JPH0460462A - 電気的接触子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 ＩＣ等の半導体デバイスに電圧・電流・信号を供給する
ための接触子に関し、 接触子と被測定物の端子との接触不良を無くし、被測定
物に安定した電圧・電流・信号を供給して、ノイズを抑
え、高精度な電気的測定ができるようにすることを目的
とし、 被測定物の端子に接触する複数の接触面を有する接触部
と、一端を前配接触部に接続し、他端にフォース線が接
続されるフォース線配線用端子を有するばね部と、該ば
ね部のフォース線配線用端子より接触部に近い部分に設
けられ、且つセンス線が接続されるセンス線配線用端子
とを具備して成るように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、ＩＣ等の半導体デバイスに電圧・電流・信号
を供給するための接触子に関する。

近年の半導体デバイスの大容量化、超高速化に伴い、よ
り高精度な電気的測定が要求されており、このため接触
部と被測定物の端子の接触不良や、デバイスへの不安定
な電圧・電流・信号の供給を防止する必要がある。

〔従来の技術〕

従来、ＩＣ等のデバイスに電圧・電流・信号を供給する
ための接触子としては、ポゴピン（スプリングコンタク
タ）、板ばね、プローブ（探針〉等の接触子又は接続子
と呼ばれるものが被接触物の形状により使い分けられ、
電気的試験やバーイン（ストレス試験）等に使用されて
いる。

第７図はその１例としての板ばね接触子である。

これは、接触部１とばね部２と配線用端子３とが一体で
形成されており、配線用端子３にはフォース線４とセン
ス線５とが接続されるようになっている。

第８図及び第９図は上記板ばね接触子の使用例を示す図
である。第８図はＩＣソケットであり、板ばね接触子６
は絶縁物よりなるソケット本体７内に対向して２列に配
列され、この上にＩＣのリードを載せて蓋８で押え、そ
の端を止め具９で固定するようになっている。また第９
図はＩＣ用測定治具であり、接触子６は測定治具の基板
１０にガイド１０ａを介して固定されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来の板ばね接触子では、接触部ｌがデバイスの端
子と接触する場所が少なく、ゴミ等が挾まった場合に接
触部とデバイスの端子が接触しなくなり測定ができなく
なる。

又、センス線５は被測定デバイスの端子（ＩＣのリード
やパッド）から離れたところに接続されているため、被
測定デバイスの電源電流の変化（デバイスの内部ゲート
のオンオフに起因する）等の要因によるデバイスの電源
端子の電圧変動が発生すると、電圧変動に対する被測定
デバイスの端子に補正をかける対応が遅くなり、電圧安
定性が落ち、第２図（ｂ）に示すようにノイズが発生し
、高精度な電気的測定ができないという問題があった。

本発明は上記従来の問題点に鑑み、接触子と被測定物の
端子との接触不良を無くし、被測定物に安定した電圧・
電流・信号を供給して、ノイズを抑え、高精度な電気的
測定ができるようにした電気的接触子を提供することを
目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために本発明の電気的接触子では、
被測定物の端子に接触する複数の接触面１１ａ・ｌｌｂ
を有する接触部１１と、一端を前記接触部１１に接続し
、他端にフォース線１５が接続されるフォース線配線用
端子１３を有するばね部１２と、該ばね部１２のフォー
ス線配線用端子１３より接触部１１に近い部分に設けら
れ、且つセンス線１６が接続されるセンス線配線用端子
１４とを具備して成ることを特徴とする。

〔作　用〕

本発明は、板ばね接触子の接触部１１を複数の接触面１
１ａ、１１ｂとすることにより、ある一部の接触面と被
測定物の端子との間にゴミ等が挾まっても、他の接触面
で接触を保つことができる。

またセンス線配線用端子１４を接触部１１の近くに設け
ることにより、フォース線１５による被測定物への電圧
・電流供給に対するセンシングが、被測定物の端子に極
めて近いところで行なわれるため、電圧変動に対する電
圧補正の応答が格段に向上し、ノイズが減少して高精度
の電気的測定が可能となる。

〔実施例〕

第１図は本発明の第１の実施例を示す図である。

本実施例は同図に示すように、被測定物の端子に接触し
て電圧・電流・信号を供給するための複数の接触面（図
では２つ）１１ａ、１１ｂを有する接触部１１と、この
接触部１１に接続してＵ字形に延びるばねｉ１２と、該
ばね部１２の接触部１１とは反対側の端部に設けられた
フォース線配線用端子１３と、ばね部１２のフォース線
配線用端子１３より接触部１１に近い位置に設けられた
センス線配線用端子１４とが一体に形成されている。

このように構成された本実施例は、フォース線配線用端
子１３にはフォース線１５を接続し、センス線配線用端
子１４にはセンス線１６を接続する。そして例えばＩＣ
の電気的測定を行なう場合、被測定物の端子に近い位置
でセンシングできるためノイズを抑えることができる。

