JPH054869A - 炭化珪素質導電性複合セラミツクス - Google Patents
炭化珪素質導電性複合セラミツクスInfo
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- JPH054869A JPH054869A JP3177703A JP17770391A JPH054869A JP H054869 A JPH054869 A JP H054869A JP 3177703 A JP3177703 A JP 3177703A JP 17770391 A JP17770391 A JP 17770391A JP H054869 A JPH054869 A JP H054869A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 炭化珪素６０〜９５重量部に酸化クロム３〜
１５重量部および酸化アルミニウム２〜２５重量部を配
合し、さらに酸化イットリウムを０．２〜６重量部配合
して製造することもできる炭化珪素質導電性複合セラミ
ックス。 【効果】 導電性、耐酸化性が高く、機械的強度も確保
されている。
１５重量部および酸化アルミニウム２〜２５重量部を配
合し、さらに酸化イットリウムを０．２〜６重量部配合
して製造することもできる炭化珪素質導電性複合セラミ
ックス。 【効果】 導電性、耐酸化性が高く、機械的強度も確保
されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は炭化珪素質導電性複合セ
ラミックスに関する。
ラミックスに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、炭化珪素質導電性セラミックスに
おいて、導電性をもたらす添加剤として、周期律表ＩＶ
ａ族元素及びＶａ族元素の炭化物、窒化物及びホウ化物
などを用いた例が知られている。
おいて、導電性をもたらす添加剤として、周期律表ＩＶ
ａ族元素及びＶａ族元素の炭化物、窒化物及びホウ化物
などを用いた例が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の炭化物、窒化物及びホウ化物を炭化珪素に添加して導
電性を高めるためには、多くの添加量（約２０重量部以
上）を必要とし、かつこれらの化合物は耐酸化性が低い
ため、結果として得られる焼結体の耐酸化性が低いとい
う欠点を有している。このため、これらの導電性炭化珪
素質複合体は酸素を含む雰囲気下では、高温にて使用し
難いという欠点を有していた。
の炭化物、窒化物及びホウ化物を炭化珪素に添加して導
電性を高めるためには、多くの添加量（約２０重量部以
上）を必要とし、かつこれらの化合物は耐酸化性が低い
ため、結果として得られる焼結体の耐酸化性が低いとい
う欠点を有している。このため、これらの導電性炭化珪
素質複合体は酸素を含む雰囲気下では、高温にて使用し
難いという欠点を有していた。
【０００４】本発明は、電気比抵抗が低く、耐酸化性に
優れ、かつ機械的強度が確保されることにより構造材料
として利用可能なセラミック複合材料を提供することを
目的とする。
優れ、かつ機械的強度が確保されることにより構造材料
として利用可能なセラミック複合材料を提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、炭化珪素に、
酸化クロムおよび酸化アルミニウムを配合したのち焼成
してなることを特徴とする炭化珪素質導電性複合セラミ
ックスである。
酸化クロムおよび酸化アルミニウムを配合したのち焼成
してなることを特徴とする炭化珪素質導電性複合セラミ
ックスである。
【０００６】
【作用】耐酸化性の高い酸化クロムを添加して導電性を
高めた炭化珪素質導電性セラミックスであるため、炭化
珪素が本来有している高い耐酸化性を損なうことなく電
気伝導性が付与できる。また添加物の配合量を調節する
ことにより、機械的特性も確保できる。
高めた炭化珪素質導電性セラミックスであるため、炭化
珪素が本来有している高い耐酸化性を損なうことなく電
気伝導性が付与できる。また添加物の配合量を調節する
ことにより、機械的特性も確保できる。
【０００７】
【実施例】酸化クロム（Ｃｒ2 Ｏ3 ）自体の電気比抵抗
は常温で１．３×１０+3Ω・ｃｍと高いが、炭化珪素に
酸化クロムを配合し、酸化アルミニウムを焼結助剤とし
て焼結することにより導電性を示す焼結体が得られるこ
とを見出だし、本発明を完成した。すなわち、本発明
は、耐酸化性の高い酸化物を添加して導電性を高めた炭
化珪素質導電性複合セラミックスである。
は常温で１．３×１０+3Ω・ｃｍと高いが、炭化珪素に
