JPH046156A - 炭化けい素系導電性セラミックス - Google Patents

炭化けい素系導電性セラミックス

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JPH046156A
JPH046156A JP2109390A JP10939090A JPH046156A JP H046156 A JPH046156 A JP H046156A JP 2109390 A JP2109390 A JP 2109390A JP 10939090 A JP10939090 A JP 10939090A JP H046156 A JPH046156 A JP H046156A
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好男 中村
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広志 田代
Masatoshi Onishi
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、炭化けい素系導電性セラミ・ソクスに係り、
特に電気抵抗が低く耐酸イヒ性1こすく゛れ、かつ機械
的強度が高く各種構造材料としても有用なセラミック複
合体る。
(従来の技術) 近年、耐熱、耐薬品性にすぐれ、力1つ機械的強度の高
い構造材料として、炭化1′jLM素(シリコンカーバ
イド)を主体とするセラミックス力(注目され、また各
分野で使用されつつある。
一方、前記炭化けい素糸セラミックスの耐熱、耐薬品性
、高い機械的強度など利用しながら導電性材料としての
応用も試みられている。そして、このような炭化けい素
糸セラミックスに導電性を付与する手段として、たとえ
ばTI、 Zrのような周期律表IVa族元素、あるい
はV SNbのようなVa族元素の炭化物、窒化物およ
びホウ化物などを添加する方法が行われている。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、炭化けい素糸セラミックスに前記元素の
炭化物、窒化物、ホウ化物などを添加して導電性を高め
るためには、比較的多量(約20重量%以上)に添加し
なければならず、かつこれらの添加化合物は耐酸化性が
低いため、結果的に得られるセラミックスの耐酸化性も
低くなってしまう。したがって、上記炭化物、窒化物、
ホウ化物などを添加して構成した従来の炭化けい素系導
電性セラミックスは、酸素を含む雰囲気中において高温
下での使用には事実上適さないという問題、があった。
本発明は、このような問題を解決するためになされたも
ので、電気抵抗が低くて耐酸化性にすぐれ、かつ高い機
械的強度が確保された炭化けい素糸導電性セラミックス
の提供を目的とする。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明の炭化けい素糸導電性セラミックスは、炭化けい
素45〜95重量部、酸化モリブデン3〜25重量部お
よび酸化アルミニウム2〜30重量部を含み、不活性ガ
ス雰囲気下で焼結されて成ることを特徴とする。
すなわち、本発明は高温酸化雰囲気下において安定な酸
化モリブデン、好ましくは二酸化モリブデン(MOO2
)を導電性添加剤として用いたことを骨子とする。
本発明においては、前記酸化モリブデンの組成比が3〜
25重量部に選択される。その理由は、酸化モリブデン
の組成比が3重量部未満であると、導電性を付与する効
果が充分でないため、良好な導電性を有するセラミック
スが得られないからである。一方、組成比が25重量部
を超えると、焼結性が低下し、充分な機械的強度を有す
るセラミックスが得られないからである。
また、本発明において酸化アルミニウムの組成比は、以
下の理由により 2〜30ffi Q部の範囲で選ばれ
る。すなわち、酸化アルミニウムの組成比が2重量部未
満である場合も、30重量部を超えた場合も、焼結性が
低下し、得られる炭化けい素糸セラミックスの機械的強
度が低下してしまうためである。
本発明の炭化けい素糸導電性セラミックスは、通常炭化
けい素の粉末45〜95重二部と重量モリブデンの粉末
3〜25重量部と酸化アルミニウム粉末2〜30重量部
とを組成分として含み、不活性ガスの雰囲気中で焼結さ
れて成るもので、特に1800〜2100℃の温度で焼
結されたものは、電気抵抗が102Ω−印以下(室温)
と充分良好な導電性を有している。なお、前記温度範囲
外で焼結した場合、焼結不良や密度および強度が低下す
る恐れがあり、構造材料としての使用に適さないことも
あるので、焼結温度は前記程度に選択するのが望ましい
一方、酸化アルミニウム成分は、必ずしも出発原料とし
