JPH0462448A - Ｍｔｆ測定装置 - Google Patents
Ｍｔｆ測定装置Info
- Publication number
- JPH0462448A JPH0462448A JP17327290A JP17327290A JPH0462448A JP H0462448 A JPH0462448 A JP H0462448A JP 17327290 A JP17327290 A JP 17327290A JP 17327290 A JP17327290 A JP 17327290A JP H0462448 A JPH0462448 A JP H0462448A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は引伸レンズやマイクロレンズ等の光学素子のＭ
ＴＦ （門ｏｄｕｌａｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆ
ｕｎｃｔｉｏｎ ：伝達関数）を測定するＭＴＦ測定装
置に関し、より詳細には、光源の照度ムラ、万線チャー
トの濃度ムラ、及び、ＣＣＤの感度ムラ等の影響を排除
して、ＭＴＦの測定精度を向上させたＭＴＦ測定装置に
関する。
ＴＦ （門ｏｄｕｌａｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆ
ｕｎｃｔｉｏｎ ：伝達関数）を測定するＭＴＦ測定装
置に関し、より詳細には、光源の照度ムラ、万線チャー
トの濃度ムラ、及び、ＣＣＤの感度ムラ等の影響を排除
して、ＭＴＦの測定精度を向上させたＭＴＦ測定装置に
関する。
複写装置や、ファクシミリ等の原稿読取装置においては
、レンズやミラー（または、セルフォックレンズアレイ
）等の光学部と、その光学部から得られた光学撮像を電
気信号に変換する光電変換部とを組み合わせたものの性
能が問題にされる。
、レンズやミラー（または、セルフォックレンズアレイ
）等の光学部と、その光学部から得られた光学撮像を電
気信号に変換する光電変換部とを組み合わせたものの性
能が問題にされる。
ＭＴＦは結像部の焦点調整が適切になされているかの目
安に使用される。
安に使用される。
第３図は、従来の固定走査素子を用いたＭＴＦ測定装置
の一例を示すもので、引伸レンズやマイクロレンズの検
査及び調整を目的としたものである。図中、３０１は光
源であり、ここでは蛍光灯を示しているが、ハロゲンラ
ンプに集光照明系を組合わせたものでもよい。３０２は
拡散板であり全画面における照度分布のムラを少なくす
るためと照明光のコーヒレンシイを減少させる目的で挿
入される。３０３は万線チャート板で、第４図に示すよ
うに必要な物体高酸いは像高に対応する位置全てに同様
なチャート素子３０３ａ、３０３ｂ・・・・３０３ｉが
配置されている。このチャート素子３０３ａ、３０３ｂ
−３０３ｉ は全ての動径方向のチャートを示してい
るが、例えば、同一チャード板３０３に接線方向も同時
に配置できることは勿論である。また、各チャート素子
３０３ａ。
の一例を示すもので、引伸レンズやマイクロレンズの検
査及び調整を目的としたものである。図中、３０１は光
源であり、ここでは蛍光灯を示しているが、ハロゲンラ
ンプに集光照明系を組合わせたものでもよい。３０２は
拡散板であり全画面における照度分布のムラを少なくす
るためと照明光のコーヒレンシイを減少させる目的で挿
入される。３０３は万線チャート板で、第４図に示すよ
うに必要な物体高酸いは像高に対応する位置全てに同様
なチャート素子３０３ａ、３０３ｂ・・・・３０３ｉが
配置されている。このチャート素子３０３ａ、３０３ｂ
−３０３ｉ は全ての動径方向のチャートを示してい
るが、例えば、同一チャード板３０３に接線方向も同時
に配置できることは勿論である。また、各チャート素子
３０３ａ。
３０３ｂ・・・・３０３１は必要な単一周波数のチャー
トであれ、選定された複数の周波数のチャートであれ任
意であるが、必ず規格化用の比較的幅の広い透明部と不
透明部を有しており、各物体高酸いは像高において近位
的に零空間周波数のＭＴＦを１に規格化できるように構
成されている。被験レンズ３０４はレンズホルダー３０
５に取り付けられ、被験レンズ３０４自体のピント合わ
せ機構成いは、レンズホルダー３０５のピント合わせ機
構により上下に移動されピント合わせが行われる。
