JPH0456818A - 光分岐結合器およびその製造方法 - Google Patents
光分岐結合器およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH0456818A JPH0456818A JP16402390A JP16402390A JPH0456818A JP H0456818 A JPH0456818 A JP H0456818A JP 16402390 A JP16402390 A JP 16402390A JP 16402390 A JP16402390 A JP 16402390A JP H0456818 A JPH0456818 A JP H0456818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- light
- light control
- groove
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用公費〉
本発明は、光通信や光信号処理等の分計で用いられる、
光分岐、光結合を行う光分岐結合器に関するものである
。
光分岐、光結合を行う光分岐結合器に関するものである
。
〈従来の技術〉
入力光を２つに分ける光分岐器の簡易な構成法として、
第６図に示すようなものがある（ｔｌ、Ｙａｎａｇａｗ
ａ、ｅｔ、ｍ！、、 ’Ｆｉｌｔｅｒ−Ｅｍｂｅｄｄｅ
ｄＤｓｓｉｇｎ ａｎｄ Ｔｔｓ Ａｐｐｌｉｃａｔｉ
ｏｎｓ ｔｏ ＰａｓｓｉｖｅＣｏｍｐｏｎｅｎｔｓ’
、ＩＥＥＥ Ｊ、Ｌｉｇｈｔ＊ａｖｅ Ｔｅｃｂｎ
ｏｌ、、ｖｏｌ。
第６図に示すようなものがある（ｔｌ、Ｙａｎａｇａｗ
ａ、ｅｔ、ｍ！、、 ’Ｆｉｌｔｅｒ−Ｅｍｂｅｄｄｅ
ｄＤｓｓｉｇｎ ａｎｄ Ｔｔｓ Ａｐｐｌｉｃａｔｉ
ｏｎｓ ｔｏ ＰａｓｓｉｖｅＣｏｍｐｏｎｅｎｔｓ’
、ＩＥＥＥ Ｊ、Ｌｉｇｈｔ＊ａｖｅ Ｔｅｃｂｎ
ｏｌ、、ｖｏｌ。
ＬＴ−７，ｐｐ、 １８４６−１６５３．１９８９参照
）。
）。
第６図において、第６図（ａ）は平面図、第６図（ｂ）
はその断面であって、１，２．３は光ファイバ、４はフ
ァイバ１の伝搬光を透過光と反射光に分ける薄片状の波
長フィルタで、５は光フィルタを配設する溝、６はファ
イバと光フィルタを固定するための基板を各々示してい
る。この構成によって、例えば波長フィルタ４として波
長λ１の光を透過させ、波長〜の光を反射させろものを
用いれば、光フアイバ１中を伝搬する２つの波長成分＾
□、＾２のうち透過する波長成分λ、は出力光ファイバ
２に、反射する波長成分λ２は出力光ファイバ３に導か
れる。
はその断面であって、１，２．３は光ファイバ、４はフ
ァイバ１の伝搬光を透過光と反射光に分ける薄片状の波
長フィルタで、５は光フィルタを配設する溝、６はファ
イバと光フィルタを固定するための基板を各々示してい
る。この構成によって、例えば波長フィルタ４として波
長λ１の光を透過させ、波長〜の光を反射させろものを
用いれば、光フアイバ１中を伝搬する２つの波長成分＾
□、＾２のうち透過する波長成分λ、は出力光ファイバ
２に、反射する波長成分λ２は出力光ファイバ３に導か
れる。
この光分岐器は、基板６に予め設けられたファイバガイ
ド溝中に光ファイバ１と２ （この状態で両光ファイバ
は切断されていない）、および光ファイバ３を接着剤等
で固定した後、分岐部を横断するように溝５を形成する
。この溝５中に波長フィルタ４を配設し、接着剤で固定
する。
ド溝中に光ファイバ１と２ （この状態で両光ファイバ
は切断されていない）、および光ファイバ３を接着剤等
で固定した後、分岐部を横断するように溝５を形成する
。この溝５中に波長フィルタ４を配設し、接着剤で固定
する。
この工程かられかるように、光ファイバ１と光ファイバ
２はもともと同一のファイバであり、また固定された状
態で切断されたのであるから、両者の光軸は一致してい
る。また、フィルタを配設するための溝を数十μｍ以下
にすることによって、光ファイバ１から出射した光は、
波長フィルタを透過後、さほど大きな損失を受けること
なく光ファイバ２に結合する。
２はもともと同一のファイバであり、また固定された状
態で切断されたのであるから、両者の光軸は一致してい
る。また、フィルタを配設するための溝を数十μｍ以下
にすることによって、光ファイバ１から出射した光は、
波長フィルタを透過後、さほど大きな損失を受けること
なく光ファイバ２に結合する。
〈発明が解決しようとする課題〉
