JPH0457267B2

JPH0457267B2 -

Info

Publication number: JPH0457267B2
Application number: JP60197306A
Authority: JP
Inventors: Juji Oohara
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1985-09-06
Filing date: 1985-09-06
Publication date: 1992-09-11
Also published as: JPS6258770A

Description

【発明の詳細な説明】（発明の分野）本発明は光偏向器により光ビームを走査せしめ
る光ビーム走査装置に関し、特に詳細には装置全
体の小型化、低コスト化を図ることのできる光ビ
ーム走査装置に関するものである。

（発明の技術的背景および先行技術）従来より、光偏向器によつて光ビームを偏向
し、走査シート上を相対的に２次元的に走査せし
める光ビーム走査装置が、各種走査記録走査、走
査読取装置等において広く使用されている。これ
らの光ビーム走査装置における、光ビームの２次
元的走査は、光ビームを光偏向器により偏向して
走査シート上を主走査せしめるとともに、光ビー
ムと走査シートとを相対的に前記主走査方向と略
垂直な副走査方向に移動させることにより行なわ
れる。しかしながら、従来の装置においては、上
記副走査を行なう手段のために装置が大型化す
る、光学系が複雑で高価なものとなる等の種々の
問題が生じている。以下、第３図および第４図を
参照して従来の光ビーム走査装置の問題について
説明する。

第３図に示す光ビーム走査装置において、ビー
ム光源１０１から発せられた光ビーム１０２は光
偏向器である回転多面鏡１０３に入射し、回転多
面鏡が矢印Ａ方向に回転するのに伴つて反射偏向
される。回転多面鏡１０３により反射された光ビ
ームは、光路上に設けられた、結像レンズである
fθレンズ１０４を通過した後、走査シート１０５
上を矢印Ｂ方向に主走査する。前記走査シート１
０５は、矢印Ｃ方向に回転する回転ドラム１０６
と、該回転ドラム上に設けられた一対のローラ１
０７Ａ，１０７Ｂにより挟持されながら回転ドラ
ム１０６が回転するのに伴つて前記主走査方向と
略直角な矢印Ｄ方向に搬送されることにより副走
査される。従つて光ビーム１０２はこのように矢
印Ｄ方向に搬送される（副走査される）走査シー
ト１０５上を繰り返し矢印Ｂ方向に主走査するこ
とによつて走査シート１０５を２次元的に走査す
る。

しかしながら、上記の装置においては、副走査
を走査シートを移動させることによつて行なつて
いるが、副走査中にモータ１０８への負荷変動を
極力抑えて副走査ムラを生じさせないようにする
ため、図示のように光ビームによる走査位置の前
後に、走査シート１０５を支持する支持台１０
９，１１０を配するなどして、それぞれ走査シー
ト１枚を配することの可能なスペースを設ける必
要がある。このため、上記装置においては、副走
査方向に走査シート２枚分以上の長さを有するス
ペースが必要となり、装置全体が大型化してしま
うという問題がある。また走査シートを搬送する
回転ドラム１０６は走査シートを安定して搬送す
るために、走査シートの幅よりも大きい幅を有す
るものとなつており、またこの回転ドラム１０６
を回転させるモータ１０８がさらに回転ドラムの
幅方向に設けられているので上記の装置は主走査
方向にも大きなものとなる。

さらに、走査シートを搬送しつつ、走査シート
に高精度な走査を行なうためには、走査シートを
一定速度で正確な方向に高精度に搬送することが
できるようにモータを厳密に制御する必要があ
り、上記制御の可能な高精度なモータは高価であ
ることから、装置全体のコストが大幅に上昇して
しまうという問題もある。また走査シートを安定
して搬送するためには前記ローラ１０７Ａ，１０
７Ｂは不可欠であるが、これらのローラが設けら
れていることにより、走査シートの副走査方向の
両端には走査を行なうことができず、例えば装置
が光ビーム記録装置である場合には両端部をブラ
ツクエツジにしたいという要求に応じられない。

このように、副走査を走査シートを搬送するこ
とによつて行なう光ビーム走査装置には種々の問
題点がある。そこでこれらの問題点に鑑みて走査
シートを移動させずに副走査を行なう装置も提案
されており、以下、第４図を参照して走査シート
が固定されてなる光ビーム走査装置について説明
する。なお、第３図に示した装置と同一の部分に
は同一番号を付しその説明を省略する。

