JPH0459929B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、流体中に圧縮性流体が加えられてで
きた混合物への圧縮性流体の添加を制御する流体
用の閉ループの装置に関する。

（従来の技術） 例えば、ポリウレタン材の処理においては、多
孔性の構造を得るために発泡添加剤が予め加えら
れる。発泡添加剤は、水や、フレオンの商標で知
られるフルオロカーボン（通常は気化する液体と
して加えられる）を含み、またある場合にはこれ
に代えてあるいはこれに加えて化学的反応剤を含
む。しかし、生態学的及びコスト上の理由から、
可能な限りフレオンを使わないことが望ましい。
そのため、この技術分野では乾燥ガス、特に乾燥
空気あるいは乾燥窒素の使用にその主体が移つて
いる。これらのガスはフレオンと共に用いられる
場合もある。最近の反応注入型成型法
（Reaction Injection Molding、以下、RIM法と
略称する）においては、反応剤中へのガスの泡の
添加は通常核生成と称される。普通は、核生成は
ウレタンを形成するのに用いられる液体反応剤の
内の一つのみにおいてなされる。かくして、一時
は非常に密度の低い泡をつくるためにガス状ある
いはガスの発泡添加剤が用いられたが、最近で
は、ポリウレタンやある場合にはエポキシで作ら
れた例えば自動車部品等のような工業用プラスチ
ツク構造物は、成形性及びプラスチツクの延びを
改良しかつ機械的特性を損なうことなく重量を減
ずるため、同伴された及び／又は溶解したガスを
用いる。モノマーや他の反応剤の核生成（ガス泡
の同伴）の範囲は、混合物（すなわち液体とガス
による泡含有体）のかさ密度すなわち比重量が、
核のないものが1.1であるのに対して0.7というよ
うな低い値もとることができる。

（発明が解決しようとする課題） より速く反応するRIM法が開発されるにつれ
て、核生成度の正確な制御の重要性がより大きく
なつた。このような核生成度の正確な制御をする
ためには、流体に加えられる圧縮性流体の量を正
確に制御する必要がある。

上述のような必要性に鑑み、本発明の目的は、
循環する流体の圧縮性の計測してその結果に応じ
て循環流体へ圧縮性流体の添加量をフイードバツ
ク制御する流体用閉ループ装置を提供することに
ある。

（課題を解決するための手段） このような目的を達成するための本発明にかか
る流体用閉ループ装置は、流体をその供給源から
使用位置に送り、そこで使用されない流体を供給
源に循環させる流体用閉ループ装置であつて、前
記流体に圧縮性流体を加える装置と、前記加える
装置のための制御装置と、前記流体を代表するサ
ンプルを閉じ込める装置と、前記閉じ込められた
サンプルに部材を押し込むことにより該サンプル
を圧縮する装置と、前記サンプルの圧力をある予
め定めた量だけ変えるために要した前記部材の実
際の移動量を計測し該移動量を示す距離信号を発
生する計測装置と、前記計測装置からの前記距離
信号から制御信号を得るための計算装置と、前記
制御信号を前記制御装置に加える装置とを有し、
これによつて、前記圧縮性流体を前記流体に加え
るための閉ループのフイールドバツク制御がなさ
れることを特徴としている。

（作用） 閉じ込められたサンプルに部材を押し込むこと
によつて、サンプルをその圧力が予め定めた量だ
け上昇するように圧縮し、これに要した部材の移
動量を計測してこの移動量を示す距離信号を得
る。この移動量と圧縮性流体の含有率との間には
予め知られた一定の関係があり、この移動量を計
測することで実質的に圧縮性流体の含有率を知る
ことができる。計算装置によつて距離信号は基準
値と比較され、両者の相違に応じた制御信号が圧
縮性流体を加える装置のらめの制御装置に加えら
れる。制御装置はその制御信号によつて、実際の
含有率が基準値よりも小さければ圧縮性流体をさ
らに加え、実際の含有率が基準値よりも大きけれ
ば圧縮性流体を加えるのを制御するようにフイー
ドバツク制御を行う。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面によつて具体的
に説明する。第１図はRIM法における液状モノ
マーの循環系統に適用した本発明の一実施例にか
かる閉ループ装置を示す図であり、この循環系統
は反応剤をある時間間隔をもつて混合ヘツドの一
方の側へ供給するものである。この反応剤は混合
ヘツドで激しくかつ完全に他の反応剤と混合さ
れ、そこから型（図示していないが混合ヘツドに
すぐ隣接して設けられている。）に送られ、そこ
で液体から固体に変わる化学反応が行われる。典
型的には、ポリウレタン用の反応剤はポリオール
やデイイソシアネート又はイソシアネートジエネ
レータのようなイソシアネートである。好適な例
においては、本発明にかかる核生成系はポリオー
ルに乾燥窒素を添加するのに用いられる。

