JPH10321697A - 基板処理装置の操作パネル - Google Patents
基板処理装置の操作パネルInfo
- Publication number
- JPH10321697A JPH10321697A JP14723797A JP14723797A JPH10321697A JP H10321697 A JPH10321697 A JP H10321697A JP 14723797 A JP14723797 A JP 14723797A JP 14723797 A JP14723797 A JP 14723797A JP H10321697 A JPH10321697 A JP H10321697A
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- Japan
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- operation panel
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の基板を１枚ずつ複数の基板処理部へそ
れぞれ搬送して各基板処理部で基板に対し所要の処理を
それぞれ施す基板処理装置において、情報の入力のため
の操作に時間がかからず、かつ入力間違いが発生するこ
とも無い操作パネルを提供する。 【解決手段】 複数の情報をそれぞれ文字や図形で表示
するディスプレイの画面１０に、指先を触れることによ
ってその接触位置を検知する透明電極マトリックスを設
け、ディスプレイの画面上に表示される複数の情報のう
ち選択しようとする情報を、透明電極マトリックスの該
情報の表示位置に指先を触れて入力する。
れぞれ搬送して各基板処理部で基板に対し所要の処理を
それぞれ施す基板処理装置において、情報の入力のため
の操作に時間がかからず、かつ入力間違いが発生するこ
とも無い操作パネルを提供する。 【解決手段】 複数の情報をそれぞれ文字や図形で表示
するディスプレイの画面１０に、指先を触れることによ
ってその接触位置を検知する透明電極マトリックスを設
け、ディスプレイの画面上に表示される複数の情報のう
ち選択しようとする情報を、透明電極マトリックスの該
情報の表示位置に指先を触れて入力する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、基板搬送手段を
複数の基板処理部に対して所定の順序で循環移動させな
がら、複数の基板を１枚ずつ基板搬送手段により各基板
処理部へ順次搬送して、各基板処理部で基板に対し所要
の処理をそれぞれ施す基板処理装置において、基板の搬
送や各基板処理部での処理に関するデータ、各種操作の
指令などの情報を制御部へ入力するための操作パネルに
関する。
複数の基板処理部に対して所定の順序で循環移動させな
がら、複数の基板を１枚ずつ基板搬送手段により各基板
処理部へ順次搬送して、各基板処理部で基板に対し所要
の処理をそれぞれ施す基板処理装置において、基板の搬
送や各基板処理部での処理に関するデータ、各種操作の
指令などの情報を制御部へ入力するための操作パネルに
関する。
【０００２】半導体基板等の基板に対して複数の処理を
順次施す基板処理装置は、例えば、図２に全体斜視図を
示すように、複数枚の基板を収納可能であるカセット
（図示せず）が載置され、処理しようとする基板をカセ
ットから１枚ずつ取り出して搬出するとともに、すべて
の処理を終えた基板を１枚ずつ受け取って再びカセット
に収納するインデクサ部ＩＤ、基板移載用のアームを備
えた自走式基板搬送ロボット１が配設された搬送部Ｔ
Ｒ、ホットプレート（図示せず）を備えた複数の加熱処
理部およびクールプレート（図示せず）を備えた複数の
冷却処理部が設けられた熱処理部ＨＣ、スピンコータ２
を備えたコーティング処理部ＳＣ、スピンデベロッパ３
を備えた現像処理部ＳＤ、ならびに、図示しない露光装
置との間で基板の受け渡しを行うインタフェース部ＩＦ
から構成されている。このような基板処理装置において
は、インデクサ部ＩＤからカセットに収納された処理前
の基板が１枚ずつ搬送部ＴＲへ供給され、基板搬送ロボ
ット１が、熱処理部ＨＣ（加熱処理部および冷却処理
部）およびコーティング処理部ＳＣへそれぞれ移動しな
がら、それぞれの処理部で基板の出し入れを行い、ま
た、搬送部ＴＲと図示しない露光装置との間でインタフ
ェース部ＩＦを通して基板の受け渡しを行い、さらに、
基板搬送ロボット１が、熱処理部ＨＣ（加熱処理部およ
び冷却処理部）および現像処理部ＳＤへそれぞれ移動し
ながら、それぞれの処理部で基板の出し入れを行い、各
処理部により基板に対し所要の処理がそれぞれ施され
る。そして、すべての処理を終えた基板が、搬送部ＴＲ