ところが、反射された光を光ファイバ３に低損失で結合
させるのは簡単ではない。この事情を第７図の分岐部の
詳細図で説明する。
させるのは簡単ではない。この事情を第７図の分岐部の
詳細図で説明する。
第７図において第７図（ａ）は低損失で結合する場合、
第７図（ｂｌは損失が大きくなる場合である。同図中７
は波長フィルタの誘電体多層膜部分、８は透明な基板部
であり、その他は第６図と同じである。第７図（ａ）の
場合には光ファイバ１と光ファイバ３の光軸の交点即ち
分岐点と誘電体多層膜７の膜面が一致しているが、第７
図（ｂ）では一致していない。
第７図（ｂｌは損失が大きくなる場合である。同図中７
は波長フィルタの誘電体多層膜部分、８は透明な基板部
であり、その他は第６図と同じである。第７図（ａ）の
場合には光ファイバ１と光ファイバ３の光軸の交点即ち
分岐点と誘電体多層膜７の膜面が一致しているが、第７
図（ｂ）では一致していない。
このため、第７図（ｂｌに示す場合では、反射した光は
光ファイバ３のコア中心からずれた場所で光ファイバ３
に入射する。このような場合、例えば、ファイバ１と３
に比屈折率差０．３％、コア径１０μｍ前後の単一モー
ドファイバを用いると、反射点の位置が５μｍずれるだ
けで２ ｄＢ以上の損失が生じる。従って、損失を２
ｄＢ以下にするには波長フィルタ４の反射点を決める溝
５の位置精度を５μｍ以下にする必要があるが、機械的
な加工ではこのような精度を再現良く得るのは困難であ
る。
光ファイバ３のコア中心からずれた場所で光ファイバ３
に入射する。このような場合、例えば、ファイバ１と３
に比屈折率差０．３％、コア径１０μｍ前後の単一モー
ドファイバを用いると、反射点の位置が５μｍずれるだ
けで２ ｄＢ以上の損失が生じる。従って、損失を２
ｄＢ以下にするには波長フィルタ４の反射点を決める溝
５の位置精度を５μｍ以下にする必要があるが、機械的
な加工ではこのような精度を再現良く得るのは困難であ
る。
この問題を回避するため、光ファイバ３としてコア径と
開口（ＮＡ）の大きいファイバを使用すれば、反射光を
低損失で光ファイバ３に結合させることができることが
提案されている。上記文献によると、光ファイバ１とし
てコア径１０μｍ、比屈折率差０．３％の単一モードフ
ァイバを、光ファイバ３としてコア径５０μｍ、比屈折
率差１％の多モードファイバを用いれば反射光の結合損
失は０．３ｄＢ程度となる。この場合、反射点の位置は
±２０μｍ程度ばらついても良いので、波長フィルタ４
を固定する溝の加工精度はかなり緩いものとなる。
開口（ＮＡ）の大きいファイバを使用すれば、反射光を
低損失で光ファイバ３に結合させることができることが
提案されている。上記文献によると、光ファイバ１とし
てコア径１０μｍ、比屈折率差０．３％の単一モードフ
ァイバを、光ファイバ３としてコア径５０μｍ、比屈折
率差１％の多モードファイバを用いれば反射光の結合損
失は０．３ｄＢ程度となる。この場合、反射点の位置は
±２０μｍ程度ばらついても良いので、波長フィルタ４
を固定する溝の加工精度はかなり緩いものとなる。
しかしながら、この方法を用いたものでは、光ファイバ
３を伝搬中にモードが変わってしまうこと、光の方向を
逆にすると光ファイバ３から光ファイバ１への光は殆ど
結合しないから光結合器としては機能しない欠点がある
。
３を伝搬中にモードが変わってしまうこと、光の方向を
逆にすると光ファイバ３から光ファイバ１への光は殆ど
結合しないから光結合器としては機能しない欠点がある
。
す上のことは、第６図において光ファイバ金光導波路に
置き換えた光導波路型分岐器でもあてはまる。
置き換えた光導波路型分岐器でもあてはまる。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、低損失
な光分岐及び光結合をなし得る光分岐結合器およびその
製造方法を提供することを目的とする。
な光分岐及び光結合をなし得る光分岐結合器およびその
製造方法を提供することを目的とする。
く課題を解決するための手段〉
前記目的を達成するための本発明に係る光分岐結合器の
構成は、光導波路の交差部に入力光を分岐結合させろ光
制御層を有する光分岐結合・器において、上記光制御層
は、先導波路の交差部に形成された溝内を移動可能な光
制御部材に設けられており、該光制御部材の移動方向が
光制御層と交差する方向で且つ光制御部材の移動により
光制御層がその厚さ方向に平行移動することを特徴とす
る。