ガス−液体混合物、即ち核生成された液体は混
合用貯留器５から循環ポンプ６に供給され、そこ
から導管７を介して混合ヘツド８に送られる。混
合の間に反応剤は混合ヘツド８内に入り、そこで
前述のように混合され反応する。他の時点では、
循環作用が行われ、この場合は混合ヘツド８を出
て導管１０を介し計測ポンプ１１を通り戻り用導
管１２を介して貯留器５に戻る循環が行われる。
好適には、ボール弁１４，１５がそれぞれ混合ヘ
ツド８の入口と循環系統内に配置される。

貯留器５は、可変速の攪拌装置１７と混合物の
上部に乾燥窒素ガスの覆い１８を作る装置とを有
してしる。この覆い１８の目的は混合物からの脱
気を最小にして十分な圧力を提供することであ
る。好適には、ガスはガス貯槽、典型的には加圧
ガスシリンダ２０から通常の調圧器２１及びリリ
ーフ弁２２を介して供給管路１９を通して供給さ
れる。必要であれば、計器２４のようなタン圧力
表示器を供給管路１９に設けてもよい。好適には
覆い形成用のガスと核生成ガスとは同じ組成であ
る（例えば窒素が両方に用いられ、あるいは乾燥
空気が両方に用いられる）。

循環するガス−液体混合物内に核生成ガスを泡
として添加する混入装置２８が、ボール弁１５と
貯留器５との間の戻り用導管１２内に設けられて
いる。混入装置２８は流入系統２９からガスの供
給を受ける。この流入系統２９は主要構成要素と
して、好適にはソレノイド弁である核生成制御弁
３０と核生成用ガス供給タンク３１とを含んでい
る。タンク３１は典型的かつ好適には前述のガス
貯槽２０と同様に鋼製のシリンダである。ガスは
タンク３１から取出され、一般的な構造の調圧器
及び計器からなる調圧アツセンブリ３２を介して
核生成制御弁３０、流量計３３（そのうちベンチ
ユリが図示されている。）、及びチエツク弁３４を
通り、好適にはいま述べた順序で配列された混入
装置２８に至る。流量制御弁３６及び底流量制御
弁３８が各々制御弁３０に対して直列と並列に接
続されている。チエツク弁３４を開いて混入装置
２８を介して貯留器５に向かう流れを確実にする
ために、調圧アツセンブリ３２の下流の核生成ガ
スの圧力は貯留器５内の覆い１８の圧力よりも大
きくなつている。

この技術分野ではよく知られているように、反
応のために少なくとも一つの他の液体が混合ヘツ
ド８に供給される。この他の液体は、この技術分
野でよく知られているように、導管４０を介して
供給され、そこから導管４１によつて循環される
ようになつている。

核生成、即ち供給タンク３１から混入装置２８
への核生成ガスの流れは、核生成制御弁３０を操
作するための装置によつて調整される。この装置
は、好適には、制御弁３０を限界内の無数の制御
位置の一つに移動させるものではなく、制御弁３
０を単に開閉するのである。この装置において、
好適な流れの速度は、流量制御弁３６か底流量制
御弁３８あるいはその両方を手操作で調整するこ
とによつて得られる。核生成制御弁３０の操作
は、後でより詳しく述べるように、計測ポンプ１
１を含む循環系統の一部に閉じ込められた混合物
のサンプルの圧縮性に応じて行われる。このポン
プには所定量のサンプルを計量して取り込むよう
に作用する計量ポンプを利用することができる。
この計量機能のあるポンプ自体は公知であり、米
国特許第3908862号、第3984510号、第4008829号
及び第4090695号の各明細書のいずれかにも詳し
く説明されている。

