JPH0464702A - フラッパ速度フィードバックを有したノズル―フラッパ型サーボバルブ - Google Patents
フラッパ速度フィードバックを有したノズル―フラッパ型サーボバルブInfo
- Publication number
- JPH0464702A JPH0464702A JP17450090A JP17450090A JPH0464702A JP H0464702 A JPH0464702 A JP H0464702A JP 17450090 A JP17450090 A JP 17450090A JP 17450090 A JP17450090 A JP 17450090A JP H0464702 A JPH0464702 A JP H0464702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flapper
- servo valve
- coil
- nozzle
- armature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 19
- 238000013016 damping Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Servomotors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、フラッパ速度フィードバンクを有したノズル
フラッパ型サーボバルブに関するものである。
フラッパ型サーボバルブに関するものである。
例えば、上部磁極５１、アマチュア５２、下部磁極５３
、及びコイル５４等からなる入力電流をフラッパの変位
に変換するトルクモータ部と、フレクチャーチューブ、
ノズル５５、フラッパ５６等からなるフラッパ変位を油
圧の圧力差に変換する油圧前段増幅部と、ブッシング、
スプール５７、インレフトフィルター、ドレンユニオン
、エンドキャップ、インレフトオリフィス等からなる主
回路の流量を制御する主スプール部の三つの部分から構
成されている、第６図及び第７図（第７図はサーボバル
ブの作動原理図）に示す如くのサーボバルブは良く知ら
れている。 尚、第６図中、Ｃ，、Ｃ，は制御ボート、Ｐ、は供給ボ
ート、Ｒは戻りボートである。 そして、この種のサーボバルブの作動原理は次の通りで
ある。 ■ 指令信号５８（目標値）がサーボバルブに与えられ
ると、コイル５４に電流が流れ、アマチュア５２に磁気
的極性が与えられる。 ■ アマチュア５２は、上下磁極５１．５３の磁気的関
係により、入力電流の大きさと極性に応して発生したト
ルクによって傾り。 ■ 左右ノズル５５の中間に位置していたフラッパ５６
はアマチュア５２と一体の為に、このアマチュア５２の
傾きに連動して変位し、左右ノズル５５とフラッパ５６
との間のオリフィスの絞り量が変化し、フラッパ５６が
近づいた方のノズルの背圧Ｐ２が上昇し、逆に、遠ざか
る方のノズルの背圧Ｐ、が下降する。即ち、Ｐ＋ ＜ｐ
、の関係になる。 ■ このノズルの背圧は、スプール５７の両端面に作動
圧力がかかり、圧力の低い左側へスプール５７が変位す
る。（主回路において、供給ボートＰ、から制御ポート
Ｃｚへ作動オイルが流れる。）■ スプール５７の一端
に配設されたＬＶＤＴ５９は、内蔵アンプ６０に組み込
まれたオシレーターデモシュレータアンプ６１を介して
スプール変位を電気的に検出する。 ■ 検出された信号は、フィードバック信号６２として
、指令信号５８（目標値）と付き合わされ、サーボアン
プ６３に入力される。 ■ サーボアンプ６３によって、これらの信号５８．６
２を常に比較し、偏差がＯになるまでの（スプールが所
定の位置の達成するまで）偏差信号６４としてコイル５
４に入力され、指令信号５８の極性と大きさとによって
比例するサーボバルブのスプールを制御し、弁開度が保
たれていた。 ところで、上記タイプのサーボバルブにあっては、トル
クモータが第８図に示したような共振特性の電気フィー
ドバックサーボバルブであり、高応答とする場合、トル
クモータ部の二次振動によって安定性が著しく低下して
しまい、この結果、第９図（ａ）及び（ｂ）で示される
ような周波数応答特性のものとなっている。 そこで、このような特性を改善する為、トルクモータ部
内にシリコンオイルを封入し、ダンピング効果を高める
試みがなされたが、このような技術思想のものでは、温
度変化によってシリコンオイルの粘度が変化する為、サ
