JPH0367187A - 電気的接触子 - Google Patents
電気的接触子Info
- Publication number
- JPH0367187A JPH0367187A JP20317489A JP20317489A JPH0367187A JP H0367187 A JPH0367187 A JP H0367187A JP 20317489 A JP20317489 A JP 20317489A JP 20317489 A JP20317489 A JP 20317489A JP H0367187 A JPH0367187 A JP H0367187A
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- Japan
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- measured
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
ｆｃ等のデバイスに電圧・電流を印加するための接触子
に関し。
に関し。
被測定物に安定した電圧・電流を供給することができる
接触子を提供して、ノイズを抑え、高精度の電気的測定
ができるようにするを目的とし。
接触子を提供して、ノイズを抑え、高精度の電気的測定
ができるようにするを目的とし。
接触部とばね部とセンス線配線用端子とフォース線配線
用端子とを有し、接触部は被測定物の端子に接触するも
のであり、ばね部は一端が接触部に接続され、他端にフ
ォース線配線用端子が設けられ、フォース線配線用端子
はフォース線を接続の するも４であり、センス線配線用端子はセンス線を接続
するものであり、接触部に接続し且つフォース線配線用
端子より接触部に近い位置に設けられていることを特徴
とする電気的接触子。
用端子とを有し、接触部は被測定物の端子に接触するも
のであり、ばね部は一端が接触部に接続され、他端にフ
ォース線配線用端子が設けられ、フォース線配線用端子
はフォース線を接続の するも４であり、センス線配線用端子はセンス線を接続
するものであり、接触部に接続し且つフォース線配線用
端子より接触部に近い位置に設けられていることを特徴
とする電気的接触子。
〔産業上の利用分野］
本発明はＩＣ等のデバイスに電圧・電流を印加するため
の接触子に関する。
の接触子に関する。
本発明の接触子（コンタクタ）はソケットや。
測定治具等に使用することができる。
デバイスに電圧・電流を印加するための接触子には５電
圧・電流を印加するためのフォース線と。
圧・電流を印加するためのフォース線と。
その変動に対する補正をかけるためのセンス線が接続さ
れる。
れる。
このようなセンシングを必要とするデバイス端子は、主
に電源端子であるが、入力端子にも使用することがある
（電源電圧の変動が入力端子の電圧変動を誘起する場合
があるので、この場合は入力端子にセンシングが必要と
なる）。
に電源端子であるが、入力端子にも使用することがある
（電源電圧の変動が入力端子の電圧変動を誘起する場合
があるので、この場合は入力端子にセンシングが必要と
なる）。
ＩＣ等に電圧・電流を印加するために、ポゴピン（スプ
リングコンタクタ）、板ばね、プローブ（探針）等の接
触子（又は接続子と呼ばれる）が。
リングコンタクタ）、板ばね、プローブ（探針）等の接
触子（又は接続子と呼ばれる）が。
被接触物の形状により使い分けられ、電気的試験やバー
ンイン等に使用されている。
ンイン等に使用されている。
第７図は従来の板ばね接触子を示す斜視図である。
図において、板ばね接触子は接触部１とばね部２と配線
用端子＝とが一体で形成され、配線用端子７にセンス線
５とフォース線６とが接続されている。
用端子＝とが一体で形成され、配線用端子７にセンス線
５とフォース線６とが接続されている。
第８図は接触子の使用例を説明する斜視図である。
接触子６１はソケット本体６２内に対向して２列に配列
され、この上にＩＣのリードを載せて、１６３で押さえ
、蓋６３の端を止め具６４で固定する。
され、この上にＩＣのリードを載せて、１６３で押さえ
、蓋６３の端を止め具６４で固定する。