第４図に示す装置には、矢印Ａ方向に回転して
光ビーム１０２を反射偏向し、走査シート１１１
上において矢印Ｂ方向に主走査を行なわしめる回
転多面鏡１０３とともに、矢印Ｃ方向に低速度で
回動し、所定位置に固定された走査シート１１１
を主走査線が矢印Ｄ方向に移動するように光ビー
ムを反射偏向する副走査用ガルバノメータミラー
１１２が設けられている。すなわち、副走査用ガ
ルバノメータミラー１１２は、１枚の走査シート
に対して走査を行なう間に、低速度で光ビームの
主走査方向と略垂直な方向である矢印Ｃ方向に一
回回動するものであり、光ビーム１０２は、前記
回転多面鏡１０３と副走査用ガルバノメータミラ
ー１１２により走査シート１１１の全面を２次元
方向に走査せしめられる。副走査用ガルバノメー
タミラー１１２は、１枚の走査シートに対する走
査が終了すると再び元の位置に戻つて次の走査シ
ートに対する走査に備える。また、副走査用ガル
バノメータミラー１１２と走査シート１１１の間
には結像レンズであるfθレンズ１１３が設けられ
ており、このfθレンズは回転多面鏡１０３および
副走査用ガルバノメータミラー１１２により等角
速度で反射偏向される光ビームを、平坦な走査シ
ート面上において直線状に等速で走査せしめる。

ところで上記の装置においては、回転多面鏡１
０３により偏向されて広がつた光路をとる光ビー
ムを、比較的小さい副走査用ガルバノメータミラ
ーの反射面に入射させるために、一旦光ビームの
光路を集束させ、この集束位置を経た後再び回転
多面鏡による偏向を再現して広がるように光ビー
ムの光路を調整するリレーレンズ１１４が設けら
れている。前記副走査用ガルバノメータミラー
は、このリレーレンズ１１４により光ビームの光
路が集束する位置に配されており、光ビームはリ
レーレンズ１１４によりもれなく副走査用ガルバ
ノメータミラーに入射せしめられて偏向される。
副走査用ガルバノメータミラーに反射偏向された
後、光ビームは前記回転多面鏡１０３の偏向に対
応した角度で再び光路を広げるので、走査シート
１１１上においては必要な長さの主走査線が得ら
れる。

しかしながら、第４図に示す装置には、上記の
ように結像レンズ１１３の他にリレーレンズ１１
４が設けられているので、光学系が複雑なものと
なり、装置の小型化を十分に達成することができ
ない。またリレーレンズを設けることにより光学
素子の点数が多くなつて製造コストが上昇すると
いう問題もある。

（発明の目的）本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので
あり、走査シートを移動させずに副走査を行な
い、走査シートの移動に伴なう装置の大型化等の
種々の問題を解消するとともに、高価な光学素子
を備えた複雑な光学系を用いることなく走査を行
なうことにより、装置全体を一層小型化し、製造
コストを低減することのできる光ビーム走査装置
を提供することを目的とするものである。

（発明の構成）本発明の光ビーム走査装置は、ビーム光源から発せられた光ビームの光路上に
設けられ、該光ビームを偏向する主走査用光偏向
器、該主走査用光偏向器により偏向された光ビーム
の光路上に設けられた結像レンズ、該結像レンズを通過した光ビームの光路上に設
けられて反射面により該光ビームを反射するミラ
ーであつて、前記結像レンズを通過した光ビーム
の光路を含む平面または該平面に平行な平面と、
該結像レンズの光軸に垂直な平面との交線をほぼ
回動軸として回動する副走査用ミラー、および該副走査用ミラーの駆動軸と略一致した中心軸
を有する円弧面状に走査シートを保持する走査シ
ート保持手段とを備えたことを第１の特徴とする
ものである。

