JPH0459164U - - Google Patents
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- JPH0459164U JPH0459164U JP10141690U JP10141690U JPH0459164U JP H0459164 U JPH0459164 U JP H0459164U JP 10141690 U JP10141690 U JP 10141690U JP 10141690 U JP10141690 U JP 10141690U JP H0459164 U JPH0459164 U JP H0459164U
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- JP
- Japan
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- layer
- substrate
- impurity concentration
- pin photodiode
- silicon pin
- Prior art date
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- Pending
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
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- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 4
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
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Description
第１図は本考案の一実施例の製造工程図、第２
図は第１図の装置を用いた測定回路例図、第３図
は本考案の他の実施例を示す構成図、第４図は従
来のシリコンＰＩＮフオトダイオードの一例を示
す構成図である。 ２１，４１……ｎ＋（ｐ＋）基板、２２，４２
……ｎ−（ｐ−）層、２３，４４，４６……ｐ＋
（ｎ＋）層、２４……反射防止膜、２５，４５，
４７……電極、２６……ガイド、２７……支持基
板、２８……フオトダイオードチツプ収納部、２
９……受光窓、３０……リード取り出し用電極、
３１……導電性接着剤、４３……ＳｉＯ２膜。
図は第１図の装置を用いた測定回路例図、第３図
は本考案の他の実施例を示す構成図、第４図は従
来のシリコンＰＩＮフオトダイオードの一例を示
す構成図である。 ２１，４１……ｎ＋（ｐ＋）基板、２２，４２
……ｎ−（ｐ−）層、２３，４４，４６……ｐ＋
（ｎ＋）層、２４……反射防止膜、２５，４５，
４７……電極、２６……ガイド、２７……支持基
板、２８……フオトダイオードチツプ収納部、２
９……受光窓、３０……リード取り出し用電極、
３１……導電性接着剤、４３……ＳｉＯ２膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 不純物濃度の高いｎ＋（ｐ＋）基板と、 該基板上に形成された不純物濃度の低いｎ−（
ｐ−）層と、 該ｎ−（ｐ−）層上に形成された不純物濃度の
高いｐ＋（ｎ＋）層と、 これらｎ＋（ｐ＋）基板とｐ＋（ｎ＋）層にそ
れぞれ形成された電極とを具備し、 前記ｎ−（ｐ−）層に光を直接入射するように
構成されたことを特徴とするシリコンＰＩＮフオ
トダイオード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10141690U JPH0459164U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10141690U JPH0459164U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459164U true JPH0459164U (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=31844843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10141690U Pending JPH0459164U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0459164U (ja) |
-
1990
- 1990-09-27 JP JP10141690U patent/JPH0459164U/ja active Pending
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