JPH0459603B2 - - Google Patents
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- JPH0459603B2 JPH0459603B2 JP59030888A JP3088884A JPH0459603B2 JP H0459603 B2 JPH0459603 B2 JP H0459603B2 JP 59030888 A JP59030888 A JP 59030888A JP 3088884 A JP3088884 A JP 3088884A JP H0459603 B2 JPH0459603 B2 JP H0459603B2
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- JP
- Japan
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- color separation
- separation filter
- layer
- transparent substrate
- film
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は側面部に無電解メツキによる金属遮光
層を形成して、外部からの無用な光を遮断し、固
体撮像素子カメラとして光学的なフレアやかぶり
現象を防止できる固体撮像素子用色分解フイルタ
ーの製造方法に関する。
層を形成して、外部からの無用な光を遮断し、固
体撮像素子カメラとして光学的なフレアやかぶり
現象を防止できる固体撮像素子用色分解フイルタ
ーの製造方法に関する。
CCD（電荷結合型素子）に代表される固体撮像
措置はテレビカメラの心臓部に用いられている
が、このテレビカメラのカラー化には、色分解フ
イルター層を直接固体撮像素子の受光部の上に設
ける場合と、別に作成した色分解フイルターを固
体撮像素子に貼り合わせる場合とがある。現状で
は、フイルターおよび素子の製造歩留まりが低い
等の理由から、後者の貼り合わせ方式が主流であ
る。貼り合わせ方式では、色分解フイルターは、
ある厚み（例えば0.5〜1.0mm程度）を有するガラ
ス透明基板の上に形成されるのであり、そのた
め、色分解フイルターの側面部から無用な光が入
射し、光学的フレアが生じ、カメラにかぶり現像
が発生しがちであつた。
措置はテレビカメラの心臓部に用いられている
が、このテレビカメラのカラー化には、色分解フ
イルター層を直接固体撮像素子の受光部の上に設
ける場合と、別に作成した色分解フイルターを固
体撮像素子に貼り合わせる場合とがある。現状で
は、フイルターおよび素子の製造歩留まりが低い
等の理由から、後者の貼り合わせ方式が主流であ
る。貼り合わせ方式では、色分解フイルターは、
ある厚み（例えば0.5〜1.0mm程度）を有するガラ
ス透明基板の上に形成されるのであり、そのた
め、色分解フイルターの側面部から無用な光が入
射し、光学的フレアが生じ、カメラにかぶり現像
が発生しがちであつた。
第１図に、従来の色分解フイルター（側面に遮
光層がない）を用いた固体撮像装置の説明図を示
す。
光層がない）を用いた固体撮像装置の説明図を示
す。
これによれば、CCD１の受光部（上面）にフ
イルター層を接して色分解フイルター２が接着剤
層３を介して貼り合わされている。CCD１から
は導線４およびリードフレーム５を経由して固体
撮像素子パツケージ６の外部へ画像に関する電気
信号を伝えられるように構成されている。この固
体撮像装置にはカメラのレンズ系（図示せず）を
通過した光線が入射するものであるが、封止ガラ
ス板７の下面には、図示するように、フレア防止
板８が周辺部に設けられて外部から斜めに入射す
る無用の光線をさえぎるように工夫されている。
斜めから光線が入射すると、その光線が色分解フ
イルター２の透明基板９の側面より入射し、フレ
アやかぶり現象を起こすのであり、これを防止す
