JPH046401A - 多チャンルの渦電流式非接触変位検出装置 - Google Patents
多チャンルの渦電流式非接触変位検出装置Info
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- JPH046401A JPH046401A JP10645090A JP10645090A JPH046401A JP H046401 A JPH046401 A JP H046401A JP 10645090 A JP10645090 A JP 10645090A JP 10645090 A JP10645090 A JP 10645090A JP H046401 A JPH046401 A JP H046401A
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- Japan
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- coil
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- circuit
- sensors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気軸受で回転軸を支承される高速回転機等に
おいて、回転軸と磁気軸受との間のギャップ長の変化を
検出するため等に用いられる多チャンネルの渦電流式非
接触変位検出装置に関する。
おいて、回転軸と磁気軸受との間のギャップ長の変化を
検出するため等に用いられる多チャンネルの渦電流式非
接触変位検出装置に関する。
第２図は従来のこの種の渦電流式非接触変位検出装置を
示したものである。同図において、ｌは磁気軸受で支承
された回転軸である。２１〜２４．２５〜２８はセンサ
であって、第３図に示す如き構成を有し、センサ２１〜
２４ば回転軸１の一方端部側の周りに、検出面を回転軸
１に向けて、周方向所定間隔で配置されており、センサ
２５〜２８は回転軸ｌの他方端部側の周りに、検出コイ
ル面を回転軸１に向けて、周方向所定間隔で配置されて
いる。
示したものである。同図において、ｌは磁気軸受で支承
された回転軸である。２１〜２４．２５〜２８はセンサ
であって、第３図に示す如き構成を有し、センサ２１〜
２４ば回転軸１の一方端部側の周りに、検出面を回転軸
１に向けて、周方向所定間隔で配置されており、センサ
２５〜２８は回転軸ｌの他方端部側の周りに、検出コイ
ル面を回転軸１に向けて、周方向所定間隔で配置されて
いる。
第３図においては、センサ２１を代表して示してあり、
３はケース、４は検出コイルで、回転軸１とギャップＧ
（ギャップ：約０．３〜１ｍｍ）を隔てて磁気結合する
検出コイル４の両端の電圧は内部リード線５および外部
リード線６を通して計測回路へ取り出される。
３はケース、４は検出コイルで、回転軸１とギャップＧ
（ギャップ：約０．３〜１ｍｍ）を隔てて磁気結合する
検出コイル４の両端の電圧は内部リード線５および外部
リード線６を通して計測回路へ取り出される。
各センサ２１〜２４の検出コイル４は上記り一ド５．６
を介して発振回路３１Ａ〜３４Ａに接続され、上下対を
なすセンサ２１と２３がそれぞれ接続される発信回路３
１Ａと３３Ａの出力は比較回路（差動増幅回路）４１Ａ
に、左右対をなすセンサ２２と２４がそれぞれ接続され
る発振回路３２Ａと３４Ａの出力は比較回路（差動増幅
回路）４１Ｂに入力される。同様に、各センサ２５〜２
８の検出コイル４は上記リード５．６を介して発振回路
３１Ｂ〜３４Ｂに接続され、上下対をなすセンサ２５と
２７がそれぞれ接続される発振回路３１Ｂと３３Ｂの出
力は比較回路（差動増幅回路）４２Ａに、左右対をなす
センサ２６と２８がそれぞれ接続される発振回路３２Ｂ
と３４Ｂの出力は比較回路（差動増幅回路）４２Ｂに入
力される。
を介して発振回路３１Ａ〜３４Ａに接続され、上下対を
なすセンサ２１と２３がそれぞれ接続される発信回路３
１Ａと３３Ａの出力は比較回路（差動増幅回路）４１Ａ
に、左右対をなすセンサ２２と２４がそれぞれ接続され
