JPH0460367B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0460367B2 JPH0460367B2 JP7465785A JP7465785A JPH0460367B2 JP H0460367 B2 JPH0460367 B2 JP H0460367B2 JP 7465785 A JP7465785 A JP 7465785A JP 7465785 A JP7465785 A JP 7465785A JP H0460367 B2 JPH0460367 B2 JP H0460367B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- idt
- filter
- unidirectional
- meander line
- input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は弾性表面波（SAW）フイルタの如き
IDT励振型フイルタ、殊にグループ型一方向性
IDT励振型フイルタに関する。
IDT励振型フイルタ、殊にグループ型一方向性
IDT励振型フイルタに関する。
（従来技術）
SAWフイルタはLCフイルタ等に比して小型、
軽量且つ無調整で振動衝撃に鈍感であつて量産容
易なことから広く使用されるようになつたが一方
で挿入損失が比較的大であるという欠陥があつ
た。とりわけ一般的なSAWフイルタに於ける双
方向性損失6dBを減少する為３相型或は反射器型
等各種の一方向性トランスジユーサが提案されて
いるがその中でも90度位相器を用いたグループ型
一方向性トランスジユーサを用いたフイルタが比
較的低損失であることから賞用されている。
軽量且つ無調整で振動衝撃に鈍感であつて量産容
易なことから広く使用されるようになつたが一方
で挿入損失が比較的大であるという欠陥があつ
た。とりわけ一般的なSAWフイルタに於ける双
方向性損失6dBを減少する為３相型或は反射器型
等各種の一方向性トランスジユーサが提案されて
いるがその中でも90度位相器を用いたグループ型
一方向性トランスジユーサを用いたフイルタが比
較的低損失であることから賞用されている。
しかしながら上述の如きグループ型一方向性ト
ランスジユーサを用いたフイルタにあつても接地
線たるミアングラインのオーミツク損失が少なく
ない為尚挿入損失が大きくフイルタ特性は満足す
べきものではないという問題があつた。
ランスジユーサを用いたフイルタにあつても接地
線たるミアングラインのオーミツク損失が少なく
ない為尚挿入損失が大きくフイルタ特性は満足す
べきものではないという問題があつた。
（発明の目的）
本発明は上述した如き従来の一方向性トランス
ジユーサを用いたIDT励振型フイルタの問題点を
除去すべくなされたものであつて挿入損失を大幅
に低減した一方向性IDT励振型フイルタを提供す
ることを目的とする。
ジユーサを用いたIDT励振型フイルタの問題点を
除去すべくなされたものであつて挿入損失を大幅
に低減した一方向性IDT励振型フイルタを提供す
ることを目的とする。
（発明の概要）
上述の目的を達成する為、本発明に於いては前
記ミアンダラインをその両端部の他途中適所に於
いてIDT電極指を接続するバスバーを跨いで接地
するようにしたものである。
記ミアンダラインをその両端部の他途中適所に於
いてIDT電極指を接続するバスバーを跨いで接地
するようにしたものである。
（発明の実施例）
以下、本発明を図面に示した実施例によつて詳
細に説明する。
細に説明する。
実施例の説明に先立つて本発明の理解を容易に
する為先ず一方向性トランスジユーサを用いた
SAWフイルタについて簡単に説明する。
する為先ず一方向性トランスジユーサを用いた
SAWフイルタについて簡単に説明する。
第２図は従来のグループ型一方向性トランスジ
ユーサを用いるSAWフイルタの一般的構成を示
す概念図であつて、圧電基板１上に零度相IDT２
とこれに対向する90度相IDT３を設け両者間の位
相差を位相器４によつて与えると共に前記量IDT
２及び３の電極指間にミアンダライン５を配して
これを接地し一方向性入力トランスジユーサを形
成する。前記ミアンダライン５はIDT電極指が零
度相から90度に変る部分ではライン幅を1/2λ（λ
は励振するSAWの波長）に、又90度相から零度
相に変る部分ではλとすることによつてSAWが
一方向にのみ伝搬するように構成したものであ
る。
ユーサを用いるSAWフイルタの一般的構成を示
す概念図であつて、圧電基板１上に零度相IDT２
とこれに対向する90度相IDT３を設け両者間の位
