JPH046510A - 顕微鏡用対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、紫外域、特に波長３００ｎｓ以下の遠紫外
域においても使用可能な顕微鏡用対物レンズに関する。

（従来の技術とその課題） 従来から周知のように、顕微鏡において、その対物レン
ズの開口数（ＮＡ）が同一である場合には、波長が短く
なるにしたがって解像限界が上昇し、試料の細部にわた
って観察することができる。また、試料に紫外線を照射
した場合には、可視光線を照射した場合に比べより強度
の大きな蛍光が放出されることが多い。したがって、顕
微鏡により試料を観察してより多くの情報をｉ′−４る
ために、紫外域においても使用することができる顕微鏡
を提供することが望まれる。そのためには、紫外域や遠
紫外域でも使用することができる対物レンズか必要とな
る。

そこで、従来より紫外域や遠紫外域において使用可能な
対物レンズとして、例えば第６図に示す顕微鏡用対物レ
ンズが採用されていた。第６図はこの顕微鏡用対物レン
ズ７０の構成を示す図である。この対物レンズ７０は、
光波術］ンタクト誌Ｖｏ１．２５　Ｎｏ、２（１９８７
年２月）Ｐ、１３７に記載されたものである。

同図に示すように、この対物レンズ７０は、物体側（同
図の左側）から結像側（同図の右側）に向けて順次配列
された蛍石製の第１レンズ７１第２および第３レンズ群
７２．７３により構成されている。第２レンズ群７２は
石英製の凹レンズ７２ａを蛍石製の凸レンズ７２ｂ、７
２ｃて挾んで接合したものである。また、第３レンズ群
７３は、第２レンズ群７２と同様に、石英製の凹レンズ
７３ａを蛍石製の凸レンズ７３ｂ、７３ｃで挾んで接合
したものである。

この対物レンズ７０ては、各レンズ７１．７２ａ〜７２
ｃ、７３ａ〜７３ｃは、いずれも石英製あるいは蛍石製
であるため、紫外線や遠紫外線を透過できる。したがっ
て、対物レンズ７０は紫外域や遠紫外域でも使用可能で
ある。

しかも、第２レンズ群７２は石英製の凹レンズ７２ａと
蛍石製の凸レンズ７２ｂ、７２ｃとで構成され、また第
３レンズ群７３は石英製の凹レンズ７３ａと蛍石製の凸
レンズ７３　ｂ、　７３　ｃとで構成されているので、
色収差の補正を行うこともできる。

ところで、第２レンズ群７２においては、凸レンズ７２
ｂ、凹レンズ７２ａおよび凸レンズ７２Ｃの相互間がオ
プチカルコンタクトされている。

また、第３レンズ群７３においても、凸レンズ７３ｂ、
凹レンズ７３ａおよび凸レンズ７３ｃの相互間がオプチ
カルコンタクトされている。その理由は、現時点におい
て、遠紫外線を透過する実用的な接着剤が存在しないか
らである。このため、レンズ接合面での全反射が無いよ
うにするためには、接合面をオプチカルコンタクトする
しか方法はない。したがって、各接合面を高精度に加工
することが要求され、対物レンズ７０の製造コストが増
大するという問題がある。

そこで、本願発明者は上記問題を解消した顕微鏡用対物
レンズを先の出願（特開平１−３１９７１９号公報およ
び特開平１−３１９７２０号公報で、以下、単に「先の
出願」と称する。）において提案した。第７図はこの提
案にかかる顕微鏡用対物レンズの１例を示す図である。

この提案例によれば、顕微鏡用対物レンズ６０は石英製
あるいは蛍石製のレンズ６１〜６３により構成されてい
る。そして、これらの第１ないし第３レンズ６１〜６３
は、同図に示すように、物体側（同図の左側）から像側
（同図の右側）にこの順序で所定の空気間隔をもって配
列されている。したがって、この顕微鏡用対物レンズ６
０は紫外域や遠紫外域において使用可能である。しかも
、各レンズ６１〜６３は相互に離隔されている、言い換
えればこの対物レンズ６０ては、貼り合わせ面が存在し
ない。したがって、この顕微鏡用対物レンズ６０ては、
オプチカルコンタクトにすることが不要となり、上記問
題が解消される。

