JPH0459687A - Ｍｎ―Ｚｎフェライト単結晶育成るつぼ - Google Patents
Ｍｎ―Ｚｎフェライト単結晶育成るつぼInfo
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- JPH0459687A JPH0459687A JP16733590A JP16733590A JPH0459687A JP H0459687 A JPH0459687 A JP H0459687A JP 16733590 A JP16733590 A JP 16733590A JP 16733590 A JP16733590 A JP 16733590A JP H0459687 A JPH0459687 A JP H0459687A
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- crucible
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
単結晶中に混入する白金もしくはロジウム合金の混入量
を大幅に低減することを可能としたＭｎ−Ｚｎフェライ
ト単結晶育成るつぼに関するものである。
を大幅に低減することを可能としたＭｎ−Ｚｎフェライ
ト単結晶育成るつぼに関するものである。
（従来の技術）
Ｍｎ−Ｚｎフェライト単結晶をブリッジマン法で育成す
るためにはｌ 、 ６４０〜１，７００℃という高温か
つ酸化雰囲気中で溶解し固化させるのが一般的な育成方
法で、るつぼ材質としては白金もしくは白金−ロジウム
合金が用いられていた。
るためにはｌ 、 ６４０〜１，７００℃という高温か
つ酸化雰囲気中で溶解し固化させるのが一般的な育成方
法で、るつぼ材質としては白金もしくは白金−ロジウム
合金が用いられていた。
（発明が解決しようとする課題）
これらのるつぼを用いた場合、熔融物とるつぼの界面か
ら白金もしくはロジウムが熔融物中に拡散すること、お
よび白金、ロジウムの蒸気を熔融物表面から吸収するこ
とによって、育成された単結晶中にこれらの粒子が数μ
ｍから １００μｍ程度の粒径で析出するという現象が
あり品質上問題となっている。
ら白金もしくはロジウムが熔融物中に拡散すること、お
よび白金、ロジウムの蒸気を熔融物表面から吸収するこ
とによって、育成された単結晶中にこれらの粒子が数μ
ｍから １００μｍ程度の粒径で析出するという現象が
あり品質上問題となっている。
本発明の目的は、このような欠点を解決した高純度Ｍｎ
−Ｚｎフェライト単結晶の育成方法を提供しようとする
ものである。
−Ｚｎフェライト単結晶の育成方法を提供しようとする
ものである。
（課題を解決するための手段）
本発明者は、上記課題を解決するために、白金ロジウム
の混入経路を積極的に解明し、その結果、溶融物接触部
からの拡散、混入を抑えることは極めて困難であり、む
しろ熔融物表面からの蒸気吸収を防止することの方が確
実で実用的であるとの結論に達し、このためにはるつぼ
と熔融物との非接触面である熔融物上部のるつぼ空間を
狭小化することと、この空間部のるつぼ内壁を被覆する
ことでるつぼからの蒸気の発生を抑制すれば良いことが
解り、諸条件を検討して本発明に到達した。
の混入経路を積極的に解明し、その結果、溶融物接触部
からの拡散、混入を抑えることは極めて困難であり、む
しろ熔融物表面からの蒸気吸収を防止することの方が確
実で実用的であるとの結論に達し、このためにはるつぼ
と熔融物との非接触面である熔融物上部のるつぼ空間を
狭小化することと、この空間部のるつぼ内壁を被覆する
ことでるつぼからの蒸気の発生を抑制すれば良いことが
解り、諸条件を検討して本発明に到達した。
本発明の要旨とするところは、
内壁を金属鉄もしくは酸化鉄の被膜で被覆した白金もし
くは白金−ロジウム合金から成るＭｎ−Ｚｎフェライト
単結晶育成るつぼにあり、金属鉄もしくは酸化鉄の被膜
の厚さか３〜５００μｍかよい。
くは白金−ロジウム合金から成るＭｎ−Ｚｎフェライト
単結晶育成るつぼにあり、金属鉄もしくは酸化鉄の被膜
の厚さか３〜５００μｍかよい。
以下、本発明の詳細な説明する。
白金又は白金−ロジウム製るつぼの被覆材としては熔融
物の主成分と同一成分であること、および融点が１．５
００℃以上であることか必要である。
物の主成分と同一成分であること、および融点が１．５
００℃以上であることか必要である。
Ｍｎ−Ｚｎフェライトの場合構成成分元素がＦｅ、 Ｍ
ｎ、 ＺｎＯであるが、特にＦｅとすれば高温酸化雰囲