相差を位相器４によつて与えると共に前記量IDT
２及び３の電極指間にミアンダライン５を配して
これを接地し一方向性入力トランスジユーサを形
成する。前記ミアンダライン５はIDT電極指が零
度相から90度に変る部分ではライン幅を1/2λ（λ
は励振するSAWの波長）に、又90度相から零度
相に変る部分ではλとすることによつてSAWが
一方向にのみ伝搬するように構成したものであ
る。
尚、出力側には前記入力トランスジユーサと同
様のトランスジユーサをシールド電極６を介して
配置するのが一般的である。
様のトランスジユーサをシールド電極６を介して
配置するのが一般的である。
上述の説明からも明らかな如く前記ミアンダラ
イン５及び５′はいずれも入出力トランスジユー
サ中をかなりの距離に亘つて配線する上接地は入
出力トランスジユーサ夫々の端部に於いてのみ行
なわれるのでオーミツク損失がかなり大きくなり
これがフイルタの挿入損失となつてフイルタ特性
を劣化せしめること前述のとうりである。又、こ
の損失は励振するSAWの周波数が高くなる程顕
著となることは云うまでもない。
イン５及び５′はいずれも入出力トランスジユー
サ中をかなりの距離に亘つて配線する上接地は入
出力トランスジユーサ夫々の端部に於いてのみ行
なわれるのでオーミツク損失がかなり大きくなり
これがフイルタの挿入損失となつてフイルタ特性
を劣化せしめること前述のとうりである。又、こ
の損失は励振するSAWの周波数が高くなる程顕
著となることは云うまでもない。
この問題を解決する為本発明に於いては以下の
如き構成をとる。
如き構成をとる。
即ち、第１図に示す如く前記ミアンダライン５
の途中適所を延長して前記零度相IDT２及び90度
相IDT３の各バスバーを跨がせその外側にそれぞ
れ配置した接地線７及び８と接続するよう構成す
る。この際前記ミアンダライン５と前記接地線の
接続は量産性を考慮し、前記IDTのバスバーの所
要部分表面に酸化シリコンSiO2の如く絶縁層を
スパツタリング等によつて付着せしめるか或は
O2ガスにより酸化せしめて絶縁皮膜を形成した
後、当該絶縁部上に導電被膜を付着することによ
つて前記ミアンダライン５と前記接地線７又は８
とを接続すればよい。
の途中適所を延長して前記零度相IDT２及び90度
相IDT３の各バスバーを跨がせその外側にそれぞ
れ配置した接地線７及び８と接続するよう構成す
る。この際前記ミアンダライン５と前記接地線の
接続は量産性を考慮し、前記IDTのバスバーの所
要部分表面に酸化シリコンSiO2の如く絶縁層を
スパツタリング等によつて付着せしめるか或は
O2ガスにより酸化せしめて絶縁皮膜を形成した
後、当該絶縁部上に導電被膜を付着することによ
つて前記ミアンダライン５と前記接地線７又は８
とを接続すればよい。
もつとも上述の如き手法は２回のフオトリソグ
ラフイ工程を含むことになり工程が複雑となるの
で前記接地線がバスバーを跨ぐ部分のみを露出す
るパターンを用いてIDTのバスバーにのみ電流を
流しつつ陽極酸化を行えば該部のみが酸化せら
れ、この絶縁被膜上に改めて導体蒸着を行つて前
記ミアンダライン５と前記接地線７又は８とを接
続すれば１回のフオトリソグラフイ工程ででき
る。
ラフイ工程を含むことになり工程が複雑となるの
で前記接地線がバスバーを跨ぐ部分のみを露出す
るパターンを用いてIDTのバスバーにのみ電流を
流しつつ陽極酸化を行えば該部のみが酸化せら
れ、この絶縁被膜上に改めて導体蒸着を行つて前
記ミアンダライン５と前記接地線７又は８とを接
続すれば１回のフオトリソグラフイ工程ででき
る。
以上、最も一般的なグループ型一方向性SAW
フイルタについてのみ説明したが本発明はこれの
みに適用されるべきものではなく例えば入出力ト
ランスジユーサのいずれか一方にのみ適用しても
よく或は入力トランスジユーサが双方向性でその
両側に一方向性出力トランスジユーサを付した型
式のフイルタに適用してもよいことは自明であろ
う。
フイルタについてのみ説明したが本発明はこれの
みに適用されるべきものではなく例えば入出力ト
ランスジユーサのいずれか一方にのみ適用しても
よく或は入力トランスジユーサが双方向性でその
両側に一方向性出力トランスジユーサを付した型
式のフイルタに適用してもよいことは自明であろ
う。
更に本発明はSAWを用いるフイルタにのみ限
定する必要もなくIDTによつて励振しうるいかな
る波動を利用するフイルタにも同様に適用しうる
ものである。
定する必要もなくIDTによつて励振しうるいかな
る波動を利用するフイルタにも同様に適用しうる
ものである。
最后に本発明は一方向性入出力IDT10対、中心
周波数600MHz、バンド幅40MHzのフイルタに適