酸化クロムを配合し、酸化アルミニウムを焼結助剤とし
て焼結することにより導電性を示す焼結体が得られるこ
とを見出だし、本発明を完成した。すなわち、本発明
は、耐酸化性の高い酸化物を添加して導電性を高めた炭
化珪素質導電性複合セラミックスである。
【０００８】また、本発明の炭化珪素質導電性複合セラ
ミックスにおいては、添加物の配合量を調整することに
より、得られる焼結体の焼結性を制御し、機械的強度を
確保することができる。
ミックスにおいては、添加物の配合量を調整することに
より、得られる焼結体の焼結性を制御し、機械的強度を
確保することができる。
【０００９】本発明において、炭化珪素に配合される酸
化クロムの配合量は３〜１５重量部であることが好まし
い。その理由は、酸化クロムが３重量部未満であると、
焼結体の導電性に与える効果が低く、高い導電性を有す
る焼結体が得られず、一方、その配合量が１５重量部を
越えると、焼結性が低下しやすく、充分な機械的強度を
有する焼結体が得にくいからである。また、酸化アルミ
ニウム粉末の配合量は２〜２５重量部であることが好ま
しい。酸化アルミニウムの配合量が２重量部未満になる
と、焼結性が悪化しやすく、結果物たる炭化珪素質複合
体の機械的強度が低下しやすい。一方、２５重量部を越
えると、その機械的強度が低下しやすい。酸化アルミニ
ウムは、必ずしも粉末として添加する必要がなく、アル
ミニウムアルコキシド、有機酸のアルミニウム塩などの
形で添加し、焼結までの過程で適宜処理を施し、酸化ア
ルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）に変換しても良い。焼成雰囲
気は、不活性ガスであることが好ましい。その理由は、
例えば配化雰囲気では炭化珪素が酸化され緻密化した焼
結体が得られないからである。
化クロムの配合量は３〜１５重量部であることが好まし
い。その理由は、酸化クロムが３重量部未満であると、
焼結体の導電性に与える効果が低く、高い導電性を有す
る焼結体が得られず、一方、その配合量が１５重量部を
越えると、焼結性が低下しやすく、充分な機械的強度を
有する焼結体が得にくいからである。また、酸化アルミ
ニウム粉末の配合量は２〜２５重量部であることが好ま
しい。酸化アルミニウムの配合量が２重量部未満になる
と、焼結性が悪化しやすく、結果物たる炭化珪素質複合
体の機械的強度が低下しやすい。一方、２５重量部を越
えると、その機械的強度が低下しやすい。酸化アルミニ
ウムは、必ずしも粉末として添加する必要がなく、アル
ミニウムアルコキシド、有機酸のアルミニウム塩などの
形で添加し、焼結までの過程で適宜処理を施し、酸化ア
ルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）に変換しても良い。焼成雰囲
気は、不活性ガスであることが好ましい。その理由は、
例えば配化雰囲気では炭化珪素が酸化され緻密化した焼
結体が得られないからである。
【００１０】焼成の温度は１８００℃〜２１００℃であ
ることが好ましい。その理由は、１８００℃では充分に
緻密化せず、また２１００℃以上では助剤の分解が進
み、多孔質のセラミックスとなる。さらに、本発明の炭
化珪素質導電性複合セラミックスには添加物として酸化
イットリウムを配合することができる。酸化イットリウ
ムを配合することにより、焼結体の機械的特性および導
電性の向上を計ることができる。酸化イットリウムの配
合量は０．２〜６重量部であることが好ましい。その理
由は、０．２重量部未満では、充分な配合効果が得がた
く、６重量部を超えると、焼結性が低下しやすいこと、
あるいは、耐酸化性が低下しやすいことである。
ることが好ましい。その理由は、１８００℃では充分に
緻密化せず、また２１００℃以上では助剤の分解が進
み、多孔質のセラミックスとなる。さらに、本発明の炭
化珪素質導電性複合セラミックスには添加物として酸化
イットリウムを配合することができる。酸化イットリウ
ムを配合することにより、焼結体の機械的特性および導
電性の向上を計ることができる。酸化イットリウムの配
合量は０．２〜６重量部であることが好ましい。その理
由は、０．２重量部未満では、充分な配合効果が得がた
く、６重量部を超えると、焼結性が低下しやすいこと、
あるいは、耐酸化性が低下しやすいことである。
【００１１】実験例１ 平均粒径０．５μｍのα型炭化珪素粉末８７ｇに、平均
粒径３．０μｍの酸化クロム（Ｃｒ2 Ｏ3 ）粉末５ｇと
酸化アルミニウムゾル（平均粒径２０ｎｍ）８ｇとが添
加された後、さらに、ポリビニルアセテート１．２５ｇ
を含むアセトン溶液２００ｍｌが添加され、ポリポット
および炭化珪素製のボールを用いて、２４時間にわたっ