るためにフレア防止板８が必要であつたのであ
る。
イルター層を接して色分解フイルター２が接着剤
層３を介して貼り合わされている。CCD１から
は導線４およびリードフレーム５を経由して固体
撮像素子パツケージ６の外部へ画像に関する電気
信号を伝えられるように構成されている。この固
体撮像装置にはカメラのレンズ系（図示せず）を
通過した光線が入射するものであるが、封止ガラ
ス板７の下面には、図示するように、フレア防止
板８が周辺部に設けられて外部から斜めに入射す
る無用の光線をさえぎるように工夫されている。
斜めから光線が入射すると、その光線が色分解フ
イルター２の透明基板９の側面より入射し、フレ
アやかぶり現象を起こすのであり、これを防止す
るためにフレア防止板８が必要であつたのであ
る。
このようなフレア防止板８は、封止ガラス板７
を装着する前に、位置合わせを行ない、接着する
必要があるものであり、工程的に手間を要するば
かりでなく、近年の固体撮像装置の小形化にとも
ない、作業的にも極めて困難なものになりつつあ
る。
を装着する前に、位置合わせを行ない、接着する
必要があるものであり、工程的に手間を要するば
かりでなく、近年の固体撮像装置の小形化にとも
ない、作業的にも極めて困難なものになりつつあ
る。
本発明は、以上のような従来技術の欠点に鑑
み、上述のフレア防止板を不要にした、透明基板
の側面のみに無電解めつきによる金属遮光層を形
成した構造の固体撮像素子用の色分解フイルター
の製造方法を提供するものである。
み、上述のフレア防止板を不要にした、透明基板
の側面のみに無電解めつきによる金属遮光層を形
成した構造の固体撮像素子用の色分解フイルター
の製造方法を提供するものである。
具体的には、一枚の透明基板の上面に少なくと
も色分解用フイルター層を所定の色数で所望のパ
ターン状に多数形成させた後、色分解フイルター
層の上面に保護膜を施し、ガラス透明基板の下面
に伸張性フイルム膜を貼着し、各色分解フイルタ
ー層の間に、伸張性フイルム膜に達する断裁溝を
形成し、しかる後、前記伸張性フイルム膜を両側
に拡げることにより、断裁溝の幅を拡張し、次い
で、色分解フイルター層側の全面に金属もしくは
合金の無電解めつき層からなる金属遮光膜を形成
し、しかる後、前記保護膜と伸張性フイルム膜を
剥離して製造するものである。
も色分解用フイルター層を所定の色数で所望のパ
ターン状に多数形成させた後、色分解フイルター
層の上面に保護膜を施し、ガラス透明基板の下面
に伸張性フイルム膜を貼着し、各色分解フイルタ
ー層の間に、伸張性フイルム膜に達する断裁溝を
形成し、しかる後、前記伸張性フイルム膜を両側
に拡げることにより、断裁溝の幅を拡張し、次い
で、色分解フイルター層側の全面に金属もしくは
合金の無電解めつき層からなる金属遮光膜を形成
し、しかる後、前記保護膜と伸張性フイルム膜を
剥離して製造するものである。
ここで本発明の製造方法によつて得られる色分
解用カラーフイルターの一実施例を示す第２図に
従つて詳細に説明すると、ガラス透明基板１０は
先言したように0.5〜1.0mm程度の厚みを有し、材
質としては、石英ガラス、低膨張ガラス、硼硅酸
塩系ガラスまたはソーダライムガラス等を代表と
する通常ガラスが用いられる。
解用カラーフイルターの一実施例を示す第２図に
従つて詳細に説明すると、ガラス透明基板１０は
先言したように0.5〜1.0mm程度の厚みを有し、材
質としては、石英ガラス、低膨張ガラス、硼硅酸
塩系ガラスまたはソーダライムガラス等を代表と
する通常ガラスが用いられる。
このようなガラス透明基板１０の片面に、色分
解用のフイルター層１１が設けられる。該フイル
ター層１１は、特公昭52−17375号公報や特公昭
52−17376号公報において公知なように、ゼラチ
ン、グリユー、カゼイン等の水溶性樹脂の感光材
料が光硬化した薄膜を、染料にて染色した有機樹
脂系のフイルター層があるが、そのほか、TiO2
−SiO2に例示されるような高屈折率の薄膜と低