気中で酸化鉄Ｆｅａｒ４となり、安定な酸化被膜を形成
することで白金、ロジウムの蒸気発生を抑制する効果が
大きい。
ｎ、 ＺｎＯであるが、特にＦｅとすれば高温酸化雰囲
気中で酸化鉄Ｆｅａｒ４となり、安定な酸化被膜を形成
することで白金、ロジウムの蒸気発生を抑制する効果が
大きい。
これら被覆材をるつぼ内壁に被覆するには、真空蒸着法
によれば良（、その厚さは１〜５００μｍ、好ましくは
３〜３００μｍが良い。１μｍ未満では白金、ロジウム
蒸気の発生を抑制する効果がなく、５００μｍを越える
とＦｅ２０ｓ成分が目的とするフェライト組成より２モ
ル％以上増加し、組成制御が困難となる。
によれば良（、その厚さは１〜５００μｍ、好ましくは
３〜３００μｍが良い。１μｍ未満では白金、ロジウム
蒸気の発生を抑制する効果がなく、５００μｍを越える
とＦｅ２０ｓ成分が目的とするフェライト組成より２モ
ル％以上増加し、組成制御が困難となる。
真空蒸着法の条件としては、Ｆｅの場合、真空蒸着装置
のチャンバー内にるつぼを水平に設置して水平軸で回転
出来るようにし、タングステンボートをるつぼ開口部か
らるつぼ内に水平に挿入出来るようにする。るつぼを回
転させながらポートに載せた金属Ｆｅを抵抗加熱により
蒸発させ、るつぼ内壁にＦｅを蒸着させる。膜の厚さは
蒸発させるＦｅの量で制御する。被覆する場所は、るつ
ぼ内壁の溶融物表面との境界線から幾分下に入った熔融
物と接触する線からるつぼ開口縁部までとするのが良い
。
のチャンバー内にるつぼを水平に設置して水平軸で回転
出来るようにし、タングステンボートをるつぼ開口部か
らるつぼ内に水平に挿入出来るようにする。るつぼを回
転させながらポートに載せた金属Ｆｅを抵抗加熱により
蒸発させ、るつぼ内壁にＦｅを蒸着させる。膜の厚さは
蒸発させるＦｅの量で制御する。被覆する場所は、るつ
ぼ内壁の溶融物表面との境界線から幾分下に入った熔融
物と接触する線からるつぼ開口縁部までとするのが良い
。
以下、本発明の具体的実施態様を実施例と比較例を挙げ
て説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。
て説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。
（実施例１〜６）
外径７０ｍｍ、全長２００ｍｍ、厚さ０．４ｍｍのＰｔ
−１００％るつぼの内壁に、真空蒸着法により金属鉄の
被膜を形成した。厚さは第１表に示したように５μｍ〜
５００μｍの範囲で各種製作した。このるつぼを用いて
、Ｍｎ−Ｚｎフェライト単結晶（Ｍｎ０２９、ＺｎＯ１
８、Ｆｅ２ｅ３５３各モル％）の育成を行なった結果、
第１表に示したように白金混入量の極めて少ない高純度
Ｍｎ−Ｚｎフェライト単結晶を得た。
−１００％るつぼの内壁に、真空蒸着法により金属鉄の
被膜を形成した。厚さは第１表に示したように５μｍ〜
５００μｍの範囲で各種製作した。このるつぼを用いて
、Ｍｎ−Ｚｎフェライト単結晶（Ｍｎ０２９、ＺｎＯ１
８、Ｆｅ２ｅ３５３各モル％）の育成を行なった結果、
第１表に示したように白金混入量の極めて少ない高純度
Ｍｎ−Ｚｎフェライト単結晶を得た。
ただし、実施例６は白金混入量は目的を達成したが、Ｍ
ｎ−Ｚｎフェライト単結晶の組成に原料配合比と比較し
てＦｅＪ３で２モル％増加した。
ｎ−Ｚｎフェライト単結晶の組成に原料配合比と比較し
てＦｅＪ３で２モル％増加した。
（実施例７）
るつぼ材質をＰｔ−１０％Ｒｈとした以外は実施例３と
同様に処理し、白金混入量を求め、その結果を第１表に
示した。
同様に処理し、白金混入量を求め、その結果を第１表に
示した。
（実施例８）
実施例４の１００μｍのＦｅ被膜るつぼを大気中１．４
００℃で１時間熱処理し、酸化鉄Ｆｅ５ｒ＜の被膜とし
て単結晶の育成を行なった。
００℃で１時間熱処理し、酸化鉄Ｆｅ５ｒ＜の被膜とし
て単結晶の育成を行なった。
（比較例１．２）
るつぼ材質を白金（比較例１）、白金−ロジウム（比較
例２）とし、被膜処理を施さなかった以外は実施例１と
同様に処理し、白金混入量を求め、第１表に併記した。
例２）とし、被膜処理を施さなかった以外は実施例１と
同様に処理し、白金混入量を求め、第１表に併記した。
（比較例３）
金属Ｆｅ被膜を１μｍとした以外は実施例１と同様に処
理し、白金混入量を求め、第１表に併記した。
理し、白金混入量を求め、第１表に併記した。
１級ｌ互滅１１（各例共通）
溶解育成温度： １，６５０ ’Ｃ
るつぼ移動速度：５ｍｍ／ｈ
