JPH0459573B2 - - Google Patents

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JPH0459573B2
JPH0459573B2 JP57161198A JP16119882A JPH0459573B2 JP H0459573 B2 JPH0459573 B2 JP H0459573B2 JP 57161198 A JP57161198 A JP 57161198A JP 16119882 A JP16119882 A JP 16119882A JP H0459573 B2 JPH0459573 B2 JP H0459573B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
ring
pressure
welding
annular surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP57161198A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5950326A (ja
Inventor
Kofuku Ito
Shunichiro Anami
Takeshi Nishi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP16119882A priority Critical patent/JPS5950326A/ja
Publication of JPS5950326A publication Critical patent/JPS5950326A/ja
Publication of JPH0459573B2 publication Critical patent/JPH0459573B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007Fluidic connecting means
    • G01L19/0046Fluidic connecting means using isolation membranes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Diaphragms And Bellows (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は圧力発信器、差圧発振器等においてボ
デイへダイヤフラムを固定する方法に関するもの
である。
液封式の圧力発振器や差圧発進器等は、外圧を
内封液に伝達する円板状のダイヤフラムを備えて
おり、このダイヤフラムをボデイへ固定するに
は、ボデイと環状の座金との間にダイヤフラムを
挾み、本体と座金とを周縁部で溶着するという方
法が採られている。第1図は従来の固定方法を説
明するために示す差圧発振器のダイヤフラム外周
部近傍の断面図であつて、ボデイ1とカバー2と
の外周部に設けた環状接合部間には、ダイヤフラ
ム3とリング4とが重ねられてボデイ1とリング
4との周縁が溶着されており、溶着後ボデイ1と
カバー2とは図示しないボルトによつて締結され
る。
このような従来のダイヤフラム固定方法は来板
状のリング4を溶着するものであるために、溶着
後および計器の使用中に種々の問題が発生してい
た。すなわち、リング4は溶着によつて外周部が
収縮するのに対して内周部が収縮しないので、全
体が歪み、内周部がボデイ1から離間する方向に
膨出して皿状になる。したがつて、第1図に示す
ようにボデイ1とリング4との間にすき間がで
き、ダイヤフラム3が外周部を挾持されずに遊離
状態になつてしまう。このような状態で内封液5
が封入されたのち測定流体の温度変化で封入液量
が変化した場合、ある一定のところまではボデイ
1の内周縁Pを支点にして運動していたダイヤフ
ラム3が、一定の膨張量を越えると溶着点P1
支点にして運動するようになり、この結果容積変
化と圧力変化との比である容積圧力係数が変化す
る。したがつて温度と圧力との関係を線図で表わ
した場合に直線とならず、これを電気的に補正す
ることがきわめてむつかしいので、正確な測定結
果を得ることが困難である。また、ダイヤフラム
3が軟質であるために第2図に示すように溶着後
ボデイ1の接合面から離間することがあり、この
ままカバー2を締め付けると、ダイアフラム3の
位置が図の下方へ押されて内封液圧が上昇し、ゼ
ロシフトが発生するという不具合がある。さら
に、歪んだリング4をカバー2で無理に押付けて
締めることによりリング4が割れてしまい、再度
溶着を繰返さなければならないことがあつた。
本発明は以上のような点に鑑みなされたもの
で、ダイヤフラムを固定するためのリングを内周
と外周とが軸線方向にずれた皿ばね状に形成し、
このリングの内周縁側をボデイの環状面上のダイ
ヤフラムに当てて外周縁側をダイヤフラム方向へ
押圧することによつて平板状に弾性変形させ、こ
の状態でリングとダイヤフラムおよびボデイの外
周縁を一体に溶着することにより、ダイヤフラム
とボデイ間の密着を確実にするとともに、溶着時
におけるリングの損傷を防止できるダイヤフラム
の固定方法を提供するものである。以下、図に示
す実施例により詳細に説明する。
第3図は本発明に係るダイヤフラムの固定方法
を説明するための差圧発振器の断面図、第4図は
同じくリングの断面図である。図において差圧発
振器11は受圧部12と発信部13とで一体的に
形成されており、受圧部12に発進部13と接続
されたセンサを収納するセンサ室14が付設され
ている。受圧部12は円筒状に形成されたボデイ
15を備えており、その両端部には、高圧側の内
室16と低圧側の内室17とが環状の接合部と後
述するダイヤフラム18とで囲まれて設けられて
いる。また、両方の内室16,17と、センサ室
14内のセンサの高圧側、低圧側とは、内封液通
路19,20でそれぞれ連通されており、内室1
6,17と内封液通路19,20内にはシリコン
油等の内封液21が内封されている。22はボデ
イ15の鍔部を貫通する複数個のボルト23によ
つてボデイ15と締結される一対のカバーであつ
て、ボデイ15の環状面24との間を後述するダ
イヤフラム18とリング25とを介して接合され
る環状面26を有しており、環状面26には気密
