JPH0459148U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0459148U JPH0459148U JP10299690U JP10299690U JPH0459148U JP H0459148 U JPH0459148 U JP H0459148U JP 10299690 U JP10299690 U JP 10299690U JP 10299690 U JP10299690 U JP 10299690U JP H0459148 U JPH0459148 U JP H0459148U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating substrate
- protrusion
- under test
- chip under
- semiconductor chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例である半導体検査
装置の絶縁基板の平面図、第２図は絶縁基板と被
試験ＩＣチツプとの接触状態を示す第１図の−
線における断面図、第３図は第２図のはんだバ
ンプの上面図、第４図は従来の半導体検査装置と
被試験ＩＣチツプとの接触状態を示す上面図、第
５図は従来の半導体検査装置を示す平面図、第６
図は第５図の−線における断面図、第７図は
第６図のプローブニードル部の拡大正面図である
。 図において、１は被試験ＩＣチツプ、１１は絶
縁基板、１２は導線である。なお、図中、同一符
号は同一、又は相当部分を示す。
装置の絶縁基板の平面図、第２図は絶縁基板と被
試験ＩＣチツプとの接触状態を示す第１図の−
線における断面図、第３図は第２図のはんだバ
ンプの上面図、第４図は従来の半導体検査装置と
被試験ＩＣチツプとの接触状態を示す上面図、第
５図は従来の半導体検査装置を示す平面図、第６
図は第５図の−線における断面図、第７図は
第６図のプローブニードル部の拡大正面図である
。 図において、１は被試験ＩＣチツプ、１１は絶
縁基板、１２は導線である。なお、図中、同一符
号は同一、又は相当部分を示す。
補正 平２．１２．１９
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
絶縁基板上に設けられた被試験半導体チツプの
全ボンデイングパツドの外周部を覆いきれる程の
大きさを持つ絶縁体による平面状頂部を有する突
起部と、前記絶縁基板上に設けられた配線の一端
が前記平面状頂部に前記被試験半導体チツプの前
記ボンデイングパツドに対応するよう設けられる
とともに、前記配線の他端が前記絶縁基板の周端
部に達するように複数備えたことを特徴とする半
導体検査装置。
全ボンデイングパツドの外周部を覆いきれる程の
大きさを持つ絶縁体による平面状頂部を有する突
起部と、前記絶縁基板上に設けられた配線の一端
が前記平面状頂部に前記被試験半導体チツプの前
記ボンデイングパツドに対応するよう設けられる
とともに、前記配線の他端が前記絶縁基板の周端
部に達するように複数備えたことを特徴とする半
導体検査装置。
Claims (1)
- 絶縁基板上に設けられた被試験半導体チツプの
全ボンデイングパツドの外周部を覆いきれる程の
大きさを持つ絶縁体による平面状頂部を有する突
起部と、この突起部の一端が前記平面状頂部に前
記被試験半導体チツプの前記ボンデイングパツド
に対応するよう設けられるとともに、前記突起部
の他端が前記絶縁基板の周端部に達する複数の配
線とを備えたことを特徴とする半導体検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10299690U JPH0459148U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10299690U JPH0459148U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459148U true JPH0459148U (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=31847702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10299690U Pending JPH0459148U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0459148U (ja) |
-
1990
- 1990-09-27 JP JP10299690U patent/JPH0459148U/ja active Pending
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