る発振回路３２Ａと３４Ａの出力は比較回路（差動増幅
回路）４１Ｂに入力される。同様に、各センサ２５〜２
８の検出コイル４は上記リード５．６を介して発振回路
３１Ｂ〜３４Ｂに接続され、上下対をなすセンサ２５と
２７がそれぞれ接続される発振回路３１Ｂと３３Ｂの出
力は比較回路（差動増幅回路）４２Ａに、左右対をなす
センサ２６と２８がそれぞれ接続される発振回路３２Ｂ
と３４Ｂの出力は比較回路（差動増幅回路）４２Ｂに入
力される。
同図において、ａｍｐは増幅器を示す。
この発振回路３１Ａ〜３４Ａ、３１Ｂ〜３４Ｂは、第４
図に示す如く、コルピッツ発振器Ｏ８ＣとフィルタＦＩ
Ｌからなり、各コルピッツ発振器Ｏ５Ｃは共に同一発振
周波数（数百ＫＨｚ〜数ＭＨｚ）ｆに同調される。Ｒ１
−Ｒ４は抵抗、Ｃ。
図に示す如く、コルピッツ発振器Ｏ８ＣとフィルタＦＩ
Ｌからなり、各コルピッツ発振器Ｏ５Ｃは共に同一発振
周波数（数百ＫＨｚ〜数ＭＨｚ）ｆに同調される。Ｒ１
−Ｒ４は抵抗、Ｃ。
〜Ｃ１はコンデンサ、■は電圧である。
第４図において、ｒｏとり。は回転軸１の抵抗骨とイン
ダクタンス分、ｒ、とり、はセンサ２１の検出コイル４
の抵抗とインダクタンス、Ｍは相互インダクタンス、ω
＝２πｆ（ｆ：発振周波数）であり、発振器側から見た
インピーダンス（以下、検出コイルのインピーダンスと
いう）Ｚはとなる。
ダクタンス分、ｒ、とり、はセンサ２１の検出コイル４
の抵抗とインダクタンス、Ｍは相互インダクタンス、ω
＝２πｆ（ｆ：発振周波数）であり、発振器側から見た
インピーダンス（以下、検出コイルのインピーダンスと
いう）Ｚはとなる。
この構成において、回転軸１がその半径方向に変位する
と、上記インピーダンスＺが変化し、コルピッツ発振器
ｏＳＣの発振電圧が変化して発振回路３１Ａ〜３４Ａ、
３１Ｂ〜３４Ｂの発振電圧が変化するので、差動増幅回
路４１Ａ〜４２Ｂの出力が変化し、Ｙ軸方向（センサ２
１−２３、センサ２５−２７方向）、Ｚ軸方向（センサ
２２−２４、センサ２６−２８方向）のこの変化量に基
づいて上記ギャップＧの変化を知ることができる。
と、上記インピーダンスＺが変化し、コルピッツ発振器
ｏＳＣの発振電圧が変化して発振回路３１Ａ〜３４Ａ、
３１Ｂ〜３４Ｂの発振電圧が変化するので、差動増幅回
路４１Ａ〜４２Ｂの出力が変化し、Ｙ軸方向（センサ２
１−２３、センサ２５−２７方向）、Ｚ軸方向（センサ
２２−２４、センサ２６−２８方向）のこの変化量に基
づいて上記ギャップＧの変化を知ることができる。
このように、複数のセンサを近接配置して、各発振器を
同一周波数に同調させて駆動する多チヤンネル型のもの
では、チャンネル相互間の干渉を完全に無くすことは難
しく、発振回路は常時発振動作を行っているので、上記
発振電圧に干渉分電圧（うなり周波数の電圧）が重畳さ
れ、検出精度が低下する場合があるので、センサの配役
個数が制約されるという問題がある他、温度上昇に起因
する発振周波数の変動を防ぐために温度補償を行ってお
り、各センサ毎に、発振回路を設けて発振周波数を同調
させるので、センサの数が増えると、回路構成が複雑に
なるので小型化が難しく、各チャンネル毎に上記相互干
渉を抑制するための特別な対策を施す必要があるという
問題があった。
同一周波数に同調させて駆動する多チヤンネル型のもの
では、チャンネル相互間の干渉を完全に無くすことは難
しく、発振回路は常時発振動作を行っているので、上記
発振電圧に干渉分電圧（うなり周波数の電圧）が重畳さ
れ、検出精度が低下する場合があるので、センサの配役
個数が制約されるという問題がある他、温度上昇に起因
する発振周波数の変動を防ぐために温度補償を行ってお
り、各センサ毎に、発振回路を設けて発振周波数を同調
させるので、センサの数が増えると、回路構成が複雑に
なるので小型化が難しく、各チャンネル毎に上記相互干
渉を抑制するための特別な対策を施す必要があるという
問題があった。
また、各発振器の発振周波数を、上記相互干渉が発生し
ない程度にずらせる方法もあるが、センサと同数の発振
器を用いる点ては前記場合と同じである。
ない程度にずらせる方法もあるが、センサと同数の発振