構成は、光導波路の交差部に入力光を分岐結合させろ光
制御層を有する光分岐結合・器において、上記光制御層
は、先導波路の交差部に形成された溝内を移動可能な光
制御部材に設けられており、該光制御部材の移動方向が
光制御層と交差する方向で且つ光制御部材の移動により
光制御層がその厚さ方向に平行移動することを特徴とす
る。
また本発明に係る光分岐結合器の製造方法は、交差する
光導波路の交差部に溝を形成する工程と、該溝に光制御
部材を配設し、前記溝に沿って光制御部材を移動して光
導波路の中心線が交差する点と該光制御部材の光制御層
とが一致する位置で該光制御部材を固定する工程とを備
えたことを特徴とする。
光導波路の交差部に溝を形成する工程と、該溝に光制御
部材を配設し、前記溝に沿って光制御部材を移動して光
導波路の中心線が交差する点と該光制御部材の光制御層
とが一致する位置で該光制御部材を固定する工程とを備
えたことを特徴とする。
更に、上記の構成の光分岐結合器において、上記光導波
路の代わりに光ファイバを用いることを特徴とし、上記
の構成の光分岐結合器の製造方法において、上記導波路
の代わりに光ファイバを用いることを特徴とする。
路の代わりに光ファイバを用いることを特徴とし、上記
の構成の光分岐結合器の製造方法において、上記導波路
の代わりに光ファイバを用いることを特徴とする。
く作 用〉
本発明においては、光制御素子を溝に配設する場合、該
光制御素子を構成する上記光制御層は、先導波路の交差
部に形成された溝内を移動可能な光制御部材に設けられ
ており、該光制御部材の移動方向が光制御層と交差する
方向で且つ光制御部材の移動により光１１卯層がその厚
さ方向に平行移動することで、結果として光制御層が溝
に対して傾いているため、光制御素子を溝に沿って移動
させることにより、交差する光導波路もしくは光ファイ
バの交点に当該光制御層を一致させることができる。従
って、反射光を低損失で光導波路もしくは光ファイバに
結合させることができる。
光制御素子を構成する上記光制御層は、先導波路の交差
部に形成された溝内を移動可能な光制御部材に設けられ
ており、該光制御部材の移動方向が光制御層と交差する
方向で且つ光制御部材の移動により光１１卯層がその厚
さ方向に平行移動することで、結果として光制御層が溝
に対して傾いているため、光制御素子を溝に沿って移動
させることにより、交差する光導波路もしくは光ファイ
バの交点に当該光制御層を一致させることができる。従
って、反射光を低損失で光導波路もしくは光ファイバに
結合させることができる。
く実 施 例〉
以下、本発明の好適な一実施例を説明する。
第１図は、本発明の光分岐結合器の第１の実施例を示し
、異なる波長を分岐または結合するもので、いわゆる光
分岐器または光合波器への適用例である。図中９，１０
．１１は先導波路のコア、１２は光導波路のクラッド、
１３は光制御部材としての波長フィルタ、１６は溝であ
る。波長フィルタ１３は第２図の斜視図で示すように、
入射光を透過光と反射光に分ける光制御層としての多層
膜部１４とこれを挾むくさび状のガラス部分１５．１５
から成り、多層膜部１４の膜面ばガラスの互いに平行な
２つの面１７，１８に対して所定角度θ煩いており、全
体として厚さｔを有している。
、異なる波長を分岐または結合するもので、いわゆる光
分岐器または光合波器への適用例である。図中９，１０
．１１は先導波路のコア、１２は光導波路のクラッド、
１３は光制御部材としての波長フィルタ、１６は溝であ
る。波長フィルタ１３は第２図の斜視図で示すように、
入射光を透過光と反射光に分ける光制御層としての多層
膜部１４とこれを挾むくさび状のガラス部分１５．１５
から成り、多層膜部１４の膜面ばガラスの互いに平行な
２つの面１７，１８に対して所定角度θ煩いており、全
体として厚さｔを有している。
この光分岐器の製造法を第１図を用いて説明する。先ず
光導波１１９と１１の光軸の交点、即ち分岐点を含むよ
うな溝１６を形成する。
光導波１１９と１１の光軸の交点、即ち分岐点を含むよ
うな溝１６を形成する。
この溝１６の形成は、光導波路９と１１の光軸の中心２
等分線と垂直な方向よりθだけ傾いた方向に形成する。
等分線と垂直な方向よりθだけ傾いた方向に形成する。
θだけ傾けるのは、波長フィルタ１３を溝に挿入した状
態で多層膜部１４の膜面と光導波路９と１１の光軸の中
心２等分線と垂直な方向を一致させるためである。溝１
６の幅は波長フィルタ１３の厚さよりやや広めに設定す