すなわち、本発明の光ビーム走査装置において
は、走査シートは走査シート保持手段により固定
されているので、走査シートを搬送して副走査を
行なう場合のように、装置を副走査方向に大きな
ものとする必要がなくなり、装置全体をコンパク
トにすることができる。また、主走査用光偏向器
により反射された光ビームは主走査用結像レンズ
通過後、直接副走査用ミラーにより反射されて副
走査されるので、リレーレンズ等を設ける必要が
なく、光学系が単純、安価なものとなる。なお、
副走査用ミラーには、主走査用光偏向器により偏
向されて光路の広がつた光ビームが入射するの
で、光学系の設計上、主走査方向に延びた長尺の
ミラーであることが好ましい。

ところで上記のように本発明の装置において
は、走査シートは走査シート保持手段により円弧
面状に保持されるため、この円弧状の保持位置に
走査シートを確実に搬入し、走査シートを正確に
位置決めし、保持位置から走査シートを確実に搬
出することが必要である。そこで本発明の装置
は、走査シート保持手段の一端近傍に設けられ、
前記走査シートを前記走査シート保持手段上の所
定位置の手前まで搬入する搬入手段、前記走査シ
ート保持手段の他端近傍に設けられたシート搬出
手段、および前記走査シート保持手段の前記一端
近傍に設けられ、前記走査シートの後端を押し
て、搬入された走査シートを前記所定位置へ向け
て移動させ、また前記所定位置にある走査シート
を、該走査シートの先端が前記搬出手段に把持さ
れる位置まで移動させることの可能な走査シート
送り出し板を有することを第２の特徴とするもの
である。

（実施態様）以下、図面を参照して本発明の実施態様につい
て説明する。

第１図は本発明の光ビーム走査装置一実施態様
である光ビーム記録装置の概要を示す斜視図であ
る。

レーザ光源１から発せられた光ビーム２は、画
像信号を出力する画像信号出力回路８から発せら
れる信号に基づいて変調器駆動回路７により変調
される変調器６に入射して変調された後、矢印Ａ
方向に回転する主走査用光偏向器である回転多面
鏡３に入射して偏向される。前記レーザ光源１と
してはHe−Neレーザ、Arレーザ等の他に、半
導体レーザとビーム整形光学系が組み合わせられ
てなるレーザ光源等が用いられる。また、半導体
レーザ等直接変調を行なうことの可能なレーザ光
源を用いる場合には、変調器６を光ビーム２の光
路中に特に設けずに、レーザ光源を直接制御して
光ビームの変調を行なうこともできる。さらに主
走査用光偏向器としては上記回転多面鏡の他に、
ガルバノメータミラー、音響光学式光偏向器
（AOD）等の他の種類の光偏向器を用いてもよ
い。

前記回転多面鏡３により偏向された光ビームは
光路上に設けられた、fθレンズ等の結像レンズ４
を通過した後、モータ９により駆動されて低速度
で矢印Ｃ方向に回動する、主走査方向に延びた長
尺の副走査用反射ミラー１０の反射面１０ａに入
射して反射される。また、この副走査用ミラー１
０の下方の、副走査ミラーにより反射された光ビ
ームの光路上には、写真感光フイルム、印画紙等
のシート状の記録体５が、円弧状の保持面１１ａ
を有する記録体保持手段１１により円弧面状に保
持されている。この保持手段１１は、例えば板状
物を曲げたり、合成樹脂等を用いて一体成形を行
なうこと等によつて形成されたものである。また
記録体５の形成する円弧面の中心軸は前記副走査
用ミラー１０の回動軸とほぼ一致したものとなつ
ている。

上記のように記録体５が記録体保持手段１１上
に保持されると、前記回転多面鏡３により偏向さ
れた光ビーム２は記録体５上を矢印Ｂ方向に主走
査する。前記結像レンズ４は、光ビーム２を記録
体５上に収束させると共に主走査方向に平坦な記
録体５上において、前記回転多面鏡３により略等
角速度で偏向された光ビームを略等速で走査せし
めるレンズである。また前記副走査用ミラー１０
は前記結像レンズ４を通過した光ビームの光路を
含む平面または該平面に平行な平面と、結像レン
ズ４の光軸に垂直平面との交線をほぼ回動軸とし
て矢印Ｃ方向に低速度で回動するものであり、望
ましくは、反射面１０ａ上の光ビーム２の反射位
置と回動軸とが一致したものとなつている。な
お、この副走査用ミラーの回動軸は、ミラーの厚
み方向の中心位置等、光ビームの走査精度上問題
とならない範囲内において上記反射位置からやや
ずれた位置であつてもよい。