からインデクサ部ＩＤへ渡され、インデクサ部ＩＤ上の
カセット内へ収納されていく。
順次施す基板処理装置は、例えば、図２に全体斜視図を
示すように、複数枚の基板を収納可能であるカセット
（図示せず）が載置され、処理しようとする基板をカセ
ットから１枚ずつ取り出して搬出するとともに、すべて
の処理を終えた基板を１枚ずつ受け取って再びカセット
に収納するインデクサ部ＩＤ、基板移載用のアームを備
えた自走式基板搬送ロボット１が配設された搬送部Ｔ
Ｒ、ホットプレート（図示せず）を備えた複数の加熱処
理部およびクールプレート（図示せず）を備えた複数の
冷却処理部が設けられた熱処理部ＨＣ、スピンコータ２
を備えたコーティング処理部ＳＣ、スピンデベロッパ３
を備えた現像処理部ＳＤ、ならびに、図示しない露光装
置との間で基板の受け渡しを行うインタフェース部ＩＦ
から構成されている。このような基板処理装置において
は、インデクサ部ＩＤからカセットに収納された処理前
の基板が１枚ずつ搬送部ＴＲへ供給され、基板搬送ロボ
ット１が、熱処理部ＨＣ（加熱処理部および冷却処理
部）およびコーティング処理部ＳＣへそれぞれ移動しな
がら、それぞれの処理部で基板の出し入れを行い、ま
た、搬送部ＴＲと図示しない露光装置との間でインタフ
ェース部ＩＦを通して基板の受け渡しを行い、さらに、
基板搬送ロボット１が、熱処理部ＨＣ（加熱処理部およ
び冷却処理部）および現像処理部ＳＤへそれぞれ移動し
ながら、それぞれの処理部で基板の出し入れを行い、各
処理部により基板に対し所要の処理がそれぞれ施され
る。そして、すべての処理を終えた基板が、搬送部ＴＲ
からインデクサ部ＩＤへ渡され、インデクサ部ＩＤ上の
カセット内へ収納されていく。
【０００３】上記したような基板処理装置において、各
処理部での処理時間等の処理に関するデータや各処理部
間での基板の搬送時間等の基板搬送に関するデータを設
定入力したり、基板の処理プログラムなどの設定を行っ
たり、各種の操作を装置に指令するための指示を入力し
たりするのは、例えば装置の前面に引出しおよび収納可
能に設けられた操作パネル４を用いて行われる。操作パ
ネル４は、ディスプレイとキーボードとから構成されて
いる。そして、従来、操作パネルを入力装置として各種
の情報を装置制御用のマイクロコンピュータ（マイコ
ン）へ入力する場合、オペレータは、ディスプレイの画
面上に表示された設定メニューを見ながらキーボードの
キーを操作して必要なメニューを選択するようにしてい
た。例えば、ディスプレイの画面上に図３の（ａ）を示
すようなトップメニュ−が表示されると、オペレータ
は、その画面を見てキーボード上の「１」のキーを押し
て「オペレーション」を選択する。すると、画面上に図
３の（ｂ）に示すようなメニューが表示され、オペレー
タは、その画面を見てキーボード上の「２」のキーを押
して「装置オペレーション」を選択する。これにより、
画面上には図３の（ｃ）に示すようなメニューが表示さ
れるので、オペレータは、その画面を見てキーボード上
の「２」のキーを押して「ウエハ回収」を選択する、と
いったような作業が行われていた。
処理部での処理時間等の処理に関するデータや各処理部
間での基板の搬送時間等の基板搬送に関するデータを設
定入力したり、基板の処理プログラムなどの設定を行っ
たり、各種の操作を装置に指令するための指示を入力し
たりするのは、例えば装置の前面に引出しおよび収納可
能に設けられた操作パネル４を用いて行われる。操作パ
ネル４は、ディスプレイとキーボードとから構成されて
いる。そして、従来、操作パネルを入力装置として各種
の情報を装置制御用のマイクロコンピュータ（マイコ
ン）へ入力する場合、オペレータは、ディスプレイの画
面上に表示された設定メニューを見ながらキーボードの
キーを操作して必要なメニューを選択するようにしてい
た。例えば、ディスプレイの画面上に図３の（ａ）を示
すようなトップメニュ−が表示されると、オペレータ
は、その画面を見てキーボード上の「１」のキーを押し
て「オペレーション」を選択する。すると、画面上に図
３の（ｂ）に示すようなメニューが表示され、オペレー
タは、その画面を見てキーボード上の「２」のキーを押
して「装置オペレーション」を選択する。これにより、
画面上には図３の（ｃ）に示すようなメニューが表示さ
れるので、オペレータは、その画面を見てキーボード上
の「２」のキーを押して「ウエハ回収」を選択する、と
いったような作業が行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板処理装置の操作パネルにおけるように、ディスプレ
イの画面上に表示された設定メニューを見ながらキーボ
ードのキーを操作して入力を行う方法では、画面を見て
