JPH0459458U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0459458U JPH0459458U JP10203290U JP10203290U JPH0459458U JP H0459458 U JPH0459458 U JP H0459458U JP 10203290 U JP10203290 U JP 10203290U JP 10203290 U JP10203290 U JP 10203290U JP H0459458 U JPH0459458 U JP H0459458U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection table
- cylinder
- tips
- oblique light
- positioning member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第1図は本考案の斜光検査台の実施例を示す駆
動部の平面図、第2図は同じく側面断面図である
。 1……テーブル、2……ケース、2a……ケー
スの底板、3……駆動部、4……ガイド、6……
第1の回転軸、7……第2の回転軸、8……第3
の回転軸、9……第1の駆動モータ、10……第
2の駆動モータ、11……第3の駆動モータ、1
2……連結部、13……第1の支持部、14……
軸受け、15……第2の支持部、16……ステー
、17……固定部、18……ピン、19……シリ
ンダ取付け板、20……第1のエアシリンダ、2
1……第2のエアシリンダ、22……第3のエア
シリンダ。
動部の平面図、第2図は同じく側面断面図である
。 1……テーブル、2……ケース、2a……ケー
スの底板、3……駆動部、4……ガイド、6……
第1の回転軸、7……第2の回転軸、8……第3
の回転軸、9……第1の駆動モータ、10……第
2の駆動モータ、11……第3の駆動モータ、1
2……連結部、13……第1の支持部、14……
軸受け、15……第2の支持部、16……ステー
、17……固定部、18……ピン、19……シリ
ンダ取付け板、20……第1のエアシリンダ、2
1……第2のエアシリンダ、22……第3のエア
シリンダ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上面にガラス基板の載置部が設けられ、且つ回
転並びに前後左右方向に傾斜可能とした検査テー
ブルを備えた斜光検査台において、 検査テーブルの下面に設けられた回転位置の位
置決め部材と、 前記の位置決め部材と嵌合部材を先端に持つ第
1のシリンダと、 前記の第1のシリンダと共に検査テーブルの水
平位置を調整する支持部材を先端に持つ第2及び
第3のシリンダと、 を設けたことを特徴とする斜光検査台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10203290U JPH0729481Y2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 斜光検査台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10203290U JPH0729481Y2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 斜光検査台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459458U true JPH0459458U (ja) | 1992-05-21 |
| JPH0729481Y2 JPH0729481Y2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=31845961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10203290U Expired - Lifetime JPH0729481Y2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 斜光検査台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729481Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP10203290U patent/JPH0729481Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0729481Y2 (ja) | 1995-07-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |