JPH0461507A - 超薄肉圧電振動子 - Google Patents
超薄肉圧電振動子Info
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- JPH0461507A JPH0461507A JP17211490A JP17211490A JPH0461507A JP H0461507 A JPH0461507 A JP H0461507A JP 17211490 A JP17211490 A JP 17211490A JP 17211490 A JP17211490 A JP 17211490A JP H0461507 A JPH0461507 A JP H0461507A
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- JP
- Japan
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- electrode
- electrode lead
- ultra
- piezoelectric resonator
- thin
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は基本波振動によって数１０乃至数１００ Ｍ
Ｈｚに及ぶ高い共振周波数を得ることのできる超薄板圧
電共振子の電極リード構造に関する。
Ｈｚに及ぶ高い共振周波数を得ることのできる超薄板圧
電共振子の電極リード構造に関する。
（従来の技術）
近年、各種電子機器、通信機器においては、高周波化と
高い周波数安定度の要求が厳しくなっているが、従来よ
り圧電デバイス（振動子、フィルタ）として多用されて
きた一般のＡＴカット水晶振動子は温度−周ｅ、数字９
１性は極めて優れているもののその共振周波数は板厚に
反比例するため、製造技術及び機械的強度の観点より４
０ Ｍ ＩＩ ｚ程度が限界であった。
高い周波数安定度の要求が厳しくなっているが、従来よ
り圧電デバイス（振動子、フィルタ）として多用されて
きた一般のＡＴカット水晶振動子は温度−周ｅ、数字９
１性は極めて優れているもののその共振周波数は板厚に
反比例するため、製造技術及び機械的強度の観点より４
０ Ｍ ＩＩ ｚ程度が限界であった。
又、ＡＴカット水晶振動子の高調波成分を抽出して基本
波共振周波数の奇数倍の周波数を得る所謂オーバートー
ン発振手段も広く用いられているが、発振回路にコイル
を含むＬＣ同調回路を必要とするため発振回路を半導体
集積回路化する上で不都合がある上、容量比が大きく、
且つインビダンスレベルが高い為発振が困難になる場合
があるという欠陥があった。
波共振周波数の奇数倍の周波数を得る所謂オーバートー
ン発振手段も広く用いられているが、発振回路にコイル
を含むＬＣ同調回路を必要とするため発振回路を半導体
集積回路化する上で不都合がある上、容量比が大きく、
且つインビダンスレベルが高い為発振が困難になる場合
があるという欠陥があった。
方、インタディジタル・トランスジューサ電極の電極指
ピッチによって共振周波数が決定される弾性表面波共振
子は、フォトリソグラフィ技術の進歩によってＩＧＨｚ
程度の出力まで可能となってはきたが、これに使用し得
る圧電基板の温度−周波数特性がＡＴカット水晶に比し
て著しく劣るという問題があった。
ピッチによって共振周波数が決定される弾性表面波共振
子は、フォトリソグラフィ技術の進歩によってＩＧＨｚ
程度の出力まで可能となってはきたが、これに使用し得
る圧電基板の温度−周波数特性がＡＴカット水晶に比し
て著しく劣るという問題があった。
上述の如き問題を解決するため、従来より第４図（ａｌ
（ｂｌ に示すごとき圧電共振子が研究されている
。
（ｂｌ に示すごとき圧電共振子が研究されている
。
即ち、この圧電共振子はＡＴカット水晶ブロックｌの片
面の中央部に機械加工又はエツチングによって凹陥部２
を形成するとともに、凹陥部２の底面に位置する振動部
３の厚さを、例えば１００ＭＨｚの基本波共振周波数を
得んとするならば約１７μｍとする。
面の中央部に機械加工又はエツチングによって凹陥部２
を形成するとともに、凹陥部２の底面に位置する振動部
３の厚さを、例えば１００ＭＨｚの基本波共振周波数を
得んとするならば約１７μｍとする。
凹陥部２を形成した結果、凹陥部２側のブロック面には
、超薄板状の振動部３の周縁部に厚肉の環状囲繞部（リ
ブ）４が前記振動部３と一体的に形成され超薄板状の振
動部を機械的に支持する。
、超薄板状の振動部３の周縁部に厚肉の環状囲繞部（リ
ブ）４が前記振動部３と一体的に形成され超薄板状の振
動部を機械的に支持する。
上述した如き構造を有する圧電素板の凹陥内側壁を含む
全面に導体膜５を付着すると共に、その対向面側の振動
部３の表面に部分電極６及びこれから延びる電極リード
７を真空蒸着等の手法を用いて付着すれば、共振周波数
の極めて高い圧電共振子を得ることができる。
全面に導体膜５を付着すると共に、その対向面側の振動
部３の表面に部分電極６及びこれから延びる電極リード
７を真空蒸着等の手法を用いて付着すれば、共振周波数
の極めて高い圧電共振子を得ることができる。
圧電素板の凹陥内壁を含む全面に導体［５を付着する主
な理由は、精密なマスクを用いた特殊な蒸着技法により
部分的に導体膜を形成することが煩雑で生産効率を低下
せしめるからであるが、その反面、凹陥部２部全体が導
体ｌＩ！２５で覆われているために１ｉｊ記部分電極６
から延びる電極リード７との間にコンデンサが形成され
て圧電共振子全体の容量比が増大し、周波数の変動し得
る幅が小さくなるという問題を生ずる。
な理由は、精密なマスクを用いた特殊な蒸着技法により
部分的に導体膜を形成することが煩雑で生産効率を低下
せしめるからであるが、その反面、凹陥部２部全体が導
体ｌＩ！２５で覆われているために１ｉｊ記部分電極６
から延びる電極リード７との間にコンデンサが形成され
て圧電共振子全体の容量比が増大し、周波数の変動し得
る幅が小さくなるという問題を生ずる。
即ち１部分電極６から延びる電極リード７に充分な導電
性を与えるために電極リード部面積を大きくすると、振
動部板厚が超薄であることに起因して大容量Ｃを構成す
る。太容阻Ｃが形成されると、第５図に示す圧電共振子
の等価回路における並列容量Ｃ８が増大して、圧電共振
子の容量比γ＝Ｃ，／Ｃ，が増大するために、斯かるタ
イプの共振子は電圧制御水晶発振器（ＶＣＸＯ）の如く
所定の範囲内で発振周波数を変動せしめる必要のある発
振回路への適用が制限を受けるであろうし、又多重モー
ドフィルタ素子に適用せんとしても比較的広いバスバン
ドを要求された場合には対応が困難であるという欠陥が
予測される。
性を与えるために電極リード部面積を大きくすると、振
動部板厚が超薄であることに起因して大容量Ｃを構成す
る。太容阻Ｃが形成されると、第５図に示す圧電共振子
の等価回路における並列容量Ｃ８が増大して、圧電共振
子の容量比γ＝Ｃ，／Ｃ，が増大するために、斯かるタ
イプの共振子は電圧制御水晶発振器（ＶＣＸＯ）の如く
所定の範囲内で発振周波数を変動せしめる必要のある発
振回路への適用が制限を受けるであろうし、又多重モー
ドフィルタ素子に適用せんとしても比較的広いバスバン
ドを要求された場合には対応が困難であるという欠陥が
予測される。
斯かる不具合を解決する為、全面電極のリードに対応す
る部分に導体膜を付着しないようにする手法も考えられ
るが、そのためにはマスクを使用した蒸着が必要となり
、蒸着にマスクを要しないという全面電極構成のメリッ
トを完全に損なう結果を招来する。
る部分に導体膜を付着しないようにする手法も考えられ
るが、そのためにはマスクを使用した蒸着が必要となり
、蒸着にマスクを要しないという全面電極構成のメリッ
トを完全に損なう結果を招来する。
（発明の目的）
本発明は超薄板圧電共振子において予測される上述した
如き問題点に鑑みてなされたものであって、水晶等の圧
電ブロック表面に形成した凹陥部底面を超薄板状の圧電
振動部とした圧電共振子において、前記超薄肉の振動部
を介して電極と電極リードパターンとが相対面する結果
、コンデンサを形成し共振子の並列容量を増大させるこ
とに起因して発生する種々の不都合を解消することがで
きる超薄圧電共振子の電極リード構造を提供することを
目的とする。
如き問題点に鑑みてなされたものであって、水晶等の圧
電ブロック表面に形成した凹陥部底面を超薄板状の圧電
振動部とした圧電共振子において、前記超薄肉の振動部
を介して電極と電極リードパターンとが相対面する結果
、コンデンサを形成し共振子の並列容量を増大させるこ
とに起因して発生する種々の不都合を解消することがで
きる超薄圧電共振子の電極リード構造を提供することを
目的とする。
（発明の概要）
上記の目的を達成するため本発明に係る共振ｆは、超薄
肉の振動部の一面に形成する電極から伸びる’Ｆｉｈリ
ートパターンのうちＬ“ノ肉の環状囲繞部に対応する部
分を他の部分より充分に幅広としたことを特徴とする− （発明の実施例） 以ト、添付図面に示した好適な実施例：ご基づいて本発
明の詳細な説明する。
肉の振動部の一面に形成する電極から伸びる’Ｆｉｈリ
ートパターンのうちＬ“ノ肉の環状囲繞部に対応する部
分を他の部分より充分に幅広としたことを特徴とする− （発明の実施例） 以ト、添付図面に示した好適な実施例：ご基づいて本発
明の詳細な説明する。