第９図は接触子の他の使用例を説明する斜視図である。
接触子７４は測定治具の基板７２にガイド７３を介して
固定されている。
固定されている。
〔発明が解決しようとする課題］
従来の板ばね接触子では、センス線５は被測定デバイス
の端子（ＩＣ等のリードやパッド）から離れたところに
接続されているため、被測定デバイスの電源電流の変化
（デバイスの内部ゲートのオンオフに起因する）等の要
因によるデバイスの電源端子の電圧変動が発生すると、
電圧変動に対する被測定デバイス端子に補正をかける応
答が遅くなり、電圧安定性が落ちノイズ（後記の第４図
（２）に示されるようなノイズ）が発生し、高精度の電
気的測定ができないという問題が生ずる。
の端子（ＩＣ等のリードやパッド）から離れたところに
接続されているため、被測定デバイスの電源電流の変化
（デバイスの内部ゲートのオンオフに起因する）等の要
因によるデバイスの電源端子の電圧変動が発生すると、
電圧変動に対する被測定デバイス端子に補正をかける応
答が遅くなり、電圧安定性が落ちノイズ（後記の第４図
（２）に示されるようなノイズ）が発生し、高精度の電
気的測定ができないという問題が生ずる。
本発明はなるべく被測定物の端子に近いところでセンシ
ング点 定した電圧・電流を供給することができる接触子を提供
して、ノイズを抑え、高精度の電気的測定ができるよう
にするを目的とする。
ング点 定した電圧・電流を供給することができる接触子を提供
して、ノイズを抑え、高精度の電気的測定ができるよう
にするを目的とする。
上記課題の解決は、接触部とばね部とセンス線配線用端
子とフォース線配線用端子とを有し、接触部は被測定物
の端子に接触するものであり、ばね部は一端が接触部に
接続され、他端にフォース線配線用端子が設けられ、フ
ォース線配線用端子はフォース線を接続するもるであり
、センス線配線用端子はセンス線を接続するものであり
、接触部に接続し且つフォース線配線用端子より接触部
に近い位置に設けられている電気的接触子により達成さ
れる。
子とフォース線配線用端子とを有し、接触部は被測定物
の端子に接触するものであり、ばね部は一端が接触部に
接続され、他端にフォース線配線用端子が設けられ、フ
ォース線配線用端子はフォース線を接続するもるであり
、センス線配線用端子はセンス線を接続するものであり
、接触部に接続し且つフォース線配線用端子より接触部
に近い位置に設けられている電気的接触子により達成さ
れる。
［作用］
問題点で述べたように、補正をかける応答が遅くなり電
圧安定性が落ちると、ノイズ（後記第４図参照）が発生
する。その理由は次のように考えられる。
圧安定性が落ちると、ノイズ（後記第４図参照）が発生
する。その理由は次のように考えられる。
センシング点がノイズ（電圧変動のこと）発生源から遠
いと、デバイスノイズや供給電圧の変更時や供給電源の
オンオフ時に発生ずるオーバシュートやアンダシュート
に対する補正のレヘルや位相のズレにより新たなノイズ
が発生する。
いと、デバイスノイズや供給電圧の変更時や供給電源の
オンオフ時に発生ずるオーバシュートやアンダシュート
に対する補正のレヘルや位相のズレにより新たなノイズ
が発生する。
又、ノイズ発生源から電圧供給源に近づくほど。
配線抵抗やＬＣ成分によりノイズが弱くなる（振幅が小
さくなり、波形が鈍る）ため、センシング点がノイズ発
生源から遠いと、センシング点での減衰されたノイズレ
ベルでしか補正がかけられない。従って、デバイス電源
端子に発生しているノイズを完全に打消すことができな
くなる。
さくなり、波形が鈍る）ため、センシング点がノイズ発
生源から遠いと、センシング点での減衰されたノイズレ
ベルでしか補正がかけられない。従って、デバイス電源
端子に発生しているノイズを完全に打消すことができな
くなる。
これに対処して本発明は、フォース線による被測定物へ
の電圧・電流供給に対するセンシングが。
の電圧・電流供給に対するセンシングが。
被測定物の端子に極めて近いところで行われるため、電
圧変動に対する電圧補正の応答が格段に向上し、安定し
た電圧・電流が供給されることによりノイズが減少し、
高精度の電気的測定をできるようにしたものである。