トであれ、選定された複数の周波数のチャートであれ任
意であるが、必ず規格化用の比較的幅の広い透明部と不
透明部を有しており、各物体高酸いは像高において近位
的に零空間周波数のＭＴＦを１に規格化できるように構
成されている。被験レンズ３０４はレンズホルダー３０
５に取り付けられ、被験レンズ３０４自体のピント合わ
せ機構成いは、レンズホルダー３０５のピント合わせ機
構により上下に移動されピント合わせが行われる。
３０６は固定走査素子３０７を一平面上に設置する板で
あり、図示の如く、この例では９個の固定走査素子３０
７がチャート板３０３のチャート素子３０３ａ、３０３
ｂ−３０３ｉの配列に対応して設置されている。
あり、図示の如く、この例では９個の固定走査素子３０
７がチャート板３０３のチャート素子３０３ａ、３０３
ｂ−３０３ｉの配列に対応して設置されている。
第５図は固体走査素子３０７として用いられる光電変換
素子Ｃ、ＣＤの内部構成を示し、第６図はそのタイミン
グチャートである。ここでは、１７２８個の光電変換部
５０１が１３μｍのピッチで並んでいて入射した結像光
を光電変換し、その光電変換信号が転送りロックにより
転送ゲート５０２を通ってアナログシフトレジスタ５０
３に入りシフトクロックφ１．φ２により出力ゲート５
０４を通って時系列に出力される。第３図の装置におい
ては、光ａ３０１から出た光が拡散板３０２で拡散され
て均一光となりチャート板３０３を照明する。チャート
板３０３のチャート素子３０３ａ、３０３ｂ・・・・３
０３】を透過した光は被験レンズ３０４を介してＣＣＤ
３０７上に白黒のパターンとして結像され、ＣＣＤ３０
７から出力信号が時系列に出力される。このときＣＣＤ
３０７上に結像されたパターンは、第７図に示すように
、基準白レベル領域（ベタ白部）Ｌｌ、基準黒レベル領
域（ベタ黒部）Ｌ２．必要空間周波数の白レベル領域（
チャート素子の白部）Ｌ３．必要空間周波数の黒レベル
領域（チャート素子の黒部）Ｌ４として出力され、この
４つの信号を演算して被験レンズ３０４のＭＴＦを算出
する。
素子Ｃ、ＣＤの内部構成を示し、第６図はそのタイミン
グチャートである。ここでは、１７２８個の光電変換部
５０１が１３μｍのピッチで並んでいて入射した結像光
を光電変換し、その光電変換信号が転送りロックにより
転送ゲート５０２を通ってアナログシフトレジスタ５０
３に入りシフトクロックφ１．φ２により出力ゲート５
０４を通って時系列に出力される。第３図の装置におい
ては、光ａ３０１から出た光が拡散板３０２で拡散され
て均一光となりチャート板３０３を照明する。チャート
板３０３のチャート素子３０３ａ、３０３ｂ・・・・３
０３】を透過した光は被験レンズ３０４を介してＣＣＤ
３０７上に白黒のパターンとして結像され、ＣＣＤ３０
７から出力信号が時系列に出力される。このときＣＣＤ
３０７上に結像されたパターンは、第７図に示すように
、基準白レベル領域（ベタ白部）Ｌｌ、基準黒レベル領
域（ベタ黒部）Ｌ２．必要空間周波数の白レベル領域（
チャート素子の白部）Ｌ３．必要空間周波数の黒レベル
領域（チャート素子の黒部）Ｌ４として出力され、この
４つの信号を演算して被験レンズ３０４のＭＴＦを算出
する。
このような固定走査素子を用いたＭＴＦ測定装置では、
各像高や方向角につき一度に全ての情報が得られるため
、後は電気的演算処理により短時間で被験レンズの良否
の判定が可能となる。
各像高や方向角につき一度に全ての情報が得られるため
、後は電気的演算処理により短時間で被験レンズの良否
の判定が可能となる。
しかしながら、従来のＭＴＦ測定装置によれば、必要空
間周波数の万線チャート（チャート素子）をＣＣＤに対
して固定して配置し、ＣＣＤ内の複数の画素（光電変換
部）にわたって、ベタ白部ベタ黒部、万線チャートの白
部、及び、万線チャートの黒部を読み取らせて、−度に
全ての情報を得た後、電気的演算処理により短時間でＭ
ＴＦを算出できるものの、厳密には万線チャートの位置
ムラ、光源の照度ムラ、及び、ＣＯＤの画素の感度ムラ
等があるため、正確なＭＴＦの測定値が得られないとい
う問題点があった。特に、ＣＯＤの画素の感度ムラに関
しては、例えば、Ｒ，Ｇ、 Ｂの各色フィルターが画
素順次にはりつけられていて、色分解を行うように構成
されたＣＣＤにおいては、各色の画素の感度ムラが設計