この副走査用ミラー１０は、１枚の記録体に対
して画像情報の記録を行なう間に、前記矢印Ｃ方
向に、記録体全面を光ビームが走査するのに十分
な所定角度だけ回動するものであり、この副走査
用ミラーの回動により、光ビーム２が記録体５上
に形成する主走査線は、徐々に矢印Ｄ方向に移動
せしめられて副走査が行なわれる。従つて光ビー
ム２は前記回転多面鏡３と副走査用ミラー１０に
より、記録体の全面を２次元的に走査せしめられ
る。

上記のように副走査用ミラー１０が、所定の速
度で所定の角度だけ回動し、記録体全面に亘つて
必要な画像情報の記録が行なわれると、副走査用
ミラー１０は前記回動方向と逆方向に回動する、
或いは前記回動方向にさらに回動して１回転する
等して初期位置に戻され、次の記録体に対する記
録に備える。なお、本実施態様においては、第１
図に示すように記録体保持手段１１上に光検出器
１２を取り付け、この光検出器１２により光ビー
ムを検出させ、画像記録走査開始位置を決めるよ
うになつている。すなわち、副走査用ミラー１０
を初期位置から矢印Ｃ方向に回動させ光ビームが
記録体５の端部に到達したことを検出し、この時
点で光変調器６を画像信号に基づいて作動して光
ビーム２の変調行い、記録体５に画像記録を開始
するようになつている。

このように、本発明の装置においては、記録体
を固定し、副走査用ミラー１０を回動させて光ビ
ームを移動させることにより副走査を行なつてい
るので、記録体側を移動させる場合に比べ、装置
の副走査方向の大きさを半分程度にまで縮少する
ことができる。また、副走査用ミラー１０を、上
記実施態様におけるように主走査方向に延びた長
尺のものとした場合においても、副走査用ミラー
１０の主走査方向の長さは、光ビームの入射を許
すのに十分な長さであればよく、記録体上の主走
査線の長さよりも短いもので十分であるので、副
走査用ミラー１０とモータ９をあわせても、前記
記録体保持手段の主走査方向の長さよりも短い長
さにすることが十分可能であり、本発明の装置は
主走査方向にもコンパクトなものとなる。なお、
副走査用ミラー１０は、主走査用光偏向器に十分
近接して配することのできる場合には必ずしも長
尺である必要はなく、またその形状も上述した回
動軸を中心として回動し、光ビームの入射を漏れ
なく許すものであれば任意の形状であつてよい。
また、副走査用ミラー１０を駆動させるモータ９
は、負荷変動等が生じないのでその制御が容易で
あり、比較的安価なモータを用いることができ
る。さらに、シート保持手段１１に保持された記
録体５にはその副走査方向の前端から後端まで光
ビームを照射させて記録体全面に記録を行なうこ
とができるので、記録体の両端をブラツクエツジ
（黒くすること）にすることも可能である。なお
記録体の種類により、記録体５が記録体保持手段
１１の保持面１１ａにうまくなじまず、円弧面状
に維持することの難しい場合には、記録体保持手
段１１内に吸着手段を設けて記録体を保持面１１
ａ上に吸着すればよい。

また、本発明の装置においては、上述のように
主走査用光偏向器３により偏向された光ビーム２
を全て入射せしめる副走査用ミラー１０が設けら
れているので光ビーム２の光路を調整するリレー
レンズ等を設ける必要がなく光学系が簡略にな
り、装置が一層コンパクトなものとなるととも
に、その製造コストを低減させることができる。

ところで、上述のように本実施態様の装置にお
いて、記録体５は記録体保持手段１１により保持
面１１ａ上の所定位置に円弧面状に保持される。
このため、光ビームの走査に先立つて、記録体５
は円弧状の保持面に沿つて確実に搬入され、保持
面上の所定位置に正確に位置決めされるととも
に、走査終了後、円弧状の保持面に沿つて確実に
搬出される必要がある。そこで上記装置には、記
録体の搬入手段、搬出手段および位置決め手段が
設けられている。以下、第１図および第２図を参
照して上記各手段について説明する。

