JPH0457894B2 - - Google Patents
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- JPH0457894B2 JPH0457894B2 JP58119679A JP11967983A JPH0457894B2 JP H0457894 B2 JPH0457894 B2 JP H0457894B2 JP 58119679 A JP58119679 A JP 58119679A JP 11967983 A JP11967983 A JP 11967983A JP H0457894 B2 JPH0457894 B2 JP H0457894B2
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 44
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- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 7
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- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 30
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
- G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
- G03F9/7023—Aligning or positioning in direction perpendicular to substrate surface
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、静圧流体軸受の調整方法、特には直
動もしくは平面で回転するタイプの静圧流体軸受
で、流体噴射パツドへの流体の供給圧力を変化さ
せることにより、ガイド面との間〓を変化させる
ことが可能な静圧流体軸受に対する調整方法に関
する。
動もしくは平面で回転するタイプの静圧流体軸受
で、流体噴射パツドへの流体の供給圧力を変化さ
せることにより、ガイド面との間〓を変化させる
ことが可能な静圧流体軸受に対する調整方法に関
する。
ガイドに案内されて移動する移動体をガイドに
対して浮上支持するために、ガイド面に複数個の
流体噴射パツド（以下パツドと記載）から流体を
噴射してパツドとガイド面の間に間隔を形成する
静圧流体軸受は周知である。また、このような静
圧流体軸受において、それぞれのパツドに供給さ
れる流体の供給圧を制御して、それぞれのパツド
への流体の供給圧の差を変化させることにより、
パツドとガイド面の間の間隔を調整することも既
に提案されている。
対して浮上支持するために、ガイド面に複数個の
流体噴射パツド（以下パツドと記載）から流体を
噴射してパツドとガイド面の間に間隔を形成する
静圧流体軸受は周知である。また、このような静
圧流体軸受において、それぞれのパツドに供給さ
れる流体の供給圧を制御して、それぞれのパツド
への流体の供給圧の差を変化させることにより、
パツドとガイド面の間の間隔を調整することも既
に提案されている。
ところで、このような静圧流体軸受では、ガイ
ド面の平坦度やパツドの寸法精度を極めて厳しく
管理しなければ、高精度な移動案内が困難である
という問題がある。しかしながら、各構成部品の
精度やパツドの特性のパラツキ等の誤差要因を管
理すると云つても限度があるし、また生産性を著
しく低下させることにもなるので、従来では、各
パツドの軸受性能にばらつきが生じたまま使用す
る場合が多く、要求される移動案内精度が達成で
きない場合があつた。
ド面の平坦度やパツドの寸法精度を極めて厳しく
管理しなければ、高精度な移動案内が困難である
という問題がある。しかしながら、各構成部品の
精度やパツドの特性のパラツキ等の誤差要因を管
理すると云つても限度があるし、また生産性を著
しく低下させることにもなるので、従来では、各
パツドの軸受性能にばらつきが生じたまま使用す
る場合が多く、要求される移動案内精度が達成で
きない場合があつた。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもの
で、その目的は、静圧流体軸受の各構成部品に誤
差要因が残存していても、各パツドの供給圧の変
化に対する感度を極めて簡単に調整することがで