所望のメニューを選んだ後、キーボード上のどのキーを
押せばよいかを判断してからキーを押す、といった手順
となるため、入力作業に時間がかかり、また、押し間違
いも発生していた。
基板処理装置の操作パネルにおけるように、ディスプレ
イの画面上に表示された設定メニューを見ながらキーボ
ードのキーを操作して入力を行う方法では、画面を見て
所望のメニューを選んだ後、キーボード上のどのキーを
押せばよいかを判断してからキーを押す、といった手順
となるため、入力作業に時間がかかり、また、押し間違
いも発生していた。
【０００５】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、基板搬送手段を複数の基板処理部に
対して所定の順序で循環移動させながら複数の基板を１
枚ずつ基板搬送手段により各基板処理部へ順次搬送して
各基板処理部で基板に対し所要の処理をそれぞれ施す基
板処理装置において、情報の入力のための操作が容易
で、その操作に時間がかからず、かつ、入力間違いが発
生することも無い操作パネルを提供することを目的とす
る。
されたものであり、基板搬送手段を複数の基板処理部に
対して所定の順序で循環移動させながら複数の基板を１
枚ずつ基板搬送手段により各基板処理部へ順次搬送して
各基板処理部で基板に対し所要の処理をそれぞれ施す基
板処理装置において、情報の入力のための操作が容易
で、その操作に時間がかからず、かつ、入力間違いが発
生することも無い操作パネルを提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、複数の基板
を１枚ずつ複数の基板処理部へそれぞれ搬送して各基板
処理部で基板に対し所要の処理をそれぞれ施す基板処理
装置の操作パネルにおいて、複数の情報をそれぞれ文字
や図形で表示するディスプレイの画面に、指先を触れる
ことによってその接触位置を検知する透明電極マトリッ
クスを設け、前記ディスプレイの画面上に表示される複
数の情報のうち選択しようとする情報を、前記透明電極
マトリックスの、選択しようとする情報を表示した文字
や図形の位置に指先を触れて入力するようにしたことを
特徴とする。
を１枚ずつ複数の基板処理部へそれぞれ搬送して各基板
処理部で基板に対し所要の処理をそれぞれ施す基板処理
装置の操作パネルにおいて、複数の情報をそれぞれ文字
や図形で表示するディスプレイの画面に、指先を触れる
ことによってその接触位置を検知する透明電極マトリッ
クスを設け、前記ディスプレイの画面上に表示される複
数の情報のうち選択しようとする情報を、前記透明電極
マトリックスの、選択しようとする情報を表示した文字
や図形の位置に指先を触れて入力するようにしたことを
特徴とする。
【０００７】この発明に係る基板処理装置の操作パネル
により、各種の情報を装置制御用のマイコンへ入力する
場合には、オペレータは、ディスプレイの画面上に文字
や図形で表示された複数の情報を見てその中から所望の
情報を選び、画面上でその情報を表示している文字や図
形の位置に指先を触れるだけでよい。これにより、透明
電極マトリックスによって該接触位置が検知され、その
接触位置に対応する情報が入力される。
により、各種の情報を装置制御用のマイコンへ入力する
場合には、オペレータは、ディスプレイの画面上に文字
や図形で表示された複数の情報を見てその中から所望の
情報を選び、画面上でその情報を表示している文字や図
形の位置に指先を触れるだけでよい。これにより、透明
電極マトリックスによって該接触位置が検知され、その
接触位置に対応する情報が入力される。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図１を参照しながら説明する。
について図１を参照しながら説明する。
【０００９】この発明に係る基板処理装置の操作パネル
は、いわゆるＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃａｉ Ｕｓｅｒ
Ｉｎｔｅｒｆａｃｅの略。パソコンの画面上にアイコン
（絵文字）などの視覚的に判断しやすい表示を出して、
それを走査することによってソフトウェアを利用するこ
とができるシステム。）と、いわゆるタッチパネル（画
面の表示部分に直接触れることで、その部分を選択する
ことができる機能を持つパネル。）とを組み合わせた構
成を有する。すなわち、この操作パネルは、ＣＲＴ等の
ディスプレイの画面に、指先を触れることによってその
接触位置を検知する透明電極マトリックスを設けて構成
され、デイスプレイの画面には、図１に１例を示すよう
に、複数の情報がそれぞれ文字や図形で表示される。図
１に示したディスプレイの画面１０では、基板処理装置
のインデクサ部、搬送部、熱処理部（加熱処理部および