器を用いる点ては前記場合と同じである。
本発明は上記課題を解消するためになされたもので、従
来に比し小形化することができ、しかもチャンフル相互
間の干渉を防止することができる多チャンネルの渦電流
式非接触変位検出装置を提供することを目的とする。
来に比し小形化することができ、しかもチャンフル相互
間の干渉を防止することができる多チャンネルの渦電流
式非接触変位検出装置を提供することを目的とする。
本発明は上記目的を達成するため、対象物に対しギャッ
プを隔てて対向配置される検出コイルを有する複数個の
センサを備え、この検出コイルを動作コイルとする発振
器の出力を信号処理して上記対象物の変位を検出する多
チャンルの渦電流式非接触変位検出装置において、 上記検出コイルの１つを順次かつサイクリックに選択す
る切換回路を設け、選択された検出コイルを駆動する構
成としたものである。
プを隔てて対向配置される検出コイルを有する複数個の
センサを備え、この検出コイルを動作コイルとする発振
器の出力を信号処理して上記対象物の変位を検出する多
チャンルの渦電流式非接触変位検出装置において、 上記検出コイルの１つを順次かつサイクリックに選択す
る切換回路を設け、選択された検出コイルを駆動する構
成としたものである。
請求項２では、発振器を１台とし、切換回路は検出コイ
ルの１つを選択して上記発振器に切換え接続する構成と
した。
ルの１つを選択して上記発振器に切換え接続する構成と
した。
請求項３では、切換回路が、各検出コイルに接続された
発振器を順次かつサイクリックに選択して動作させる構
成とした。
発振器を順次かつサイクリックに選択して動作させる構
成とした。
選択する構成とした。
本発明では、１つのセンサが駆動されている間は、他の
センサは休止しているので、前記した相互干渉は生じな
い。
センサは休止しているので、前記した相互干渉は生じな
い。
以下、本考案の１実施例を図面を参照して説明する。
第１図において、５０は各センサ２Ｉ〜２４に共通の発
振器Ｏ３Ｃ（発振周波数ｒｏ）であって、センサ２１〜
２４の検出コイル４は切換回路Ａの切換スイッチ５５〜
５８を介して発振器５０に接続される。５１〜５４は抵
抗であって、切換スイッチ５５〜５８を介してセンサ２
１〜２４の検出コイル４にそれぞれ並列接続される。５
９はピーク・ホールド回路であって、発振器５０の発振
電圧を入力され、発振電圧の最大振幅絶対値をホールド
する。６０はＡ／Ｄ変換器であって、ピク・ホールド回
路５９のホールド値をデジタル値に変換する。６１〜６
４はラッチ回路であって、各センサ２１〜２４が発振器
５０に接続された場合のＡ／Ｄ変換器６０の出力をラッ
チする。６５〜６８はＤ／Ａ変換器であって、ラッチ回
路６１〜６４から読み出されたデータをアナログ信号に
変換して図示しない制御装置へ送出する。
振器Ｏ３Ｃ（発振周波数ｒｏ）であって、センサ２１〜
２４の検出コイル４は切換回路Ａの切換スイッチ５５〜
５８を介して発振器５０に接続される。５１〜５４は抵
抗であって、切換スイッチ５５〜５８を介してセンサ２
１〜２４の検出コイル４にそれぞれ並列接続される。５
９はピーク・ホールド回路であって、発振器５０の発振
電圧を入力され、発振電圧の最大振幅絶対値をホールド
する。６０はＡ／Ｄ変換器であって、ピク・ホールド回
路５９のホールド値をデジタル値に変換する。６１〜６
４はラッチ回路であって、各センサ２１〜２４が発振器
５０に接続された場合のＡ／Ｄ変換器６０の出力をラッ
チする。６５〜６８はＤ／Ａ変換器であって、ラッチ回
路６１〜６４から読み出されたデータをアナログ信号に
変換して図示しない制御装置へ送出する。
５０Ａは発振器であって、その発振出力（発振周波数ｆ
、＜ｆ、）はタイミング発生器６９に入力される。タイ
ミング発生器６９は発振器５０Ａの発振周期に同期する
切換信号Ｓ。１〜Ｓ１．１４を順次一定時間ΔＴ、をお
いて、かつサイクリックに切換スイッチ５５〜５８に送
出するとともに切換信号５ｗ１−’−３Ｗ４からそれぞ
れ一定時間ΔＴ２遅れたラッチタイミング信号ｔ□〜ｔ
ｊ１４をラッチ回路６１〜６４に送出する。発振器５０