る。しかる後に、波長フィルタ１３を溝１６に挿入する
とともに、光導波路９より光を導入し光導波路１１の光
出力強度をモニタしながら、波長フィルタ１３を溝１６
に沿って移動させる。モニタ光量が最大の位置で波長フ
ィルタ１３を固定する。
態で多層膜部１４の膜面と光導波路９と１１の光軸の中
心２等分線と垂直な方向を一致させるためである。溝１
６の幅は波長フィルタ１３の厚さよりやや広めに設定す
る。しかる後に、波長フィルタ１３を溝１６に挿入する
とともに、光導波路９より光を導入し光導波路１１の光
出力強度をモニタしながら、波長フィルタ１３を溝１６
に沿って移動させる。モニタ光量が最大の位置で波長フ
ィルタ１３を固定する。
なお、光波長フィルタ１３を透過して光導波路１０から
出力する光強度は波長フィルタ１３の位置に依らず一定
である。
出力する光強度は波長フィルタ１３の位置に依らず一定
である。
このように、光導波路９と光導波路１１との交差部に入
力光λ１．λ２を分岐結合させろ光制御層１４を有する
光分岐結合器において、上記光制御層１４が、光導波＠
９，１０の交差部に形成された溝内１６を移動可能な光
制御部材１３に設けられていると共に、溝１６は、光導
波路９と光導波路１１との光軸の中心２等分線と垂直な
方向すなわち光制御層１４と同方向よりθだけ傾けた方
向に形成されてなるので、該光制御部材１３の移動方向
が光制御層と交差する方向で且つ光制御部材１３の移動
により光制御層１４がその厚さ方向に平行移動すること
となり、光導波路９，１０の中心線が交差する点と該光
制御層１４とが一致することとなる。
力光λ１．λ２を分岐結合させろ光制御層１４を有する
光分岐結合器において、上記光制御層１４が、光導波＠
９，１０の交差部に形成された溝内１６を移動可能な光
制御部材１３に設けられていると共に、溝１６は、光導
波路９と光導波路１１との光軸の中心２等分線と垂直な
方向すなわち光制御層１４と同方向よりθだけ傾けた方
向に形成されてなるので、該光制御部材１３の移動方向
が光制御層と交差する方向で且つ光制御部材１３の移動
により光制御層１４がその厚さ方向に平行移動すること
となり、光導波路９，１０の中心線が交差する点と該光
制御層１４とが一致することとなる。
上記の方法で光分岐器を作製した。光制御部材としての
波長フィルタ１３には１．３μｍの波長を透過し１．５
μｍの波長を反射するように設計された光制御層として
の誘電体多層膜１４（二酸化チタンと二酸化シリコンの
交互膜）がガラスで挾まれた構造のものを用い、その厚
さｔ１大きさは、それぞれ４５μｍ１２ｘ４ｍ２である
。先導波路９〜１１は、基板厚０．７論、コア径８×８
μゴ、比屈折率差０．２５％の石英系ガラス導波路であ
る。石英ガラス光導波路は、通常、Ｓｉ基板の上にスー
ト堆積、ガラス化処理、ドライエツチングによるパター
ン化によって作製される（湾内： 「導波路型光回路素
子」、オプトロニクス、ｖｏｌ、 ８０． ｐ、 ８５
（１９８９，９）参照）。
波長フィルタ１３には１．３μｍの波長を透過し１．５
μｍの波長を反射するように設計された光制御層として
の誘電体多層膜１４（二酸化チタンと二酸化シリコンの
交互膜）がガラスで挾まれた構造のものを用い、その厚
さｔ１大きさは、それぞれ４５μｍ１２ｘ４ｍ２である
。先導波路９〜１１は、基板厚０．７論、コア径８×８
μゴ、比屈折率差０．２５％の石英系ガラス導波路であ
る。石英ガラス光導波路は、通常、Ｓｉ基板の上にスー
ト堆積、ガラス化処理、ドライエツチングによるパター
ン化によって作製される（湾内： 「導波路型光回路素
子」、オプトロニクス、ｖｏｌ、 ８０． ｐ、 ８５
（１９８９，９）参照）。
また、溝１６は市販のダイシングソーを用いて幅５０μ
ｍ、深さ２５０μｍのものを形成した。分岐角（光導波
路９と光導波路１１とのなす角度）は、誘電体多層膜の
偏光依存性の影響を受けないように３０度に選んだ。作
製した光分岐器の光導波路９から波長１．３μｍの光を
入力するとその出力は光導波路１０から、また光導波Ｉ
Ｉ９から波長１．５μｍの光を入力するとその出力は先
導波路１１から出射された。この時入力光量と出力光量
の比から、波長フィルタを透過する１、３μｍの光に対
しては損失０．５ｄＢが、波長フィルタ １３に反射さ
れた１、５μｍの光に対しては損失０．７ｄＢが得られ
た。また、光の入出力を逆にしても同じ損失であった。
ｍ、深さ２５０μｍのものを形成した。分岐角（光導波
路９と光導波路１１とのなす角度）は、誘電体多層膜の