制御系統は、設定点５２を手操作で得る種々の
手段を有する操作パネル５０と、第２図によつて
詳しく説明されている演算回路５４と、パネルに
対して動作を開始すべき時期を指示しこの動作に
応答して核生成制御弁３０に制御信号を送るプロ
グラム可能な制御装置５５と、電気的読出し信号
を生ずる一般的なラツク・ピニオン式のプランジ
ヤ５８用の位置変換器５７と、前述の各要素５０
〜５７によつて制御されてプランジヤ５８をシリ
ンダ５９（計測ポンプ１１はプランジヤ５８とシ
リンダ５９とを有している）内で移動させる装置
と、計測ポンプ１１内の流体圧を感知する圧力変
換器６０とを有する。

第１図に示すように設定点５２は、サンプル時
間と、初期位置XPと、圧力P1及びP2と、基準移
動距離△XRとを含んでいる。作動時において
は、タイマは設定時間が経過すると次に以下に示
す動作を開始させる。

以下に、第１図及び第２図に示した装置の作動
順序を要約して示す。

タイマの設定時間が経過すると、制御装置５
５がプランジヤ５８をその初期位置XPまで移
動させる（通常はシリンダ５９内に移動する）。

ボール弁１４，１５が閉じ、核生成流体のサ
ンプルを閉じ込める。

モノマーの圧力がP1より小さくなるなでプ
ランジヤ５８がシリンダ５９から出る方向に後
退し（これは核生成減圧と称される）、そこで
運動方向を自動的に変えてシリンダ５９内への
前進を開始する。

プランジヤ５８は制御された速度で前進す
る。このとき、シリンダ５９内のモノマーの流
体圧力がP1となつたとき、X1を計測しそれを
ストアし、モノマーの流体圧力がP2となつた
とき、X2計測しそれをストアする。

流体圧が安全基準圧力よりも小さくなるまで
プランジヤ５８を後退させ、ボール弁１４，１
５を開き、プランジヤ５８を元の位置に戻す。

計測されたストローク△Ｘ、即ち（X2−
X1）であるXSを基準△Ｘと比較し、計測され
た△Ｘが基準△Ｘより小さいときは核生成制御
弁３０を開く。一方、計測された△Ｘが基準△
Ｘより大きいときは核生成制御弁３０を閉じ
る。

装置は計測の手順を繰り返す前に、タイマの
設定時間が経過するのを待つ。

第１図及び第２図はパネル５０の一部を成すタ
イマ６１が入力端６２と出力端６３を有するのを
示している。このタイマ６１はアラーム付時計の
ようなものであり、サンプリングの時間間隔が計
測される（即ちタイマがゼロとなる）と、動作が
開始されるようになつている。

好適な実施例では、自由作動タイマ６１が周期
的に制御装置５５にサンプリングのプログラムを
実行すべきことを命じる。自由作動とは、サンプ
リング間の予め定めた間隔を操作者がセツトでき
るものである。典型的には、サンプリングの間隔
は約２分から４分であり、個々の装置の特性によ
つていく分変化し、約３分程度が好ましい。タイ
マは、自動的にそれ自身のリセツトを行い、設定
された時間間隔が経過して制御装置のサンプリン
グシーケンスを始動させると、再び元の状態に戻
り同じことを繰り返す。

制御装置５５のソフトウエアは、注入が途中の
場合、即ち計測ポンプ１１内で注入ストロークが
途中の場合には、タイマ６１がサンプリングを命
じることを阻止する。換言すれば、サンプリング
は次の時期までとび越され、即ちサンプリングは
循環の期間（ボール弁１４，１５が開き、混合ヘ
ツド８のプランジヤがその混合室への流入を阻止
する時）においてのみ生じる。

自動作動タイマ６１の使用はソフトウエアを簡
単にするが、その代わりに、注入の後毎に制御装
置５５がサンプリングを命じるように、またはそ
れを数回の注入の後毎にあるいは循環時に命じる
ように、あるいは動作を基準にサンプリングを行
うのではなく時間を基準としてそれを行うように
タイマをセツト及び／又はリセツトするようにし
た方法も用いることができる。

第３図は、プランジヤ５８のストローク△Ｘと液
体−ガス混合物に同伴されたガスの体積パーセン
トとの関係を表わすグラフの一例である。即ち、
横軸に予め定めた２つの圧力P1からP2へ変化さ
せるのに要するプランジヤ５８のストローク△Ｘ
をとり、縦軸に混合物中に同伴されたガスの絶対
圧で１気圧において測つた体積パーセントをとつ
たもので、この曲線は系の容積、流体混合物、比
重量、ガスの圧縮性、温度、及び他の要因で変化
し得るものである。典型的には同伴されるガスは
約15％から約25％であり、以下に示す寸法の標準
の計測ポンプを用いた場合、計測ポンプのストロ
ーク△Ｘ（圧力P1とP2の間の変化に要する距離）
は約0.75インチから約2.00インチの範囲にある。