前記記録体保持手段１１の一端近傍には記録体
の搬入手段である一対の搬入ローラ１３Ａ，１３
Ｂが設けられている。この搬入ローラ１３Ａ，１
３Ｂは、記録体搬入時に、第２図ａに示すように
複数の記録体５が収納されているマガジン１４か
ら吸着手段１６により１枚ずつ吸着され枚葉され
た後、ガイド板１５に案内されて落下する記録体
５を把持し、矢印方向に回転して記録体５を保持
面１１ａに沿つて搬入する。

前記搬入ローラ１３Ａ，１３Ｂは、その回転に
より記録体を矢印F₁方向に送り、第２図ｂに示
すように記録体５を保持面１１ａ上の、記録体５
を保持すべき所定位置の手前まで搬送する。

このように所定位置の手前まで搬送された記録
体５は、記録体保持手段１１の一端近傍に設けら
れ、第１図に示すようにモータ１７により回動駆
動される回動軸１８に固着された、記録体送り出
し板１９により、所定位置まで移動せしめられ
る。すなわち、第２図ａに示すように搬入ローラ
１３Ａ，１３Ｂにより記録体５が保持面１１ａ上
に搬入されている際には、記録体送り出し板１９
は保持面１１ａ上から退却した位置にあるが、搬
入ローラ１３Ａ，１３Ｂにより記録体が保持面１
１ａ上の所定位置の手前まで搬入されると第２図
ｂに示すように矢印E₁方向に回動して記録体後
端に当接する位置に移動する。続いてこの記録体
送り出し板１９は第２図ｃに示すようにさらに矢
印E₂方向に回動して記録体５の後端を押しなが
ら、記録体を矢印F₂方向に所定位置へと移動さ
せる。

前記記録体保持手段１１には、前記所定位置に
おいて記録体の先端が位置する部分に反射型フオ
トインタラプタ、リミツトスイツチ等の検出器２
０が設けられており、この検出器２０は前記記録
体送り出し板１９により押されて所定位置に至つ
た記録体の先端を検出して検出信号を発する。こ
の検出信号は記録体送り出し板１９の駆動部材に
伝えられ、記録体送り出し板の矢印E₂方向の回
動を停止させる。このように保持面１１ａ上の所
定位置に記録体５が配置されると、第２図ｄに示
すように記録体送り出し板１９は矢印E₃方向に
やや退却し、この状態において光ビームによる２
次元走査が行なわれる。

光ビームによる記録が終了すると、第２図ｅに
示すように、記録体送り出し板１９は矢印E₄方
向に回動して記録体５の先端を押して記録体５を
記録体保持手段１１の他端側に移動させる。記録
体保持手段１１の他端近傍には記録体の搬出手段
である一対の搬出ローラ２１Ａ，２１Ｂが設けら
れており、記録体送り出し板１９はこの搬出ロー
ラ２１Ａ，２１Ｂにより記録体の先端が把持され
るまで記録体の後端を押して移動せしめる。この
ように搬出ローラ２１Ａ，２１Ｂに把持された記
録体５は、この搬出ローラの回転により矢印F₃
方向に移動せしめられ、記録装置外方に搬出され
る。なお、装置から搬出された記録体は例えば自
動現像機やレシーブマガジンに搬入されるが、前
記搬出ローラは自動現像機の入口ローラを兼ねる
ものであつてもよい。このように記録体が装置外
に搬出されると、記録体送り出し板１９は、矢印
E₄方向と逆方向である矢印E₅方向に回動し、新
たな記録体の搬入を許すように第２図ａに示す位
置まで戻る。なお前記検出器２０の設けられる位
置は上述した位置に限られるものではなく、例え
ば記録体保持手段内の、記録体が保持される所定
位置において記録体の後端が位置する部分に検出
器を設け、所定位置に配された記録体の後端を検
出させるようにしてもよい。

また、記録体５の所定位置での停止、位置決め
は、位置決め精度があまり要求されない場合に
は、必ずしも検出器２０を用いる必要はなく、例
えば、前記記録体送り出し板１９を駆動するモー
タ１７の作動時間を適当に定めて記録体送り出し
板１９を記録体５が所定位置まで移動せしめられ
る位置で停止させるようにしてもよい。この場
合、モータ１７としてパルスモータを用いれば、
容易に制御を行うことができる。