偏光依存性の影響を受けないように３０度に選んだ。作
製した光分岐器の光導波路９から波長１．３μｍの光を
入力するとその出力は光導波路１０から、また光導波Ｉ
Ｉ９から波長１．５μｍの光を入力するとその出力は先
導波路１１から出射された。この時入力光量と出力光量
の比から、波長フィルタを透過する１、３μｍの光に対
しては損失０．５ｄＢが、波長フィルタ １３に反射さ
れた１、５μｍの光に対しては損失０．７ｄＢが得られ
た。また、光の入出力を逆にしても同じ損失であった。
このことから、波長フィルタの位置精度は±２μｍ以内
と換算され、本発明の有効性が確認された。
と換算され、本発明の有効性が確認された。
第３図は、本発明の光分岐結合器の第２の実施例を示す
もので、第１の実施例とは光導波路の代わりに光ファイ
バを用いた点が異なる。同図中１９．２０．２１は光フ
ァイバ、２２は光制御部材としての波長フィルタ、２２
ａは波長フィルタに設けられた光制御層としての多層膜
部、２３は波長フィルタが配設される溝、２４は光ファ
イバを固定する基板である。この光ファイバを用いる場
合には、光ファイバ１９〜２１を固定するための溝２６
が各々形成された基板２４を予め用意する必要がある。
もので、第１の実施例とは光導波路の代わりに光ファイ
バを用いた点が異なる。同図中１９．２０．２１は光フ
ァイバ、２２は光制御部材としての波長フィルタ、２２
ａは波長フィルタに設けられた光制御層としての多層膜
部、２３は波長フィルタが配設される溝、２４は光ファ
イバを固定する基板である。この光ファイバを用いる場
合には、光ファイバ１９〜２１を固定するための溝２６
が各々形成された基板２４を予め用意する必要がある。
光ファイバ１９，２０，２１として、外径１２５μｍ１
コア径１０μｍ１比屈折率差０．３％の単一モードファ
イバを、波長フィルタ２２には第１の実施例と同じもの
を用いて作製したものでは、透過光の損失は上記第１の
実施例とほぼ同じであったが、反射光の損失はやや大き
かった。これは、反射した光は光ファイバ１９のクラッ
ド中を伝搬する際に増加したものである。
コア径１０μｍ１比屈折率差０．３％の単一モードファ
イバを、波長フィルタ２２には第１の実施例と同じもの
を用いて作製したものでは、透過光の損失は上記第１の
実施例とほぼ同じであったが、反射光の損失はやや大き
かった。これは、反射した光は光ファイバ１９のクラッ
ド中を伝搬する際に増加したものである。
第４図は、本発明の光分岐結合器の第３の実施例を示す
もので、光制御部材としては偏光分離膜を用いろ場合で
ある。第４図において、２５，２６，２７は光導波路の
コア、２８はクラッド、２９は偏光分離フィルタ、３０
は溝である。光導波路のコア２５と光導波路のコア２７
との分岐角は９０度の場合を示しているが、この角度に
限定されるものではない（通常使用される偏光分離プリ
ズムはこの角度のものが多い）。この構成によって、光
導波路のコア２５の伝搬光は基板に平行な偏光成分と基
板に垂直な偏光成分に分離されて出力導波路のコア２６
．２７から出力される。
もので、光制御部材としては偏光分離膜を用いろ場合で
ある。第４図において、２５，２６，２７は光導波路の
コア、２８はクラッド、２９は偏光分離フィルタ、３０
は溝である。光導波路のコア２５と光導波路のコア２７
との分岐角は９０度の場合を示しているが、この角度に
限定されるものではない（通常使用される偏光分離プリ
ズムはこの角度のものが多い）。この構成によって、光
導波路のコア２５の伝搬光は基板に平行な偏光成分と基
板に垂直な偏光成分に分離されて出力導波路のコア２６
．２７から出力される。
光導波路の場合には構造の非対称性に起因する偏波保持
性を有するので、分離後の偏光方向は出力導波路内にお
いて一定方向に保持される点で好都合である。
性を有するので、分離後の偏光方向は出力導波路内にお
いて一定方向に保持される点で好都合である。
第１の実施例と同じパラメータで、分岐角が９０度の光
導波路を用いて偏光分離器を作製した。偏光フィルタ２
９も第２図のものと同じ寸法とした。但し、多層膜２９
ａには偏光分離用に設計されたものである（構成として
は波長フィルタの場合と同じ二酸化チタンと二酸化シリ
コンの交互膜）。偏光フィルタ２９を最適点で固定する
ことによって、第１の実施例と同じ０．５〜０．７ｄＢ
程度の低損失な特性が得られた。入出力を入れ換えても
この損失は同じであった。
導波路を用いて偏光分離器を作製した。偏光フィルタ２
９も第２図のものと同じ寸法とした。但し、多層膜２９
