JPH0459155U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図は平面図
、第２図は断面図、以下チヤツクプレートの端部
を拡大して示し、第３図は分解斜視図、第４図は
横断面図、第５図は縦断面図である。 １……チヤツクプレート、３……アーム、７…
…吸引孔、８……可動片、１１……保持爪、１５
……押圧レバー、１８……錘。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 回転可能なチヤツクプレート、該チヤツクプ
   レートの周縁部に放射状に設けた可動片、該可動
   片は、吸引作用で中心方向に移動可能に設けられ
   、ウエーハの周縁を保持する保持爪を有する、及
   び、上記チヤツクプレートが回転した際、遠心力
   作用で上記可動片を中心方向へ押圧するよう上記
   チヤツクプレートに枢着した押圧レバーを具備す
   るウエーハのスピンチヤツク。 ２ 上記チヤツクプレートは、放射状にアームを
   有し、各アームに形成した吸引孔に上記可動片は
   嵌着されている請求項１に記載のスピンチヤツク
   。 ３ 上記押圧レバーは可動片の外側に枢着され、
   一端が上記可動片に対向し、他端を外方に移動可
   能に設けた錘に対向させた請求項１または２に記
   載のスピンチヤツク。