プランジヤ直径……５インチ プランジヤ最大ストローク……18インチ ボール弁１４から混合ヘツド８、導管１０、シ
リンダ５９を通つてボール弁１５に至る第１図の
系の容積は、最大排出量の２倍、即ち２×18×５
×５×π÷４インチ³＝706.86インチ³に見積もら
れている。

制御に関しては、もし△Ｘが0.75インチである
と、ガスの含有量が14.5％であることが示され
る。もし、20％のガス含有量が所望であれば、20
％に対する基準の△Ｘは1.1インチであるので、
従つてさらにガスが要求され核生成制御弁３０を
開いたままにすることを比較器９９が要求する。

計測−制御サイクルの次の段階は、約1.1イン
チの△Ｘによつて示されることによつて20％が達
成されたか否かを決定することである。

一方、1.1インチより大きい△Ｘによつて多過
ぎるガス含有量が示された場合、混入装置２８に
おけるガスの流れは遮断される。ガスの含有量の
調整は、貯留器５内の混合物の脱気や、それへの
液体だけの追加等、いくつかのフアクタあるいは
動作のうちの１つあるいは複数によつて行われ
る。

タイマ６１の設定時間が経過すると、制御装置
５５はまずプランジヤ５８を初期位置XPに動か
す。通常は、これはプランジヤ５８をシリンダ５
９内に前進させることであり、ボール弁１４，１
５が閉じられた状態であればサンブルを圧縮する
ことになる。しかし、好ましくはそれらはプラン
ジヤ５８が初期位置XPに達するまでは閉じられ
ない。初期位置に達すると変換器５７によつて位
置信号が供給され、これが位置決め系統の端子６
４（第２図左上参照）に加えられ、そこから初期
位置用の第１の比較器６５の端子６４に加えら
れ、そこで端子６６に加えられる初期位置用の設
定点値XSを表わす信号と比較される。比較器６
５がXP＝XSを告げると、これは次にリレードラ
イバ６８及びリレー６９に送られる。通常、この
比較器６５からのXP＝XSを表わす信号の伝達
は、好適にはゼロ値（即ち２つの入力６４，６６
の差がゼロ）がその出力端子６７に現れることに
よつて行わる。さらに、リレー６９はプランジヤ
５８を制御するための制御装置５５への入力とし
ての信号を端子６９Ａ，６９Ｂを通じて供給す
る。図示の実施例では、リレー６９はスイツチと
して作用し、制御装置５５にオン・オフ信号を与
えるためにリレー接点６９Ｃを開閉する。

タイマ６１がサンプリングシーケンスを開始し
てプランジヤ５８が初期位置XPに移動した後、
次の段階として制御装置５５からの信号に応答し
てボール弁１４，１５が閉じられる。これによつ
て核生成流体のサンプルが閉じ込められる。この
閉じ込められたサンプルに対して、さらにその他
の操作が行われ、その構成あるいは組成が混入装
置２８において液体に加えられるガスの量を決定
するのに用いられる。

ボール弁１４，１５がサンプルを閉じこめる
と、作動が圧力P1より低い圧力から始まること
を確実にするために、減圧段階が必要とされる。
減圧段階は制御装置５５によつてサンプルの圧力
がP1よりも小さくなるまでプランジヤ５８を後
退させることによつて行われ、減圧はシリンダ５
９内のサノプルの圧力がP1より下がつたときに
終わる。このときプランジヤ５８は第１図でX0
で示した位置にあるが、この位置がプログラムさ
れているのではなく、この圧力がプログラムされ
ている。このようにして系が減圧される。

次に、制御装置５５はプランジヤ５８を制御さ
れた速度で前進させる。この速度の１つあるいは
複数の値を示唆するシステムの寸法及びパラメー
タの例が以下に示される。

プランジヤ５８を閉じ込められたサンプル内に
前進させると、サンプルの圧力が増大し、圧力変
換器６０はその圧力を表わす信号を発生する。シ
リンダ５９の実際の圧力信号は端子７０に加えら
れ、そこから第２及び第３の比較器７２，７４に
送られる。第２の比較器７２において、シリンダ
５９の圧力は端子７５に送られた設定点の圧力
P1の信号と比較され、２つが等しいと出力信号
がリレードライバ７７及びリレー７８を介して端
子８０Ａ，８０Ｂに加えられ、そこから信号は制
御装置５５に送られる。この時点で、装置はプラ
ンジヤ位置X1をサンプリングするように応答す
る。即ち、比較器７２によつて圧力が設定点圧力
P1に等しいと分かつたとき、装置が位置X1を取
り込む。位置X1の信号はサンプル保持回路８３
の端子８２に加えられ、その後演算比較増幅器８
４（代数和の作動増幅器としても知られている）
に加えられ△XSを決定する。

