JPH0464215A - 露光装置の動作制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、露光装置の動作制御装置に関し、特に表示装
置に表示されたジョブ・リストから所望ノショブを簡単
に選択実行することのできる露光装置の動作制御装置に
関する。

［従来の技術］ 従来、半導体ウニ八への回路パターンの焼付けなどは、
いわゆる露光装置を用いて行なフている。露光装置の動
作は動作制御装置により制御される。

第１図は、従来例であり、後に詳述する本発明の適用対
象例でもある露光装置および動作制御装置の概観図であ
る。

同図において、１０は半導体ウニへの焼付けを行なう露
光装置、２０はＣＰＵ　（中央演算処理装置）やメモリ
などから構成される制御回路を備えたコントロール・ボ
ックス、３ｏはコンソールである。コンソール３ｏは、
デイスプレィ装置３１およびプリンタ装置３３などの圧
力装置、キーボード装置３２などの人力装置、並びにデ
ィスク装置３４などの記憶装置などを具備する。コント
ロール・ボックス２０およびコンソール３ｏにより動作
制御装置が構成される。

次に、第６図のフローチャートを参照して従来の動作制
御装置のジョブの実行動作を説明する。

なお、ここで「ジョブ」とは被制御装置に与える種々の
命令および必要なパラメータの集まりをいう。半導体ウ
ニへの焼付けを行なう露光装置の場合、ジョブにより実
行するパラメータとしては、例えばステップ・サイズ、
露光時間、およびフォーカス・オフセットなどがある。

第６図を参照して従来の動作制御装置の処理手順を説明
する。まず処理がスタートすると、ステップ６１て第２
区に示すような表示画面かデイスプレィ３１に表示され
、コマンド待ち状態となる。このコマンド待ち状態にお
いて、ユーザはジョブ・リスト−覧表示コマンドをコン
ソール３０のキーボード装置３２より人力する。すると
、ステップ６２でコンソール３０のデイスプレィ装置３
１に第３図に示すようなジョブ−賢夫が表示される。

次に、ステップ６３でユーザは表示されたジョブ−賢夫
から実行を希望するジョブ名を探し、ステップ６４で再
び第２図のコマンド待ち状態に戻る。ステップ６５てユ
ーザはジョブ・スタート・コマンドをキーボード装置３
２から人力する。ステップ６６てスタート画面が表示さ
れ、ステップ６７で先にステップ６３で捜し出した実行
記号のジョブ番号をキーボード装置３２から入力する。

こねにより、ステップＳ６８でジョブか実行され、処理
が終了する。

［発明が解決しようとする課題］ このように従来は、コマンド入力待ち状態からデイスプ
レィ装置３１の画面上にジョブ・リストを表示するだけ
のコマンドを実行し、ジョブ・リストを表示してジョブ
名を確認した後、−度コマント人力待ち状態に戻ってス
タート・コマンドを実行し、その後実行しようとするジ
ョブの名称をコンソールから人力してジョブを実行させ
ている。

すなわち、従来は、これから実行しようとするジョブ名
を正確に覚えて、−旦コマント人力待ち状態に戻ってか
ら、ジョブ名を人力する必要かあった。このため、ジョ
ブか覚え切れないほど存在する場合には、人力操作に手
間がかかるという欠点があった。

本発明は、上述の従来形における問題点に鑑み、ジョブ
の選択および実行を簡単な操作で行なうことのできる露
光装置の動作制御装置を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するため、本発明は、露光装置の動作
を制御する動作制御装置であって、この露光装置に与え
る種々の命令およびパラメータの集まりであるジョブの
名称などを複数羅列したジョブ・リストを表示し、この
状態から実行したいジョブを選択せしめ、選択されたジ
ョブを直接実行するようにしている。

［作　用コ 上記の構成によれば、デイスプレィ装置はジョブの一覧
表であるジョブ・リストを表示する。ユーザは、表示さ
れたジョブ・リストを見ながら、実行したいジョブを選
択することかできる。選択されたジョブは即時に実行さ
れる。

［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る露光装置の動作制御
装置の概観図および適用対象である露光装置の概観図で
ある。各部は従来例で説明したものと同じであるので説
明を省略する。

第５図は、本実施例の動作制御装置の処理手順を説明す
るためのフローチャートである。同図を参照して、この
動作制御装置が処理を開始すると、まずステップＳ５１
で第２図のような表示画面をデイスプレィ装置３１に表
示し、コマンド待ち状態となる。この状態からユーザは
ジョブ・リスト−覧表示コマンドをコンソール３０のキ
ーボード装置３２から入力する。すると、ステップＳ５
２で第３図に示すようなジョブ−賢夫がデイスプレィ３
１に表示される。

次に、ユーザはステップＳ５３で表示されているジョブ
−賢夫の中から実行記号のジョブ名を探す。そして、ス
テップＳ５４でファンクションキーの押下により、ジョ
ブの実行可能な第４図に示すような表示画面のジョブ番
号人力待ち状態とする。ステップＳ５５でユーザがジョ
ブ番号を人力すると、ステップＳ５６てジョブが実行さ
れ、処理終了する。

なお、ステップ３５５のジョブ番号の人力はキーボード
装置３２のテンキーを用いて行なうようにしている。ま
た、ジョブ番号入力時のエラー処理として、例えばジョ
ブ名のない番号といったような不適切な番号人力があっ
た場合には、ワーニング（警告）表示をして、次のジョ
ブ番号人力待ち状態に戻る。

なお、本発明のジョブ・リストからのジョブ実行方式は
、他の装置にも通用することかできる。

［発明の効果コ 以上説明したように、本発明によれは、ジョブ・リスト
をデイスプレィ装置の画面上にメニュー形式のように表
示し、オペレータはこのジョブ・リストのなかからこれ
から実行しようとするジョブを例えばテンキーなどを用
いて選択実行するようにしているので、ジョブのスター
トを簡単に行なうことができる。また、従来のようにこ
れから実行しようとするジョブ名を正確に覚え、−度コ
マント人力待ち状態に戻ってからジョブ名を人力するよ
うな煩雑な操作を行なう必要がない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来例でもあり本発明の一実施例に係る露光
装置の動作制御装置および適用対象例である露光装置の
概観図、 第２図は、コンソールのデイスプレィ装置のコマンド待
ち状態の例を示す図、 第３図は、ジョブの一覧表が表示された例を示す図、 第４図は、ジョブ番号入力待ち状態の例を示す図、 第５図は、本実施例の動作制御装置の動作を説明するた
めのフローチャート、 第６図は、従来の動作制御装置の処理手順を説明するた
めのフローチャートである。 １０・・・露光装置、 ２０・・・コントロールボックス、 ３０・・・コンソール、３１・・・デイスプレィ装置、
３２・・・キーボード装置、３３・・・プリンタ装置、
３４・・・ディスク装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）露光装置の動作を制御する動作制御装置であって
   、 該露光装置に与える種々の命令およびパラメータの集ま
   りであるジョブの名称などを複数羅列したジョブ・リス
   トを表示するジョブ・リスト表示手段と、 該ジョブ・リスト表示手段によりジョブ・リスト表示し
   た状態から、実行したいジョブを選択する操作を可能と
   するジョブ選択操作制御手段と、該ジョブ選択操作がな
   されて選択されたジョブを実行する手段と を具備することを特徴とする露光装置の動作制御装置。