き、所望の移動案内精度を得ることを可能にする
静圧流体軸受の調整方法を提供することにある。
で、その目的は、静圧流体軸受の各構成部品に誤
差要因が残存していても、各パツドの供給圧の変
化に対する感度を極めて簡単に調整することがで
き、所望の移動案内精度を得ることを可能にする
静圧流体軸受の調整方法を提供することにある。
上述の目的を達成するための本発明は、静圧流
体軸受においては、パツドへの流体の供給圧力を
変化させてパツドと支持面との間〓を変化させる
際、供給圧力を５Kg／cm2から500ｇ／cm2だけ変化
させる場合と、４Kg／cm2から500ｇ／cm2だけ変化
させる場合では、上述の間〓の変化量が相違する
こと、即ち、静圧流体軸受では、基準となる供給
圧力（例えば、上述の５Kg／cm2または４Kg／cm2）
の相違によつて、供給圧の変化に対するパツドと
ガイド面の間隔の変化の割合（感度）が相違する
こと、並びに複数のパツドの一つに供給される流
体の供給圧のみを制御する場合には、該感度は不
安定となると云うことに着目している。
体軸受においては、パツドへの流体の供給圧力を
変化させてパツドと支持面との間〓を変化させる
際、供給圧力を５Kg／cm2から500ｇ／cm2だけ変化
させる場合と、４Kg／cm2から500ｇ／cm2だけ変化
させる場合では、上述の間〓の変化量が相違する
こと、即ち、静圧流体軸受では、基準となる供給
圧力（例えば、上述の５Kg／cm2または４Kg／cm2）
の相違によつて、供給圧の変化に対するパツドと
ガイド面の間隔の変化の割合（感度）が相違する
こと、並びに複数のパツドの一つに供給される流
体の供給圧のみを制御する場合には、該感度は不
安定となると云うことに着目している。
従つて、上述の目的を達成する本発明は、ガイ
ドに案内されて移動する移動体をガイドに対して
浮上支持するためにガイドのガイド面に複数個の
流体噴射パツドから流体を噴射して流体噴射パツ
ドとガイド面の間に間隔を形成すると共に、流体
噴射パツドのそれぞれに供給される流体の供給圧
の和を維持した状態で、流体噴射パツドのそれぞ
れへの流体の供給圧の差を変化させることにより
流体噴射パツドとガイド面の間の間隔を変化させ
る静圧流体軸受において、流体噴射パツドのそれ
ぞれへの流体の供給圧の和を変化させることによ
り、流体噴射パツドのそれぞれへの流体の供給圧
の差の変化に対する流体噴射パツドとガイド面の
間の間隔の変化の割合を調整することを特徴とし
ている。
ドに案内されて移動する移動体をガイドに対して
浮上支持するためにガイドのガイド面に複数個の
流体噴射パツドから流体を噴射して流体噴射パツ
ドとガイド面の間に間隔を形成すると共に、流体
噴射パツドのそれぞれに供給される流体の供給圧
の和を維持した状態で、流体噴射パツドのそれぞ
れへの流体の供給圧の差を変化させることにより
流体噴射パツドとガイド面の間の間隔を変化させ
る静圧流体軸受において、流体噴射パツドのそれ
ぞれへの流体の供給圧の和を変化させることによ
り、流体噴射パツドのそれぞれへの流体の供給圧
の差の変化に対する流体噴射パツドとガイド面の
間の間隔の変化の割合を調整することを特徴とし
ている。
第１図は線型移動する軸受を移動軸方向から見
た様子を示し、第２図は斜方向から見た様子を示
している。
た様子を示し、第２図は斜方向から見た様子を示
している。
図中、１は長く延びたガイドで、各側面がガイ
ド面を構成する。２は摺動枠で、その内枠にはガ
イド面へ向けて空気を噴射するパツド３Ａ〜３Ｄ
が設けられている。各パツド３Ａ〜３Ｄにはそれ
ぞれ図示されない可撓性のダクトが結合され、各
ダクトは不図示の圧力制御弁を介してエアーコン
プレツサーに接続されている。これらのパツドの
内、３Ａと３Ｂは摺動枠２の垂直方向の位置を維
持し、３Ｃと３Ｄは水平方向の位置を維持するも
ので、摺動枠２へガイド１の軸方向に外力を加え
ると、摺動枠２は空気圧に軸承されて摩擦なく移
動する。
ド面を構成する。２は摺動枠で、その内枠にはガ
イド面へ向けて空気を噴射するパツド３Ａ〜３Ｄ
が設けられている。各パツド３Ａ〜３Ｄにはそれ
ぞれ図示されない可撓性のダクトが結合され、各
ダクトは不図示の圧力制御弁を介してエアーコン
プレツサーに接続されている。これらのパツドの
内、３Ａと３Ｂは摺動枠２の垂直方向の位置を維
持し、３Ｃと３Ｄは水平方向の位置を維持するも
ので、摺動枠２へガイド１の軸方向に外力を加え
ると、摺動枠２は空気圧に軸承されて摩擦なく移
動する。
ここで、水平方向のパツト３Ｃと３Ｄを例に取
ると、摺動枠２の水平方向の位置は、ガイド１の