て酸化アルミニウム粉末を用いる必要もない。つまり、
アルミニウムアルコキシド、有機酸のアルミニウム塩な
どを用い、最終焼結までの過程において適宜な処理を施
すことによって、^1203に変換されるようにしても
よい。
(作用) 本発明に係る炭化けい素糸導電性セラミックスは、炭化
けい素45〜95重量部、酸化モリブデン粉末3〜25
重量部および酸化アルミニウム2〜30重皿部を必須の
成分として含み、不活性ガス雰囲気中で焼結されて成る
セラミックスである。しかして、高温酸化雰囲気中でも
安定な酸化モリブデンを、導電性添加剤として含有して
いるので、本来炭化けい素が有している高い耐酸化性と
機械的強度も何等損なわれることなく、良好な導電性(
電気伝導性)が容易に付与される。
(実施例) 以下、本発明の実施例について説明する。
実施例1 平均粒径0.5μlの炭化けい素粉末84重量部に、平
均粒径2μlの酸化モリブデン(二酸化モリブデンMo
O2)粉末6重量部と、平均粒径20rvのアルミナゾ
ル10重量部とを配合し、さらにポリビニルアセテート
 2.5重量部を含むアセトン溶液150m1を添加し
た。次いで、これらをポリポットおよび炭化けい素製の
ボールを用いて24時間にわたって攪拌混合した。得ら
れた攪拌混合物を乾燥し溶媒を除去した後、60メツシ
ユのふるいを用いて造粒した。
次に、前記造粒混合物を、金型プレスもしくはラバープ
レスによって、5關X  5mm X 60m+sの大
きさにプレス成形した後、得られた成形体をグラファイ
ト容器に収容し、アルゴンガス(不活性ガス)雰囲気中
1900℃の温度で加熱して焼結し、セラミック焼結体
を得た。
上記で得たセラミック焼結体について、相対密度、電気
抵抗、曲げ強さ(室温下における3点曲げ強さ)および
酸化増量(1200”c空気雰囲気中での160時間後
の増量値)を、それぞれ測定した結果を組成比とともに
表−1に示す。
実施例2〜5 表−1に示す組成比で、炭化けい素粉束、酸化モリブデ
ン粉末およびアルミナゾルをそれぞれ選択して調製した
組成物を、実施例1の場合と同様の条件でそれぞれ混合
、乾燥、造粒、成形および焼結を行い、セラミック焼結
体(実施例2〜5)を得た。
また、比較のために、炭化けい素粉束、炭化チタン粉末
(平均粒径2μ園)およびアルミナゾルを、それぞれ表
−1に示す組成比で選択配合したものを、実施例の場合
と同様の条件でそれぞれ混合、乾燥、造粒、成形および
焼結を行い、セラミック焼結体(比較例1.2)を得た
上記実施例2〜5および比較例1.2の各セラミック焼
結体について、実施例1の場合と同様に特性を測定した
結果を表−1に示す。
(以下余白) 表−1 表−1から明らかなように、導電性添加剤として、酸化
モリブデン粉末が所定の割合で組成分とて含む実施例の
炭化けい素糸導電性セラミックスは、炭化チタンが添加
された従来の導電性セラミックス(比較例)に比べて、
電気抵抗が低いうえに、酸化増量値が小さく耐酸化性に
すぐれている。
また、曲げ強さなども比較的高く、すぐれた機械的強度
を備えているため構造的な機能を考慮した導電性材料と
しても十分に使用し得る。
[発明の効果コ 上記したように、本発明に係る炭化けい素糸導電性セラ
ミックスは、耐熱性、耐酸化性にすぐれ、かつ高温酸化
雰囲気中でも安定な酸化モリブデンを、導電性添加剤成
分として3〜25重量部と比較的少量含有している。し
かして、電気比抵抗が102Ω−ロ以下と低く良好な導
電性を有するうえに、炭化けい素が本来有しているすぐ
れた耐酸化性も充分に保持されている。
また、たとえば常圧焼結によっても、曲げ強さが350
MPa以上と高強度高靭性を保持している。かくして、
本発明に係る炭化けい素糸導電性セラミックスは、耐熱
性、耐酸化性、導電性および高強度高靭性などを要求さ
れる構造材料ないし構成部品として適するものといえる

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 炭化けい素45〜95重量部、酸化モリブデン3〜25
    重量部および酸化アルミニウム2〜30重量部を含み、
    不活性ガス雰囲気下で焼結されて成ることを特徴とする
    炭化けい素系導電性セラミックス。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109437908A (zh) * 2018-11-13 2019-03-08 长沙百川超硬材料工具有限公司 一种高热硬性硬质合金及其制备方法
CN116410016A (zh) * 2021-12-31 2023-07-11 深圳市卓尔悦电子科技有限公司 陶瓷雾化芯制备方法和应用

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