ーボバルブのスプールの制御が困難になることがある。
、及びコイル５４等からなる入力電流をフラッパの変位
に変換するトルクモータ部と、フレクチャーチューブ、
ノズル５５、フラッパ５６等からなるフラッパ変位を油
圧の圧力差に変換する油圧前段増幅部と、ブッシング、
スプール５７、インレフトフィルター、ドレンユニオン
、エンドキャップ、インレフトオリフィス等からなる主
回路の流量を制御する主スプール部の三つの部分から構
成されている、第６図及び第７図（第７図はサーボバル
ブの作動原理図）に示す如くのサーボバルブは良く知ら
れている。 尚、第６図中、Ｃ，、Ｃ，は制御ボート、Ｐ、は供給ボ
ート、Ｒは戻りボートである。 そして、この種のサーボバルブの作動原理は次の通りで
ある。 ■ 指令信号５８（目標値）がサーボバルブに与えられ
ると、コイル５４に電流が流れ、アマチュア５２に磁気
的極性が与えられる。 ■ アマチュア５２は、上下磁極５１．５３の磁気的関
係により、入力電流の大きさと極性に応して発生したト
ルクによって傾り。 ■ 左右ノズル５５の中間に位置していたフラッパ５６
はアマチュア５２と一体の為に、このアマチュア５２の
傾きに連動して変位し、左右ノズル５５とフラッパ５６
との間のオリフィスの絞り量が変化し、フラッパ５６が
近づいた方のノズルの背圧Ｐ２が上昇し、逆に、遠ざか
る方のノズルの背圧Ｐ、が下降する。即ち、Ｐ＋ ＜ｐ
、の関係になる。 ■ このノズルの背圧は、スプール５７の両端面に作動
圧力がかかり、圧力の低い左側へスプール５７が変位す
る。（主回路において、供給ボートＰ、から制御ポート
Ｃｚへ作動オイルが流れる。）■ スプール５７の一端
に配設されたＬＶＤＴ５９は、内蔵アンプ６０に組み込
まれたオシレーターデモシュレータアンプ６１を介して
スプール変位を電気的に検出する。 ■ 検出された信号は、フィードバック信号６２として
、指令信号５８（目標値）と付き合わされ、サーボアン
プ６３に入力される。 ■ サーボアンプ６３によって、これらの信号５８．６
２を常に比較し、偏差がＯになるまでの（スプールが所
定の位置の達成するまで）偏差信号６４としてコイル５
４に入力され、指令信号５８の極性と大きさとによって
比例するサーボバルブのスプールを制御し、弁開度が保
たれていた。 ところで、上記タイプのサーボバルブにあっては、トル
クモータが第８図に示したような共振特性の電気フィー
ドバックサーボバルブであり、高応答とする場合、トル
クモータ部の二次振動によって安定性が著しく低下して
しまい、この結果、第９図（ａ）及び（ｂ）で示される
ような周波数応答特性のものとなっている。 そこで、このような特性を改善する為、トルクモータ部
内にシリコンオイルを封入し、ダンピング効果を高める
試みがなされたが、このような技術思想のものでは、温
度変化によってシリコンオイルの粘度が変化する為、サ
ーボバルブのスプールの制御が困難になることがある。
本発明の目的は、温度変化に対しても常に安定した高応
答のノズル−フラッパ型サーボバルブを提供することに
ある。 この本発明の目的は、トルクモータ部と油圧前段増幅部
と主スプール部とを具備したフラッパ速度フィードバッ
クを有したノズル−フラッパ型サーボバルブであって、
トルクモータ部のアマチュア部に少なくとも一つの駆動
コイルと検出コイルとが設けられ、前記駆動コイル、ア
マチュア及び磁界の作用により発生した逆起電力を前記
検出コイルにより検出できる構成となし、前記検出コイ
ルにより検出した検出信号をインナーループ回路に供給
し、前記駆動コイルに加わる信号を制御するよう構成し
たことを特徴とするフラッパ速度フィードバックを有し
たノズル−フラッパ型サーボバルブによって達成される
。 尚、上記のフラッパ速度フィードバックを有したノズル
−フラッパ型サーボバルブにおいて、進み−遅れ補償回
路がサーボバルブ増幅器と並列に配設されてなるものが
望ましい。 ■実施例】 第１図〜第５図は本発明に係るフラッパ速度フィードバ
ックを有したノズル−フラッパ型サーボバルブの１実施
例を示すもので、第１図はフラッパ速度フィードバック
を有したノズル−フラッパ型サーボバルブの概略図、第
２図はフラッパ速度フィードバックを有したノズル−フ
ラッパ型サーボバルブのブロック図、第３図（ａ）、（
ｂ）は本発明になるサーボバルブにおけるトルクモータ
単体の周波数特性を示すグラフ、第４図（ａ）。 （ｂ）は本発明のサーボバルブの安定性を示す周波数特