側面に対してパツド３Ｃと３Ｄがとる左右の〓間
によつて決まり、これは３Ｃ，３Ｄに与える空気
の圧力に依存する。仮に、左側のパツド３Ｃの給
気圧を一定とし、右側のパツド３Ｄの給気圧を増
加させれば、左側のパツド３Ｃとガイド１の〓間
は減少し、右側のパツド３Ｄとガイド１の〓間は
増加する。
ると、摺動枠２の水平方向の位置は、ガイド１の
側面に対してパツド３Ｃと３Ｄがとる左右の〓間
によつて決まり、これは３Ｃ，３Ｄに与える空気
の圧力に依存する。仮に、左側のパツド３Ｃの給
気圧を一定とし、右側のパツド３Ｄの給気圧を増
加させれば、左側のパツド３Ｃとガイド１の〓間
は減少し、右側のパツド３Ｄとガイド１の〓間は
増加する。
そして、この様な操作が可能であるから、例え
ば製造誤差等によつてガイド１が湾曲していたと
しても、摺動枠２の進行と共にパツド３Ｃ，３Ｄ
への給気圧を操作すれば、摺動枠２を直線的に移
動させることが可能であり、あるいは必要に応じ
て直線状のガイドに対し摺動枠２を若干偏向させ
ることも可能である。
ば製造誤差等によつてガイド１が湾曲していたと
しても、摺動枠２の進行と共にパツド３Ｃ，３Ｄ
への給気圧を操作すれば、摺動枠２を直線的に移
動させることが可能であり、あるいは必要に応じ
て直線状のガイドに対し摺動枠２を若干偏向させ
ることも可能である。
しかしながら、給気圧を操作する場合、片側の
パツドの給気圧だけを変化させる場合と、両側の
パツドの給気圧の和を一定に維持し、圧力を差動
的に変化させる場合、例えば、２つのパツド間で
１気圧変化させる時に、一方の給気圧を0.5気圧
高め、他方の給気圧を0.5気圧下げる場合では、
摺動枠２の挙動が相違することがわかつてきた。
第３図はその様子を描いており、片側だけ給気圧
を変化させる場合(S)は、給気圧の変化量に対する
摺動枠２の変位量が、給気圧の増加に伴つて増加
する傾向を持つ。これに対して作動で給気圧を変
化させる場合(T)は、給気圧の変化量に対して変化
量がほぼ一定となるから、摺動枠２の位置制御の
ために極めて都合が良い。
パツドの給気圧だけを変化させる場合と、両側の
パツドの給気圧の和を一定に維持し、圧力を差動
的に変化させる場合、例えば、２つのパツド間で
１気圧変化させる時に、一方の給気圧を0.5気圧
高め、他方の給気圧を0.5気圧下げる場合では、
摺動枠２の挙動が相違することがわかつてきた。
第３図はその様子を描いており、片側だけ給気圧
を変化させる場合(S)は、給気圧の変化量に対する
摺動枠２の変位量が、給気圧の増加に伴つて増加
する傾向を持つ。これに対して作動で給気圧を変
化させる場合(T)は、給気圧の変化量に対して変化
量がほぼ一定となるから、摺動枠２の位置制御の
ために極めて都合が良い。
また、作動で給気圧を変化させる場合、基準と
なる圧力が異なれば感度は相違する。例えば、給
気圧の和が７Kg／cm2の時に１Kg／cm2の差を作る場
合と、給気圧の和が６Kg／cm2の時に１Kg／cm2の差
を作る場合では感度が異なる。第４図はその様子
を描いているが、左右のパツド３Ｃ，３Ｄへの給
気圧の和を増加させれば感度を減少させることが
でき、また左右をパツド３Ｃ，３Ｄへの給気圧の
和を減少させれば感度を増加させることが可能で
あることを示す。
なる圧力が異なれば感度は相違する。例えば、給
気圧の和が７Kg／cm2の時に１Kg／cm2の差を作る場
合と、給気圧の和が６Kg／cm2の時に１Kg／cm2の差
を作る場合では感度が異なる。第４図はその様子
を描いているが、左右のパツド３Ｃ，３Ｄへの給
気圧の和を増加させれば感度を減少させることが
でき、また左右をパツド３Ｃ，３Ｄへの給気圧の
和を減少させれば感度を増加させることが可能で
あることを示す。
従つて、第１図に示す軸受で、摺動枠２をガイ
ド１に沿つて進行させ、一定量Ｌだけ移動した時
に摺動枠２をＤだけ水平方向に移動させる必要が
あつたとして、感度が低すぎる場合には感度を高
めないと補償しきれないから給気圧の和を低めに
設定し、感度が高すぎる場合には過剰補正させる
ことから給気圧の和を高めに設定する。
ド１に沿つて進行させ、一定量Ｌだけ移動した時
に摺動枠２をＤだけ水平方向に移動させる必要が
あつたとして、感度が低すぎる場合には感度を高
めないと補償しきれないから給気圧の和を低めに
設定し、感度が高すぎる場合には過剰補正させる
ことから給気圧の和を高めに設定する。
第５図は軸受の組立誤差を上述の調整方法によ
つて補償した例を説明するためのもので、摺動枠
２が進行方向に向つて若干広がつて組立てられて
いるものとする。３C′，３C″，３D′，３D″はそ