Ａとタイミング発生器はタイミング発生回路Ｂを構成す
る。
、＜ｆ、）はタイミング発生器６９に入力される。タイ
ミング発生器６９は発振器５０Ａの発振周期に同期する
切換信号Ｓ。１〜Ｓ１．１４を順次一定時間ΔＴ、をお
いて、かつサイクリックに切換スイッチ５５〜５８に送
出するとともに切換信号５ｗ１−’−３Ｗ４からそれぞ
れ一定時間ΔＴ２遅れたラッチタイミング信号ｔ□〜ｔ
ｊ１４をラッチ回路６１〜６４に送出する。発振器５０
Ａとタイミング発生器はタイミング発生回路Ｂを構成す
る。
この構成においては、切換信号ＳＷＩが送出されると切
換スイッチ５５がａ側へ切換わり、センサ２１の検出コ
イル４が発振器５０に接続され、発振器５０はこの検出
コイル４を動作コイルとして発振する。この時、切換ス
イッチ５６〜５８はｂ側に切換ねっており、他のセンサ
２２〜２４の検出コイル４は切換スイッチ５６〜５８を
介し抵抗５２〜５４に並列接続されている。また、切換
信号Ｓ、１．の発生からΔＴ２時間遅れてラッチ回路６
１にランチ信号ｔ□が与えられる。このΔＴ２時間は切
換スイッチ５５がａ側に投入されたのち発振器５０の出
力が安定するのに要する時間である。
換スイッチ５５がａ側へ切換わり、センサ２１の検出コ
イル４が発振器５０に接続され、発振器５０はこの検出
コイル４を動作コイルとして発振する。この時、切換ス
イッチ５６〜５８はｂ側に切換ねっており、他のセンサ
２２〜２４の検出コイル４は切換スイッチ５６〜５８を
介し抵抗５２〜５４に並列接続されている。また、切換
信号Ｓ、１．の発生からΔＴ２時間遅れてラッチ回路６
１にランチ信号ｔ□が与えられる。このΔＴ２時間は切
換スイッチ５５がａ側に投入されたのち発振器５０の出
力が安定するのに要する時間である。
発振器５０の発振電圧はピーク・ホールド回路５９に入
力され、ピーク・ホールド回路５９は上記発振電圧の最
大振幅絶対値をホールドする。このホールド値はデジタ
ル値に変換されてラッチ回路６１に格納される。切換信
号Ｓ Ｗｌが発生したのち上記ランチ回路６１の読込み
動作が終わると、切換信号ＳＷ＋が消滅し、所定時間Δ
Ｔ１の経過後に切換信号Ｓ８□が送出される。この時間
ΔＴ１は検出コイル４の蓄積エネルギーが完全に放出さ
れるのに要する時間である。これにより、切換スイッチ
５５はｂ側に切換わって、センサ２１の検出コイル４に
蓄積されていたエネルギーが抵抗５１へ放出され、切換
スイッチ５６がａ側に切換わって、センサ２２の検出コ
イル４が発振器５０に接続される。発振器５０は今度は
センサ２２の検出コイル４を動作コイルとして発振し、
その発振電圧はＡ／Ｄ変換器６０を通して、ラッチタイ
ミング信号ｔ□を受けているラッチ回路６２に格納され
る。このラッチタイミング信号ｔ０は切換信号Ｓ、４２
の発生後、６１２時間後に発生する。切換信号Ｓｌｌ！
が発生したのち上記ラッチ回路６２の読込み動作が終わ
ると、切換信号５５１ｇが消滅し、所定時間ΔＴ、の経
過後に切換信号５１１１３が送出される。これにより、
切換スイッチ５６はｂ側に切換わって、センサ２２の検
出コイル４に蓄積されていたエネルギーが抵抗５２へ放
出され、切換スイッチ５７がａ側に切換わって、センサ
２３の検出コイル４が発振器５０に接続される。発振器
５０は今度はセンサ２３の検出コイル４を動作コイルと
して発振し、その発振電圧はＡ／Ｄ変換器６０を通して
、ラッチタイミング信号ｔ■を受けているラッチ回路６
３に格納される。同様にして、６１１時間後に、切換信
号Ｓ、４４が発生し、センサ２４の検出コイル４が発振
器５０に接続され、その発振電圧がＡ／Ｄ変換器６１を
通してラッチ回路６４に格納される。
力され、ピーク・ホールド回路５９は上記発振電圧の最
大振幅絶対値をホールドする。このホールド値はデジタ
ル値に変換されてラッチ回路６１に格納される。切換信
号Ｓ Ｗｌが発生したのち上記ランチ回路６１の読込み
動作が終わると、切換信号ＳＷ＋が消滅し、所定時間Δ
Ｔ１の経過後に切換信号Ｓ８□が送出される。この時間
ΔＴ１は検出コイル４の蓄積エネルギーが完全に放出さ
れるのに要する時間である。これにより、切換スイッチ
