JPH0460554U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0460554U JPH0460554U JP10241190U JP10241190U JPH0460554U JP H0460554 U JPH0460554 U JP H0460554U JP 10241190 U JP10241190 U JP 10241190U JP 10241190 U JP10241190 U JP 10241190U JP H0460554 U JPH0460554 U JP H0460554U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulator
- plasma cvd
- cvd apparatus
- discharge
- ring shape
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図〜第３図はこの考案の第１実施例を示し
、第１図はプラズマＣＶＤ装置の概略断面図、第
２図は放電電極の底面図、第３図は電界の分布形
態を示す説明図である。第４図は第２実施例を示
す放電電極の縦断正面図である。第５図は従来装
置における電界の分布形態を示す説明図である。 １……真空槽、４……放電電極、５……アース
電極、１２……基板、１３……放電面、１４……
絶縁体。
、第１図はプラズマＣＶＤ装置の概略断面図、第
２図は放電電極の底面図、第３図は電界の分布形
態を示す説明図である。第４図は第２実施例を示
す放電電極の縦断正面図である。第５図は従来装
置における電界の分布形態を示す説明図である。 １……真空槽、４……放電電極、５……アース
電極、１２……基板、１３……放電面、１４……
絶縁体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空槽の内部に、放電電極と、一群の基板
を支持するアース電極とが対向配置されており、 前記放電電極の放電面に、電界の分布形態を制
御する絶縁体が付設してあることを特徴とするプ
ラズマＣＶＤ装置。 (2) 絶縁体が無端リング状に形成されており、
この絶縁体の複数個を放電面に沿つて多重輪形状
に配置したことを特徴とする請求項(1)記載のプ
ラズマＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10241190U JPH0460554U (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10241190U JPH0460554U (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0460554U true JPH0460554U (ja) | 1992-05-25 |
Family
ID=31846645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10241190U Pending JPH0460554U (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0460554U (ja) |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP10241190U patent/JPH0460554U/ja active Pending
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