ａには偏光分離用に設計されたものである（構成として
は波長フィルタの場合と同じ二酸化チタンと二酸化シリ
コンの交互膜）。偏光フィルタ２９を最適点で固定する
ことによって、第１の実施例と同じ０．５〜０．７ｄＢ
程度の低損失な特性が得られた。入出力を入れ換えても
この損失は同じであった。
本発明の第４の実施例は、第４図に示す第３の実施例に
おいて、光導波路２５〜２７に代えて光ファイバを用い
たものである。用いる光ファイバとしては、偏光方向を
保持するために、偏波保持光ファイバが望ましい。
おいて、光導波路２５〜２７に代えて光ファイバを用い
たものである。用いる光ファイバとしては、偏光方向を
保持するために、偏波保持光ファイバが望ましい。
第５図は、本発明の光分岐結合器の第５の実施例を示す
もので、光分岐器を同じ基板上に複数個作製したもので
ある。第５図において、３１，３２，３３はアレイ状の
光導波路コア部分、３４は光導波路のクラッド部分、３
５は光制御部材、３６は光制御部材の多層膜部分、３７
は溝である。図では、光制御部材３５を溝３７に沿って
移動させた後、多層膜３６の膜面と点線で示した４対の
光導波路の分岐点が一致した様子を描いている。
もので、光分岐器を同じ基板上に複数個作製したもので
ある。第５図において、３１，３２，３３はアレイ状の
光導波路コア部分、３４は光導波路のクラッド部分、３
５は光制御部材、３６は光制御部材の多層膜部分、３７
は溝である。図では、光制御部材３５を溝３７に沿って
移動させた後、多層膜３６の膜面と点線で示した４対の
光導波路の分岐点が一致した様子を描いている。
本発明の第６の実施例では、光制御層として例えばＡｊ
、Ｃｒ、Ａｕ等の金属膜を用いる場合である。この場合
、入射光を特定の比率で反射光と透過光に分ける光分岐
器もしくは光結合器を得ることができる。
、Ｃｒ、Ａｕ等の金属膜を用いる場合である。この場合
、入射光を特定の比率で反射光と透過光に分ける光分岐
器もしくは光結合器を得ることができる。
尚、上述した方法においては、座標のＸ−Ｙ軸面に導波
路及び溝を設けるようにしているが、本発明はこれに限
定されず座標のＸ −Ｙ軸面に導波路又は光ファイバを
、Ｚ軸方向に溝を設けるようにしてもよい。
路及び溝を設けるようにしているが、本発明はこれに限
定されず座標のＸ −Ｙ軸面に導波路又は光ファイバを
、Ｚ軸方向に溝を設けるようにしてもよい。
〈発明の効果〉
以上説明したように本発明による光分岐器では、分岐部
に配設する光制御部材を最適な位置に設定できるので、
分岐損失を小さくできろ効果がある。また、本発明によ
る光分岐器では入力光導波路もしくは光ファイバと分岐
出力用の光導波路もしくは光ファイバを同一のパラメー
タで構成できるので、入出力の方向を特にきめる必要が
なく、光分岐、光結合兼用の部品を提供できる。
に配設する光制御部材を最適な位置に設定できるので、
分岐損失を小さくできろ効果がある。また、本発明によ
る光分岐器では入力光導波路もしくは光ファイバと分岐
出力用の光導波路もしくは光ファイバを同一のパラメー
タで構成できるので、入出力の方向を特にきめる必要が
なく、光分岐、光結合兼用の部品を提供できる。
第１図は本発明の第１実施例に係る光分岐結合器の概略
図、第２図は本実施例の光制御部材の斜視図、第３図は
第２実施例に係る光分岐結合器の概略図、第４図は第３
実施例に係る光分岐結合器の概略図、第５図は第５実施
例に係る光分岐結合器の概略図、第６図は従来例に係る
光分岐器の概略図、第７図はその部分拡大図である。 図面中、 １、２．３． １９．２０． ２１は光ファイバ、４．
１３．２２は波長フィルタ、 ５．１６，２３，３０は溝、 ６は光フアイバ固定用基板、 ７．１４は波長フィルタの誘電体多層膜部、８．１５は
波長フィルタの基板部、 ９．１０，１１，２５，２６，２７，３１゜３２．３３
は光導波路のコア、 １２．２８，３４は光導波路のクラッド、２４は基板、 ２９は偏光分離フィルタである。
図、第２図は本実施例の光制御部材の斜視図、第３図は
第２実施例に係る光分岐結合器の概略図、第４図は第３
実施例に係る光分岐結合器の概略図、第５図は第５実施
例に係る光分岐結合器の概略図、第６図は従来例に係る
光分岐器の概略図、第７図はその部分拡大図である。 図面中、 １、２．３． １９．２０． ２１は光ファイバ、４．
１３．２２は波長フィルタ、 ５．１６，２３，３０は溝、 ６は光フアイバ固定用基板、 ７．１４は波長フィルタの誘電体多層膜部、８．１５は