保持用のOリング27が装填されている。また、
カバー21には孔28,29がそれぞれ穿設され
ており、これによつてカバー22の内室と、プロ
セスの高圧側、低圧側とがそれぞれ連通されてい
る。
次に前記ダイヤフラム18およびリング25の
構成とダイヤフラム18の固定方法とを説明す
る。ダイヤフラム18は、断面波形状で同心円の
凹凸を有する円板状に形成されており、外周部を
ボデイ15の環状面24と接合されている。ま
た、環状座金としてのリング25は、平面視を環
状に形成されているとともに、第4図に示すよう
に内周円と外周円とを符号tで示すだけずらして
全体を皿状に形成されている。このように構成さ
れたダイヤフラム18とリング25とを固定する
には、ボデイ15の環状面24とカバー22の環
状面26とでダイヤフラム18とリング25とを
挾持させたのちボルト23を締めてボデイ15と
カバー22とを締結する。この場合リング25を
小径部である内周面側がダイヤフラム18側に面
するように介挿する。こうして締結すると、リン
グ25は、締結圧力により弾性変形して平板状と
なり、これにはダイヤフラム18をボデイ15の
環状面24へ押圧する力が蓄積される。そしてこ
の状態でボデイ15の周縁とリング25の周縁と
を溶着して溶着部30を形成する。
以上のようにしてダイヤフラム18が固定され
た差圧発振器において、プロセス管路内高圧部の
圧力が孔28を介した高圧側のダイヤフロム18
に印加され低圧部の圧力が孔29を介して低圧側
のダイヤフラム18に印加されると、高圧は内封
液21を介してセンサの高圧側へ導かれ、また低
圧は内封液21を介してセンサの低圧側へ導かれ
る。センサは高圧と低圧との差圧を検出し、電気
信号に変換して発信する。
このように動作する差圧発振器11におけるダ
イヤフラム18の固定方法においては、皿状に形
成したリング25を小径部がダイヤフラム18側
に位置するようにして介挿しこれをカバー22で
平面状にしてダイヤフラム18への押圧力を蓄積
した状態で溶着するように構成することにより、
溶着によつてリング25はその外周部が収縮して
も内周部がダイヤフラム18から離間することが
なく、蓄積された力でダイヤフラム18を押圧
し、ダイヤフラム18とリング25とが平面接触
する。
第5図は本発明の他の実施例を示すリングとし
ての環状座金25Aの断面図であつて、第4図の
実施例ではテーパ面が直線状であつたのを円弧状
に形成したものである。
なお、前記各実施例は本発明を差圧発信器に実
施した例を示したが、1箇所の圧力を測定する圧
力発信器などにも同様に実施することができる。
以上説明したように本発明によれば、ダイヤフ
ラムを固定するための環状座金を内周と外周とが
軸線方向にずれた皿ばね状に形成し、この環状座
金の内周縁側をボデイの環状面上のダイヤフラム
に当てて外周縁側をダイヤフラム方向へ押圧する
ことによつて平板状に弾性変形させ、この状態で
環状座金とダイヤフラムおよびボデイの外周縁を
一体に溶着するものであるから、溶着によつて環
状座金の外周部が収縮しても内周部がダイヤフラ
ムから離間することがなく、環状座金はダイヤフ
ラムと平面接触してこれを強固に固定するので、
測定流体の温度が変化してもダイヤフラムの運動
支点が変化せず、温度変化にかかわらず容積圧力
係数が一定であつて補正を要しないきわめて正確
な測定結果が得られる測定精度が向上するととも
に、ダイヤフラムが内封液圧縮側へ移動すること
がなく、液圧の上昇によるゼロシフトの発生を防
止することができる。また、溶着後に歪んだ環状
座金を無理に押圧するというようなことがないの
で、溶着部が割れることがなく、材料費と再溶着
作業の労力とを節減することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図はそれぞれ従来のダイヤフ
ラム固定方法を説明するために示す差圧発信器の
ダイヤフラム外周部近傍の断面図、第3図は本発
明に係るダイヤフラム固定方法を説明するための
差圧発信器の断面図、第4図は同じくリングの断
面図、第5図はそれぞれ本発明の他の実施例を説
明するために示すリングの断面図である。 15……ボデイ、18……ダイヤフラム、22
……カバー、24……環状面、25……リング、
30……溶着部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 ボデイの環状面とリングとの間にダイヤフラ
    ム介装し、それぞれの外周縁を溶接することによ
    りダイヤフラムをボデイに固定する方法におい
    て、前記リングを内周と外周とが軸線方向にずれ
    た皿ばね状に形成し、このリングの内周縁側をボ
    デイの環状面上のダイヤフラムに当てて外周縁側
    をダイヤフラム方向へ押圧することによつて平板
    状に弾性変形させ、この状態でリングとダイヤフ
    ラムおよびボデイの外周縁を一体に溶着すること
    を特徴とするダイヤフラム固定方法。
JP16119882A 1982-09-16 1982-09-16 ダイヤフラム固定方法 Granted JPS5950326A (ja)

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JP16119882A JPS5950326A (ja) 1982-09-16 1982-09-16 ダイヤフラム固定方法

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JP16119882A JPS5950326A (ja) 1982-09-16 1982-09-16 ダイヤフラム固定方法

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JPS5950326A JPS5950326A (ja) 1984-03-23
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JPS6140639U (ja) * 1984-08-16 1986-03-14 カルソニックカンセイ株式会社 圧力検出装置
JP6106004B2 (ja) * 2013-03-29 2017-03-29 株式会社不二工機 圧力センサ

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