雰囲気：育成中はｌ ａｔｍ ０２、降温中は１ ａｔ
ｍ Ｎ２とした。
ｍ Ｎ２とした。
（発明の効果）
内壁を金属鉄もしくは酸化鉄被膜で被覆した白金もしく
は白金−ロジウムるつぼを用いてＭｎ−Ｚｎフェライト
単結晶を育成すれば白金、ロジウム粒子の混入を大幅に
低減することが出来、品質上の改善効果が太き（、実用
上その利用価値は極めて高い。
は白金−ロジウムるつぼを用いてＭｎ−Ｚｎフェライト
単結晶を育成すれば白金、ロジウム粒子の混入を大幅に
低減することが出来、品質上の改善効果が太き（、実用
上その利用価値は極めて高い。
特許出願人 信越化学工業株式会社−代理人・弁理士
山 本 亮 −
山 本 亮 −
Claims (2)
- １．内壁を金属鉄もしくは酸化鉄の被膜で被覆した白金
もしくは白金−ロジウム合金から成るＭｎ−Ｚｎフェラ
イト単結晶育成るつぼ。 - ２．金属鉄もしくは酸化鉄の被膜の厚さが３〜５００μ
ｍである請求項１に記載のＭｎ−Ｚｎフェライト単結晶
育成るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2167335A JP2719220B2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | Ｍｎ―Ｚｎフェライト単結晶育成るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2167335A JP2719220B2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | Ｍｎ―Ｚｎフェライト単結晶育成るつぼ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459687A true JPH0459687A (ja) | 1992-02-26 |
| JP2719220B2 JP2719220B2 (ja) | 1998-02-25 |
Family
ID=15847829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2167335A Expired - Fee Related JP2719220B2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | Ｍｎ―Ｚｎフェライト単結晶育成るつぼ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2719220B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62246895A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 結晶作製用るつぼ |
| JPH0442885A (ja) * | 1990-06-07 | 1992-02-13 | Ishifuku Kinzoku Kogyo Kk | フェライト単結晶作製用るつぼ |
| JPH0445390A (ja) * | 1990-06-13 | 1992-02-14 | Ishifuku Kinzoku Kogyo Kk | 酸化物分散強化材被覆るつぼ |
-
1990
- 1990-06-26 JP JP2167335A patent/JP2719220B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62246895A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 結晶作製用るつぼ |
| JPH0442885A (ja) * | 1990-06-07 | 1992-02-13 | Ishifuku Kinzoku Kogyo Kk | フェライト単結晶作製用るつぼ |
| JPH0445390A (ja) * | 1990-06-13 | 1992-02-14 | Ishifuku Kinzoku Kogyo Kk | 酸化物分散強化材被覆るつぼ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2719220B2 (ja) | 1998-02-25 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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