上必ず存在するため、複数の画素にわたって出力値を演
算し、ＭＴＦを求めた場合、感度ムラのある各色が混ざ
っているため意味がないものになってしまう。
間周波数の万線チャート（チャート素子）をＣＣＤに対
して固定して配置し、ＣＣＤ内の複数の画素（光電変換
部）にわたって、ベタ白部ベタ黒部、万線チャートの白
部、及び、万線チャートの黒部を読み取らせて、−度に
全ての情報を得た後、電気的演算処理により短時間でＭ
ＴＦを算出できるものの、厳密には万線チャートの位置
ムラ、光源の照度ムラ、及び、ＣＯＤの画素の感度ムラ
等があるため、正確なＭＴＦの測定値が得られないとい
う問題点があった。特に、ＣＯＤの画素の感度ムラに関
しては、例えば、Ｒ，Ｇ、 Ｂの各色フィルターが画
素順次にはりつけられていて、色分解を行うように構成
されたＣＣＤにおいては、各色の画素の感度ムラが設計
上必ず存在するため、複数の画素にわたって出力値を演
算し、ＭＴＦを求めた場合、感度ムラのある各色が混ざ
っているため意味がないものになってしまう。
本発明は上記に鑑みてなされたものであって、万線チャ
ートの位置ムラ、光源の照度ムラ、及びＣＣＤの画素の
感度ムラ等の影響を受けることなく、正確なＭＴＦを得
ることができることを目的とする。
ートの位置ムラ、光源の照度ムラ、及びＣＣＤの画素の
感度ムラ等の影響を受けることなく、正確なＭＴＦを得
ることができることを目的とする。
１課題を解決するだめの手段］
本発明は上記の目的を達成するため、所定の空量刑波数
の万線チャートを用いて、引伸レンズやマイクロレンズ
等の光学素子、及び、ＣＣ’Ｄ等の固定走査素子で構成
される被験ユニットのＭＴ Ｆ （Ｍｏｄｕｌａｔｉｏ
ｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ ：伝達関数
）を測定するＭＴＦ測定装置において、万線チャートを
移動させる移動手段と、固定走査素子の特定の１画素或
いは複数画素の出力値をラインの繰り返し周期毎にサン
プルホールドするサンプルホールド手段と、サンプルホ
ールド手段を介してサンプルホールドした値をデータと
して記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶したデータに
基づいて、ＭＴＦを演算する演算手段とを備えたＭＴＦ
測定装置を提供するものである。
の万線チャートを用いて、引伸レンズやマイクロレンズ
等の光学素子、及び、ＣＣ’Ｄ等の固定走査素子で構成
される被験ユニットのＭＴ Ｆ （Ｍｏｄｕｌａｔｉｏ
ｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ ：伝達関数
）を測定するＭＴＦ測定装置において、万線チャートを
移動させる移動手段と、固定走査素子の特定の１画素或
いは複数画素の出力値をラインの繰り返し周期毎にサン
プルホールドするサンプルホールド手段と、サンプルホ
ールド手段を介してサンプルホールドした値をデータと
して記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶したデータに
基づいて、ＭＴＦを演算する演算手段とを備えたＭＴＦ
測定装置を提供するものである。
本発明のＭＴＦ測定装置において、サンプルホールド手
段は、固定走査素子の特定の１画素（或いは複数画素）
の出力値をラインの繰り返し周期毎にサンプルホールド
する。サンプルホールド手段を介してサンプルホールド
した出力値をデータとして記憶手段に記憶する。一方、
移動手段によって万線チャートは移動している。従って
、特定の１画素の出力値をラインの繰り返し周期毎にサ
ンプルホールドすることは、即ち、万線チャート上の異
なる位置の出力値をサンプルホールドしたことになる。
段は、固定走査素子の特定の１画素（或いは複数画素）
の出力値をラインの繰り返し周期毎にサンプルホールド
する。サンプルホールド手段を介してサンプルホールド
した出力値をデータとして記憶手段に記憶する。一方、
移動手段によって万線チャートは移動している。従って
、特定の１画素の出力値をラインの繰り返し周期毎にサ
ンプルホールドすることは、即ち、万線チャート上の異
なる位置の出力値をサンプルホールドしたことになる。
演算手段は、記憶手段に記憶したデータに基づいて、Ｍ
ＴＦの値を演算する。
ＴＦの値を演算する。
以下、本発明のＭＴＦ測定装置の一実施例を第１図、及
