JPH0735395Y2 - スピンチャック - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、半導体製造等におけるウエーハの洗浄、乾
燥、フオトレジスト塗布その他においてウエーハを回転
支持するためのスピンチャックに関する。

（従来の技術） スクラバ洗浄機やウエーハ乾燥装置等において使用され
るスピンチャックは、ウエーハの裏面をバキュームカッ
プで吸着したり、周縁部を支持腕等で保持した状態でウ
エーハを回転するように構成されているが、真空吸着す
るものは、バキュームカップの痕跡がウエーハに残つて
完全な洗浄や乾燥等を妨げることがある。また、周縁部
を支持腕等で保持するスピンチャックとして、チャック
の回転に伴う遠心力で支持腕を揺動させウエーハの周縁
を保持するようにしたものが知られているが、このよう
な形式のスピンチャックは、回転を始める前にはウエー
ハが支持腕で保持されていないので、ウエーハをスピン
チャックに搬入したり、搬出したりするとき、ウエーハ
の保持が不確実になり、作業性が良くなかつた。さらに
回転が大きくなるとそれに伴ないウエーハの保持力も大
きくなり、保持爪部のウエーハに応力が残る結果となつ
た。

（考案の解決課題） 本考案の目的は、ウエーハをチャックに搬入すれば直ち
にウエーハを定位置に保持でき、回転に伴つてさらに一
層確実に保持できるようにしたスピンチャックを提供す
ることである。

（課題解決の手段） 本考案によれば、回転可能なチャックプレートに真空吸
引作用により半径方向へ移動するようウエーハの保持爪
を有する可動片を設け、かつ上記チャックプレートが回
転した際遠心力作用により上記可動片を半径方向に押圧
するよう押圧レバーを設けたスピンチャックが提供さ
れ、上記目的が達成される。

（作用） ウエーハをロボットその他適宜の搬入手段でチャックプ
レートの上面に降下させ、吸引作用により可動片を半径
方向に移動させると、該可動片に形成した保持爪は、ウ
エーハの周縁に係合し、ウエーハを静止状態で定位置に
保持する。そして、上記チャックプレートが回転を始め
ると、上記可動片の外側に枢着した押圧レバーは、遠心
力作用で揺動し上記可動片を中心方向へ押圧し、ウエー
ハを一層強固に保持する。このように、ウエーハは静止
状態でも回転状態でも確実に定位置に保持される。

（実施例） 本考案のスピンチャックは、スクラバや乾燥装置その他
の適宜の装置に使用することができ、回転可能なチャッ
クプレート（１）を上部に具備している。該チャックプ
レート（１）は、図においては中央の取付部（２）の周
囲に６本のアーム（３）…を有する略星形に形成してあ
るが、該アームの数は３本以上適宜の数とすることがで
き、また１枚の円板状に形成することもあり、モータの
駆動軸（４）に取付けたチャックセンター（５）にビス
（６）…で固着される。

上記チャックプレート（１）のアーム（３）には、上記
駆動軸（４）を通つて真空ポンプ等の吸引源（図示略）
に連通する吸引孔（７）を放射状に形成してある。該吸
引孔（７）の先部は径大に形成され、該径大部に可動片
（８）が摺動可能に嵌着している。該可動片の嵌合状態
は、上記吸引源からの吸引作用によつて該可動片が中心
方向へ移動するような状態にしてある。

上記可動片（８）は、第３図に示すように、上方に立上
る肩部（９）と該肩部に続いて内方に傾斜する支承面
（10）を有する保持爪（11）を上方に有し、下方には上
記吸引孔（７）に嵌着する摺動部（12）を具備してお
り、上記保持爪（11）はチャックプレート（１）に形成
した摺動溝（13）からチャックプレート上に突出する。

