JPH045635U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH045635U JPH045635U JP4588590U JP4588590U JPH045635U JP H045635 U JPH045635 U JP H045635U JP 4588590 U JP4588590 U JP 4588590U JP 4588590 U JP4588590 U JP 4588590U JP H045635 U JPH045635 U JP H045635U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- rail
- cradle
- spin dryer
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図は本考案によるクレイドル起し機構を備
えたスピンドライヤを示す縦断面図、第２図はそ
の平面図、第３図は従来のクレイドル起し機構を
備えたスピンドライヤの平面図、そして第４図は
第３図のスピンドライヤの縦断面図である。 図中、１……ロータ、２……グローブ、３……
クレイドル、４……側板、５……軸、１０……レ
ール、１１……シヤフト、１２……ローラ、１４
……起し側板、１５……起し棒。
えたスピンドライヤを示す縦断面図、第２図はそ
の平面図、第３図は従来のクレイドル起し機構を
備えたスピンドライヤの平面図、そして第４図は
第３図のスピンドライヤの縦断面図である。 図中、１……ロータ、２……グローブ、３……
クレイドル、４……側板、５……軸、１０……レ
ール、１１……シヤフト、１２……ローラ、１４
……起し側板、１５……起し棒。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 所定枚数の半導体ウエハを収めたキヤリアを受
け入れてスピンドライヤのロータに設置するため
前記ロータに備えられる側板の間に前記側板に備
えられた軸により枢動可能に設置されるクレイド
ルの起し機構において、 一方の前記軸を前記側板の外側に延長すると共
に、その延長部に設けられたレールと、前記レー
ルに当接して前記レールを前記軸を支点に回動す
るため前記ロータを包囲するグローブの底板の孔
および前記ロータのベースプレートの孔を通るよ
うに上下に可動のシヤフトおよびその上端に備え
られたローラと、各前記軸に備えられた起し側板
の間に在つてクレイドルの外側部に当接し且つ前
記レールと共に回動するようになつている起し棒
を含むことを特徴とするスピンドライヤのクレイ
ドル起し機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4588590U JPH045635U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4588590U JPH045635U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH045635U true JPH045635U (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=31560462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4588590U Pending JPH045635U (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH045635U (ja) |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP4588590U patent/JPH045635U/ja active Pending
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