JPH0463133U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0463133U JPH0463133U JP10423190U JP10423190U JPH0463133U JP H0463133 U JPH0463133 U JP H0463133U JP 10423190 U JP10423190 U JP 10423190U JP 10423190 U JP10423190 U JP 10423190U JP H0463133 U JPH0463133 U JP H0463133U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- card body
- plate
- terminal pin
- probe card
- card
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 7
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図ａ及びｂは本考案の一実施例を示すプロ
ーブカードの部分平面図及びＡＡ断面図、第２図
は第１図のプローブカードを取付けた状態を示す
断面図、第３図は従来の一例を示すプローブカー
ドの断面図である。 １……パツト、２……カード本体、３……ター
ミナルピン、４……ばね、５……探針、６……ペ
レツト。
ーブカードの部分平面図及びＡＡ断面図、第２図
は第１図のプローブカードを取付けた状態を示す
断面図、第３図は従来の一例を示すプローブカー
ドの断面図である。 １……パツト、２……カード本体、３……ター
ミナルピン、４……ばね、５……探針、６……ペ
レツト。
Claims (1)
- 板状のカード本体と、このカード本体に一端が
埋設されるとともに他端を集積回路の電極パツド
と接触する複数の探針と、この探針の一端と接続
されるとともに他端を前記カード本体より露出す
るターミナルピンとを備えるプローブカードにお
いて、前記ターミナルピンの他端を被せ摺動案内
する穴を有する板上のパツトと、このパツトと前
記カード本体との間隔を一定に維持するばねとを
設けることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10423190U JPH0463133U (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10423190U JPH0463133U (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463133U true JPH0463133U (ja) | 1992-05-29 |
Family
ID=31849437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10423190U Pending JPH0463133U (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0463133U (ja) |
-
1990
- 1990-10-03 JP JP10423190U patent/JPH0463133U/ja active Pending
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