波長フィルタの基板部、 ９．１０，１１，２５，２６，２７，３１゜３２．３３
は光導波路のコア、 １２．２８，３４は光導波路のクラッド、２４は基板、 ２９は偏光分離フィルタである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）光導波路の交差部に入力光を分岐結合させる光制御
層を有する光分岐結合器において、上記光制御層は、光
導波路の交差部に形成 された溝内を移動可能な光制御部材に設けられており、
該光制御部材の移動方向が光制御層と交差する方向で且
つ光制御部材の移動により光制御層がその厚さ方向に平
行移動することを特徴とする光分岐結合器。 ２）交差する光導波路の交差部に溝を形成する工程と、
該溝に光制御部材を配設し、前記溝に沿って光制御部材
を移動して光導波路の中心線が交差する点と該光制御部
材の光制御層とが一致する位置で該光制御部材を固定す
る工程とを備えた光分岐結合器の製造方法。３）請求項
１記載の光分岐結合器において、上記光導波路の代わり
に光ファイバを用い ることを特徴とする光分岐結合器。 ４）請求項２記載の光分岐結合器の製造方法において、 上記光導波路の代わりに光ファイバを用い ることを特徴とする光分岐結合器の製造方法。 ５）請求項１又は３記載の光分岐結合器において、 上記光制御層が誘電体多層膜もしくは金属 膜であることを特徴とする光分岐結合器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16402390A JPH0456818A (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 | 光分岐結合器およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16402390A JPH0456818A (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 | 光分岐結合器およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0456818A true JPH0456818A (ja) | 1992-02-24 |
Family
ID=15785327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16402390A Pending JPH0456818A (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 | 光分岐結合器およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0456818A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6493150B2 (en) | 1997-06-02 | 2002-12-10 | Olympus Optical Co., Ltd. | Real image mode variable magnification finder |
| US7313297B2 (en) | 2003-09-12 | 2007-12-25 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Wavelength multi/demultiplexer |
| WO2013136393A1 (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | 日本電気株式会社 | 偏光合成分離器、偏光合成分離構造、光ミキサ、光変調器モジュール、及び偏光合成分離器の製造方法 |
-
1990
- 1990-06-25 JP JP16402390A patent/JPH0456818A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6493150B2 (en) | 1997-06-02 | 2002-12-10 | Olympus Optical Co., Ltd. | Real image mode variable magnification finder |
| US7313297B2 (en) | 2003-09-12 | 2007-12-25 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Wavelength multi/demultiplexer |