屈折率の薄膜を互い違いに10〜20層程度積層して
なる無機の干渉フイルター層も当然採用できる。
解用のフイルター層１１が設けられる。該フイル
ター層１１は、特公昭52−17375号公報や特公昭
52−17376号公報において公知なように、ゼラチ
ン、グリユー、カゼイン等の水溶性樹脂の感光材
料が光硬化した薄膜を、染料にて染色した有機樹
脂系のフイルター層があるが、そのほか、TiO2
−SiO2に例示されるような高屈折率の薄膜と低
屈折率の薄膜を互い違いに10〜20層程度積層して
なる無機の干渉フイルター層も当然採用できる。
フイルター層１１は、その厚さは10μ程度もし
くはそれ以下であり、第２図ではその厚みを透明
基板１０と比べて非常に誇張して画かれている。
しかも第２図からは明らかでないが、所望の色
数、例えば、シアン、イエローの二色あるいは
赤、緑、青等の三色が、所望のパターンすなわ
ち、固体撮像素子の受光部の形状に対応して、設
けられているものである。多くの場合、透明基板
１０の片面には色分解用のフイルター層１１のみ
ならず、フイルター層１１の表面を保護するため
のオーバーコート層が付加されていたり、あるい
は各色のフイルター層の間隙や周辺に光遮光層が
設けられているものであり、フイルター層１１と
透明基板１０のみからなる色分解フイルターとい
うものは例が少ない。しかしながら、フイルター
層１１についてのこのような付加的要素は従来公
知であり、本発明は、これら従来公知の色分解フ
イルターの全てについてあてはまるものであるこ
とは言うまでもない。
くはそれ以下であり、第２図ではその厚みを透明
基板１０と比べて非常に誇張して画かれている。
しかも第２図からは明らかでないが、所望の色
数、例えば、シアン、イエローの二色あるいは
赤、緑、青等の三色が、所望のパターンすなわ
ち、固体撮像素子の受光部の形状に対応して、設
けられているものである。多くの場合、透明基板
１０の片面には色分解用のフイルター層１１のみ
ならず、フイルター層１１の表面を保護するため
のオーバーコート層が付加されていたり、あるい
は各色のフイルター層の間隙や周辺に光遮光層が
設けられているものであり、フイルター層１１と
透明基板１０のみからなる色分解フイルターとい
うものは例が少ない。しかしながら、フイルター
層１１についてのこのような付加的要素は従来公
知であり、本発明は、これら従来公知の色分解フ
イルターの全てについてあてはまるものであるこ
とは言うまでもない。
このような第２図に示す色分解フイルターの側
面には、金属の無電解めつきを施して、金属遮光
層１２を設ける。金属遮光層１２の材質として
は、ニツケル、クロム、コバルト、鉄、銅、金等
から選択される金属の単一めつき層のほか、ニツ
ケル−鉄、コバルト−鉄、銅−鉄等の組合わせか
ら選択される合金の無電解めつき層があげられ
る。そのほかに、銅等の金属を無電解めつきし、
しかる後、その表面を化学処理や酸化処理して金
属化合物とし、表面の光反射率の低い金属遮光層
とすることもあげられる。
面には、金属の無電解めつきを施して、金属遮光
層１２を設ける。金属遮光層１２の材質として
は、ニツケル、クロム、コバルト、鉄、銅、金等
から選択される金属の単一めつき層のほか、ニツ
ケル−鉄、コバルト−鉄、銅−鉄等の組合わせか
ら選択される合金の無電解めつき層があげられ
る。そのほかに、銅等の金属を無電解めつきし、
しかる後、その表面を化学処理や酸化処理して金
属化合物とし、表面の光反射率の低い金属遮光層
とすることもあげられる。
該金属遮光層１２は、マクベス濃度計にて2.0
以上の濃度という高い遮光性能があるのが良く、
かかる意味から遮光層として金属を用いるのが都
合が良い。
以上の濃度という高い遮光性能があるのが良く、
かかる意味から遮光層として金属を用いるのが都
合が良い。
本発明の固体撮像素子用色分解フイルターの製
造方法を工程側に示す図面の第３図ａ〜ｅに基い
て、以下詳細に説明する。
