ファイバーを用いて複数の信
号処理部に導き試料中に含まれている複数の元素を同時
に測定するようにしても良い。この場合、集光系で上述
のように効率良く光を取出せるため、光フアイバー内部
での感度低下が充分に補え高感度測定が可能となる。更
に、導入口４にキャピラリーを接続し極部（極限られた
部分）の試料ガスだけをサンプリングして分析するよう
にしても良い。
号処理部に導き試料中に含まれている複数の元素を同時
に測定するようにしても良い。この場合、集光系で上述
のように効率良く光を取出せるため、光フアイバー内部
での感度低下が充分に補え高感度測定が可能となる。更
に、導入口４にキャピラリーを接続し極部（極限られた
部分）の試料ガスだけをサンプリングして分析するよう
にしても良い。
〈発明の効果〉
以上詳しく説明したように、本発明は、発光分光検出器
において、外管および内管でなる二重管構造の放電管と
、マイクロ波を空洞共鳴させて前記外管内にマイクロ波
誘導プラズマを発生させるキャビティと、前記マイクロ
波誘導プラズマから発せられた光を前記外管の軸方向に
とり出して集光する光学系と、該光学系で集光された光
を分光してのち信号処理する信号処理部とを設け、前記
試料中の元素を検出するように構成した。
において、外管および内管でなる二重管構造の放電管と
、マイクロ波を空洞共鳴させて前記外管内にマイクロ波
誘導プラズマを発生させるキャビティと、前記マイクロ
波誘導プラズマから発せられた光を前記外管の軸方向に
とり出して集光する光学系と、該光学系で集光された光
を分光してのち信号処理する信号処理部とを設け、前記
試料中の元素を検出するように構成した。
このため、次の■〜■のような効果が得られ、その結果
、高感度検出が可能なうえ保守性に優れた発光分光検出
器が実現する。
、高感度検出が可能なうえ保守性に優れた発光分光検出
器が実現する。
■放電管の中心部にマイクロ波誘導プラズマを発生させ
ることができるため、試料を効率良く解離して強い発光
強度を得ることができるうえ、外管の損傷を軽減し長寿
命化か図れる。
ることができるため、試料を効率良く解離して強い発光
強度を得ることができるうえ、外管の損傷を軽減し長寿
命化か図れる。
■外管は通常石英管で構成されていて消耗品であるため
、本発明の場合のように構造が簡単であると、調整や交
換が容易で保守性に優れているという利点がある。
、本発明の場合のように構造が簡単であると、調整や交
換が容易で保守性に優れているという利点がある。
■光ファイバーを使用し光学系からの光取出し部分で摺
動させることにより、マイクロ波誘導プラズマの拡がり
の中で場所を変えて発光スペクトルを捕らえることも可
能である。
動させることにより、マイクロ波誘導プラズマの拡がり
の中で場所を変えて発光スペクトルを捕らえることも可
能である。
■前処理装置を付加することにより、液体、固体。
及び気体のいずれの試料をも測定できるようになる。
第１図は本発明実施例の構成説明図、第２図は調整ネジ
を説明するための断面図である。 １・・・放電管、１ａ・・・外管、２ｂ・・・内管、５
・・・キャビティ、７・・・光学窓、８・・・集光系、
８１・・・凹面鏡、８２・・・反射鏡、８３・・・スリ
ット９・・・信号処理部、１１・・・スライダー １２
・・・基台、１３・・・支点、１４・・・調整ネジ
を説明するための断面図である。 １・・・放電管、１ａ・・・外管、２ｂ・・・内管、５
・・・キャビティ、７・・・光学窓、８・・・集光系、
８１・・・凹面鏡、８２・・・反射鏡、８３・・・スリ
ット９・・・信号処理部、１１・・・スライダー １２
・・・基台、１３・・・支点、１４・・・調整ネジ
Claims (1)
- マイクロ波誘導プラズマを利用して試料中の元素を分析
する発光分光分析計に検出器として装着される発光分光
検出器において、外管および内管でなる二重管構造の放
電管と、マイクロ波を空洞共鳴させて前記外管内にマイ
クロ波誘導プラズマを発生させるキャビティと、前記マ
イクロ波誘導プラズマから発せられた光を前記外管の軸
方向にとり出して集光する光学系と、該光学系で集光さ
れた光を分光して信号処理する信号処理部とを具備し、
前記試料中の被測定元素を検出する発光分光検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10713390A JP2855777B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 発光分光検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10713390A JP2855777B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 発光分光検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH045555A true JPH045555A (ja) | 1992-01-09 |
| JP2855777B2 JP2855777B2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=14451340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10713390A Expired - Lifetime JP2855777B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 発光分光検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2855777B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007032161A1 (ja) | 2005-09-15 | 2007-03-22 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 非対称フルオレン誘導体及びそれらを用いた有機エレクトロルミネッセンス素子 |