び、第２図を参照して詳細に説明する。
び、第２図を参照して詳細に説明する。
第１図は本実施例のＭＴＦ測定装置のブロック図を示す
。この装置では、レンズ１０４ａ、ＣＣＤ１０４ｂを１
つの被験ユニットとして、該被験ユニットのＭＴＦを測
定するものであり、レンズ１０４ａに光を照射する光源
１０１と、ＭＴＦ測定を実行する際に万線チャート１０
２を少しずつ移動させる駆動部１０３と、ライン同期信
号に基づいて所定のタイミングでＣＣＤ１０４ｂの特定
の１画素出力値をサンプルホールドするサンプルホール
ド回路１０５と、サンプルホールド回路１０５の出力値
をデジタル変換するＡ／Ｄ変換回路１０６と、Ａ／Ｄ変
換回路１０６によって変換したデジタル値をデータとし
て記憶するメモリ１０７と、メモリ１０７に記憶したデ
ータに基づいて、ＭＴＦを演算する演算回路１０８と、
演算回路１０８のよって求めたＭＴＦを表示する表示部
１０９とから構成される。
。この装置では、レンズ１０４ａ、ＣＣＤ１０４ｂを１
つの被験ユニットとして、該被験ユニットのＭＴＦを測
定するものであり、レンズ１０４ａに光を照射する光源
１０１と、ＭＴＦ測定を実行する際に万線チャート１０
２を少しずつ移動させる駆動部１０３と、ライン同期信
号に基づいて所定のタイミングでＣＣＤ１０４ｂの特定
の１画素出力値をサンプルホールドするサンプルホール
ド回路１０５と、サンプルホールド回路１０５の出力値
をデジタル変換するＡ／Ｄ変換回路１０６と、Ａ／Ｄ変
換回路１０６によって変換したデジタル値をデータとし
て記憶するメモリ１０７と、メモリ１０７に記憶したデ
ータに基づいて、ＭＴＦを演算する演算回路１０８と、
演算回路１０８のよって求めたＭＴＦを表示する表示部
１０９とから構成される。
以上の構成において、第２図のタイミングチャートに示
すように、サンプルホールド回路１０５がライン同期信
号に基づいて所定のタイミングｔでＣＣＤ１０４ｂのの
出力信号を入力することにより、ＣＣＤ１０４ｂの特定
の１画素の出力値がサンプルホールドされる。このとき
、サンプルホールド回路１０５のサンプルホールドのタ
イミングｔ（図中、サンプルホールド信号の位置でサン
プルホールドを行う）は同しであるが、万線チャー）１
０２は駆動部１０３によって移動させられている（ここ
では、横方向の移動）ので、ＣＣＤ１０４ｂの出力信号
の位相は少しずつずれていく。従って、サンプルホール
ドを繰り返すことにより、ＣＣＤ１０４ｂの出力信号か
らＭＴＦの演算に必要な、ヘタ白部、ヘタ黒部、万線チ
ャートの白部、万線チャートの黒部を入力して、Ａ／Ｄ
変換回路１０６でデジタル変換し、メモリ１０７に蓄え
ることができる。その後、演算回路１０８で、ヘタ白部
及びベタ黒部のデータ値Ａ、Ｂと、万線チャートの白部
及び黒部のデータのうち最大値ａ、最小値すを見つけて
、次式によってＭＴＦを演算する。ここで、最大値ａ、
最小値すはそれぞれ万線チャート１０２の白部及び黒部
を読み取っているはずである。
すように、サンプルホールド回路１０５がライン同期信
号に基づいて所定のタイミングｔでＣＣＤ１０４ｂのの
出力信号を入力することにより、ＣＣＤ１０４ｂの特定
の１画素の出力値がサンプルホールドされる。このとき
、サンプルホールド回路１０５のサンプルホールドのタ
イミングｔ（図中、サンプルホールド信号の位置でサン
プルホールドを行う）は同しであるが、万線チャー）１
０２は駆動部１０３によって移動させられている（ここ
では、横方向の移動）ので、ＣＣＤ１０４ｂの出力信号
の位相は少しずつずれていく。従って、サンプルホール
ドを繰り返すことにより、ＣＣＤ１０４ｂの出力信号か
らＭＴＦの演算に必要な、ヘタ白部、ヘタ黒部、万線チ
ャートの白部、万線チャートの黒部を入力して、Ａ／Ｄ
変換回路１０６でデジタル変換し、メモリ１０７に蓄え
ることができる。その後、演算回路１０８で、ヘタ白部
及びベタ黒部のデータ値Ａ、Ｂと、万線チャートの白部
及び黒部のデータのうち最大値ａ、最小値すを見つけて
、次式によってＭＴＦを演算する。ここで、最大値ａ、
最小値すはそれぞれ万線チャート１０２の白部及び黒部
を読み取っているはずである。
−ｂ
Ａ＋Ｂ
その後、演算回路１０８によって求めたＭＴＦを表示部
１０９を介して表示する。
１０９を介して表示する。
前述したように、ＣＣＤ １０４ ｂの特定の１画素に