| WO2013136393A1 (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | 日本電気株式会社 | 偏光合成分離器、偏光合成分離構造、光ミキサ、光変調器モジュール、及び偏光合成分離器の製造方法 |
| CN104169762A (zh) * | 2012-03-16 | 2014-11-26 | 日本电气株式会社 | 偏振束合成/分离器、偏振束合成/分离结构、光混合器、光学调制器模块和制造偏振束合成/分离器的方法 |
| JPWO2013136393A1 (ja) * | 2012-03-16 | 2015-07-30 | 日本電気株式会社 | 偏光合成分離器、偏光合成分離構造、光ミキサ、光変調器モジュール、及び偏光合成分離器の製造方法 |
| US9442248B2 (en) | 2012-03-16 | 2016-09-13 | Nec Corporation | Polarization beam combiner/splitter, polarization beam combining/splitting structure, light mixer, optical modulator module, and method for manufacturing polarization beam combiner/splitter |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4693544A (en) | Optical branching device with internal waveguide | |
| US4765702A (en) | Glass integrated optical component | |
| US4431260A (en) | Method of fabrication of fiber optic coupler | |
| EP0557713A1 (en) | Planar optical waveguides with planar optical elements | |
| JPH10319262A (ja) | 光導波路構造および平面光導波装置 | |
| EP0289332A1 (en) | Optical device | |
| US10598857B2 (en) | Techniques for reducing polarization, wavelength and temperature dependent loss, and wavelength passband width in fiberoptic components | |
| JP2988515B2 (ja) | 光導波路 | |
| KR20050074290A (ko) | 광섬유 및 평면 광학 도파관을 치밀하게 결합하는 방법 및장치 | |
| JP2871893B2 (ja) | フィルタ付き分岐結合器 | |
| KR20010076354A (ko) | 섬유광학 편광기 및 그 제조방법 | |
| JPH08313744A (ja) | 光回路部品 | |
| JPH09159865A (ja) | 光導波路の接続構造 | |
| JPH0456818A (ja) | 光分岐結合器およびその製造方法 | |
| US20030174960A1 (en) | Optical tap | |
| JPH0627334A (ja) | 光導波路 | |
| JPS6360410A (ja) | 光デバイスの製造方法 | |
| JP2730901B2 (ja) | 光機能デバイス | |
| US5883991A (en) | Optical waveguide circulator | |
| JP2004145246A (ja) | 平面型二次元導波路および二次元導波路型光学装置 | |
| JP2752848B2 (ja) | 干渉フィルタ付光導波路の作製方法 | |
| JPH05333221A (ja) | 光導波路デバイス | |
| JPH0618734A (ja) | 導波路型光分岐結合器 | |
| JPH07261041A (ja) | 導波路交差型光分岐素子及び光集積回路 | |
| JPS63106606A (ja) | 光合分波器 |