造方法を工程側に示す図面の第３図ａ〜ｅに基い
て、以下詳細に説明する。
第３図ａに示すように固体撮像素子用色分解フ
イルターは、「多面付け」と称して、フイルター
製造段階では、一枚の多きな透明基板１０ａの上
面に色分解用のフイルター層１０を多数形成し、
しかる後に１個毎に断裁する工程がある。この断
裁の直前に、第３図ａに示すように、多面付けに
て色分解フイルター層１１を作成したＨ面には保
護膜１３を施してフイルター層１１を被覆し、下
面には例えば粘着層１４を有する塩化ビニル樹脂
フイルム等の伸張性フイルム膜１５を貼着する。
第３図ｂは、ダイシング装置等で各色分解フイル
ター層１１の間に、断裁溝１６が形成された状態
である。すでに明らかなように、保護膜１３は、
断裁用冷却液や、断裁時に発生するガラスくずに
よりフイルター層が１１汚染されるのを防いでい
るものである。続いて第３図ｃに示すように、伸
張性のフイルム膜１５を図の矢印に示すように両
側に拡げるように力を加えることにより、前記し
た断裁溝１６の幅を拡大して溝１６′とする。こ
の状態で、各個に断裁された色分解フイルター１
８は、その側面同士の間隔が拡がり、この部分の
洗浄などを容易に行なえるようになる。この状態
で無電解メツキ法として知られている手段すなわ
ち、洗浄、脱脂、鋭敏化、活性化およびメツキ操
作という一連の工程を行なうことになる。無電解
メツキについて説明すると、基本的には従来知ら
れている金属の無電解メツキ法、合金の無電解メ
ツキ法が使用できる。
イルターは、「多面付け」と称して、フイルター
製造段階では、一枚の多きな透明基板１０ａの上
面に色分解用のフイルター層１０を多数形成し、
しかる後に１個毎に断裁する工程がある。この断
裁の直前に、第３図ａに示すように、多面付けに
て色分解フイルター層１１を作成したＨ面には保
護膜１３を施してフイルター層１１を被覆し、下
面には例えば粘着層１４を有する塩化ビニル樹脂
フイルム等の伸張性フイルム膜１５を貼着する。
第３図ｂは、ダイシング装置等で各色分解フイル
ター層１１の間に、断裁溝１６が形成された状態
である。すでに明らかなように、保護膜１３は、
断裁用冷却液や、断裁時に発生するガラスくずに
よりフイルター層が１１汚染されるのを防いでい
るものである。続いて第３図ｃに示すように、伸
張性のフイルム膜１５を図の矢印に示すように両
側に拡げるように力を加えることにより、前記し
た断裁溝１６の幅を拡大して溝１６′とする。こ
の状態で、各個に断裁された色分解フイルター１
８は、その側面同士の間隔が拡がり、この部分の
洗浄などを容易に行なえるようになる。この状態
で無電解メツキ法として知られている手段すなわ
ち、洗浄、脱脂、鋭敏化、活性化およびメツキ操
作という一連の工程を行なうことになる。無電解
メツキについて説明すると、基本的には従来知ら
れている金属の無電解メツキ法、合金の無電解メ
ツキ法が使用できる。
ただ、本発明による色分解フイルターは、固体
撮像素子に対して後加工で接合させるという工程
があるので、側面の無電解メツキによる金属遮光
層は、強固な接着力で側面に付着していることが
望ましい。そのために無電解メツキ法としてガラ
ス面への接着強度の高いメツキ法を選択しても良
い。
撮像素子に対して後加工で接合させるという工程
があるので、側面の無電解メツキによる金属遮光
層は、強固な接着力で側面に付着していることが
望ましい。そのために無電解メツキ法としてガラ
ス面への接着強度の高いメツキ法を選択しても良
い。
一例として、ニツケル無電解メツキ法の場合、
脱脂処理、鋭敏化処理、活性化処理のあと、次亜
リン酸ソーダや次亜リン酸カリウム等の次亜リン
酸のアルカリ金属塩の水溶液の処理を行なつてか
ら無電解メツキの本操作を行なうということがあ
げられる 無電解メツキを施すことにより、第３図ｄに示
すように、金属もしくは合金の無電解メツキ層１
７が色分解フイルター１８の保護膜１３面と側面
の全面に形成される。
