JPH0457384A - 半導体レーザ - Google Patents
半導体レーザInfo
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- JPH0457384A JPH0457384A JP2170464A JP17046490A JPH0457384A JP H0457384 A JPH0457384 A JP H0457384A JP 2170464 A JP2170464 A JP 2170464A JP 17046490 A JP17046490 A JP 17046490A JP H0457384 A JPH0457384 A JP H0457384A
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- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野]
この発明は、D B R(Distributed B
ragg Reflector )型波長可変半導体レ
ーザに関し、特に波長可変領域で発熱および有害な発光
の生じない半導体レーザに関するものである。
ragg Reflector )型波長可変半導体レ
ーザに関し、特に波長可変領域で発熱および有害な発光
の生じない半導体レーザに関するものである。
第2図は従来のDBR型波長波長可変半導体レーザ例を
示す断面図であり、図において、■はn側電極、2はn
型1nPクランド層、3はn型InGaAs P光ガイ
ド層、4はn型1nPバリア層、5はI n G a
A、 s P活性層、6はP型InPクラッド層、7は
P型1nGaAsPコンタククト層、8はゲイン領域、
9はフェーズマンチング領域、10は波長可変領域、1
1はゲイン領域P側電極、12はフェーズマツチング領
域P側電極、13は波長可変領域P@電掻、14はレー
ザ光、15は端面、16はブラッグ反射器である。
示す断面図であり、図において、■はn側電極、2はn
型1nPクランド層、3はn型InGaAs P光ガイ
ド層、4はn型1nPバリア層、5はI n G a
A、 s P活性層、6はP型InPクラッド層、7は
P型1nGaAsPコンタククト層、8はゲイン領域、
9はフェーズマンチング領域、10は波長可変領域、1
1はゲイン領域P側電極、12はフェーズマツチング領
域P側電極、13は波長可変領域P@電掻、14はレー
ザ光、15は端面、16はブラッグ反射器である。
次に動作について説明する。基本的には、光ガイド層に
グレーティング(ブラッグ反射器16)を持つDBRレ
ーザである。ゲイン領域PIJ電極11とn(l!It
極1間に、順方向の電圧を印加することによりI nG
aAs P活性115に正孔および電子が注入され、発
生を生ずる。この光は、活性層5よりも屈折率が低く、
クランド層2.6およびバリア層4よりも屈折率が高い
n型InGaAsP光ガイド層にまで広がり、ゲイン領
域8例の端面15とブラング反射器16間を往復する。
グレーティング(ブラッグ反射器16)を持つDBRレ
ーザである。ゲイン領域PIJ電極11とn(l!It
極1間に、順方向の電圧を印加することによりI nG
aAs P活性115に正孔および電子が注入され、発
生を生ずる。この光は、活性層5よりも屈折率が低く、
クランド層2.6およびバリア層4よりも屈折率が高い
n型InGaAsP光ガイド層にまで広がり、ゲイン領
域8例の端面15とブラング反射器16間を往復する。
そして、上記順方向電圧がある一定値(しきい値電圧)
以上になると、この光は、ゲイン領域8において、内部
損失および放射損失の和に等しいだけのゲインを得るよ
うになりレーザ発振にいたり、レーザ光14を得る。ま
た、ブラッグ反射器は、特定の波長の光のみを高効率に
反射するように形成されているので、特定の波長で発振
する。ここで、波長可変領域P側電極13とn側電極1
間に順方向電圧を印加すると、ブラッグ反射器16に正
孔および電子が注入され、プラズマ効果により、同反射
器の屈折率が減少し、ブラッグ反射器16が高効率に反
射する波長が、短波長化する。即ち、波長可変領域10
に引加する順方向電圧を変化させることで、レーザ光の
波長を変化させることができる。なお、フェーズマツチ
ング領域P側電極12とn側電極1間に適当な順方向電
圧を印加することで、ゲイン領域8.フェーズマツチン
グ領域9.波長可変領域10間のフェーズをマツチング
することができる。
以上になると、この光は、ゲイン領域8において、内部
損失および放射損失の和に等しいだけのゲインを得るよ
うになりレーザ発振にいたり、レーザ光14を得る。ま
た、ブラッグ反射器は、特定の波長の光のみを高効率に
反射するように形成されているので、特定の波長で発振
する。ここで、波長可変領域P側電極13とn側電極1
間に順方向電圧を印加すると、ブラッグ反射器16に正
孔および電子が注入され、プラズマ効果により、同反射
器の屈折率が減少し、ブラッグ反射器16が高効率に反
射する波長が、短波長化する。即ち、波長可変領域10
に引加する順方向電圧を変化させることで、レーザ光の
波長を変化させることができる。なお、フェーズマツチ
ング領域P側電極12とn側電極1間に適当な順方向電
圧を印加することで、ゲイン領域8.フェーズマツチン
グ領域9.波長可変領域10間のフェーズをマツチング
することができる。
従来のDBR型波長波長可変半導体レーザ上のように構
成されているので、波長を変化させる場合に、波長可変
領域にも電流が流れ、同領域に発熱および有害な発光(
光ガイド層の発光)が生じるなどの問題点があった。
成されているので、波長を変化させる場合に、波長可変
領域にも電流が流れ、同領域に発熱および有害な発光(
光ガイド層の発光)が生じるなどの問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、波長可変領域で発熱および有害な発光が生
じない波長可変半導体レーザを得ることを目的とする。
れたもので、波長可変領域で発熱および有害な発光が生
じない波長可変半導体レーザを得ることを目的とする。
この発明に係る波長可変半導体レーザは、量子井戸構造