圧変動に対する電圧補正の応答が格段に向上し、安定し
た電圧・電流が供給されることによりノイズが減少し、
高精度の電気的測定をできるようにしたものである。
第１図は本発明の一実施例による板ばね接触子を示す斜
視図である。
視図である。
図において、板ばね接触子は、被測定物の端子に電圧・
電流供給のための接触部１と、これに接続してＵ字型に
延びるばね部２と、これに接続してばね部の外側に延び
るセンス線配線用端子３とフォース線配線用端子４とが
一体で形成される。
電流供給のための接触部１と、これに接続してＵ字型に
延びるばね部２と、これに接続してばね部の外側に延び
るセンス線配線用端子３とフォース線配線用端子４とが
一体で形成される。
ここで、センス線配線用端子３はフォース線配線用端子
４より接触部ｌに近い位置に設けられている。
４より接触部ｌに近い位置に設けられている。
センス線配線用端子３にセンス線５が、フォース線配線
用端子４にフォース部６が接続される。
用端子４にフォース部６が接続される。
第２図は本発明の他の実施例による板ばね接触子を示す
斜視図である。
斜視図である。
図において、板ばね接触子は、被測定物の端子に電圧・
電流供給のための接触部１と、これに接続してＵ字型に
延びるばね部２と、これに接続してばね部の外側に延び
るフォース線配線用端子４と、接触部１に直接接続し且
つフォース線配線用端子４に平行して延びるセンス線配
線用端子３とが一体で形成されている。
電流供給のための接触部１と、これに接続してＵ字型に
延びるばね部２と、これに接続してばね部の外側に延び
るフォース線配線用端子４と、接触部１に直接接続し且
つフォース線配線用端子４に平行して延びるセンス線配
線用端子３とが一体で形成されている。
センス線配線用端子３にセンス線５が、フォース線配線
用端子４にフォース部６が接続される。
用端子４にフォース部６が接続される。
第３図（１）〜（３）は本発明の別の実施例による板ば
ね接触子を示す構造図である。
ね接触子を示す構造図である。
第３図（１）は斜視図、（２）はＡ−Ａ断面を示した斜
視図、（３）はＢ−８展開図である。
視図、（３）はＢ−８展開図である。
図において、板ばね接触子は、 Ｂ−８部で接続された
一対の接触部ＩＡ、 ＩＢと、これらに接続してＵ字型
に延びるばね部２Ａ、 ２Ｂと、ばね部２Ａに接続して
ばね部の外側に延びるセンス線配線用端子３とばね部２
Ｂに接続してばね部の外側に延びるフォース線配線用端
子４とが一体で形成され、センス線配線用端子３はフォ
ース線配線用端子４より接触部１に近い位故に設けられ
ている。
一対の接触部ＩＡ、 ＩＢと、これらに接続してＵ字型
に延びるばね部２Ａ、 ２Ｂと、ばね部２Ａに接続して
ばね部の外側に延びるセンス線配線用端子３とばね部２
Ｂに接続してばね部の外側に延びるフォース線配線用端
子４とが一体で形成され、センス線配線用端子３はフォ
ース線配線用端子４より接触部１に近い位故に設けられ
ている。
絶縁Ｆｉ、８は接触部ＩＡ、 ＩＢと、ばね部２Ａ、
２Ｂとの間に挟まれて固定される。
２Ｂとの間に挟まれて固定される。
接触部ＩＡ、 ＩＢはＢ−８線上で接続されているため
。
。
センス線配線用端子３−ばね部２Ａ−接触部ＬＡ−Ｂ−
Ｂ線上の接続点−接触部ＩＢ−ばね部２Ｂ−フォース線
配線用端子４という経路が形成される。
Ｂ線上の接続点−接触部ＩＢ−ばね部２Ｂ−フォース線
配線用端子４という経路が形成される。
ここで、センス線配線用端子３にセンス線５を。
フォース線配線用端子４にフォース部６を接続して、接
触部ＩＡ、 ＩＢに図示しない被測定物の端子を接触さ
せると、被測定物の端子に極めて近い接触部ＩＡ、 Ｉ
Ｂでの電圧がセンシングされるため、被測定物に対し安
定した電圧・電流が供給されることになり、ノイズが抑
えられ、高精度の電気的測定ができる。
触部ＩＡ、 ＩＢに図示しない被測定物の端子を接触さ
せると、被測定物の端子に極めて近い接触部ＩＡ、 Ｉ
Ｂでの電圧がセンシングされるため、被測定物に対し安
定した電圧・電流が供給されることになり、ノイズが抑
えられ、高精度の電気的測定ができる。
第３図（３）の展開図において、上端部に長方形の接触
部ＩＡ、 ＩＢがあり、その下部から左右両側にＵ字型