冷却処理部）、コーティング処理部、現像処理部および
インタフェース部（図２参照）の平面配置図１２が表示
されている。その他、画面１０には、「原点復帰実行」
や「原点復帰中止」などの文字が表示された複数の矩形
枠表示部１４、「全体ステータス表示エリア」や「ブザ
ーストップ」などの文字が表示された複数の矩形枠表示
部１６、「手動操作」、「ウエハ回収」、「搬送停止／
モジュール停止」などの文字が表示された複数のタブ表
示部１８、「ロット処理」、「レシピ編集」、「メンテ
ナンス」、「各種パラメータ設定」、「アラームサマリ
ー」などの文字が表示された複数のタブ表示部２０など
が区画して表示されている。
は、いわゆるＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｉｃａｉ Ｕｓｅｒ
Ｉｎｔｅｒｆａｃｅの略。パソコンの画面上にアイコン
（絵文字）などの視覚的に判断しやすい表示を出して、
それを走査することによってソフトウェアを利用するこ
とができるシステム。）と、いわゆるタッチパネル（画
面の表示部分に直接触れることで、その部分を選択する
ことができる機能を持つパネル。）とを組み合わせた構
成を有する。すなわち、この操作パネルは、ＣＲＴ等の
ディスプレイの画面に、指先を触れることによってその
接触位置を検知する透明電極マトリックスを設けて構成
され、デイスプレイの画面には、図１に１例を示すよう
に、複数の情報がそれぞれ文字や図形で表示される。図
１に示したディスプレイの画面１０では、基板処理装置
のインデクサ部、搬送部、熱処理部（加熱処理部および
冷却処理部）、コーティング処理部、現像処理部および
インタフェース部（図２参照）の平面配置図１２が表示
されている。その他、画面１０には、「原点復帰実行」
や「原点復帰中止」などの文字が表示された複数の矩形
枠表示部１４、「全体ステータス表示エリア」や「ブザ
ーストップ」などの文字が表示された複数の矩形枠表示
部１６、「手動操作」、「ウエハ回収」、「搬送停止／
モジュール停止」などの文字が表示された複数のタブ表
示部１８、「ロット処理」、「レシピ編集」、「メンテ
ナンス」、「各種パラメータ設定」、「アラームサマリ
ー」などの文字が表示された複数のタブ表示部２０など
が区画して表示されている。
【００１０】上記したような操作パネルを入力装置とし
て装置制御用のマイコンへ、基板処理装置を構成してい
る各処理部での処理時間等の処理に関するデータや各処
理部間での基板の搬送時間等の基板搬送に関するデータ
を設定入力したり、基板の処理プログラムなどの設定を
行ったり、各種の操作を装置に指令するための指示を入
力したりするときは、オペレータは、ディスプレイの画
面１０上に表示された平面配置図１２や矩形枠表示部１
４、１６、タブ表示部１８、２０の文字を見てその中か
ら所望の情報を選び、画面上でその情報を表示している
区画に指先を触れるようにする。すると、ディスプレイ
の画面に設置された透明電極マトリックスにより、指先
の接触区画が検知され、その接触区画に対応する情報が
入力される。例えば、平面配置図１２の「ＳＤ」の区画
を押すと、画面に現像処理部の設定メニューが表示さ
れ、また、「ウエハ回収」のタブ表示部１８を押すと、
マイコンから「ウエハ回収」の指令信号が出力される。
て装置制御用のマイコンへ、基板処理装置を構成してい
る各処理部での処理時間等の処理に関するデータや各処
理部間での基板の搬送時間等の基板搬送に関するデータ
を設定入力したり、基板の処理プログラムなどの設定を
行ったり、各種の操作を装置に指令するための指示を入
力したりするときは、オペレータは、ディスプレイの画
面１０上に表示された平面配置図１２や矩形枠表示部１
４、１６、タブ表示部１８、２０の文字を見てその中か
ら所望の情報を選び、画面上でその情報を表示している
区画に指先を触れるようにする。すると、ディスプレイ
の画面に設置された透明電極マトリックスにより、指先
の接触区画が検知され、その接触区画に対応する情報が
入力される。例えば、平面配置図１２の「ＳＤ」の区画
を押すと、画面に現像処理部の設定メニューが表示さ
れ、また、「ウエハ回収」のタブ表示部１８を押すと、
マイコンから「ウエハ回収」の指令信号が出力される。
【００１１】
【発明の効果】この発明に係る基板処理装置の操作パネ
ルを用いると、装置制御用のマイコンへの各種情報の入
力が、ディスプレイの画面上に表示された複数の情報を
見てその中から所望の情報を表示している文字や図形の
位置に指先を触れるだけの簡単な操作で行うことがで
き、このため、入力操作に時間がかからず、かつ、入力
間違いが発生することも無くなる。
ルを用いると、装置制御用のマイコンへの各種情報の入
