JPH0459897B2 - - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、衝撃波管用の渦巻き形フラツトコイ
ルとその製作方法に関する。本発明によるフラツ
トコイルは特に患者の結石たとえば腎石を破砕す
るための衝撃波管用に使用される。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a spiral flat coil for shock wave tubes and a method for manufacturing the same. The flat coil according to the invention is used in particular for shock wave tubes for fragmenting stones, such as kidney stones, in patients.
この種の衝撃波管はかなり前から知られている
(刊行物「アクステイツシエ バイヘフテ
“Akustische Beihefte)”」1962年発行、第1号、
第185頁〜第202頁参照)。この衝撃波管は、たと
えば西独特許出願公開第3312014号公報に開示さ
れているような新しい診察法に基づいて、患者の
身体内の結石を破砕するための医科技術において
使用される。西独特許出願公開第3312014号公報
においてはこのような目的に使用可能な衝撃波管
が開示されている。約100バールというような高
い圧力パルスのために、衝撃波放出の都度かかる
衝撃波管の材料は強く応力を受ける。特に放電コ
イルとダイヤフラムとは高い機械力を受ける。西
独特許出願公開第3312014号公報においては、球
欠状コイルが設けられているが、その球欠形状は
たとえばフラツトコイルをくり抜くような付加的
な加工によつて作られる。
Shock tubes of this type have been known for quite some time (publication "Akustische Beihefte", published in 1962, no. 1).
(See pages 185-202). This shock wave tube is used in medical technology for breaking up stones in the body of a patient on the basis of a new diagnosis method, such as that disclosed in German Patent Application No. 3312014, for example. German Patent Application No. 3312014 discloses a shock wave tube that can be used for this purpose. Due to the high pressure pulses, such as approximately 100 bar, the material of the shock wave tube is highly stressed during each shock wave release. In particular, the discharge coil and diaphragm are subjected to high mechanical forces. In German Patent Application No. 3312014, a bulb-shaped coil is provided, but the bulb-shaped coil is made by additional processing such as hollowing out a flat coil.
しかしながら、そのような加工方法は当然材料
費用がかかり、しかもたとえば精度等に関して要
求の高い加工工具を必要とする。
However, such machining methods naturally involve high material costs and also require machining tools that are demanding, for example with respect to precision.
そこで本発明は、任意の渦巻き形状を有するフ
ラツトコイルを簡単な手段にて製作することがで
きるような、冒頭で述べた種類の製作方法および
フラツトコイルを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a manufacturing method and a flat coil of the type mentioned at the beginning, by which a flat coil having an arbitrary spiral shape can be manufactured by simple means.
この目的を達成するために、本発明は、渦巻き
形の遮蔽膜が支持膜とこの支持膜の上に位置する
導電性膜と感光性上部膜とを有するプリント板に
ホトグラフイツク(写真術)的に転写され、上部
膜が現像され、転写された遮蔽膜の渦巻き路の間
が導電性膜からエツチング除去され、導電性膜に
残された渦巻き路が電気鍍金により増強され、最
後にプリント板がフラツトコイル支持体に貼着さ
れることを特徴とする。
To achieve this objective, the present invention provides a method for photographic printing in which a spiral-shaped shielding film is applied to a printed board having a support film, a conductive film located above the support film, and a photosensitive upper film. The upper film is developed, the area between the spirals of the transferred shielding film is etched away from the conductive film, the spirals left in the conductive film are strengthened by electroplating, and finally the printed board is formed. is attached to a flat coil support.
本発明による製作方法によつて製作されたフラ
ツトコイルは、支持膜と、銅から成り支持膜に固
定された渦巻きと、音響反射性を有する非導電性
材料から成りフラツトコイル支持体として備えら
れる板状体とを備え、この板状体には渦巻きおよ
び(または)支持膜が貼着されることを特徴とす
る。 The flat coil manufactured by the manufacturing method of the present invention includes a support film, a spiral made of copper fixed to the support film, and a plate-shaped body made of an acoustically reflective non-conductive material and provided as a support for the flat coil. and a spiral and/or a support film are attached to this plate-like body.