５５はｂ側に切換わって、センサ２１の検出コイル４に
蓄積されていたエネルギーが抵抗５１へ放出され、切換
スイッチ５６がａ側に切換わって、センサ２２の検出コ
イル４が発振器５０に接続される。発振器５０は今度は
センサ２２の検出コイル４を動作コイルとして発振し、
その発振電圧はＡ／Ｄ変換器６０を通して、ラッチタイ
ミング信号ｔ□を受けているラッチ回路６２に格納され
る。このラッチタイミング信号ｔ０は切換信号Ｓ、４２
の発生後、６１２時間後に発生する。切換信号Ｓｌｌ！
が発生したのち上記ラッチ回路６２の読込み動作が終わ
ると、切換信号５５１ｇが消滅し、所定時間ΔＴ、の経
過後に切換信号５１１１３が送出される。これにより、
切換スイッチ５６はｂ側に切換わって、センサ２２の検
出コイル４に蓄積されていたエネルギーが抵抗５２へ放
出され、切換スイッチ５７がａ側に切換わって、センサ
２３の検出コイル４が発振器５０に接続される。発振器
５０は今度はセンサ２３の検出コイル４を動作コイルと
して発振し、その発振電圧はＡ／Ｄ変換器６０を通して
、ラッチタイミング信号ｔ■を受けているラッチ回路６
３に格納される。同様にして、６１１時間後に、切換信
号Ｓ、４４が発生し、センサ２４の検出コイル４が発振
器５０に接続され、その発振電圧がＡ／Ｄ変換器６１を
通してラッチ回路６４に格納される。
このようにしてラッチ回路６１〜６４に格納されたデー
タは同時に読み出され、Ｄ／Ａ変換器６１〜６４でアナ
ログ値に変換されたのち図示しない制御装置へ送出され
る。
タは同時に読み出され、Ｄ／Ａ変換器６１〜６４でアナ
ログ値に変換されたのち図示しない制御装置へ送出され
る。
本実施例では２発振器は１台であり、複数の検出コイル
は同時にではなく、常に１つが選択されてこの発振器に
より駆動されるから、チャンネル間の相互干渉は皆無と
なる。
は同時にではなく、常に１つが選択されてこの発振器に
より駆動されるから、チャンネル間の相互干渉は皆無と
なる。
また、本実施例では、発振器５０の他に、検出コイルを
接続する発振器を設けなくても済む利点がある。
接続する発振器を設けなくても済む利点がある。
上記実施例では、発振器は１台とし、複数の検出コイル
を順次選択する構成となっているが、前記従来例におけ
るように、各センサ毎に発振器を設け、切換回路Ａによ
り、順次かつサイクリックに１つの発振器を選択して動
作させ、この間、他の発振器を休止させる構成としても
同様の効果を得ることができる。
を順次選択する構成となっているが、前記従来例におけ
るように、各センサ毎に発振器を設け、切換回路Ａによ
り、順次かつサイクリックに１つの発振器を選択して動
作させ、この間、他の発振器を休止させる構成としても
同様の効果を得ることができる。
また、上記実施例では、ピーク・ホールド回路５９のホ
ールド値を、−旦、ラッチ回路６１〜６４に格納してい
るが、ピーク・ホールド回路５９のホールド値を前記制
御装置に直接サンプリング入力して処理するようにする
場合もある。
ールド値を、−旦、ラッチ回路６１〜６４に格納してい
るが、ピーク・ホールド回路５９のホールド値を前記制
御装置に直接サンプリング入力して処理するようにする
場合もある。
本発明は以上説明した通り、各センサを、順次かつサイ
クリックに動作させるから、チャンネル相互間の干渉は
完全に防止することができ、干渉を防止もしくは抑制す
るための手段を設けなくても済むので、その分、装置の
小形・低廉化を図ることができ、検出精度も、上記干渉
が無いことにより向上することができる。
クリックに動作させるから、チャンネル相互間の干渉は
完全に防止することができ、干渉を防止もしくは抑制す
るための手段を設けなくても済むので、その分、装置の
小形・低廉化を図ることができ、検出精度も、上記干渉
が無いことにより向上することができる。
第１図は本考案の実施例を示すブロック図、第２図は従
来の変位検出装置を示す回路図、第３図はセンサの構成
を示す断面図、第４図は第２図における発振回路の１例
を示す回路図である。 ２１〜２４−センサ、５〇−発振器、５０Ａ−・発振器
、５１〜５４−抵抗、５５〜５８−切換スイッチ、５９