て攪拌混合された。次いで、攪拌混合物は、乾燥により
溶媒が除去された後、６０メッシュのフルイを用いて造
粒され、造粒混合物とされた。造粒混合物は、金型プレ
スおよびラバープレスによって、５ｍｍ×５ｍｍ×６０
ｍｍの寸法に成形された。成形体は、グラファイト容器
に収容され、アルゴンガス雰囲気下において１９００℃
の温度にて焼結され、セラミック複合体とされた。セラ
ミック複合体は、相対密度、電気比抵抗（４端子法）、
曲げ強さ（室温下における３点曲げ強さ）および酸化増
量（１２００℃、空気雰囲気下、１６０時間後の増量）
について測定された。配合比が表１に、測定結果が表２
に、それぞれ示されている。
粒径３．０μｍの酸化クロム（Ｃｒ2 Ｏ3 ）粉末５ｇと
酸化アルミニウムゾル（平均粒径２０ｎｍ）８ｇとが添
加された後、さらに、ポリビニルアセテート１．２５ｇ
を含むアセトン溶液２００ｍｌが添加され、ポリポット
および炭化珪素製のボールを用いて、２４時間にわたっ
て攪拌混合された。次いで、攪拌混合物は、乾燥により
溶媒が除去された後、６０メッシュのフルイを用いて造
粒され、造粒混合物とされた。造粒混合物は、金型プレ
スおよびラバープレスによって、５ｍｍ×５ｍｍ×６０
ｍｍの寸法に成形された。成形体は、グラファイト容器
に収容され、アルゴンガス雰囲気下において１９００℃
の温度にて焼結され、セラミック複合体とされた。セラ
ミック複合体は、相対密度、電気比抵抗（４端子法）、
曲げ強さ（室温下における３点曲げ強さ）および酸化増
量（１２００℃、空気雰囲気下、１６０時間後の増量）
について測定された。配合比が表１に、測定結果が表２
に、それぞれ示されている。
【００１２】
【表１】
【００１３】
【表２】 実験例２〜５ 次に、炭化珪素粉末、酸化クロムおよび酸化アルミニウ
ムの配合比をいろいろ変えて、実験例１と同様に、混
合、乾燥、造粒、成形および焼結を行い、得た焼結体の
特性値を測定した。配合比を表１に、測定結果を表２
に、それぞれ、まとめて示した。
ムの配合比をいろいろ変えて、実験例１と同様に、混
合、乾燥、造粒、成形および焼結を行い、得た焼結体の
特性値を測定した。配合比を表１に、測定結果を表２
に、それぞれ、まとめて示した。
【００１４】実験例６ 平均粒径０．５μｍの炭化珪素粉末８５ｇに、平均粒径
３．０μｍの酸化クロム７．５ｇと、平均粒径２．０μ
ｍの酸化イットリウム（Ｙ2 Ｏ3 ）２ｇとアルミナゾル
（平均粒径２０ｎｍ）８ｇとが添加された後、さらにポ
リビニルアセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２０
０ｍｌが添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボー
ルを用いて２４時間にわたって攪拌混合された。次い
で、攪拌混合物は、乾燥により溶媒が除去された後、６
０メッシュのフルイを用いて造粒され、造粒混合物とさ
れた。造粒混合物は、金型プレスおよびラバープレスに
よって、５ｍｍ×５ｍｍ×６０ｍｍの寸法に成形され
た。成形体はグラファイト容器に収容されアルゴンガス
雰囲気下において１９００℃の温度にて焼結され、セラ
ミック複合体とされた。セラミック複合体は相対密度、
電気比抵抗（４端子法）、曲げ強さ（室温下における３
点曲げ強さ）および酸化増量（１２００℃、空気雰囲気
下、１６０時間後の増量）について測定された。配合比
が表１に、測定結果が表２にそれぞれ示されている。
３．０μｍの酸化クロム７．５ｇと、平均粒径２．０μ
ｍの酸化イットリウム（Ｙ2 Ｏ3 ）２ｇとアルミナゾル
（平均粒径２０ｎｍ）８ｇとが添加された後、さらにポ
リビニルアセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２０
０ｍｌが添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボー
ルを用いて２４時間にわたって攪拌混合された。次い
で、攪拌混合物は、乾燥により溶媒が除去された後、６
０メッシュのフルイを用いて造粒され、造粒混合物とさ
れた。造粒混合物は、金型プレスおよびラバープレスに
よって、５ｍｍ×５ｍｍ×６０ｍｍの寸法に成形され
た。成形体はグラファイト容器に収容されアルゴンガス
雰囲気下において１９００℃の温度にて焼結され、セラ
ミック複合体とされた。セラミック複合体は相対密度、
電気比抵抗（４端子法）、曲げ強さ（室温下における３
点曲げ強さ）および酸化増量（１２００℃、空気雰囲気
下、１６０時間後の増量）について測定された。配合比
が表１に、測定結果が表２にそれぞれ示されている。