を含むブラッグ反射器を備え、該量子井戸構造に逆バイ
アスを印加するようにしたものである。
を含むブラッグ反射器を備え、該量子井戸構造に逆バイ
アスを印加するようにしたものである。
この発明においては、ブラッグ反射器を量子井戸構造を
含むものとし、該量子井戸構造に逆方向電圧を印加して
、ブラッグ反射器の屈折率を変化させて波長を変化させ
るようにしたから、波長可変領域に電流が流れることは
なく、該領域における発熱1発光を防止できる。
含むものとし、該量子井戸構造に逆方向電圧を印加して
、ブラッグ反射器の屈折率を変化させて波長を変化させ
るようにしたから、波長可変領域に電流が流れることは
なく、該領域における発熱1発光を防止できる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第1図は本発明の一実施例によるDBR型波長波長可変
半導体レーザす断面図であり、図において、第2図と同
一符号は同−又は相当部分である。
半導体レーザす断面図であり、図において、第2図と同
一符号は同−又は相当部分である。
また、17はn型MQW光ガイド層、18は絶縁領域で
ある。
ある。
次に動作について説明する。基本的な動作は、従来例で
述べたものとほぼ同一であるので、従来例と異なる点の
みを説明する。
述べたものとほぼ同一であるので、従来例と異なる点の
みを説明する。
本実施例においては、波長可変領域1oは、ゲイン領域
8およびフェーズマツチング領域9との間に例えばプロ
トン注入により形成した絶縁領域18を設けており、電
気的に独立であり、この波長可変領域10のみに逆方向
電圧を印加することができる。同領域に逆方向電圧を印
加した場合、n型MQW光カイト層17に形成されたブ
ラッグ反射器16に主として逆バイアス電圧が印加され
、量子井戸構造の性質として、同反射器の屈折率が大き
く変化し、結果として大きく発振波長を変化できる。こ
の場合、波長可変領域lOには、はとんど電流が流れな
いので発熱もせず、有害な発光(MQW光ガイド層の発
光)も生しない。
8およびフェーズマツチング領域9との間に例えばプロ
トン注入により形成した絶縁領域18を設けており、電
気的に独立であり、この波長可変領域10のみに逆方向
電圧を印加することができる。同領域に逆方向電圧を印
加した場合、n型MQW光カイト層17に形成されたブ
ラッグ反射器16に主として逆バイアス電圧が印加され
、量子井戸構造の性質として、同反射器の屈折率が大き
く変化し、結果として大きく発振波長を変化できる。こ
の場合、波長可変領域lOには、はとんど電流が流れな
いので発熱もせず、有害な発光(MQW光ガイド層の発
光)も生しない。
なお、上記実施例ではMQW光ガイド層17にグレーテ
ィングを設けてブラ・ノブ反射器を構成したものについ
て述べたが、単層の光ガイド層にグレーティングを設け
、このグレーティング上にMQW構造のバリア層をグレ
ーティングに沿って形成してブラッグ反射器を構成して
もよく、またクランド層2上に周期的な凸部を設け、こ
の凸部に沿ったM Q W光ガイド層を形成してブラッ
グ反射器を構成してもよい。
ィングを設けてブラ・ノブ反射器を構成したものについ
て述べたが、単層の光ガイド層にグレーティングを設け
、このグレーティング上にMQW構造のバリア層をグレ
ーティングに沿って形成してブラッグ反射器を構成して
もよく、またクランド層2上に周期的な凸部を設け、こ
の凸部に沿ったM Q W光ガイド層を形成してブラッ
グ反射器を構成してもよい。
また、上記実施例ではInGaAsP系半導体レーザに
おける場合について説明したが、他の■−■族化合物半
導体レーザ、II−VI族化合物半導体レーザでも同様
の効果が得られる。
おける場合について説明したが、他の■−■族化合物半
導体レーザ、II−VI族化合物半導体レーザでも同様
の効果が得られる。
以上のように、本発明によれば、ブラッグ反射器を量子
井戸構造としたので発熱、有害発光の少ない波長可変半
導体レーザが得られる効果がある。
井戸構造としたので発熱、有害発光の少ない波長可変半
導体レーザが得られる効果がある。
第1図はこの発明の一実施例による波長可変半導体レー
ザを示す断面図、第2図は従来の波長可変半導体レーザ
を示す断面図である。 1はn側電極、2はn型1nPクラッド層、3はn型1
nGaAs P光ガイド層、4はn型InPバリア層
、5はI nGaAs P活性層、6はP型InPクラ
ッド層、7はP型1 nGaAs Pコンタクト層、8
はゲイン領域、9はフェーズマツチング領域、10は波
長可変領域、11はゲイン領域P@電極、12はフエー
ズマンチング領域P側電極、13は波長可変領域P側電
極、14はレーザ光、15は端面、16はブラッグ反射
器、17はn型MQW光ガイド層、18は絶縁領域。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
ザを示す断面図、第2図は従来の波長可変半導体レーザ
を示す断面図である。 1はn側電極、2はn型1nPクラッド層、3はn型1
nGaAs P光ガイド層、4はn型InPバリア層
、5はI nGaAs P活性層、6はP型InPクラ
ッド層、7はP型1 nGaAs Pコンタクト層、8
はゲイン領域、9はフェーズマツチング領域、10は波
長可変領域、11はゲイン領域P@電極、12はフエー
ズマンチング領域P側電極、13は波長可変領域P側電
極、14はレーザ光、15は端面、16はブラッグ反射
器、17はn型MQW光ガイド層、18は絶縁領域。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- (1)ブラッグ反射器を含む波長可変領域を有する半導
体レーザにおいて、 上記ブラック反射器は量子井戸構造を含み、かつ該量子
井戸構造に逆バイアスを印加することにより上記ブラッ
グ反射器が高効率に反射する波長が変化するように構成
したことを特徴とする半導体レーザ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2170464A JPH0457384A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | 半導体レーザ |