脱脂処理、鋭敏化処理、活性化処理のあと、次亜
リン酸ソーダや次亜リン酸カリウム等の次亜リン
酸のアルカリ金属塩の水溶液の処理を行なつてか
ら無電解メツキの本操作を行なうということがあ
げられる 無電解メツキを施すことにより、第３図ｄに示
すように、金属もしくは合金の無電解メツキ層１
７が色分解フイルター１８の保護膜１３面と側面
の全面に形成される。
この後、粘着層を有する伸張性フイルム膜１５
から、個々の色分解フイルター１８を剥離し、し
かる後、張後膜１３も粘着性テープ等を用いて金
属遮光層ごと剥がせば、第３図ｅに示すように、
個々に分離独立した色分解フイルター１８であつ
て、その側面に無電解メツキによる金属遮光層１
２が形成されたものが得られる。
から、個々の色分解フイルター１８を剥離し、し
かる後、張後膜１３も粘着性テープ等を用いて金
属遮光層ごと剥がせば、第３図ｅに示すように、
個々に分離独立した色分解フイルター１８であつ
て、その側面に無電解メツキによる金属遮光層１
２が形成されたものが得られる。
以下に本発明の実施例を述べる。
実施例 １
厚さ0.5mm、直径10cmのパイレツクスガラス
（米国コーニング社製）からなる透明基板上に、
１辺約10mmの角形のフイルター層を公知の方法に
て36個多面付けしたものに対して、表面フイルタ
ー側に易剥離性塗膜となるコート材「シリテクト
ー：米国コントロライン社製商品名」を塗布し
て乾燥し保護膜とする。次に伸張性のポリ塩化ビ
ニルフイルムの片面に粘着層を設けた伸張性テー
プSPV−224（日東電工(株)製商品名）と透明基板
の下面とを貼り合わせ図面の第３図ａの状態とす
る。続いて450メツシユのレジンプレードを用い
た断裁機により、表面より断裁溝を入れ、前記の
伸張製テープの端部を引張り、第３図ｃの状態と
した。次いで脱脂処理して水洗した表面に対し
て、塩化第二スズ５ｇと35％塩酸５mlを水１に
対して溶かした水溶液（25℃）に４分間漬けて、
鋭敏化処理を行ない、流水で10秒間の水洗の後、
塩化パラジウム（pdCl2）0.1ｇと塩酸0.2mlを水
１に溶かした水溶液に常温で４分間浸ける活性
化処理を行なつた。水洗の後、無電解ニツケルメ
ツキ液として、日本カンゼン(株)社製の商品名「シ
ムーマー・Ｓ−680」を用い、液温50℃で10分間
浸漬して無電解メツキを施した。水洗後、80℃で
30秒間の熱風乾燥を行ない、色分解フイルターの
裏面に付着していた伸張製テープを剥離し、表面
の保護膜を色分解フイルターの表面にセロテープ
（ニチバン(株)商標名）を張りつけた上で表面の保
護膜をその上の無電解メツキ層と共に剥離するこ
とにより、側面にのみニツケルの無電解メツキ層
が施された固体撮像素子用色分解フイルターが得
られた。このニツケルの無電解メツキ層は、マク
ベス濃度計にて５±0.5の値を有し、接着強度も
満足すべきものであつた。
（米国コーニング社製）からなる透明基板上に、
１辺約10mmの角形のフイルター層を公知の方法に
て36個多面付けしたものに対して、表面フイルタ
ー側に易剥離性塗膜となるコート材「シリテクト
ー：米国コントロライン社製商品名」を塗布し
て乾燥し保護膜とする。次に伸張性のポリ塩化ビ
ニルフイルムの片面に粘着層を設けた伸張性テー
プSPV−224（日東電工(株)製商品名）と透明基板
の下面とを貼り合わせ図面の第３図ａの状態とす
る。続いて450メツシユのレジンプレードを用い
た断裁機により、表面より断裁溝を入れ、前記の
伸張製テープの端部を引張り、第３図ｃの状態と
した。次いで脱脂処理して水洗した表面に対し
て、塩化第二スズ５ｇと35％塩酸５mlを水１に
対して溶かした水溶液（25℃）に４分間漬けて、
鋭敏化処理を行ない、流水で10秒間の水洗の後、
塩化パラジウム（pdCl2）0.1ｇと塩酸0.2mlを水
１に溶かした水溶液に常温で４分間浸ける活性
化処理を行なつた。水洗の後、無電解ニツケルメ
ツキ液として、日本カンゼン(株)社製の商品名「シ