圧力変換器６０は信号を端子７０を介して第３
の比較器７４に送り、この比較器７４においてそ
れを端子７６からの設定点P2と比較することで、
第２の重要な要素が決定される。実際の圧力P2
の値と設定点の圧力P2の値とが比較器７４によ
つて等しいとされると、比較器７４は出力信号を
リレードライバ８６、リレー８８、リレー出力端
子８８Ａ，８８Ｂを介して制御装置５５に送り、
制御装置５５は位置X2を認識しそれを第２のサ
ンプル保持回路９２の端子９０に加える。ここ
で、X2は言うまでもなく圧力P2が設定点圧力P2
に等しくなつたときのプランジヤ５８の位置であ
る。

上述した好適な実施例に用いられたすべての比
較器６５，７２…９９はアナログ入力を受けてデ
ジタル出力を供給するものであり、またハンチン
グを減じあるいは無くして作動の安定性を高める
ための無効バンドを有するものである。無効バン
ドの技術は制御の技術分野では周知であり、ここ
では比較器の各々が、２つの入力が上述のように
全く同じではなく一方が他を予め定めた大きさだ
け上回る（即ち、一方の入力が無効バンドを越え
なければならない）までは出力が生じないように
設計されている。従つて、ここで説明しまた特許
請求の範囲に記載した発明は、信号の同一性を示
す語句の中に、ここで説明した無効バンドの技術
により行われるような実際上行われる変形によつ
て１つの入力信号が僅かに他を上回るというよう
な実際上の現象も含むものである。

位置X1及びX2の両方の値がそれぞれそれらの
サンプル保持回路８３，９２に加えられると、こ
れらの各々を表わす出力信号がそれぞれ演算比較
増幅器８４の端子９４，９５に加えられる。演算
比較増幅器８４は△XSを決定し（即ち、実際に
動いた距離を表わす信号を発生し）、それを増幅
器９７に加えて信号を適正な電圧レベルに変え且
つ系の減衰度に対して修正を行う。増幅器９７か
らの信号は依然として△XSを表しており、それ
は比較器９９の入力端子９８に加えられる。比較
器９９はその信号を、△Ｘに対する基準値即ち設
定点の値であつて△XRと名付けられて端子１０
０に加えられているものと比較する。

基準値△XRが値△XSより大きいときは核生
成制御弁３０は開かれ、逆に値△XSが基準値△
XRよりも大きいときは核生成制御弁３０は閉じ
られる。第２図から明らかなように、比較器９９
からの出力制御信号はリレーシステム１０５，１
０６（端子１０６Ａ，１０６Ｂ及び接点１０６Ｃ
を含む）を介してプログラム可能な制御装置５５
に加えられ、制御装置５５は核生成制御弁３０を
操作する信号を供給する。

表示システム１１０（第２図右上参照）は必要
に応じて設けられる。

前に概説したように、位置X1とX2が決定され
た後は、装置は制御装置５５の制御の下での作動
に戻るのが好ましい。なぜならば、上述の計算と
それに続く核生成制御弁３０の制御作用は、
RIM法のために意図されたシステムの作動と時
間的に平行して、即ち同時進行で行うことができ
るからである。従つて、プランジヤ５８をシリン
ダ５９内で満足のいく流体圧力（好ましくは貯留
器５の導管７と導管１２の内部圧力の中間の圧
力）が得られるまで後退させて、次にボール弁１
４，１５を開くことが好ましい。好ましくは、シ
リンダ５９内の流体圧力は混合ヘツド８から流入
する混合流体の循環圧力より大きくならないよう
にする。

上述したもののすべてが完了した後、反応注入
型成形のサイクルの他の工程が行われる。他の工
程とは、混合、注入、硬化等として周知のもので
あり、本発明の構成要素となるものではない。重
要なことは、タイマの時間が経過すると、計測の
サイクルが行われ、次にサンプリング及び核生成
制御弁の制御がなされるまでは他の工程が行われ
るということである。