にばね部２Ａ、 ２Ｂが延び、それぞれの端にセンス線
配線用端子３及びフォース線配線用端子４が左右非対称
に配置されている。
部ＩＡ、 ＩＢがあり、その下部から左右両側にＵ字型
にばね部２Ａ、 ２Ｂが延び、それぞれの端にセンス線
配線用端子３及びフォース線配線用端子４が左右非対称
に配置されている。
接触子は、接触部ＩＡ、 ＩＢの中心線Ｂ−Ｂを軸とし
て片側を１８０°折り曲げ１重なり合う部分に絶縁板８
を挟んだ構造をしており、各接続端子から接触部の一部
までセンス用、フォース用に分かれている。
て片側を１８０°折り曲げ１重なり合う部分に絶縁板８
を挟んだ構造をしており、各接続端子から接触部の一部
までセンス用、フォース用に分かれている。
絶縁板８の代わりに１重なり合う部分に絶縁被膜を塗布
してもよい。
してもよい。
第４図（１）、 （２）はそれぞれ実施例及び従来例の
接触子を用いて測定したパルス波形図である。
接触子を用いて測定したパルス波形図である。
図は被測定物としてｒｃを用い、 ＩＣの電源端子に５
ｖの電圧印加をオフ／オン／オフしたときの。
ｖの電圧印加をオフ／オン／オフしたときの。
電源端子の端子電圧を見たときの波形である。
第４図（２）の従来例では、特にパルスの立ち上がり、
立ち下がり時に際立ったオーバシュート、アンダシュー
トを伴うが、第４図（１）の実施例では抑制されている
。
立ち下がり時に際立ったオーバシュート、アンダシュー
トを伴うが、第４図（１）の実施例では抑制されている
。
第５図は実施例の効果を示すパルス波形を測定した回路
図である。
図である。
次に測定順序を説明する。
■ ＬＳＩ テスタ５１の電源ユニンｈ ５１Ａのフォ
ース端子Ｆとセンス端子Ｓからフォース線５４とセンス
線５５を引き出し、それらを被測定デバイスであるＬＳ
Ｉ ５２の電源端子５２Ａに接触する板ばね接触子に接
続する。
ース端子Ｆとセンス端子Ｓからフォース線５４とセンス
線５５を引き出し、それらを被測定デバイスであるＬＳ
Ｉ ５２の電源端子５２Ａに接触する板ばね接触子に接
続する。
■ ＬＳＩ テスタ５１の電源ユニット５１Ａから５ｖ
と０νの電圧を交互に出力し、オフシロスコープ５３の
プローブ５３Ａを電源端子５２Ａに接触して波形を観測
する。
と０νの電圧を交互に出力し、オフシロスコープ５３の
プローブ５３Ａを電源端子５２Ａに接触して波形を観測
する。
■ 以上の観測を実施例の接触子と従来の接触子につい
て行う。
て行う。
第６図は電圧変動に対する被測定物端子に補正をかける
帰還ブロック図である。
帰還ブロック図である。
図において、電源ユニット６２はフォースユニット６２
Ｆとセンスユニット６２Ｓとを有し、コントローラ６１
からの信号に従い、フォースユニット６２Ｆよりデバイ
ス峠に電圧が印加される。このときのデバイスの端子電
圧（フォース線とセンス線の接続点の電圧）をセンスユ
ニッｌ−６２Ｓが検知し、フォースユニット６２Ｆに帰
還をかけて端子電圧を安定させるようにしている。
Ｆとセンスユニット６２Ｓとを有し、コントローラ６１
からの信号に従い、フォースユニット６２Ｆよりデバイ
ス峠に電圧が印加される。このときのデバイスの端子電
圧（フォース線とセンス線の接続点の電圧）をセンスユ
ニッｌ−６２Ｓが検知し、フォースユニット６２Ｆに帰
還をかけて端子電圧を安定させるようにしている。
以上説明したように本発明によれば、フォース線による
被測定物への電圧・電流供給に対するセンシングが、被
測定物の端子に極めて近いところで行われるため、電圧
変動に対する電圧補正の応答が向上し、安定した電圧・
電流が供給されるようになる。この結果、ノイズが減少
し、高精度の電気的測定ができるようになった。
被測定物への電圧・電流供給に対するセンシングが、被
測定物の端子に極めて近いところで行われるため、電圧
変動に対する電圧補正の応答が向上し、安定した電圧・
電流が供給されるようになる。この結果、ノイズが減少
し、高精度の電気的測定ができるようになった。
第１図は本発明の一実施例による板ばね接触子を示す斜
視図。 第２図は本発明の他の実施例による板ばね接触子を示す
斜視図。 第３図（１）〜（３）は本発明の別の実施例による板ば