ムーマー・Ｓ−680」を用い、液温50℃で10分間
浸漬して無電解メツキを施した。水洗後、80℃で
30秒間の熱風乾燥を行ない、色分解フイルターの
裏面に付着していた伸張製テープを剥離し、表面
の保護膜を色分解フイルターの表面にセロテープ
（ニチバン(株)商標名）を張りつけた上で表面の保
護膜をその上の無電解メツキ層と共に剥離するこ
とにより、側面にのみニツケルの無電解メツキ層
が施された固体撮像素子用色分解フイルターが得
られた。このニツケルの無電解メツキ層は、マク
ベス濃度計にて５±0.5の値を有し、接着強度も
満足すべきものであつた。
実施例 ２
実施例１と全く同様にして、透明基板上に多面
付けされたフイルター層を形成したものを、図面
の第３図ｃの状態にし、無電解めつきの前処理す
なわち、脱脂、鋭敏化および活性化処理して、実
施例１と全く同様に行なつた。しかる後、下記に
示す、主々の金属の無電解メツキ液を用いること
により、それぞれの金属もしくは合金からなる無
電解めつき層を側面に形成して遮光層とした固体
撮像素子用色分解フイルターを得た。いずれの遮
光層も、マクベス濃度計による濃度測定値が3.0
以上であつた。
付けされたフイルター層を形成したものを、図面
の第３図ｃの状態にし、無電解めつきの前処理す
なわち、脱脂、鋭敏化および活性化処理して、実
施例１と全く同様に行なつた。しかる後、下記に
示す、主々の金属の無電解メツキ液を用いること
により、それぞれの金属もしくは合金からなる無
電解めつき層を側面に形成して遮光層とした固体
撮像素子用色分解フイルターを得た。いずれの遮
光層も、マクベス濃度計による濃度測定値が3.0
以上であつた。
Ａ 無電解銅めつき液
硫酸銅 35ｇ／
酒石酸ナトリウムカリウム 173ｇ／
水酸化ナトリウム 50ｇ／
37％ホルムアルデイド 100ml添加
PH＝11.5、液温24℃、浸漬時間15分間
Ｂ 無電解コバルトめつき液
硫酸コバルト 0.07mol／
次亜リン酸ナトリウム 0.2mol／
クエン酸ナトリウム 0.2mol／
硫酸アンモニウム 0.6mo／
PH＝9.5、液温90℃、浸漬時間20分間
Ｃ 無電解ニツケル−鉄合金めつき液
塩化ニツケル 0.056mol／
硫酸第一鉄アンモニウム 0.020mol／
酒石酸ナトリウムカリウム 0.2mol／
次亜リン酸ナトリウム 0.094mol／
アンモニア水 3.6mol／
液温75℃、浸漬時間20分間
以上説明したように、本発明の色分解フイルタ
ーは、一枚のガラス透明基板の上に多面付けにて
色分解用のフイルター層を形成した場合、断裁工
程の中において、付加的に無電解メツキの工程を
設定することにより、フイルターの側面という所
望の区域にのみ金属遮光層を施すことができるの
であり、その製造方法の簡便さは、産業上大いに
利するものと言うほかない。
ーは、一枚のガラス透明基板の上に多面付けにて
色分解用のフイルター層を形成した場合、断裁工
程の中において、付加的に無電解メツキの工程を
設定することにより、フイルターの側面という所
望の区域にのみ金属遮光層を施すことができるの
であり、その製造方法の簡便さは、産業上大いに
利するものと言うほかない。
第４図は、本発明による固体撮像素子用色分解
フイルターをCCDタイプの固体撮像装置に組入
れたところを示す。図から明らかなように、側面
に金属遮光層１２が側されているので、固体撮像
装置にフレア防止板を設ける必要がなく、作業的
には極めて容易に固体撮像装置を作製することが
できる。
フイルターをCCDタイプの固体撮像装置に組入
れたところを示す。図から明らかなように、側面
に金属遮光層１２が側されているので、固体撮像
装置にフレア防止板を設ける必要がなく、作業的
には極めて容易に固体撮像装置を作製することが
できる。
以上のように本発明の色分解フイルターの製造
方法は、製造の簡便さと固定撮像装置に組込んだ
時の便宜さが相俟つて、実用上極めて優れたもの
である。
方法は、製造の簡便さと固定撮像装置に組込んだ