用した結果、アミンダライン両端でのみ接地した
従来のフイルタに於いては8dBの挿入損失があつ
たものがミアンダライン途中２ケ所を更に接地し
たのみで挿入損失は3dBに減少し著しい効果のあ
ることが確認された。
周波数600MHz、バンド幅40MHzのフイルタに適
用した結果、アミンダライン両端でのみ接地した
従来のフイルタに於いては8dBの挿入損失があつ
たものがミアンダライン途中２ケ所を更に接地し
たのみで挿入損失は3dBに減少し著しい効果のあ
ることが確認された。
（発明の効果）
本発明は以上説明した如く構成するから、従来
低損失のIDT励振型フイルタ、殊に弾性表面波フ
イルタを実現するのに最適とされていたグループ
型一方向性弾性表面波フイルタの欠点を除去し更
に低損失のフイルタを実現する上で著しい効果を
発揮するが、この効果は製造工程のわずかな増加
を補つて余りあるものである。
低損失のIDT励振型フイルタ、殊に弾性表面波フ
イルタを実現するのに最適とされていたグループ
型一方向性弾性表面波フイルタの欠点を除去し更
に低損失のフイルタを実現する上で著しい効果を
発揮するが、この効果は製造工程のわずかな増加
を補つて余りあるものである。
第１図は本発明に係る一方向性IDT励振型フイ
ルタの一実施例を示す部分平面図、第２図は本発
明を適用すべき従来の一方向性SAWフイルタの
一般的構成図である。 １……圧電基板、２，２′及び３，３′……入出
力IDT、５……ミアンダライン、６……シールド
電極。
ルタの一実施例を示す部分平面図、第２図は本発
明を適用すべき従来の一方向性SAWフイルタの
一般的構成図である。 １……圧電基板、２，２′及び３，３′……入出
力IDT、５……ミアンダライン、６……シールド
電極。
Claims (1)
- １ 圧電基板表面に入出力インタデイジタル・ト
ランスジユーサ（IDT）電極を設け、該IDT電極
の対をなす電極指の一方が零度相、他方が90度相
となるようにすると共に前記入出力IDTの一方或
は双方のIDT電極指間にミアンダラインを配置し
てこれを接地するフイルタに於いて、前記ミアン
ダラインをその両端以外の適所に於いても前記
IDT電極指を接続するバスバーを跨いで接地する
ことによつてフイルタの挿入損失を低減したこと
を特徴とする一方向性IDT励振型フイルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7465785A JPS61234114A (ja) | 1985-04-09 | 1985-04-09 | 一方向性ｉｄｔ励振型フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7465785A JPS61234114A (ja) | 1985-04-09 | 1985-04-09 | 一方向性ｉｄｔ励振型フイルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61234114A JPS61234114A (ja) | 1986-10-18 |
| JPH0460367B2 true JPH0460367B2 (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=13553519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7465785A Granted JPS61234114A (ja) | 1985-04-09 | 1985-04-09 | 一方向性ｉｄｔ励振型フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61234114A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2673122B2 (ja) * | 1989-03-28 | 1997-11-05 | 和彦 山之内 | 陽極酸化を用いた三次元配線法 |
| WO2024029610A1 (ja) * | 2022-08-03 | 2024-02-08 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
1985
- 1985-04-09 JP JP7465785A patent/JPS61234114A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61234114A (ja) | 1986-10-18 |
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