| WO2007099983A1 (ja) | 2006-02-28 | 2007-09-07 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | フルオランテン誘導体及びインデノペリレン誘導体を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子 |
| WO2007138906A1 (ja) | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びフルカラー発光装置 |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP10713390A patent/JP2855777B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007032161A1 (ja) | 2005-09-15 | 2007-03-22 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 非対称フルオレン誘導体及びそれらを用いた有機エレクトロルミネッセンス素子 |
| WO2007099983A1 (ja) | 2006-02-28 | 2007-09-07 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | フルオランテン誘導体及びインデノペリレン誘導体を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子 |
| WO2007138906A1 (ja) | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びフルカラー発光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2855777B2 (ja) | 1999-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3623025B2 (ja) | 混合気体成分分析装置 | |
| US20040155202A1 (en) | Methods and apparatus for molecular species detection, inspection and classification using ultraviolet fluorescence | |
| Zhang et al. | Optical technology for detecting the decomposition products of SF6: a review | |
| US7170607B2 (en) | Gas identification device | |
| CN114486160B (zh) | 一种高焓流场热化学非平衡辨识分析方法 | |
| US20190041336A1 (en) | Isotopic measuring device | |
| JPH045555A (ja) | 発光分光検出器 | |
| Duan et al. | Design and development of a highly sensitive, field portable plasma source instrument for on-line liquid stream monitoring and real-time sample analysis | |
| EP1068515B1 (en) | Method and apparatus for analysis of gas compositions | |
| CA2706787C (en) | Laser multi-sensor system for the selective trace analysis of organic materials | |
| CN116106273A (zh) | 一种基于大气压等离子体发射光谱的检测系统 | |
| KR101364645B1 (ko) | 플라즈마 검출장치, 이를 구비하는 유도결합플라즈마 질량분석기 및 플라즈마와 이온신호의 상관관계 분석방법 | |
| JP2763907B2 (ja) | ブレイクダウン分光分析方法及び装置 | |
| JPH05312712A (ja) | 微細粒子測定方法及び微細粒子測定装置 | |
| JPH04328450A (ja) | プラズマ発生装置 | |
| CN105372191A (zh) | 一种气态单质汞光谱监测方法及其监测装置 | |
| JPH0719969A (ja) | 応力測定方法及びその装置 | |
| CN116223419B (zh) | 一种双光子法定量检测二氧化碳同位素的装置及光谱仪 | |
| JPH02229793A (ja) | ダイヤモンド合成中に生成されるガス種の検出方法及び装置 | |
| JP2820038B2 (ja) | Ｉｃｐ発光分光分析装置および光サンプリング装置 | |
| Bradter et al. | New studies of the plasma emission detector | |
| JPH0754294B2 (ja) | 微粒子測定装置 | |
| JPS59222746A (ja) | 安定同位体の測定方法および装置 | |
| KR200445465Y1 (ko) | 플라즈마를 이용한 소형화된 시료 검출 장치 | |
| CN115855895A (zh) | 一种石油性质分析系统 |