なお、該可動片（８）の摺動部（12）の内方には、上記
吸引源からの吸引作用が停止したとき該可動片（８）を
外方へ押し戻すようばね（14）を嵌挿してある。

上記チャックプレート（１）が回転した際遠心力作用で
上記可動片（８）を中心方向へ押圧するよう押圧レバー
（15）が設けられている。該押圧レバー（15）は遠心力
作用で一端が外方に向かって揺動し他端が中心方向へ向
かって揺動するようビス（16）で上記チャックプレート
の周縁に枢着してあり、上記中心方向へ向かう側の端部
が上記可動片（８）の外方端に対向し、遠心力作用によ
つて上記可動片を押圧する方向に揺動するように形成し
てある。該押圧レバーを揺動させるには該押圧レバーの
他端に適宜の錘を一体的に形成してもよいが、図に示す
実施例では、上記吸引孔と平行に受孔（17）を形成し、
該受孔内に移動可能に棒状の錘（18）を遊嵌し、該錘
（18）の外方端に上記押圧レバー（15）の上記外方へ向
かう側の端部を対向させ、上記チャックプレート（１）
が回転した際上記錘（18）が外方に移動して上記押圧レ
バー（15）を揺動するようにしてある。なお、上記可動
片（８）＋ばね（14）と錘（18）の重量の増減により遠
心力の強弱を調整することができる。

而して、上記スピンチャックにウエーハ（19）をセット
するときには、手動若しくはロボットその他の適宜の搬
入手段でウエーハをチャックプレート（１）の上方から
上記保持爪（11）の支承面（10）上に載置し、上記吸引
孔（７）に吸引源を作用させれば、上記保持爪（11）は
中心方向へ移動してウエーハの周縁を保持する。そし
て、上記チャックプレート（１）が回転すると、上記押
圧レバー（15）が揺動し、上記保持爪（11）を中心方向
に押圧し、ウエーハの保持を一層確実にする。

上記のようにウエーハは確実に保持された状態で回転す
るから、この状態で洗浄、乾燥その他の各種の作業をす
ることができる。

作業終了後、チャックプレートの回転を停止させると、
上記押圧レバー（15）による押圧作用は消失するが、上
記吸引源による吸引力は可動片（８）に作用し続けてい
るので、上記保持爪（11）はウエーハ（19）の周縁を保
持している。

その後、ロボット等の搬出手段で上記ウエーハを保持し
たら、上記吸引源により保持爪（11）の吸引を停止し、
上記ばね（14）により可動片等を外方へ移動しウエーハ
（19）を解放する。

（考案の効果） 本考案は上記のように構成され、ウエーハを静止状態及
び回転状態のいずれの段階でも確実に保持でき、ウエー
ハの取扱いが容易であり、ウエーハに保持の痕跡を残す
こともなく、安心して使用することができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図は平面図、第２図
は断面図、以下チャックプレートの端部を拡大して示
し、第３図は分解斜視図、第４図は横断面図、第５図は
縦断面図である。 １…チャックプレート、３…アーム ７…吸引孔、８…可動片 11…保持爪、15…押圧レバー 18…錘

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/30 ５０２ Ｈ０１Ｌ 21/027 21/304 ３４１ Ｎ

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】回転可能なチャックプレートに吸引源に連
   通する吸引孔を放射状に形成し、該吸引孔内に吸引作用
   で中心方向に移動可能に可動片を嵌着し、該可動片に上
   記チャックプレートの上面から突出しウエーハの周縁を
   保持する保持爪を形成し、上記チャックプレートが回転
   した際一端が外方に向かって揺動し他端が中心方向へ向
   かって揺動するよう押圧レバーを上記チャックプレート
   の周縁に枢着し、該押圧レバーの上記中心方向へ向かっ
   て揺動する側の上記端部を上記可動片の外方端に対向さ
   せたウエーハのスピンチャック。
2. 【請求項２】上記チャックプレートは、放射状にアーム
   を有し、上記吸引孔は該アームに形成されている請求項
   １に記載のスピンチャック。
3. 【請求項３】上記チャックプレートは、吸引孔に並行し
   て設けた受孔を有し、該受孔内には外方に移動可能に錘
   が嵌着され、上記押圧レバーの上記外方へ向かって揺動
   する側の上記端部を上記錘の外方端に対向させた請求項
   １または２に記載のスピンチャック。