実施例の説明に先立って１本発明の理解を助ける為本発
明の基礎となる超薄板圧電共振子が何故にその凹陥部に
全面電極を、その対向面側に部分電極を設ける如き電極
構成を採用するかについて少しく解説する。
明の基礎となる超薄板圧電共振子が何故にその凹陥部に
全面電極を、その対向面側に部分電極を設ける如き電極
構成を採用するかについて少しく解説する。
第１に真空蒸着技術の観点から前述した如き圧電基板凹
陥側振動部に部分電極を、又該電極から＋ｉ’ｌ 記凹
陥の内側壁及び段差を越えて幅の狭い電極リードを延長
することは、圧電基板を水平面に対し傾けて蒸着を行な
う等の面倒な手法を用いればとも角、極めて困難であっ
て電極リードの導通確保に不安がある為、該面を全面電
極としいずれかの部分で必ず導通を確保し１１７るよう
にしたものである。
陥側振動部に部分電極を、又該電極から＋ｉ’ｌ 記凹
陥の内側壁及び段差を越えて幅の狭い電極リードを延長
することは、圧電基板を水平面に対し傾けて蒸着を行な
う等の面倒な手法を用いればとも角、極めて困難であっ
て電極リードの導通確保に不安がある為、該面を全面電
極としいずれかの部分で必ず導通を確保し１１７るよう
にしたものである。
第２に斯かるタイプの共振ｒは元来デバイスの超小型化
を［１的とし、圧電基板のサイズは例えば３ｍｍＸ３ｍ
ｍ以十としたい。然りとすれば、−枚の１１電ウ工ハー
士にバッチ処理で一挙に多数のチップを形成し、ＥＬ後
にこれを個々のチップに切断する製法を採用する。この
場合、１・述したタイプの電極構成を採用すれば、ウェ
ハーの−・面には単に導体膜の全面蒸着を行なえば足り
、フォトマスク或はフォトリソグラフ用マスクの微妙な
位置合わせな要しないので、生産効率、歩留りを向上し
、コストを低減することができる。
を［１的とし、圧電基板のサイズは例えば３ｍｍＸ３ｍ
ｍ以十としたい。然りとすれば、−枚の１１電ウ工ハー
士にバッチ処理で一挙に多数のチップを形成し、ＥＬ後
にこれを個々のチップに切断する製法を採用する。この
場合、１・述したタイプの電極構成を採用すれば、ウェ
ハーの−・面には単に導体膜の全面蒸着を行なえば足り
、フォトマスク或はフォトリソグラフ用マスクの微妙な
位置合わせな要しないので、生産効率、歩留りを向上し
、コストを低減することができる。
以Ｅの如き理由により、従来から研究されていた超薄板
圧電共振子は凹陥側表面に全面電極を付着することを基
本とするものであることに留意されたい。
圧電共振子は凹陥側表面に全面電極を付着することを基
本とするものであることに留意されたい。
しかしながら、上述した如き電極構成を用いれば、前記
振動部の板厚が極めて小さいこともあって該部表裏の全
面電極と、電極リード部との間に大容量のキャパシタが
構成され、その結果共振器の容量比が大きくなり１ｇ！
々の不都合を生ずること前述の通りである。
振動部の板厚が極めて小さいこともあって該部表裏の全
面電極と、電極リード部との間に大容量のキャパシタが
構成され、その結果共振器の容量比が大きくなり１ｇ！
々の不都合を生ずること前述の通りである。
この聞届を解決するため１本発明に係る超薄板１電共振
Ｔ−は以上の如き電極構造をとる。
Ｔ−は以上の如き電極構造をとる。
第１図は本発明の基本的構成を示す平面図であって、超
薄板圧電ブロックｌの凹陥２側に形成した全面電極と対
向する面、Ｅの対向電極６より延びる電極リード７の環
状囲繞部４に対応する部分７ａの幅員を幅広にしたもの
である。
薄板圧電ブロックｌの凹陥２側に形成した全面電極と対
向する面、Ｅの対向電極６より延びる電極リード７の環
状囲繞部４に対応する部分７ａの幅員を幅広にしたもの
である。
斯くの如く振動部３上に位置する電極リード部分７ｂの
幅員を必要最小限に極限しながらも、環状囲繞部４の裏
面上、に位置する電極リード部分７ａの幅員を幅広とす
る理由は、振動部３はその肉厚が極めて小さく、該部表
裏両面に夫々広面積の導体膜が対向して存在すれば大な
る容量のキャパシタを構成するのに対して、環状囲繞部
４はその肉厚が大であって仮にその表裏に導体膜が存在
してもさほど大なる容量を有することがな（、共振子の
容量比には■大な影響を与えないと考えられるからであ
る。また、細い電極リード部分７ｂの長さを極限するこ
とによってオーミックなロスを低減できるからである。
幅員を必要最小限に極限しながらも、環状囲繞部４の裏
面上、に位置する電極リード部分７ａの幅員を幅広とす
る理由は、振動部３はその肉厚が極めて小さく、該部表
裏両面に夫々広面積の導体膜が対向して存在すれば大な
る容量のキャパシタを構成するのに対して、環状囲繞部
４はその肉厚が大であって仮にその表裏に導体膜が存在
してもさほど大なる容量を有することがな（、共振子の