（発明の効果） 以上、一実施例を挙げて詳細に説明したように
本発明によれば、サンプルをその圧力が予め定め
た量だけ上昇するように圧縮し、これに要した部
材の移動量を計測してこれに応じて圧縮性流体を
加える装置のための制御装置をフイードバツク制
御するようにしたので、流体に加えられる圧縮性
流体の量を正確に制御することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は循環型のRIM装置における液体反応
剤のシステムに適用した本発明の一実施例にかか
る閉ループ装置の概略図である。第２図は第１図
のプログラム可能な制御装置及び他の部分に対す
る入出力と共に演算回路を示す線図である。第３
図はプランジヤのストロークと液体混合物に同伴
されたガスの体積パーセントとの関係を表すグラ
フである。 図面中、７，１０，１２は導管、８は混合ヘツ
ド、１１は計測ポンプ、１４，１５はボール弁、
２０は２８は３０は核生成制御弁、５０は操作パ
ネル、５５は制御装置、５８はプランジヤ、５９
はシリンダである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 流体をその供給源から使用位置に送り、そこ
   で使用されない流体を供給源に循環させる流体用
   閉ループ装置であつて、 前記流体に圧縮性流体を加える装置と、 前記加える装置のための制御装置と、 前記流体を代表するサンプルを閉じ込める装置
   と、 前記閉じ込められたサンプルに部材を押し込む
   ことにより該サンプルを圧縮する装置と、 前記サンプルの圧力を予め定めた量だけ変える
   ために要した前記部材の実際の移動量を計測し該
   移動量を示す距離信号を発生する計測装置と、 前記計測装置からの前記距離信号から制御信号
   を得るための計算装置と、 前記制御信号を前記制御装置に加える装置と、 を有し、 これによつて、前記圧縮性流体を前記流体に加
   えるための閉ループのフイールドバツク制御がな
   される流体用閉ループ装置。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、 前記閉じ込める装置は流体用閉ループ装置のう
   ち、前記圧縮する装置を構成する部分内に前記サ
   ンプルを閉じ込めるようにされている流体用閉ル
   ープ装置。 ３ 特許請求の範囲第２項に記載の装置におい
   て、 前記圧縮する装置は前記閉じ込められたサンプ
   ルに押し込まれる部材として室内で往復運動する
   プランジヤを具えた計測ポンプを有する流体用閉
   ループ装置。 ４ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、 前記計測装置は、代数的加算を行う演算増幅器
   と、前記増幅器の端子に入力を与える一対のサン
   プル保持回路とを有し、前記回路の各々は、前記
   サンプル内において各々の対応する圧力の１つが
   実現したとき各々のサンプル信号を取入れること
   を要求する設定点装置に応答する流体用閉ループ
   装置。 ５ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、 前記供給源は貯留器を含む流体用閉ループ装
   置。 ６ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、 前記使用位置は混合及び配給装置である流体用
   閉ループ装置。 ７ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、 前記制御装置は、前記圧縮性の流体を加える装
   置の上流に配置されてそれに流れかつそこから前
   記流体に流れる圧縮性の流体を制御する制御弁を
   有する流体用閉ループ装置。 ８ 特許請求の範囲第１項に記載の装置におい
   て、 前記圧縮性の流体を加える装置から前記制御装
   置に向かう流れを阻止するチエツク弁をさらに有
   する流体用閉ループ装置。 ９ 特許請求の範囲第３項に記載の装置におい
   て、 前記計測ポンプは復動型の往復運動する流体モ
   ータにより駆動される流体用閉ループ装置。 １０ 特許請求の範囲第９項に記載の装置におい
   て、 前記流体モータは液圧シリンダである流体用閉
   ループ装置。 １１ 特許請求の範囲第３項に記載の装置におい
   て、 前記サンプルを閉じ込めるための閉じ込め信号
   を提供し、次いで前記プランジヤを制御された速
   度で前記実際の距離だけ前記室内に動かすプラン
   ジヤ前進信号を提供し、次いでプランジヤが逆方
   向に少なくとも圧力が予め定めた値になるまで動
   くようにさせるプランジヤセツト信号を提供する
   プログラム装置を設け、前記計算装置は、実際の
   距離の信号を移動の予め定めた距離を表わす設定
   点信号と比較する装置と、前記実際の距離の信号
   と設定点信号とをそれぞれストアする装置とを有
   する流体用閉ループ装置。