ついて着目し、且つ、万線チャート１０２を少しずつ動
かして、その出力値をサンプルホールドして、被験ユニ
ット（レンズ１０４ａ及びｃｃＤ１０４ｂ）のＭＴＦの
測定を実行することにより、万線チャートの位置ムラ、
光源の照度ムラ及び、ＣＣＤの画素の感度ムラ等に影響
されることなく、ＭＴＦを測定することができる。
ついて着目し、且つ、万線チャート１０２を少しずつ動
かして、その出力値をサンプルホールドして、被験ユニ
ット（レンズ１０４ａ及びｃｃＤ１０４ｂ）のＭＴＦの
測定を実行することにより、万線チャートの位置ムラ、
光源の照度ムラ及び、ＣＣＤの画素の感度ムラ等に影響
されることなく、ＭＴＦを測定することができる。
本実施例では、特定の１画素のみについて述べたが、特
にこれに限定するものではなく、例えば、数画素或いは
数十画素を選択して同様の操作を行えば、被検装置の総
合的な評価を行うことができる。
にこれに限定するものではなく、例えば、数画素或いは
数十画素を選択して同様の操作を行えば、被検装置の総
合的な評価を行うことができる。
また、万線チャート１０２を横に移動させて主走査方向
の測定を行う場合を述べたが、縦に移動させて副走査方
向の測定を行うようにしても良いのは勿論である。
の測定を行う場合を述べたが、縦に移動させて副走査方
向の測定を行うようにしても良いのは勿論である。
更に、前述した実施例では、レンズ１０４ａ及びＣＣＤ
１０４ｂを被験ユニットとして取り扱ったが、ＣＣＤ１
０４ｂをＭＴＦ測定装置に固定した構成で、レンズ１０
４ａのみを被験レンズとして取り扱い、被験レンズのＭ
ＴＦを測定するようにしても良い。
１０４ｂを被験ユニットとして取り扱ったが、ＣＣＤ１
０４ｂをＭＴＦ測定装置に固定した構成で、レンズ１０
４ａのみを被験レンズとして取り扱い、被験レンズのＭ
ＴＦを測定するようにしても良い。
以上説明したように、本発明のＭＴＦ測定装置は、所定
の空間周波数の万線チャートを用いて、引伸レンズやマ
イクロレンズ等の光学素子、及びＣＣＤ等の固定走査素
子で構成される被験ユニットのＭ Ｔ Ｆ （Ｍｏｄｕ
ｌａｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ
：伝達関数）を測定するＭＴＦ測定装置において、万線
チャートを移動させる移動手段と、固定走査素子の特定
の１画素或いは複数画素の出力値をラインの繰り返し周
期毎にサンプルホールドするサンプルホールド手段と、
サンプルホールド手段を介してサンプルホールドした値
をデータとして記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶し
たデータに基づいて、ＭＴＦを演算する演算手段とを備
えたため、万線チャートの位置ムラ、光源の照度ムラ及
び、ＣＣＤの画素の感度ムラ等の影響を受けることなく
、正確なＭＴＦを得ることができる。
の空間周波数の万線チャートを用いて、引伸レンズやマ
イクロレンズ等の光学素子、及びＣＣＤ等の固定走査素
子で構成される被験ユニットのＭ Ｔ Ｆ （Ｍｏｄｕ
ｌａｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ
：伝達関数）を測定するＭＴＦ測定装置において、万線
チャートを移動させる移動手段と、固定走査素子の特定
の１画素或いは複数画素の出力値をラインの繰り返し周
期毎にサンプルホールドするサンプルホールド手段と、
サンプルホールド手段を介してサンプルホールドした値
をデータとして記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶し
たデータに基づいて、ＭＴＦを演算する演算手段とを備
えたため、万線チャートの位置ムラ、光源の照度ムラ及
び、ＣＣＤの画素の感度ムラ等の影響を受けることなく
、正確なＭＴＦを得ることができる。
第１図は本発明の一実施例のＭＴＦ測定装置のブロック
図、第２図はサンプルホールドのタイミングを示すタイ
ミングチャート、第３図は従来の固定走査素子を用いた
ＭＴＦ測定装置を示す説明図、第４図は従来の万線チャ
ート板を示す説明図、第５図は光電変換素子ＣＣＤの内
部構成を示す説明図、第６図は第５図の光電変換素子Ｃ