本発明による製作方法の利点は、任意の渦巻き
形状を有するコイルを何ら問題なく製作すること
ができる点である。このために、たとえば旋盤ま
たはフライス盤のような費用のかかる機械的な加
工工具を必要としない。 An advantage of the manufacturing method according to the invention is that coils with arbitrary spiral shapes can be manufactured without any problems. For this purpose, no expensive mechanical processing tools, such as lathes or milling machines, are required.
本発明による製作方法の特に有利な実施態様に
よれば、プリント板は渦巻きを支持する表面がフ
ラツトコイル支持体に貼着される。このようにす
ることによつて、衝撃波管においてはプリント板
の非導電性部分を、同時にコイルとこのコイルの
前に支持されているダイヤフラムとの間の絶縁膜
として使用することができる。それにより、衝撃
波管の主要構成要素つまりフラツトコイル、絶縁
膜およびダイヤフラムの取付けは著しく簡単化さ
れる。 According to a particularly advantageous embodiment of the manufacturing method according to the invention, the printed circuit board is glued with its spiral-bearing surface to a flat coil carrier. In this way, the non-conductive parts of the printed circuit board can be used in shock tubes at the same time as an insulating layer between the coil and the diaphragm supported in front of the coil. The installation of the main components of the shock tube, namely the flat coil, the insulation membrane and the diaphragm, is thereby significantly simplified.
次に本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説
明する。
Next, embodiments of the present invention will be described in detail based on the drawings.
簡略化のため図面には個々の膜厚は実際の寸法
通りに示されていない。このことは以下の説明か
ら明らかである。 For the sake of simplicity, the individual film thicknesses are not shown to scale in the drawings. This is clear from the explanation below.
第1図において1は、主要構成要素が渦巻き形
コイル4(第3図および第4図参照)を有するフ
ラツトコイル支持体3と絶縁膜5とダイヤフラム
7とから成る衝撃波管全体を示す。コイル4と絶
縁膜5とダイヤフラム7との保持手段は示されて
いない。 In FIG. 1, reference numeral 1 designates the entire shock wave tube, the main components of which are a flat coil support 3 having a spiral coil 4 (see FIGS. 3 and 4), an insulating film 5 and a diaphragm 7. A means for holding the coil 4, insulating film 5, and diaphragm 7 is not shown.
衝撃波を発生するために、フラツトコイル4に
は高電圧パルスが短期間与えられる。コイル4と
ダイヤフラム7との電磁的相互作用に基づいて、
ダイヤフラム7はコイル4から突き離される。そ
れによりダイヤフラム7が衝撃波を発生する。衝
撃波管1が良好な機能を発揮しかつ所定の望まし
い波形が作成されるようにするためには、コイル
4は規定された形状を持たなければならない。コ
イル4の表面は、たとえば平面状衝撃波を発生し
たい場合には平面状に形成され、また発生された
衝撃波が一点に集束するように走行させたい場合
には凹面状球欠形に形成され得る。コイル4を規
定された形状に形成することのほかに、渦巻き路
(渦巻き形コイルを構成する導体)間の絶縁がた
とえば空気を包含することなく良好に形成される
ことは非常に重要である。コイル4に印加される
電圧パルスは10〜30kV程度の大きさである。 In order to generate a shock wave, the flat coil 4 is given a high voltage pulse for a short period of time. Based on the electromagnetic interaction between the coil 4 and the diaphragm 7,
The diaphragm 7 is pushed away from the coil 4. This causes the diaphragm 7 to generate a shock wave. In order for the shock tube 1 to function well and to produce a certain desired waveform, the coil 4 must have a defined shape. The surface of the coil 4 may be formed into a planar shape, for example, if it is desired to generate a planar shock wave, or may be formed into a concave spherical shape if the generated shock wave is desired to travel so as to converge at one point. In addition to forming the coil 4 in a defined shape, it is very important that the insulation between the spiral paths (conductors making up the spiral coil) is well formed, for example without enclosing air. The voltage pulse applied to the coil 4 has a magnitude of about 10 to 30 kV.