| US07/721,714 US5157681A (en) | 1990-06-27 | 1991-06-26 | Wavelength-tunable distributed Bragg reflector semiconductor laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2170464A JPH0457384A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | 半導体レーザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0457384A true JPH0457384A (ja) | 1992-02-25 |
Family
ID=15905426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2170464A Pending JPH0457384A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | 半導体レーザ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5157681A (ja) |
| JP (1) | JPH0457384A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100420950B1 (ko) * | 2001-12-12 | 2004-03-02 | 한국전자통신연구원 | 파장 가변 레이저 광원 |
Families Citing this family (6)
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|---|---|---|---|---|
| JPH06347734A (ja) * | 1993-06-11 | 1994-12-22 | Nec Corp | 面型光スイッチ |
| US5832014A (en) * | 1997-02-11 | 1998-11-03 | Lucent Technologies Inc. | Wavelength stabilization in tunable semiconductor lasers |
| US6717964B2 (en) * | 2001-07-02 | 2004-04-06 | E20 Communications, Inc. | Method and apparatus for wavelength tuning of optically pumped vertical cavity surface emitting lasers |
| US20040226232A1 (en) * | 2002-06-07 | 2004-11-18 | Comfort Design, Inc. | Fenestration frame assemblies, e.g. retrofit window frame assemblies, and methods of installing same |
| WO2012126001A2 (en) * | 2011-03-17 | 2012-09-20 | Finisar Corporation | Lasers with ingaas(p) quantum wells with indium ingap barrier layers with reduced decomposition |
| US9508891B2 (en) * | 2014-11-21 | 2016-11-29 | Epistar Corporation | Method for making light-emitting device |
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| JPH0632332B2 (ja) * | 1984-08-24 | 1994-04-27 | 日本電気株式会社 | 半導体レ−ザ装置 |
| JPS6179283A (ja) * | 1984-09-26 | 1986-04-22 | Nec Corp | 分布ブラツグ反射型半導体レ−ザ |
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| JPH0656908B2 (ja) * | 1987-03-31 | 1994-07-27 | 日本電信電話株式会社 | 波長変換素子 |
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| FR2639773B1 (fr) * | 1988-11-25 | 1994-05-13 | Alcatel Nv | Laser a semi-conducteur accordable |
| NL8803080A (nl) * | 1988-12-16 | 1990-07-16 | Philips Nv | Verstembare halfgeleiderdiodelaser met verdeelde reflectie en vervaardigingswijze van een dergelijke halfgeleiderdiodelaser. |
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-
1990
- 1990-06-27 JP JP2170464A patent/JPH0457384A/ja active Pending
-
1991
- 1991-06-26 US US07/721,714 patent/US5157681A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5157681A (en) | 1992-10-20 |
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