【００１５】実験例７ 次に、炭化珪素、酸化クロム、酸化イットリウム及び酸
化アルミニウムの各粉末の配合比を変えて、実験例６と
同様に、混合、乾燥造粒、成形および焼結を行い、得た
焼結体の特性値を測定した。配合比を表１に、測定結果
を表２にまとめて示した。
化アルミニウムの各粉末の配合比を変えて、実験例６と
同様に、混合、乾燥造粒、成形および焼結を行い、得た
焼結体の特性値を測定した。配合比を表１に、測定結果
を表２にまとめて示した。
【００１６】比較例１ 平均粒径０．５μｍの炭化珪素粉末７２ｇに、平均粒径
３．０μｍの酸化クロム２０ｇとアルミナゾル（平均粒
径２０ｎｍ）８ｇとが添加された後、さらにポリビニル
アセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２００ｍｌが
添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボールを用い
て２４時間にわたって攪拌混合された。
３．０μｍの酸化クロム２０ｇとアルミナゾル（平均粒
径２０ｎｍ）８ｇとが添加された後、さらにポリビニル
アセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２００ｍｌが
添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボールを用い
て２４時間にわたって攪拌混合された。
【００１７】以後、実験例１と同様に、乾燥、造粒、成
形および焼結を行ない、得た焼結体の特性値を測定し
た。特性値を表２にまとめて示した。酸化クロムの配合
量が高くなると、焼結体の曲げ強さが低下することが認
められた。
形および焼結を行ない、得た焼結体の特性値を測定し
た。特性値を表２にまとめて示した。酸化クロムの配合
量が高くなると、焼結体の曲げ強さが低下することが認
められた。
【００１８】比較例２ 平均粒径０．５μｍの炭化珪素粉末８０ｇに、平均粒径
２．０μｍの炭化チタン粉末１０ｇとアルミナゾル（平
均粒径２０ｎｍ）１０ｇとが添加された後、さらにポリ
ビニルアセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２００
ｍｌが添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボール
を用いて２４時間にわたって攪拌混合された。
２．０μｍの炭化チタン粉末１０ｇとアルミナゾル（平
均粒径２０ｎｍ）１０ｇとが添加された後、さらにポリ
ビニルアセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２００
ｍｌが添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボール
を用いて２４時間にわたって攪拌混合された。
【００１９】以後、実験例１と同様に、乾燥、造粒、成
形および焼結を行ない、得た焼結体の特性値を測定し
た。特性値を表２にまとめて示した。
形および焼結を行ない、得た焼結体の特性値を測定し
た。特性値を表２にまとめて示した。
【００２０】表１に示したように、高い導電性化合物で
ある炭化チタン（電気比抵抗＝×１０-4Ω・ｃｍ）を１
０重量部配合したにもかかわらず、本比較例で得られた
焼結体の抵抗率は２×１０3 Ω・ｃｍと高い電気抵抗値
を示した。
ある炭化チタン（電気比抵抗＝×１０-4Ω・ｃｍ）を１
０重量部配合したにもかかわらず、本比較例で得られた
焼結体の抵抗率は２×１０3 Ω・ｃｍと高い電気抵抗値
を示した。
【００２１】比較例３ 平均粒径０．５μｍの炭化珪素粉末６５ｇに、平均粒径
２．０μｍの炭化チタン粉末２５ｇとアルミナゾル（平
均粒径２０ｎｍ）１０ｇとが添加された後、さらにポリ
ビニルアセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２００
ｍｌが添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボール
を用いて２４時間にわたって攪拌混合された。
２．０μｍの炭化チタン粉末２５ｇとアルミナゾル（平
均粒径２０ｎｍ）１０ｇとが添加された後、さらにポリ
ビニルアセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２００
ｍｌが添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボール
を用いて２４時間にわたって攪拌混合された。
【００２２】以後、実験例１と同様に、乾燥、造粒、成
形および焼結を行ない、得た焼結体の特性値を測定し