コイル4を備えたフラツトコイル支持体3の製
作は円形状セラミツク板から出発する。この円板
はたとえば155mmの直径の際には40mmの厚さを有
する。しかしながら上述の方法を実施する場合、
15mmの厚さの際にはたとえば60mmの直径の小さな
円板も同様に製作される。セラミツクから成りフ
ラツトコイル支持体3として使用されるこの円板
のほかに、プリント板9が他の出発材料として用
いられる。このプリント板9はコイル4を製作す
るために備えられる。プリント板9は好適にはポ
リイミドから成る非導電性支持膜11から構成さ
れている。このポリイミド膜は約200μmの厚さ
を有することができる。支持膜11の一方の面に
は、導電性物質から成る薄膜13、特に約7μm
の厚さの銅膜が備えられている。この銅膜13上
にはさらに感光性上部膜15が設けられている。 The production of the flat coil support 3 with the coil 4 starts from a circular ceramic plate. For example, with a diameter of 155 mm, this disk has a thickness of 40 mm. However, when implementing the method described above,
For a thickness of 15 mm, small discs with a diameter of, for example, 60 mm are also produced. In addition to this circular plate made of ceramic and used as flat coil support 3, a printed circuit board 9 is used as a further starting material. This printed board 9 is provided for manufacturing the coil 4. The printed circuit board 9 consists of a non-conductive support film 11, preferably made of polyimide. This polyimide membrane can have a thickness of about 200 μm. On one side of the support membrane 11, a thin film 13 made of an electrically conductive material, in particular about 7 μm thick, is provided.
A copper film with a thickness of . A photosensitive upper film 15 is further provided on this copper film 13.
第2図にはフラツトコイル支持体3と第1およ
び第2の工程に基づいて加工されたプリント板9
とが示されている。感光性上部膜15の種類に応
じて、ポジテイブまたはネガテイブ製法による渦
巻き形状を含む遮蔽膜(図示されていない)を載
置し、次に感光性膜15のその遮蔽膜によつて覆
われていない部分に露光を行い、渦巻き路13a
の間の間隙の現像およびエツチング除去を行うこ
とによつて、第2図に示されたプリント板9が構
成される。このプリント板9は支持膜11ともと
もとあつた銅膜13の部分とから構成されてい
る。これにより渦巻き路13aは渦巻き形のフラ
ツトコイル4を形成する。 FIG. 2 shows a flat coil support 3 and a printed board 9 processed according to the first and second steps.
is shown. Depending on the type of photosensitive upper film 15, a shielding film (not shown) containing a spiral shape by a positive or negative manufacturing method is placed, and then the parts of the photosensitive film 15 that are not covered by the shielding film are placed. The spiral path 13a is exposed to light.
By developing and etching away the gaps between the two, the printed board 9 shown in FIG. 2 is constructed. This printed board 9 is composed of a support film 11 and a portion of the copper film 13 that was originally present. As a result, the spiral path 13a forms a spiral flat coil 4.
第3図においては、フラツトコイル支持体3の
ほかに、上述の現像およびエツチング工程の後に
電気鍍金工程によつて約7μmからたとえば約
150μmの全厚に増強された渦巻き形銅膜13が
示されている。このようにして作られた渦巻き路
13aを有する渦巻きは、個々の渦巻き路13a
が充分な間隔を有する場合には、衝撃波発生の際
に高電圧衝撃および高電流衝撃に耐えることがで
きる。 In addition to the flat coil support 3, in FIG.
A spiral copper film 13 is shown enhanced to a total thickness of 150 μm. The spiral having the spiral path 13a created in this way has individual spiral paths 13a.
If they have sufficient spacing, they can withstand high voltage and high current shocks during shock wave generation.
第4図においては、フラツトコイル支持体3と
集積化コイル4との完成装置が示されている。渦
巻き形銅膜13の間の間隙には合成樹脂17が充
填されている。コイル4はフラツトコイル支持体
3の端面に接着されている。コイル4をフラツト
コイル支持体3に良好に接着し、かつ上記間隙合
成樹脂を充填するために、同様に1つの作業工程
において、フラツトコイル支持体3の端面全体に
合成樹脂を塗布することができる。 In FIG. 4, the complete device with flat coil support 3 and integrated coil 4 is shown. The gaps between the spiral copper films 13 are filled with synthetic resin 17. The coil 4 is glued to the end face of the flat coil support 3. In order to better adhere the coil 4 to the flat coil support 3 and to fill the gap with synthetic resin, the entire end face of the flat coil support 3 can likewise be applied with synthetic resin in one working step.