ＣＤのタイミングチャートである。 符号の説明 １０２−−−一・−万線チャード ・光源 −・・駆動部 ・・−レンズ １０４ｂ・・ サンプルホールド回路 Ａ／Ｄ変換回路 ・−メモリ １０Ｂ 表示部 １０４ ａ １０５−・ １０６・・ １０９・ ＣＤ 演算回路 第２図 沖 邪
図、第２図はサンプルホールドのタイミングを示すタイ
ミングチャート、第３図は従来の固定走査素子を用いた
ＭＴＦ測定装置を示す説明図、第４図は従来の万線チャ
ート板を示す説明図、第５図は光電変換素子ＣＣＤの内
部構成を示す説明図、第６図は第５図の光電変換素子Ｃ
ＣＤのタイミングチャートである。 符号の説明 １０２−−−一・−万線チャード ・光源 −・・駆動部 ・・−レンズ １０４ｂ・・ サンプルホールド回路 Ａ／Ｄ変換回路 ・−メモリ １０Ｂ 表示部 １０４ ａ １０５−・ １０６・・ １０９・ ＣＤ 演算回路 第２図 沖 邪
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 所定の空間周波数の万線チャートを用いて、引伸レンズ
やマイクロレンズ等の光学素子、及び、ＣＤ等の固定走
査素子で構成される被験ユニットのＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌ
ａｔｉｏｎＴｒａｎｓｆｅｒＦｕｎｃｔｉｏｎ：伝達関
数）を測定するＭＴＦ測定装置において、万線チャート
を移動させる移動手段と、 前記固定走査素子の特定の１画素或いは複数画素の出力
値をラインの繰り返し周期毎にサンプルホールドするサ
ンプルホールド手段と、 前記サンプルホールド手段を介してサンプルホールドし
た値をデータとして記憶する記憶手段と、前記記憶手段
に記憶したデータに基づいて、ＭＴＦを演算する演算手
段とを備えたことを特徴とするＭＴＦ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2173272A JP3006853B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Ｍｔｆ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2173272A JP3006853B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Ｍｔｆ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0462448A true JPH0462448A (ja) | 1992-02-27 |
| JP3006853B2 JP3006853B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=15957377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2173272A Expired - Fee Related JP3006853B2 (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Ｍｔｆ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3006853B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008304198A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Acutelogic Corp | 撮像系におけるｍｔｆ測定方法及びｍｔｆ測定装置 |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP2173272A patent/JP3006853B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008304198A (ja) * | 2007-06-05 | 2008-12-18 | Acutelogic Corp | 撮像系におけるｍｔｆ測定方法及びｍｔｆ測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3006853B2 (ja) | 2000-02-07 |
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