性のグラフ、第５図は進み−遅れ補償をかけて得た場合
の本発明のサーボバルブの周波数特性を示すグラフであ
る。 このサーボバルブは、上部磁極１、アマチュア２、下部
磁極３、駆動用のコイル４ａ、及び検出用のコイル４ｂ
等を備えたトルクモータ部と、フレクチャーチューブ５
、ノズル６、フラッパ７等を備えたフラッパ変位を油圧
の圧力差に変換する油圧前段増幅部と、ブッシング８、
スプール９、インレフトフィルター１０、ドレンユニオ
ン１１、エンドキャップ１２、インレフトオリフィス１
３等を備えた主回路の流量を制御する主スプール部の三
つの構成部を有している。 又、油圧系には制御ポートＣＩ 、 Ｃｚ 、供給ボ
ートＰｓ、戻りポートＲが構成されている。 即ち、本発明のサーボバルブは、トルクモータ部におけ
る複数のコイルのうち一方は、例えばコイル４ａを駆動
コイルとして、他方のコイル４ｂを検出コイルとして用
いる点に最大の特徴がある。 従って、指令信号がサーボバルブに与えられると、トル
クモータ部の駆動コイル４ａに電流が流れ、その電流に
比例したトルクが発生し、アマチュア２を回転させる。 この時、検出コイル４ｂに発生する逆起電力がフラッパ
７と一体であるアマチュア２の速度に比例する関係にあ
るから、アマチュア２の回転速度を検出することになる
。 それ故、この検出コイル４ｂにより検出した逆起電力の
信号を応用すれば、高応答のノズル−フラッパ型サーボ
バルブが得られることになる。 尚、図中、１４は指令信号、１５は増幅器、１６は増幅
器１５と直列に配設されてなる進み−遅れ補償回路、１
７はインナーループ増幅器、１８は油圧前段増幅部、１
９はコイル４ｂに発生したフラッパ速度信号、２０はＬ
ＶＤＴからのフィードバック信号、２１は微分器、２２
はインナーループフィードバックゲイン、２３はインナ
ーループ回路、２４はスプール端積分器、２５はＬＶＤ
Ｔである。 次に、上記のように構成させたフラッパ速度フィードバ
ンクを有したノズルーフラ・７ノマ型サーボバルブの作
動原理を説明する。 ■ 指令信号１４（目標（Ｉりがサーボバルブに与えら
れると、コイル４ａに電流が流れ、アマチュア２に磁気
的極性が与えられる。 ■ このアマチュア２は、上部磁極１、下部磁極３の磁
気的関係により、入力ｉｉ流の大きさと極性に応して発
生したトルクによって傾く。 ■ 左右ノズル６の中間に位置していたフランパフは、
アマチュア２と一体の為にアマチュア２の傾きに連動し
て変位し、左右ノズル６とフラッパ７との間のオリフィ
スの絞り量が変化し、フラッパ７が近づいた方のノズル
の前圧Ｐ２が上昇し、逆に、遠ざかる方のノズルの背圧
Ｐ、が下降する。 即ち、Ｐ＋＜Ｐｇの関係になる。 ■ このノズルの背圧は、スプール９の両端面に作動圧
力がかかり、圧力の低い左側へスプール９が変位する。 （主回路において、供給ポートＰ。 から制御ボートＣｔへ作動オイルは流れる。）■ スプ
ール９の一端には、ＬＶＤＴ２５が配設されており、オ
シレーターデモシュレータアンプを介してスプール変位
が電気的に検出される。 ■ 第２図のブロック図でも明らかな如く、この検出信
号がフィードバック信号２０として指令信号１４（目標
値）と付き合わされ、この結果得られた偏差信号２６が
インナーループ回路２３に供給される。 ■ トルクモータ部の検出コイル４ｂにより逆起電力が
検出され、フラッパ速度が検出される。ここで検出され
たフラッパ信号１９は増幅器を経てインナーループ回路
２３内でフィードバンクされる。そして、フィードバッ
クされたフラッパ信号１９が偏差信号２６と付き合わさ
れ、駆動コイル４ａに入力される。 ■ 増幅器１５によって、これらの信号が常に比較され
、偏差が零になるまでの（スプールが所定の位置の達成
するまで）偏差信号としてコイル４ａに入力され、指令
信号１４の極性と大きさとによって比例するサーボバル
ブのスプールの位置が制御され、弁開度が保たれるので
ある。 ところで、第２図の点２７を切離してトルクモータ入力
信号のみ供給し、トルクモータ単体の周波数特性を第３
図に示したが、これによればインナーループフィードバ
ックゲインの調整により、ダンピング効果が確認でき、
そしてダンピングの効いたトルクモータがサーボバルブ
の安定化に大きく寄与していることが第４図より理解で
きる。 又、第５図に示す如く、進み−遅れ補償回路を設けた場
合には、第４図に示した場合よりも一層安定化している
ことが理解される。