ね接触子を示す構造図。 第４図（１）、 （２）はそれぞれ実施例及び従来例の
接触子を用いて測定したパルス波形図 第５図は実施例の効果を示すパルス波形を測定した回路
図。 第６図は電圧変動に対する被測定物端子に補正をかける
帰還ブロック図 第７図は従来の板ばね接触子を示す斜視図。 令出←峠叫ト 第８図は接触子の使用例を説明する斜視図。 第９図は接触子の他の使用例を説明する斜視図２Ａ、
２Ｂはばね部。 はセンス線配線用端子。 はフォース線配線用端子 はセンス線。 はフォース線 は絶縁板 （１）実施例 （２）位〉粟１列 パルス浦形図 第４図 （５３ へ″）シス、反升′／′、即ｊ完田司路図第 ５ 図 ５９２−
視図。 第２図は本発明の他の実施例による板ばね接触子を示す
斜視図。 第３図（１）〜（３）は本発明の別の実施例による板ば
ね接触子を示す構造図。 第４図（１）、 （２）はそれぞれ実施例及び従来例の
接触子を用いて測定したパルス波形図 第５図は実施例の効果を示すパルス波形を測定した回路
図。 第６図は電圧変動に対する被測定物端子に補正をかける
帰還ブロック図 第７図は従来の板ばね接触子を示す斜視図。 令出←峠叫ト 第８図は接触子の使用例を説明する斜視図。 第９図は接触子の他の使用例を説明する斜視図２Ａ、
２Ｂはばね部。 はセンス線配線用端子。 はフォース線配線用端子 はセンス線。 はフォース線 は絶縁板 （１）実施例 （２）位〉粟１列 パルス浦形図 第４図 （５３ へ″）シス、反升′／′、即ｊ完田司路図第 ５ 図 ５９２−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 接触部とばね部とセンス線配線用端子とフォース線配線
用端子とを有し、 接触部は被測定物の端子に接触するものであり、ばね部
は一端が接触部に接続され、他端にフォース線配線用端
子が設けられ、 フォース線配線用端子はフォース線を接続するもるであ
り、 センス線配線用端子はセンス線を接続するものであり、
接触部に接続し且つフォース線配線用端子より接触部に
近い位置に設けられていることを特徴とする電気的接触
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20317489A JPH0367187A (ja) | 1989-08-05 | 1989-08-05 | 電気的接触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20317489A JPH0367187A (ja) | 1989-08-05 | 1989-08-05 | 電気的接触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367187A true JPH0367187A (ja) | 1991-03-22 |
Family
ID=16469684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20317489A Pending JPH0367187A (ja) | 1989-08-05 | 1989-08-05 | 電気的接触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0367187A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05326092A (ja) * | 1992-05-27 | 1993-12-10 | Yamaichi Electron Co Ltd | Ｉｃパッケージ用ソケット |
-
1989
- 1989-08-05 JP JP20317489A patent/JPH0367187A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05326092A (ja) * | 1992-05-27 | 1993-12-10 | Yamaichi Electron Co Ltd | Ｉｃパッケージ用ソケット |
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