た。特性値を表２にまとめて示した。表２に示したよう
に、本比較例で得られた焼結体の電気比抵抗値は０．６
５Ω・ｃｍと比較的低い値を示したが、酸化増量におい
て０．９８ｇ／ｃｍ2 （１２００℃、空気中１６０時
間）と実験例と比較して高い値を示し、耐酸化性におい
て弱点がある事が認められた。
形および焼結を行ない、得た焼結体の特性値を測定し
た。特性値を表２にまとめて示した。表２に示したよう
に、本比較例で得られた焼結体の電気比抵抗値は０．６
５Ω・ｃｍと比較的低い値を示したが、酸化増量におい
て０．９８ｇ／ｃｍ2 （１２００℃、空気中１６０時
間）と実験例と比較して高い値を示し、耐酸化性におい
て弱点がある事が認められた。
【００２３】比較例４ 平均粒径０．５μｍの炭化珪素粉末９１．５ｇは、平均
粒径３．０μｍの酸化クロム０．５ｇとアルミナゾル
（平均粒径２０ｎｍ）８ｇとが添加された後、さらにポ
リビニルアセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２０
０ｍｌが添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボー
ルを用いて２４時間にわたって攪拌混合された。
粒径３．０μｍの酸化クロム０．５ｇとアルミナゾル
（平均粒径２０ｎｍ）８ｇとが添加された後、さらにポ
リビニルアセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２０
０ｍｌが添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボー
ルを用いて２４時間にわたって攪拌混合された。
【００２４】以後、実験例１と同様に、乾燥、造粒、成
形および焼成を行ない、それによって得た焼結体の特性
値を測定した。特性値を表１にまとめて示した。酸化ク
ロムの配合量が少ないと、焼結体の抵抗率が高く、導電
性が十分に高くならないことが認められた。
形および焼成を行ない、それによって得た焼結体の特性
値を測定した。特性値を表１にまとめて示した。酸化ク
ロムの配合量が少ないと、焼結体の抵抗率が高く、導電
性が十分に高くならないことが認められた。
【００２５】比較例５ 平均粒径０．５μｍの炭化珪素粉末９４ｇは、平均粒径
３．０μｍの酸化クロム５．０ｇとアルミナゾル（平均
粒径２０ｎｍ）１ｇとが添加された後、さらにポリビニ
ルアセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２００ｍｌ
が添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボールを用
いて２４時間にわたって攪拌混合された。
３．０μｍの酸化クロム５．０ｇとアルミナゾル（平均
粒径２０ｎｍ）１ｇとが添加された後、さらにポリビニ
ルアセテート１．２５ｇを含むアセトン溶液２００ｍｌ
が添加され、ポリポットおよび炭化珪素製のボールを用
いて２４時間にわたって攪拌混合された。
【００２６】以後、実験例１と同様に、乾燥、造粒、成
形および焼成を行ない、得た焼結体の特性値を測定し
た。特性値を表１にまとめて示した。酸化クロムの配合
量は実験例１と同じであるが、酸化アルミニウムの配合
量が１ｗｔ％と低いと充分に緻密化せず、曲げ強度も低
く構造材料として機械的特性が適さないことが認められ
た。
形および焼成を行ない、得た焼結体の特性値を測定し
た。特性値を表１にまとめて示した。酸化クロムの配合
量は実験例１と同じであるが、酸化アルミニウムの配合
量が１ｗｔ％と低いと充分に緻密化せず、曲げ強度も低
く構造材料として機械的特性が適さないことが認められ
た。
【００２７】比較例６ 平均粒径０．５μｍの炭化珪素粉末９０ｇおよびアルミ
ナゾル（平均粒径２０ｎｍ）１０ｇとが添加された後、
さらにポリビニルアセテート１．２５ｇを含むアセトン
溶液２００ｍｌが添加され、ポリポットおよび炭化珪素
製のボールを用いて２４時間にわたって攪拌混合され
た。
ナゾル（平均粒径２０ｎｍ）１０ｇとが添加された後、
さらにポリビニルアセテート１．２５ｇを含むアセトン
溶液２００ｍｌが添加され、ポリポットおよび炭化珪素
製のボールを用いて２４時間にわたって攪拌混合され
た。
【００２８】以後、実験例１と同様に、乾燥、造粒、成
形および焼成を行ない、得た焼結体の特性値を測定し
た。特性値を表１にまとめて示した。酸化クロムを配合
しないと曲げ強さは５５０ＭＰａと高く機械的特性に優
れているが、抵抗率が高く導電特性において不充分であ
ることが認められた。
形および焼成を行ない、得た焼結体の特性値を測定し
た。特性値を表１にまとめて示した。酸化クロムを配合