れぞれパツドである。この場合、図中、上方の前
側パツド３C′，３D′とガイド１との間隔は、後側
パツド３C″，３D″とガイド１との間隔との異な
つているから、給気圧が同じだとすると、間〓が
広い所の感度は低く、狭い所は敏感に反応する。
従つて、前後のパツドとも同じ給気圧を基準とし
て摺動枠２の進行に従つて圧力を操作すると、前
後のパツドの感度の相違により、単位進行量に応
じた変位量（分解量）が異なるからちぐはぐな動
きとなる。
つて補償した例を説明するためのもので、摺動枠
２が進行方向に向つて若干広がつて組立てられて
いるものとする。３C′，３C″，３D′，３D″はそ
れぞれパツドである。この場合、図中、上方の前
側パツド３C′，３D′とガイド１との間隔は、後側
パツド３C″，３D″とガイド１との間隔との異な
つているから、給気圧が同じだとすると、間〓が
広い所の感度は低く、狭い所は敏感に反応する。
従つて、前後のパツドとも同じ給気圧を基準とし
て摺動枠２の進行に従つて圧力を操作すると、前
後のパツドの感度の相違により、単位進行量に応
じた変位量（分解量）が異なるからちぐはぐな動
きとなる。
この場合には、第５図の後側のパツド３C″，
３D″に与える圧力の和を固定して、前側のパツ
ド３C′，３D′に与える圧力の和を減少させて感度
を高めるか、あるいは前側のパツドに与える圧力
の和を減少させ、後側のパツドに与える圧力の和
を増加させるか、若しくは前側のパツドに与える
圧力の和を固定し、後側のパツドに与える圧力の
和を増加させることにより、前後のパツド間の分
解能をそろえれば、摺動枠２の移動を高精度なも
のに調整することができる。なお、この例は水平
にパツドが配されているが、垂直の配置でも同様
である。
３D″に与える圧力の和を固定して、前側のパツ
ド３C′，３D′に与える圧力の和を減少させて感度
を高めるか、あるいは前側のパツドに与える圧力
の和を減少させ、後側のパツドに与える圧力の和
を増加させるか、若しくは前側のパツドに与える
圧力の和を固定し、後側のパツドに与える圧力の
和を増加させることにより、前後のパツド間の分
解能をそろえれば、摺動枠２の移動を高精度なも
のに調整することができる。なお、この例は水平
にパツドが配されているが、垂直の配置でも同様
である。
また、上述の軸受の摺動枠やガイドあるいはパ
ツドの寸法誤差の他に、各パツドの剛性や浮上力
等の特性のバラツキにより設計で定めた感度に収
まらず、例えば前側のパツドの組と後側のパツド
の組の感度に差が生じた場合にも、ガイドを挟ん
で対向するパツドの給気圧の和を増加させて感度
を減少させる、または給気圧の和を減少させるこ
とにより感度を増加させる等の処理により、摺動
枠の移動速度に身合つた値に前後のパツドの組の
感度を設定することができる。
ツドの寸法誤差の他に、各パツドの剛性や浮上力
等の特性のバラツキにより設計で定めた感度に収
まらず、例えば前側のパツドの組と後側のパツド
の組の感度に差が生じた場合にも、ガイドを挟ん
で対向するパツドの給気圧の和を増加させて感度
を減少させる、または給気圧の和を減少させるこ
とにより感度を増加させる等の処理により、摺動
枠の移動速度に身合つた値に前後のパツドの組の
感度を設定することができる。
第６図は４組の対向するパツドを具える軸受を
描いており、この図において、パツド１３Ａ，２
３Ａの組とパツド１３A′，２３A′の組は摺動枠
２の移動に伴つて給気圧が操作されるもので、パ
ツド１４Ａ，２４Ａの組と１４A′，２４A′の組
は一定の圧力が供給されるものとする。ここで、
パツドの特性によつて予定の感度がでない場合
は、パツド１３Ａ，２３Ａの組及びパツド１３
A′，２３A′の組に夫々与える供給圧の和を増減
することにより感度を調整し、あるいはパツド１
４Ａ，２４Ａの組及びパツド１４A′，２４A′の
組に夫々与える圧力の和を増減することにより感
度を調整する。
描いており、この図において、パツド１３Ａ，２
３Ａの組とパツド１３A′，２３A′の組は摺動枠
２の移動に伴つて給気圧が操作されるもので、パ
ツド１４Ａ，２４Ａの組と１４A′，２４A′の組
は一定の圧力が供給されるものとする。ここで、
パツドの特性によつて予定の感度がでない場合
は、パツド１３Ａ，２３Ａの組及びパツド１３
A′，２３A′の組に夫々与える供給圧の和を増減
することにより感度を調整し、あるいはパツド１
４Ａ，２４Ａの組及びパツド１４A′，２４A′の
組に夫々与える圧力の和を増減することにより感
度を調整する。
第７図は平面内で回転するタイプの軸受を示し
ており、１は平坦な上面を有するガイド、５は回