−ピーク・ホールド回路、６１〜６４−ラッチ回路、６
９−・−タイミング発注器、Ａ切換回路、Ｂ−タイミン
グ発生回路、 第２飄
来の変位検出装置を示す回路図、第３図はセンサの構成
を示す断面図、第４図は第２図における発振回路の１例
を示す回路図である。 ２１〜２４−センサ、５〇−発振器、５０Ａ−・発振器
、５１〜５４−抵抗、５５〜５８−切換スイッチ、５９
−ピーク・ホールド回路、６１〜６４−ラッチ回路、６
９−・−タイミング発注器、Ａ切換回路、Ｂ−タイミン
グ発生回路、 第２飄
Claims (3)
- （１）対象物に対しギャップを隔てて対向配置される検
出コイルを有する複数個のセンサを備え、この検出コイ
ルを動作コイルとする発振器の出力を信号処理して上記
対象物の変位を検出する多チャンルの渦電流式非接触変
位検出装置において、上記センサの１つを順次かつサイ
クリックに選択する切換回路とこの切換回路を制御する
タイミング発生回路を設け、上記選択されたセンサの検
出コイルを駆動することを特徴とする多チャンルの渦電
流式非接触変位検出装置。 - （２）発振器は１台であって、切換回路はセンサの１つ
を順次かつサイクリックに選択して上記発振器に接続す
ることを特徴とする請求項１記載の多チャンルの渦電流
式非接触変位検出装置。 - （３）複数のセンサと各センサの検出コイルが接続され
た発振器を有し、切換回路は発振器を順次かつサイクリ
ックに選択して動作させることを特徴とする請求項１記
載の多チャンルの渦電流式非接触変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10645090A JPH046401A (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 多チャンルの渦電流式非接触変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10645090A JPH046401A (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 多チャンルの渦電流式非接触変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH046401A true JPH046401A (ja) | 1992-01-10 |
Family
ID=14433947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10645090A Pending JPH046401A (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 多チャンルの渦電流式非接触変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH046401A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010008148A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Nippon Soken Inc | 多チャンネルセンサ回路 |
| JP2014507182A (ja) * | 2010-12-23 | 2014-03-27 | エスセーアー・ハイジーン・プロダクツ・アーベー | 吸収体における液体排泄物データを分析するためのツール、液体排泄物データを収集するように適合された吸収体、および液体排泄物データを収集するため吸収体と相互作用する制御ユニット |
| JP2016045046A (ja) * | 2014-08-21 | 2016-04-04 | アイシン精機株式会社 | 渦電流式非接触変位計測装置 |
-
1990
- 1990-04-24 JP JP10645090A patent/JPH046401A/ja active Pending
Cited By (4)
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