容量比には■大な影響を与えないと考えられるからであ
る。また、細い電極リード部分７ｂの長さを極限するこ
とによってオーミックなロスを低減できるからである。
なお、１−述した如き圧電共振子は第２図に示す如くそ
の凹陥２側を例えばセラミクスを焼結した皿型パッケー
ジ８の内底面に設けて導体膜１０に対面する如く収納し
、前記凹陥２側全面電極５を環状囲繞部４−・縁表面に
おいて前記導体膜１０と導電性接着剤１１で接着固定す
ると共に前記導体膜１０を介してパッケージの外部リー
ド端Ｔ−１２と接続する。一方、部分電極６から延びる
電極リード７の幅広部７ａについてはこれをパッケージ
外壁のリード端子１３と接続しているバクケージ８内壁
段差部に設けた導体バッド１４とボンディングワイヤ１
５にて接続するのに利用するに好都合である。
の凹陥２側を例えばセラミクスを焼結した皿型パッケー
ジ８の内底面に設けて導体膜１０に対面する如く収納し
、前記凹陥２側全面電極５を環状囲繞部４−・縁表面に
おいて前記導体膜１０と導電性接着剤１１で接着固定す
ると共に前記導体膜１０を介してパッケージの外部リー
ド端Ｔ−１２と接続する。一方、部分電極６から延びる
電極リード７の幅広部７ａについてはこれをパッケージ
外壁のリード端子１３と接続しているバクケージ８内壁
段差部に設けた導体バッド１４とボンディングワイヤ１
５にて接続するのに利用するに好都合である。
以上、本発明を圧電振動子に適用した場合について説明
したが１本発明は超薄板多重モードフィルタにも同様に
適用可能である。多重モードフィルタのうち最も多用さ
れている２重モードＪＥ＠フィルタは周知の如く圧電基
板の一主面（この場合は凹陥２側）の全面電極５をアー
ス電極とし、その吋白面に分割近接電極１６を設け、こ
れら両電極に交番電界を印加して１両電極間に音響結合
を′Ｌぜしめ、その結果励起する共振周波数の相異なる
２つの振動モートを利用してパンドパスフｆルタを構成
するものである。
したが１本発明は超薄板多重モードフィルタにも同様に
適用可能である。多重モードフィルタのうち最も多用さ
れている２重モードＪＥ＠フィルタは周知の如く圧電基
板の一主面（この場合は凹陥２側）の全面電極５をアー
ス電極とし、その吋白面に分割近接電極１６を設け、こ
れら両電極に交番電界を印加して１両電極間に音響結合
を′Ｌぜしめ、その結果励起する共振周波数の相異なる
２つの振動モートを利用してパンドパスフｆルタを構成
するものである。
このようなフィルタ素子も又等価並列容量Ｃ０が大きく
なると、即ち容量比γが大きくなると実現可能なバンド
幅が減少することは周知である。
なると、即ち容量比γが大きくなると実現可能なバンド
幅が減少することは周知である。
従って、第３図に丞す如く分割電極１６．１６から引出
すリードの内前記振動部３表面に付する部分１７．１７
は細く、環状囲綾部４表面五における部分１７ａ、１７
ａは幅広にすればよい。
すリードの内前記振動部３表面に付する部分１７．１７
は細く、環状囲綾部４表面五における部分１７ａ、１７
ａは幅広にすればよい。
斯くすることによって数ｌＯ乃至１００ Ｍ ＨＺの共
振周波数を基本波振動によって得る振動子或はこの周波
数をほぼ中心周波数とするフィルタ素子を超小型に形成
し、しかもこれらの特性、殊に共振周波数の可変幅、フ
ィルタのバンド幅を部分大きな値に確保することができ
る。
振周波数を基本波振動によって得る振動子或はこの周波
数をほぼ中心周波数とするフィルタ素子を超小型に形成
し、しかもこれらの特性、殊に共振周波数の可変幅、フ
ィルタのバンド幅を部分大きな値に確保することができ
る。
（発明の効果）
本発明は以り説明した如く構成するものであるから、超
薄板圧電振動子或はフィルタ素子の容：ｄ比を低い１１
′（に押え、振動子にあっては共振周波数の可変幅を充
分に確保し、又フィルタ素ｒ−にあっては、広いバスバ
ンドを５えるＬで苫しい効果がある。更に、共振子振動
部表面のリート面積が電極のそれに比して小なることか
ら、不要波の発生も少ないと云う効果を併せ持つもので
ある。
薄板圧電振動子或はフィルタ素子の容：ｄ比を低い１１
′（に押え、振動子にあっては共振周波数の可変幅を充
分に確保し、又フィルタ素ｒ−にあっては、広いバスバ
ンドを５えるＬで苫しい効果がある。更に、共振子振動
部表面のリート面積が電極のそれに比して小なることか
ら、不要波の発生も少ないと云う効果を併せ持つもので
ある。
第１図本発明に係る超薄板圧電共振子の電極リード構造
の一例を示す平面図、第２図は本発明に係る圧電共振子
のパッケージ手法の一例を示す断面図、第３図は本発明
を適用した超薄板多重モードフィルタ素ｒの実施例を示
す平面図、第４図（ａ）及びｆｂ）は夫々従来から研究