答のノズル−フラッパ型サーボバルブを提供することに
ある。 この本発明の目的は、トルクモータ部と油圧前段増幅部
と主スプール部とを具備したフラッパ速度フィードバッ
クを有したノズル−フラッパ型サーボバルブであって、
トルクモータ部のアマチュア部に少なくとも一つの駆動
コイルと検出コイルとが設けられ、前記駆動コイル、ア
マチュア及び磁界の作用により発生した逆起電力を前記
検出コイルにより検出できる構成となし、前記検出コイ
ルにより検出した検出信号をインナーループ回路に供給
し、前記駆動コイルに加わる信号を制御するよう構成し
たことを特徴とするフラッパ速度フィードバックを有し
たノズル−フラッパ型サーボバルブによって達成される
。 尚、上記のフラッパ速度フィードバックを有したノズル
−フラッパ型サーボバルブにおいて、進み−遅れ補償回
路がサーボバルブ増幅器と並列に配設されてなるものが
望ましい。 ■実施例】 第１図〜第５図は本発明に係るフラッパ速度フィードバ
ックを有したノズル−フラッパ型サーボバルブの１実施
例を示すもので、第１図はフラッパ速度フィードバック
を有したノズル−フラッパ型サーボバルブの概略図、第
２図はフラッパ速度フィードバックを有したノズル−フ
ラッパ型サーボバルブのブロック図、第３図（ａ）、（
ｂ）は本発明になるサーボバルブにおけるトルクモータ
単体の周波数特性を示すグラフ、第４図（ａ）。 （ｂ）は本発明のサーボバルブの安定性を示す周波数特
性のグラフ、第５図は進み−遅れ補償をかけて得た場合
の本発明のサーボバルブの周波数特性を示すグラフであ
る。 このサーボバルブは、上部磁極１、アマチュア２、下部
磁極３、駆動用のコイル４ａ、及び検出用のコイル４ｂ
等を備えたトルクモータ部と、フレクチャーチューブ５
、ノズル６、フラッパ７等を備えたフラッパ変位を油圧
の圧力差に変換する油圧前段増幅部と、ブッシング８、
スプール９、インレフトフィルター１０、ドレンユニオ
ン１１、エンドキャップ１２、インレフトオリフィス１
３等を備えた主回路の流量を制御する主スプール部の三
つの構成部を有している。 又、油圧系には制御ポートＣＩ 、 Ｃｚ 、供給ボ
ートＰｓ、戻りポートＲが構成されている。 即ち、本発明のサーボバルブは、トルクモータ部におけ
る複数のコイルのうち一方は、例えばコイル４ａを駆動
コイルとして、他方のコイル４ｂを検出コイルとして用
いる点に最大の特徴がある。 従って、指令信号がサーボバルブに与えられると、トル
クモータ部の駆動コイル４ａに電流が流れ、その電流に
比例したトルクが発生し、アマチュア２を回転させる。 この時、検出コイル４ｂに発生する逆起電力がフラッパ
７と一体であるアマチュア２の速度に比例する関係にあ
るから、アマチュア２の回転速度を検出することになる
。 それ故、この検出コイル４ｂにより検出した逆起電力の
信号を応用すれば、高応答のノズル−フラッパ型サーボ
バルブが得られることになる。 尚、図中、１４は指令信号、１５は増幅器、１６は増幅
器１５と直列に配設されてなる進み−遅れ補償回路、１
７はインナーループ増幅器、１８は油圧前段増幅部、１
９はコイル４ｂに発生したフラッパ速度信号、２０はＬ
ＶＤＴからのフィードバック信号、２１は微分器、２２
はインナーループフィードバックゲイン、２３はインナ
ーループ回路、２４はスプール端積分器、２５はＬＶＤ
Ｔである。 次に、上記のように構成させたフラッパ速度フィードバ
ンクを有したノズルーフラ・７ノマ型サーボバルブの作
動原理を説明する。 ■ 指令信号１４（目標（Ｉりがサーボバルブに与えら
れると、コイル４ａに電流が流れ、アマチュア２に磁気
的極性が与えられる。 ■ このアマチュア２は、上部磁極１、下部磁極３の磁
気的関係により、入力ｉｉ流の大きさと極性に応して発
生したトルクによって傾く。 ■ 左右ノズル６の中間に位置していたフランパフは、
アマチュア２と一体の為にアマチュア２の傾きに連動し
て変位し、左右ノズル６とフラッパ７との間のオリフィ
スの絞り量が変化し、フラッパ７が近づいた方のノズル
の前圧Ｐ２が上昇し、逆に、遠ざかる方のノズルの背圧
Ｐ、が下降する。 即ち、Ｐ＋＜Ｐｇの関係になる。 ■ このノズルの背圧は、スプール９の両端面に作動圧
力がかかり、圧力の低い左側へスプール９が変位する。 （主回路において、供給ポートＰ。 から制御ボートＣｔへ作動オイルは流れる。）■ スプ
ール９の一端には、ＬＶＤＴ２５が配設されており、オ
シレーターデモシュレータアンプを介してスプール変位