時の便宜さが相俟つて、実用上極めて優れたもの
である。
第１図は、従前の固体撮像装置の一例を示す説
明図であり、第２図は、本発明による固体撮像素
子用色分解フイルターの一実施例を示す模式断面
図、第３図ａ〜ｂは、本発明の色分解フイルター
の製造方法の一例を工程順に示す断面図であり、
第４図は、本発明による色分解フイルターを固体
撮像装置に組込まれた際の様子を示す説明図であ
る。 １０……透明基板、１１……フイルター層、１
２……金属遮光層。
明図であり、第２図は、本発明による固体撮像素
子用色分解フイルターの一実施例を示す模式断面
図、第３図ａ〜ｂは、本発明の色分解フイルター
の製造方法の一例を工程順に示す断面図であり、
第４図は、本発明による色分解フイルターを固体
撮像装置に組込まれた際の様子を示す説明図であ
る。 １０……透明基板、１１……フイルター層、１
２……金属遮光層。
Claims (1)
- １ 一枚の透明基板の上面に少なくとも色分解用
フイルター層を所定の色数で所望のパターン増に
多数形成させた後、色分解フイルター層の上面に
保護膜を施し、ガラス透明基板の下面に伸張性フ
イルム膜を貼着し、各色分解フイルター層の間
に、伸張性フイルム膜に達する断裁溝を形成し、
しかる後、前記伸張性フイルム膜を両側に拡げる
ことにより、断裁溝の幅を拡張し、次いで、色分
解フイルター層側の全面に金属もしくは合金の無
電解めつき層からなる金属遮光膜を形成し、しか
る後、前記保護膜と伸張性フイルム膜を剥離する
ことにより、透明基板の側面のみに無電解めつき
による金属遮光層を形成する事を特徴とする固体
撮像素子用分解フイルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59030888A JPS60175005A (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59030888A JPS60175005A (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60175005A JPS60175005A (ja) | 1985-09-09 |
| JPH0459603B2 true JPH0459603B2 (ja) | 1992-09-22 |
Family
ID=12316262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59030888A Granted JPS60175005A (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60175005A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2735588B2 (ja) * | 1988-11-28 | 1998-04-02 | 大日本印刷株式会社 | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS572008A (en) * | 1980-06-06 | 1982-01-07 | Canon Inc | Color filter composite body |
| JPS5766406A (en) * | 1980-10-13 | 1982-04-22 | Dainippon Printing Co Ltd | Manufacture of color separation filter |
-
1984
- 1984-02-21 JP JP59030888A patent/JPS60175005A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60175005A (ja) | 1985-09-09 |
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