されていた超薄板圧電共振子の構造を示す斜視図及びそ
のｘ−Ｘ断面図、第５図は共振子の等価回路図である。 ３・・・振動部 ４・・・環状囲繞部 ５−０゜ 全面電極 ・・部分電極 ７・・・°４陽り一
の一例を示す平面図、第２図は本発明に係る圧電共振子
のパッケージ手法の一例を示す断面図、第３図は本発明
を適用した超薄板多重モードフィルタ素ｒの実施例を示
す平面図、第４図（ａ）及びｆｂ）は夫々従来から研究
されていた超薄板圧電共振子の構造を示す斜視図及びそ
のｘ−Ｘ断面図、第５図は共振子の等価回路図である。 ３・・・振動部 ４・・・環状囲繞部 ５−０゜ 全面電極 ・・部分電極 ７・・・°４陽り一
Claims (1)
- （１）超薄肉の振動部と、該振動部周縁を支持する厚肉
の環状囲繞部とを一体成形した圧電共振子素板の一主面
には全面電極を、その対向面には部分電極及びこれから
素板端縁に延びる電極リードを設け、該電極リードの内
前記環状囲繞部表面に付着する部分を他の部分より幅広
としたことを特徴とする超薄圧電共振子の電極リード構
造。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02172114A JP3102872B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 超薄肉圧電振動子 |
| DE69124339T DE69124339T2 (de) | 1990-05-25 | 1991-05-09 | Elektroden- und elektrodenleitungsstruktur eines piezoelektrischen resonators aus einer ultradünnen schicht |
| US07/809,512 US5235240A (en) | 1990-05-25 | 1991-05-09 | Electrodes and their lead structures of an ultrathin piezoelectric resonator |
| PCT/JP1991/000615 WO1991019351A1 (fr) | 1990-05-25 | 1991-05-09 | Structure d'electrode et de sortie correspondante pour resonateur piezoelectrique a plaque mince |
| EP91908864A EP0484545B1 (en) | 1990-05-25 | 1991-05-09 | Structure of electrode and lead thereof of ultra thin plate piezoelectric resonator |
| KR1019910700781A KR920702898A (ko) | 1990-05-25 | 1991-07-25 | 초박판 압전공진자의 전극 및 전극리드구조 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02172114A JP3102872B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 超薄肉圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0461507A true JPH0461507A (ja) | 1992-02-27 |
| JP3102872B2 JP3102872B2 (ja) | 2000-10-23 |
Family
ID=15935816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02172114A Expired - Fee Related JP3102872B2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-06-29 | 超薄肉圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3102872B2 (ja) |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP02172114A patent/JP3102872B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3102872B2 (ja) | 2000-10-23 |
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