が電気的に検出される。 ■ 第２図のブロック図でも明らかな如く、この検出信
号がフィードバック信号２０として指令信号１４（目標
値）と付き合わされ、この結果得られた偏差信号２６が
インナーループ回路２３に供給される。 ■ トルクモータ部の検出コイル４ｂにより逆起電力が
検出され、フラッパ速度が検出される。ここで検出され
たフラッパ信号１９は増幅器を経てインナーループ回路
２３内でフィードバンクされる。そして、フィードバッ
クされたフラッパ信号１９が偏差信号２６と付き合わさ
れ、駆動コイル４ａに入力される。 ■ 増幅器１５によって、これらの信号が常に比較され
、偏差が零になるまでの（スプールが所定の位置の達成
するまで）偏差信号としてコイル４ａに入力され、指令
信号１４の極性と大きさとによって比例するサーボバル
ブのスプールの位置が制御され、弁開度が保たれるので
ある。 ところで、第２図の点２７を切離してトルクモータ入力
信号のみ供給し、トルクモータ単体の周波数特性を第３
図に示したが、これによればインナーループフィードバ
ックゲインの調整により、ダンピング効果が確認でき、
そしてダンピングの効いたトルクモータがサーボバルブ
の安定化に大きく寄与していることが第４図より理解で
きる。 又、第５図に示す如く、進み−遅れ補償回路を設けた場
合には、第４図に示した場合よりも一層安定化している
ことが理解される。
本発明に係るフラッパ速度フィードバックを有したノズ
ル−フラッパ型サーボバルブは、トルクモータ部と油圧
前段増幅部と主スプール部とを具備したフラッパ速度フ
ィードバックを有したノズルーフランバ型サーボバルブ
であって、トルクモータ部のアマチュア部に少なくとも
一つの駆動コイルと検出コイルとが設けられ、前記駆動
コイル、アマチュア及び磁界の作用により発生した逆起
電力を前記検出コイルにより検出できる構成となし、前
記検出コイルにより検出した検出信号をインナーループ
回路に供給し、前記駆動コイルに加わる信号を制御する
よう構成してなるので、温度変化に影響されることなく
常に一定のダンピング効果が得られ、安定した高応答性
のものとなる等の特長を有する。
ル−フラッパ型サーボバルブは、トルクモータ部と油圧
前段増幅部と主スプール部とを具備したフラッパ速度フ
ィードバックを有したノズルーフランバ型サーボバルブ
であって、トルクモータ部のアマチュア部に少なくとも
一つの駆動コイルと検出コイルとが設けられ、前記駆動
コイル、アマチュア及び磁界の作用により発生した逆起
電力を前記検出コイルにより検出できる構成となし、前
記検出コイルにより検出した検出信号をインナーループ
回路に供給し、前記駆動コイルに加わる信号を制御する
よう構成してなるので、温度変化に影響されることなく
常に一定のダンピング効果が得られ、安定した高応答性
のものとなる等の特長を有する。
第１図〜第５図は本発明に係るフラッパ速度フィードパ
・ンクを有したノズル−フラッパ型サーボバルブの１実
施例を示すもので、第１図はフラ・ンパ速度フィードバ
ックを有したノズル−フラッパ型サーボバルブの概略図
、第２図はフラッパ速度フィードバックを有したノズル
−フラッパ型サーボバルブのブロック図、第３図（ａ）
、（ｂ）は本発明になるサーボバルブにおけるトルクモ
ータ単体の周波数特性を示すグラフ、第４図（ａ）。 （ｂ）は本発明のサーボバルブの安定性を示す周波数特
性のグラフ、第５図は進み−遅れ補償をかけて得た場合
の本発明のサーボバルブの周波数特性を示すグラフであ
り、第６図及び第７図は従来のサーボバルブの説明図、
第８図はトルクモータの周波数特性を示すグラフ、第９
図は従来のサーボバルブの周波数特性を示すグラフであ
る。 １・・・上部磁極、２・・・アマチュア、３・・・下部
磁極、４ａ・・・駆動用のコイル、４ｂ・・・検出用の
コイル、５・・・フレクチャーチューブ、６・・・ノズ
ル、７・・・フラッパ、８・・・ブッシング、９・・・
スプール、１０・・・インレフトフィルター １１・・・ドレンユニオン、１２・・・エンドキャップ
、１３・・・インレットオリフィス、１４・・・指令信
号、１５・・・増幅器、１６・・・進み−遅れ補償回路
、１７・・・インナーループ増幅器、 １８・・・油圧前段増幅部、 １９・・・フラッパ速度信号、 ２０・・・フィードバック信号、２１・・・微分器、２
２・・・インナーループフィードバックゲイン、２３・
・・インナーループ回路、 ２４・・・スプール端積分器、２５・・・ＬＶＤＴ、２