しないと曲げ強さは５５０ＭＰａと高く機械的特性に優
れているが、抵抗率が高く導電特性において不充分であ
ることが認められた。
【００２９】表１および表２に示したように、本発明に
よる炭化珪素質導電性複合材料は、少量の酸化クロムも
しくは酸化クロムに加えて酸化イットリウムが配合され
た酸化アルミニウムを焼結助剤とするセラミック複合材
料であるが、電気抵抗が低下し、高い導電性を有する材
料となり、かつ耐酸化性も高く、さらには機械的強度も
確保された優れた材料である。
よる炭化珪素質導電性複合材料は、少量の酸化クロムも
しくは酸化クロムに加えて酸化イットリウムが配合され
た酸化アルミニウムを焼結助剤とするセラミック複合材
料であるが、電気抵抗が低下し、高い導電性を有する材
料となり、かつ耐酸化性も高く、さらには機械的強度も
確保された優れた材料である。
【００３０】
【発明の効果】本発明の炭化珪素質導電性複合セラミッ
クスによると、少量の酸化物の添加で電気比抵抗を１０
2 Ωｃｍ以下に低減することができる。添加物の耐酸化
性が高いので、ひいては、炭化珪素の有する高い耐酸化
性を保持できる。常圧焼結でも焼結体の機械的強度たと
えば曲げ強さを４００ＭＰａ以上に大きくでき、高強度
および高靭性を得ることができる。とくに、炭化珪素粉
末６０〜９５重量部に酸化クロム３〜１５重量部と酸化
アルミニウム２〜２５重量部を配合し、さらに酸化イッ
トリウム０．２〜６重量部を配合し、不活性ガス雰囲気
下で１８００〜２１００℃の温度にて焼結すると、特に
顕著な効果が得られる。
クスによると、少量の酸化物の添加で電気比抵抗を１０
2 Ωｃｍ以下に低減することができる。添加物の耐酸化
性が高いので、ひいては、炭化珪素の有する高い耐酸化
性を保持できる。常圧焼結でも焼結体の機械的強度たと
えば曲げ強さを４００ＭＰａ以上に大きくでき、高強度
および高靭性を得ることができる。とくに、炭化珪素粉
末６０〜９５重量部に酸化クロム３〜１５重量部と酸化
アルミニウム２〜２５重量部を配合し、さらに酸化イッ
トリウム０．２〜６重量部を配合し、不活性ガス雰囲気
下で１８００〜２１００℃の温度にて焼結すると、特に
顕著な効果が得られる。
【００３１】◆
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 炭化珪素に、酸化クロムおよび酸化アル
ミニウムを配合したのち焼成してなることを特徴とする
炭化珪素質導電性複合セラミックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3177703A JPH054869A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 炭化珪素質導電性複合セラミツクス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3177703A JPH054869A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 炭化珪素質導電性複合セラミツクス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH054869A true JPH054869A (ja) | 1993-01-14 |
Family
ID=16035631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3177703A Pending JPH054869A (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 炭化珪素質導電性複合セラミツクス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH054869A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111848171A (zh) * | 2019-04-25 | 2020-10-30 | 比亚迪股份有限公司 | 一种铝碳化硅材料及其制备方法 |
-
1991
- 1991-06-24 JP JP3177703A patent/JPH054869A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111848171A (zh) * | 2019-04-25 | 2020-10-30 | 比亚迪股份有限公司 | 一种铝碳化硅材料及其制备方法 |
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