転板、６Ａ，６Ｂ等は軸対称に配されたパツド
で、回転板５は垂直な仮想軸を中心に回転するも
のとする。この実施例で、回転板５を微小量傾斜
させる様な制御を行う場合、パツド６Ａとパツド
６Ｂに与える給気圧に差を生じさせることになる
が、所望の感度でない時にはパツド６Ａとパツド
６Ｂへの給気圧の和を増減させて感度を調整す
る。
ており、１は平坦な上面を有するガイド、５は回
転板、６Ａ，６Ｂ等は軸対称に配されたパツド
で、回転板５は垂直な仮想軸を中心に回転するも
のとする。この実施例で、回転板５を微小量傾斜
させる様な制御を行う場合、パツド６Ａとパツド
６Ｂに与える給気圧に差を生じさせることになる
が、所望の感度でない時にはパツド６Ａとパツド
６Ｂへの給気圧の和を増減させて感度を調整す
る。
例えば、両パツド６Ａ，６Ｂの給気圧の和が10
Kg／cm2で、両者間に１Kg／cm2の差を生じさせる場
合には、一方を4.5Kg／cm2、他方を5.5Kg／cm2と云
う様に、基準の５Kg／cm2を中心に0.5Kg／cm2ずつ
加減する。ここで、感度が低過ぎた場合には、パ
ツド６Ａ，６Ｂの給気圧の和を９Kg／cm2として、
各パツドの中心となる基準気圧を4.5Kg／cm2に変
更し、0.5Kg／cm2ずつ加減して５Kg／cm2と４Kg／
cm2にすれば、所望の感度で回転板５を傾斜させる
ことができる。
Kg／cm2で、両者間に１Kg／cm2の差を生じさせる場
合には、一方を4.5Kg／cm2、他方を5.5Kg／cm2と云
う様に、基準の５Kg／cm2を中心に0.5Kg／cm2ずつ
加減する。ここで、感度が低過ぎた場合には、パ
ツド６Ａ，６Ｂの給気圧の和を９Kg／cm2として、
各パツドの中心となる基準気圧を4.5Kg／cm2に変
更し、0.5Kg／cm2ずつ加減して５Kg／cm2と４Kg／
cm2にすれば、所望の感度で回転板５を傾斜させる
ことができる。
以上説明した様に、本発明によれば、静圧流体
軸受において、ガイドや摺動体、パツドの寸法精
度が良好でなくガイド面とパツドの〓間に誤差が
生じたり、あるいはパツドの剛性や浮上力にバラ
ツキが生じたりしたために、必要とする精度が得
られない場合でも、該軸受を簡単に所望の状態に
調整し得る。従つて、本発明によれば、静圧流体
軸受によつて案内されて移動する移動体の移動精
度及び位置決め精度を高精度なものにできる。
軸受において、ガイドや摺動体、パツドの寸法精
度が良好でなくガイド面とパツドの〓間に誤差が
生じたり、あるいはパツドの剛性や浮上力にバラ
ツキが生じたりしたために、必要とする精度が得
られない場合でも、該軸受を簡単に所望の状態に
調整し得る。従つて、本発明によれば、静圧流体
軸受によつて案内されて移動する移動体の移動精
度及び位置決め精度を高精度なものにできる。
また、本発明によれば、各パツドの給気圧の変
化に対するパツドとガイド面間の間隔の変化の割
合（感度）を、パツドへの給気圧の分解能を変更
することなく、任意に且つ容易に調整できるの
で、所望の精度及び所望の間隔の変化量を有する
軸受を容易に得ることができる。
化に対するパツドとガイド面間の間隔の変化の割
合（感度）を、パツドへの給気圧の分解能を変更
することなく、任意に且つ容易に調整できるの
で、所望の精度及び所望の間隔の変化量を有する
軸受を容易に得ることができる。
更に、複数組のパツドを有している静圧流体軸
受の場合には、各パツドの感度の相違によつて、
ヨーイング、ピツチングあるいはローリングの様
な不都合な動きが生じる恐れがあるが、本発明に
よれば、これらの不都合も解消可能である。
受の場合には、各パツドの感度の相違によつて、
ヨーイング、ピツチングあるいはローリングの様
な不都合な動きが生じる恐れがあるが、本発明に
よれば、これらの不都合も解消可能である。
第１図は本発明に係る静圧流体軸受の一実施例
を示す正面図、第２図は本実施例の斜視図、第３
図は給気圧の変化量に対する間〓の変化量を示す
線図、第４図は給気圧の和の変化に対する感度の
変化を示す線図、第５図は本発明の第１の適用例
を示す断面図、第６図は本発明の第２の適用例を
示す断面図、第７図は本発明の第３の適用例を示
す断面図である。 図中、１はガイド、２は摺動枠、３Ａ〜３Ｄは
それぞれ軸受パツドである。
を示す正面図、第２図は本実施例の斜視図、第３
図は給気圧の変化量に対する間〓の変化量を示す
線図、第４図は給気圧の和の変化に対する感度の
変化を示す線図、第５図は本発明の第１の適用例
を示す断面図、第６図は本発明の第２の適用例を
示す断面図、第７図は本発明の第３の適用例を示