プリント板9は原理的にはフラツトコイル支持
体3に対して支持膜11でもつてあるいは膜13
でもつて接着することができる。この第2の実施
例の利点は、コイル4をダイヤフラム7から電気
的に絶縁するために、支持膜11を同時に絶縁膜
5として使用することができることである。 In principle, the printed board 9 is attached to the flat coil support 3 by a support film 11 or by a film 13.
But it can also be glued. The advantage of this second embodiment is that the support membrane 11 can be used at the same time as the insulating membrane 5 in order to electrically insulate the coil 4 from the diaphragm 7.
フラツトコイル支持体3用の材料としては特に
酸化アルミニウム・セラミツクが適し、その場合
にはエポキシ樹脂を充填しても充填しなくても良
好な結果が得られる。 A particularly suitable material for the flat coil support 3 is aluminum oxide ceramic, in which case good results can be obtained with or without filling with epoxy resin.
以上に説明したように、本発明によれば、任意
の渦巻き形状を有するフラツトコイルを何ら問題
なく製作することができる。しかもこのために、
たとえば旋盤またはフライス盤のような費用のか
かる機械的な加工工具を必要としない。
As explained above, according to the present invention, a flat coil having an arbitrary spiral shape can be manufactured without any problems. Moreover, for this reason,
No expensive mechanical processing tools, such as lathes or milling machines, are required.
第1図はコイル支持体と絶縁膜に接合されるプ
リント板とダイヤフラムとを有する衝撃波管を示
す分解図、第2図はコイル支持体と渦巻き路の間
の間隙がエツチング除去されているプリント板と
を示す概略図、第3図はコイル支持体と電気鍍金
によつて補強された渦巻き路とを示す概略図、第
4図はコイル支持体とプリント板から製作されて
そのコイル支持体に接着された渦巻き形コイルと
から成る完成されたフラツトコイル装置を示す概
略図である。
1……衝撃波管、3……フラツトコイル支持
体、4……コイル、5……絶縁膜、7……ダイヤ
フラム、9……プリント板、11……支持膜、1
3……銅膜、13a……渦巻き路、15……感光
性上部膜、17……合成樹脂。
FIG. 1 is an exploded view showing a shock wave tube having a printed circuit board and a diaphragm bonded to a coil support and an insulating film, and FIG. 2 is a printed circuit board in which the gap between the coil support and the spiral path has been etched away. FIG. 3 is a schematic diagram showing a coil support and a spiral track reinforced by electroplating; FIG. 4 is a schematic diagram showing a coil support and a spiral track reinforced by electroplating; FIG. FIG. 2 is a schematic diagram showing a completed flat coil device consisting of a spiral coil and a spiral coil. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Shock wave tube, 3... Flat coil support, 4... Coil, 5... Insulating film, 7... Diaphragm, 9... Printed board, 11... Support film, 1
3... Copper film, 13a... Spiral path, 15... Photosensitive upper film, 17... Synthetic resin.