６・・・偏差信号。 第３図 特許出願人 日本ムーグ株式会社
・ンクを有したノズル−フラッパ型サーボバルブの１実
施例を示すもので、第１図はフラ・ンパ速度フィードバ
ックを有したノズル−フラッパ型サーボバルブの概略図
、第２図はフラッパ速度フィードバックを有したノズル
−フラッパ型サーボバルブのブロック図、第３図（ａ）
、（ｂ）は本発明になるサーボバルブにおけるトルクモ
ータ単体の周波数特性を示すグラフ、第４図（ａ）。 （ｂ）は本発明のサーボバルブの安定性を示す周波数特
性のグラフ、第５図は進み−遅れ補償をかけて得た場合
の本発明のサーボバルブの周波数特性を示すグラフであ
り、第６図及び第７図は従来のサーボバルブの説明図、
第８図はトルクモータの周波数特性を示すグラフ、第９
図は従来のサーボバルブの周波数特性を示すグラフであ
る。 １・・・上部磁極、２・・・アマチュア、３・・・下部
磁極、４ａ・・・駆動用のコイル、４ｂ・・・検出用の
コイル、５・・・フレクチャーチューブ、６・・・ノズ
ル、７・・・フラッパ、８・・・ブッシング、９・・・
スプール、１０・・・インレフトフィルター １１・・・ドレンユニオン、１２・・・エンドキャップ
、１３・・・インレットオリフィス、１４・・・指令信
号、１５・・・増幅器、１６・・・進み−遅れ補償回路
、１７・・・インナーループ増幅器、 １８・・・油圧前段増幅部、 １９・・・フラッパ速度信号、 ２０・・・フィードバック信号、２１・・・微分器、２
２・・・インナーループフィードバックゲイン、２３・
・・インナーループ回路、 ２４・・・スプール端積分器、２５・・・ＬＶＤＴ、２
６・・・偏差信号。 第３図 特許出願人 日本ムーグ株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 トルクモータ部と油圧前段増幅部と主スプール部とを具
備したフラッパ速度フィードバックを有したノズル−フ
ラッパ型サーボバルブであって、 トルクモータ部のアマチュア部に少なくとも一つの駆動
コイルと検出コイルとが設けられ、前記駆動コイル、ア
マチュア及び磁界の作用により発生した逆起電力を前記
検出コイルにより検出できる構成となし、 前記検出コイルにより検出した検出信号をインナールー
プ回路に供給し、前記駆動コイルに加わる信号を制御す
るよう構成したことを特徴とするフラッパ速度フィード
バックを有したノズル−フラッパ型サーボバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17450090A JPH0464702A (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | フラッパ速度フィードバックを有したノズル―フラッパ型サーボバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17450090A JPH0464702A (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | フラッパ速度フィードバックを有したノズル―フラッパ型サーボバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0464702A true JPH0464702A (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=15979586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17450090A Pending JPH0464702A (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | フラッパ速度フィードバックを有したノズル―フラッパ型サーボバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0464702A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2230408A2 (en) | 2009-03-18 | 2010-09-22 | Nabtesco Corporation | Valve unit |