力が、ディスプレイの画面上に表示された複数の情報を
見てその中から所望の情報を表示している文字や図形の
位置に指先を触れるだけの簡単な操作で行うことがで
き、このため、入力操作に時間がかからず、かつ、入力
間違いが発生することも無くなる。
【図１】この発明に係る基板処理装置の操作パネルのデ
イスプレイの画面上の表示例を示す図である。
イスプレイの画面上の表示例を示す図である。
【図２】基板処理装置の構成例を示す全体斜視図であ
る。
る。
【図３】従来の操作パネルのディスプレイの画面上の表
示例を示す図であって、従来の操作パネルの問題点を説
明するための図である。
示例を示す図であって、従来の操作パネルの問題点を説
明するための図である。
１０ ディスプレイの画面 １２ 基板処理装置の平面配置図 １４、１６ 矩形枠表示部 １８、２０ タブ表示部
Claims (1)
- 【請求項１】 基板搬送手段を複数の基板処理部に対し
て所定の順序で循環移動させながら複数の基板を１枚ず
つ基板搬送手段により各基板処理部へ順次搬送して各基
板処理部で基板に対し所要の処理をそれぞれ施す基板処
理装置の操作パネルにおいて、 複数の情報をそれぞれ文字や図形で表示するディスプレ
イの画面に、指先を触れることによってその接触位置を
検知する透明電極マトリックスを設け、前記ディスプレ
イの画面上に表示される複数の情報のうち選択しようと
する情報を、前記透明電極マトリックスの、選択しよう
とする情報を表示した文字や図形の位置に指先を触れて
入力するようにしたことを特徴とする基板処理装置の操
作パネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14723797A JPH10321697A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 基板処理装置の操作パネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14723797A JPH10321697A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 基板処理装置の操作パネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10321697A true JPH10321697A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=15425685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14723797A Pending JPH10321697A (ja) | 1997-05-20 | 1997-05-20 | 基板処理装置の操作パネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10321697A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007173305A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Nitto Denko Corp | 復旧支援装置 |
| JP2009164633A (ja) * | 2009-04-15 | 2009-07-23 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 被処理体の処理装置 |
-
1997
- 1997-05-20 JP JP14723797A patent/JPH10321697A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007173305A (ja) * | 2005-12-19 | 2007-07-05 | Nitto Denko Corp | 復旧支援装置 |
| JP2009164633A (ja) * | 2009-04-15 | 2009-07-23 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 被処理体の処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050609 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050621 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050818 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051213 |