Claims (1)
するための方法において、渦巻き形の遮蔽膜が支
持膜11とこの支持膜の上に位置する導電性膜1
3と感光性上部膜15とを有するプリント板9上
にホトグラフイツク的に転写され、上部膜15が
現像され、転写された遮蔽膜の渦巻き路13aの
間が導電性膜13からエツチング除去され、導電
性膜13に残された渦巻き路13aが電気鍍金に
より増強され、最後にプリント板9がフラツトコ
イル支持体3に貼着されることを特徴とする衝撃
波管用フラツトコイルの製作方法。 2 支持膜11としてポリイミド膜が備えられ、
導電性膜13として銅膜が備えられることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の方法。 3 ポリイミド膜11は約200μmの厚さであり、
銅膜13は約7μmの厚さであることを特徴とす
る特許請求の範囲第2項記載の方法。 4 渦巻き路13aは電気鍍金により約150μm
の厚さに増強されることを特徴とする特許請求の
範囲第1項ないし第3項のいずれか1項に記載の
方法。 5 プリント板9は渦巻き路13aを支持する表
面がフラツトコイル支持体3に貼着されることを
特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第4項の
いずれか1項に記載の方法。 6 支持膜11と、銅から成り支持膜11に固定
された渦巻き路13aと、音響反射性を有する非
導電性材料から成りフラツトコイル支持体3とし
て備えられる板状体とを備え、板状体には前記渦
巻き路13aおよび(または)支持膜11が貼着
されることを特徴とする衝撃波管用フラツトコイ
ル。 7 フラツトコイル支持体3はセラミツクから成
ることを特徴とする特許請求の範囲第6項記載の
フラツトコイル。 8 フラツトコイル支持体3はエポキシ樹脂から
成ることを特徴とする特許請求の範囲第6項記載
のフラツトコイル。 9 板状体3に渦巻き路13aおよび(または)
支持膜11を貼着するために樹脂17が備えられ
ていることを特徴とする特許請求の範囲第6項な
いし第8項のいずれか1項に記載のフラツトコイ
ル。[Claims] 1. A method for manufacturing a spiral flat coil for a shock wave tube, in which a spiral shielding film comprises a support film 11 and a conductive film 1 located on the support film.
3 and a photosensitive upper film 15, the upper film 15 is developed, and the area between the spiral paths 13a of the transferred shielding film is etched away from the conductive film 13. A method for manufacturing a flat coil for a shock wave tube, characterized in that the spiral path 13a left on the conductive film 13 is strengthened by electroplating, and finally a printed board 9 is attached to the flat coil support 3. 2 A polyimide film is provided as the support film 11,
2. A method according to claim 1, characterized in that a copper film is provided as the conductive film 13. 3 The polyimide film 11 has a thickness of about 200 μm,
3. A method according to claim 2, characterized in that the copper film 13 has a thickness of approximately 7 μm. 4 The spiral path 13a is approximately 150 μm thick by electroplating.
A method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the thickness is increased to . 5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the surface of the printed board 9 supporting the spiral path 13a is adhered to the flat coil support 3. 6 comprises a support film 11, a spiral path 13a made of copper and fixed to the support film 11, and a plate-shaped body made of an acoustically reflective non-conductive material and provided as a flat coil support 3; A flat coil for a shock wave tube, characterized in that the spiral path 13a and/or the support film 11 are attached. 7. The flat coil according to claim 6, wherein the flat coil support 3 is made of ceramic. 8. The flat coil according to claim 6, wherein the flat coil support 3 is made of epoxy resin. 9 Spiral path 13a and/or
A flat coil according to any one of claims 6 to 8, characterized in that a resin 17 is provided for adhering the support film 11.
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Family Applications (1)
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Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3189767A (en) * | 1963-01-28 | 1965-06-15 | Gen Electric | Ultrasonic transmitting means and method of producing same |
| JPS4978159A (en) * | 1972-12-05 | 1974-07-27 | ||
| US4494100A (en) * | 1982-07-12 | 1985-01-15 | Motorola, Inc. | Planar inductors |
| DE3312014C2 (en) * | 1983-04-02 | 1985-11-07 | Wolfgang Prof. Dr. 7140 Ludwigsburg Eisenmenger | Device for the contact-free crushing of concretions in the body of living beings |
-
1985
- 1985-01-28 DE DE19853502770 patent/DE3502770A1/en not_active Withdrawn
-
1986
- 1986-01-14 DE DE8686100419T patent/DE3663208D1/en not_active Expired
- 1986-01-14 EP EP86100419A patent/EP0189781B1/en not_active Expired
- 1986-01-24 JP JP61013570A patent/JPS61176334A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61176334A (en) | 1986-08-08 |
| EP0189781B1 (en) | 1989-05-03 |
| EP0189781A1 (en) | 1986-08-06 |
| DE3502770A1 (en) | 1986-07-31 |
| DE3663208D1 (en) | 1989-06-08 |
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