す断面図である。 図中、１はガイド、２は摺動枠、３Ａ〜３Ｄは
それぞれ軸受パツドである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ガイドに案内されて移動する移動体をガイド
に対して浮上支持するために前記ガイドのガイド
面に複数個の流体噴射パツドから流体を噴射して
前記流体噴射パツドと前記ガイド面の間に間隔を
形成すると共に、前記流体噴射パツドのそれぞれ
に供給される流体の供給圧の和を維持した状態
で、前記流体噴射パツドのそれぞれへの流体の供
給圧の差を変化させることにより前記流体噴射パ
ツドと前記ガイド面の間の間隔を変化させる静圧
流体軸受において、 前記流体噴射パツドのそれぞれへの流体の供給
圧の和を変化させることにより、前記流体噴射パ
ツドのそれぞれへの流体の供給圧の差の変化に対
する前記流体噴射パツドと前記ガイド面の間の間
隔の変化の割合を調整することを特徴とする静圧
流体軸受の調整方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58119679A JPS6014620A (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | 静圧流体軸受の調整方法 |
| US06/623,473 US4588288A (en) | 1983-07-01 | 1984-06-22 | Static pressure bearing and transport device utilizing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58119679A JPS6014620A (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | 静圧流体軸受の調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6014620A JPS6014620A (ja) | 1985-01-25 |
| JPH0457894B2 true JPH0457894B2 (ja) | 1992-09-16 |
Family
ID=14767361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58119679A Granted JPS6014620A (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | 静圧流体軸受の調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6014620A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6843982B1 (en) | 1994-01-26 | 2005-01-18 | L'oreal | Anhydrous cosmetic or dermatological composition containing the combination of a silicone oil and a wax made from an ethylene homopolymer or copolymer |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2665740B2 (ja) * | 1987-03-19 | 1997-10-22 | キヤノン株式会社 | 流体軸受装置 |
-
1983
- 1983-07-01 JP JP58119679A patent/JPS6014620A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6843982B1 (en) | 1994-01-26 | 2005-01-18 | L'oreal | Anhydrous cosmetic or dermatological composition containing the combination of a silicone oil and a wax made from an ethylene homopolymer or copolymer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6014620A (ja) | 1985-01-25 |
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