上記のように本実施態様の装置においては搬入
ローラ、搬出ローラが設けられるとともに記録体
の先端位置を検出する検出器、記録体を上記のよ
うに移動させる記録体送り出し板が設けられてい
ることにより、記録体の搬入、搬出および位置決
めを確実に行なうことができる。なお、第１図に
示すように、記録体が所定の記録位置に配された
際に、記録体保持手段１１の側端に設けられたガ
イド板２２に、矢印方向に回動して記録体を押し
つける幅寄せ板２３を設ければ記録体の主走査方
向の位置決めも高精度に行なうことができる。

以上、本発明の光ビーム走査装置について、光
ビーム記録装置を例に挙げて説明したが、本発明
の装置は、本出願人により既に提案された、輝尽
性蛍光体シートを使用した放射線画像情報記録再
生システム（特開昭55−12429号、同56−11395
号、同56−11397号など）において用いられる放
射線画像情報読取装置等種々の光ビーム読取装置
にも適用することができるものであり、光ビーム
読取装置においても上述した効果を同じように達
成することができるものであり、この場合には副
走査ミラーの回動に連動して走査シート上を読取
手段が走査線に対向するよう移動するようにすれ
ばよい。

（発明の効果）以上詳細に説明したように、本発明の光ビーム
走査装置によれば、走査シートを固定して副走査
を行なうことにより、装置全体を特に副走査方向
に小型化することができる。さらに副走査用反射
ミラーにより副走査を行ない、かつ走査シートを
円弧面状にしたことにより、装置内の光学系を簡
略化することができ、装置全体の一層の小型化を
図ることが可能となる。また用いられる光学素子
の点数を減らしかつ高価な光学素子を用いる必要
をなくすことができるとともに副走査用のモータ
を安価なものにすることができるので装置の製造
コストを大きく低減させることができる。

さらに、搬入手段および搬出手段により走査シ
ートの搬入、搬出を行なうとともに、走査シート
送り出し板により走査シートの位置決めを行なう
ことにより、円弧面状の保持面上への走査シート
の搬入、位置決め、および搬出を確実に行なうこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施態様による光ビーム記
録装置の概要を示す斜視図、第２図ａ〜ｅは上記
装置への記録体の搬入、搬出および位置決めを説
明する概略図、第３図および第４図は従来の光ビ
ーム走査装置の概要を示す斜視図である。１……ビーム光源、２……光ビーム、３……回
転多面鏡、４……結像レンズ、５……記録体、１
０……副走査用ミラー、１１……記録体保持手
段、１３Ａ，１３Ｂ……搬入ローラ、１９……記
録体送り出し板、２０……検出器、２１Ａ，２１
Ｂ……搬出ローラ。

Claims

【特許請求の範囲】１ビーム光源から発せられた光ビームを走査シ
ート上において主走査方向に走査せしめるととも
に、前記光ビームと前記走査シートとを相対的に
前記主走査方向と略直交する副走査方向に移動さ
せて前記走査シート上に前記光ビームを２次元的
に走査せしめる光ビーム走査装置において、前記ビーム光源から発せられた光ビームの光路
上に設けられ、該光ビームを偏向する主走査用光
偏向器、該主走査用光偏向器により偏向された光ビーム
の光路上に設けられた結像レンズ、該結像レンズを通過した光ビームの光路上に設
けられて反射面により該光ビームを反射するミラ
ーであつて、前記結像レンズを通過した光ビーム
の光路を含む平面または該平面に平行な平面と、
該結像レンズの光軸に垂直な平面との交線をほぼ
回動軸として回動する副走査用ミラー、および該副走査用ミラーの回動軸と略一致した中心軸
を有する円弧面状に前記走査シートを保持する走
査シート保持手段を備え、該走査シート保持手段の一端近傍に設けられ、
前記走査シートを前記走査シート保持手段上の所
定位置の手前まで搬入する搬入手段、前記走査シ
ート保持手段の他端近傍に設けられたシート搬出
手段、および前記走査シート保持手段の前記一端
近傍に設けられ、前記走査シートの後端を押し
て、搬入された走査シートを前記所定位置へ向け
て移動させ、また前記所定位置にある走査シート
を、該走査シートの先端が前記搬出手段に把持さ
れる位置まで移動させることの可能な走査シート
送り出し板を有することを特徴とする光ビーム走
査装置。