また被測定物の端子と接触部１１との間にゴミ等が挾ま
っても接触面１１ａ。

１１ｂが複数であるため一部が導通不良となっても他の
面で導通がとれるたｔ、被測定物に対し安定した電圧・
電流・信号の供給ができ、高精度な電気的測定ができる
。

第２図（ａ）（ｂ）は、それぞれ実施例、従来例の接触
子を用いて測定したパルス波形である。

同図は、被測定物としてＩＣを使用し、ＩＣの電源端子
に５Ｖの電圧印加をオフ／オン／オフしたときの電源端
子の端子電圧の波形を見たものである。

同図（ｂ）の従来例では、特にパルスの立ち上がり、立
ち下がり時に際立ったオーバシュート、アンダシュート
を伴うが、同図（ａ）の実施例では抑制されている。

又、同時に測定した接触抵抗も従来例と比較し実施例は
抵抗値が減少している。

第３図は第２図のパルス波形を測定した回路図であり、
その測定順序は次の如くである。

■　ＬＳＩテスタ２０の電源ユニット２１ノフオース端
子Ｆとセンス端子Ｓからフォース線２２とセンス線２３
を引き出し、それらを被測定デバイスであるＬＳＩ　２
４の電源端子２５に接触する板ばね接触子に接続する。

■　次にＬＳＩテスタ２０の電源ユニット２１から５Ｖ
とＯＶの電圧を交互に出力し、オシロスコープ２６のプ
ローブ２７を電源端子２５に接触して波形を観測するの
である。

第４図は電圧変動に対する被測定物端子に補正をかける
場合の帰還ブロック図である。

図において、電源ユニッ）２１はフォースユニット２１
Ｆとセンスユニット２１Ｓとを有し、コントローラ２８
からの信号に従い、フォースユニッ）２１Ｆよりデバイ
ス２４に電圧が印加される。このときのデバイスの端子
電圧（フォース線２２とセンス線２３の接続点の電圧）
をセンスユニッ）２１Ｓが検知し、フォースユニッ）２
１Ｆに帰還をかけて端子電圧を安定させるようになって
いる。このような補正回路において、センシング点がデ
バイスの端子から遠いと、供給電圧の変更時や供給電源
のオンオフ時に発生するオーバシュートやアンダシュー
トに対する補正のレベルや位相のズレによりあらたにノ
イズが発生する。ノイズ発生源から電圧供給源に近づく
ほど、配線抵抗やＬＣ成分によりノイズが弱くなる（振
幅が小さくなり、波形が鈍る）ため、センシング点がノ
イズ発生源から遠いとセンシング点での減衰されたノイ
ズレベルでしか補正がかけられない。従って、デバイス
電源端子に発生しているノイズを完全に打ち消すことが
できなくなる。しかし本実施例の接触子を用いることに
よりフォース線による被測定物への電圧・電流・供給に
対するセンシングが、被測定物の端子に近いところで行
なわれるため、電圧変動に対する電圧補正の応答が格段
に向上し、ノイズが減小して高精度の電気的測定が可能
となる。

第５図は本発明の第２の実施例を示す図である。

同図において第１図と同一部分は同一符号を付して示し
た。

本実施例は基本的には前実施例と同様であり、異なると
ころはセンス線配線用端子１４を接触部ＩＩより直接引
き出したことである。

このように構成された本実施例は、接触部１１とセンス
線配線用端子間の距離が零となり、第１の実施例と同様
な効果が一増向上する。

第６図は本発明の第３の実施例を示す図である同図にお
いて第１図と同一の部分は同一符号を付して示した。

本実施例は図に示すように、接触部を近接して２個１１
　、１１’設け、各接触部は絶縁物３０を挾んで曲げて
接触面を２つｌｌａ・ｌｌｂとし、各接触部１１゜１１
’はＵ字形のばね部１２ａ・１２ｂの一端に設けられて
いる。ばね部１２ａ、１２ｂは接触部が設けられていな
い方の端部で接続し且つ核部からフォース線゛配線用端
子１３が設けられている。また一方の接触部１１′から
はセンス線配線用端子１４がフォース線配線用端子１３
と平行に設けられ、これが一体に形成されている。

このように構成された本実施例は、接触面が多くなり、
またセンス線配線端子１４が直接接触部１１′から出て
いるので第１、第２の実施例よりさらに性能を向上させ
ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明した様に、本発明によれば、接触子と被測定物
の端子との接触は良好となり、且つ、フォース線による
被測定物への電圧・電流・信号の供給に対するセンシン
グが、被測定物の端子に極めて近いところで行なわれる
ため、電圧変動に対する電圧補正の応答が向上し、安定
した電圧・電流・信号が供給されるようになる。この結
果、ノイズが減少し、高精度の電気的測定が可能となる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す図、第２図はパル
ス波形図、 第３図はパルス波形測定回路図、 第４図は電圧変動に対する補をかけるブロック図、 第５図は本発明の第２の実施例を示す図、第６図は本発
明の第３の実施例を示す図、第７図は従来の板ばね接触
子を示す図、第８図は従来のＩＣソケットを示す図、第
９図は従来のＩＣ用測定治具を示す図である。 図に右いて、 １１・１１′は接触部、 １２＝　１２ａ　・１２ｂはばね部、 １３はフォース線配線用端子、 １４はセンス線配線用端子、 １５はフォース線、 １６はセンス線 を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被測定物の端子に接触する複数の接触面（１１ａ、
   １１ｂ）を有する接触部（１１）と、一端を前記接触部
   （１１）に接続し、他端にフォース線（１５）が接続さ
   れるフォース線配線用端子（１３）を有するばね部（１
   ２）と、該ばね部（１２）のフォース線配線用端子（１
   ３）より接触部（１１）に近い部分に設けられ、且つセ
   ンス線（１６）が接続されるセンス線配線用端子（１４
   ）とを具備して成ることを特徴とする電気的接触子。 ２、上記ばね部（１２）がＵ字形であることを特徴とす
   る請求項１記載の電気的接触子。