| WO2018198355A1 (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-01 | ピー・エス・シー株式会社 | フィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁 |
| JP2023110700A (ja) * | 2022-01-28 | 2023-08-09 | ピー・エス・シー株式会社 | 気体圧サーボ弁 |
-
1990
- 1990-07-03 JP JP17450090A patent/JPH0464702A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2230408A2 (en) | 2009-03-18 | 2010-09-22 | Nabtesco Corporation | Valve unit |
| JP2010216595A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Nabtesco Corp | バルブユニット |
| US8302629B2 (en) | 2009-03-18 | 2012-11-06 | Nabtesco Corporation | Valve unit |
| WO2018198355A1 (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-01 | ピー・エス・シー株式会社 | フィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁 |
| JP6492229B1 (ja) * | 2017-04-28 | 2019-03-27 | ピー・エス・シー株式会社 | フィードバックばねを用いた気体圧サーボ弁 |
| JP2023110700A (ja) * | 2022-01-28 | 2023-08-09 | ピー・エス・シー株式会社 | 気体圧サーボ弁 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20060117942A1 (en) | Hydraulic control circuit and method thereof | |
| US4422470A (en) | Flow limiting valve | |
| JP2007503560A (ja) | 可変容量形可逆油圧モータの調整圧力供給 | |
| JP2865728B2 (ja) | 比例弁 | |
| JPH0464702A (ja) | フラッパ速度フィードバックを有したノズル―フラッパ型サーボバルブ | |
| JP4500604B2 (ja) | パワーステアリング装置 | |
| JP2903909B2 (ja) | 建設機械の制御回路 | |
| US3520318A (en) | Controller with asymmetrical feedback time constant | |
| JP3525491B2 (ja) | 油圧アクチュエータ回路 | |
| EP1464563B1 (en) | Flow controlling apparatus | |
| JPS5868504A (ja) | 電気油圧サ−ボ装置 | |
| JPS6383407A (ja) | 油圧制御弁 | |
| JP2630298B2 (ja) | 直動形サーボ弁並びに圧延機 | |
| JPH11230401A (ja) | 比例電磁式方向流量制御弁及びその制御装置 | |
| JPH09273502A (ja) | 建設機械のハンチング防止回路 | |
| JPS638072A (ja) | パワ−ステアリング装置 | |
| JP2000194420A (ja) | サ―ボ制御システム | |
| US4867041A (en) | Vortex amplifier driven actuator spool | |
| JPS6188006A (ja) | 圧力制御回路 | |
| JP3095755B2 (ja) | 閉ループ制御増幅器を有する比例弁 | |
| JP2711410B2 (ja) | 可変容量形ポンプの制御装置 | |
| JP2533782Y2 (ja) | ロードセンシング油圧回路装置 | |
| JPH0515584Y2 (ja) | ||
| JP2920883B2 (ja) | 油圧アクチュエータ駆動回路 | |
| JP2000211539A (ja) | 流量制御装置 |