ところで、第７図に示す対物レンズ６０は、結像レンズ
（その詳細な構成は後で述べる）と協働して物体の像を
所定の結像倍率Ｍをもって結像レンズの焦点面に結像す
るような構成をとっている。

この時の結像倍率Ｍは、結像レンズの焦点距離ｆ２と対
物レンズ６０の焦点距離ｆ１との比となる。

すなわち、結像倍率Ｍは、 Ｍ−−ｆ２／ｆ１　　　　　・・・（１）となる。

また、顕微鏡では、通常結像レンズを固定しておき、対
物レンズを交換して、結像倍率Ｍを変化させているが、
そのために、相互に異なった焦点距離をもった対物レン
ズを用意する必要がある。

例えば、第７図に示した対物レンズ６０を、ある対物レ
ンズと交換して結像倍率を２倍にする場合について考え
てみる。

この場合、（１）式かられかるように、結像倍率を２倍
にするためには、焦点距離が（ｆ１／２）の対物レンズ
を用意する必要がある。ここで、単に焦点距離を（ｆ、
／２）に設定するだけであれば、例えば対物レンズ６０
を比例縮小すればよい。

しかしながら、対物レンズ６０を１／２倍にした対物レ
ンズと交換したときには、その瞳の位置を固定している
限り、対物レンズから物体までの距離も１７２倍にする
必要があり、対物レンズの交換後、ピントを合わせ直す
必要が生じる。これは、顕微鏡の操作性を著しく低下さ
せるものであり、好ましいものではない。逆に、物体位
置を固定すると瞳の位置が動いてしまうため、固定した
照明系では照明状態が変わってしまい好ましくない。

また、上記対物レンズの交換により、瞳の大きさも１７
２倍になり、固定した照明系では使用する光量が少なく
なる。

したがって、対物レンズの交換によって結像倍率を２倍
にする場合には、交換後の対物レンズが、（１）焦点距
離が対物レンズ６０のｌ／２倍てあり、（２）対物レン
ズの交換後も、ピントを合わせ直す必要のない、すなわ
ち対物レンズ６０と同焦点となっており、 （３）シかも瞳の位置と大きさが対物レンズ６０のそれ
とほぼ等しい、 という条件を備えることが求められる。

（発明の目的） この発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、上記
した先の出願にかかる対物レンズとは別の構成によって
、紫外域や遠紫外域においても使用可能な顕微鏡用対物
レンズを低コストで提供することを第１の目的とする。

また、この発明は、結像レンズと協働して物体の像を所
定の結像倍率をもって焦点面上に結像する上記した先の
出願の対物レンズに対し、その焦点距離がほぼ１／２倍
で、しかも同焦点となっており、瞳の位置と大きさがほ
ぼ等しい顕微鏡用対物レンズを提供することを第２の目
的とする。

（目的を達成するための手段） 請求項１記載の発明は、上記第１の目的を達成するため
に、物体側から像側へ、第１ないし第５レンズをこの順
序に所定の空気間隔をもって配列している。これら第１
ないし第５レンズのうち、前記第１レンズは石英製また
は蛍石製で物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであ
り、前記第２レンズは石英製で物体側に凸面を向けた負
のパワーを有するメニスカスレンズであり、前記第３お
よび第５レンズはともに蛍石製で正のパワーを有し、前
記第４レンズは石英製で負のパワーを有している。

上記第１の目的をより良く達成するために、請求項１の
発明に加え、前記第２ないし第５レンズのパワーをそれ
ぞれφ　、φ　、φ　、φ　、前記第２および第３レン
ズからなる合成系のパワーをφ　、前記第４および第５
レンズからなる合成系のパワーをφ　、全系のパワーを
φとするとき、前記対物レンズでは、 ２．１　＜　ｌφ　／φ２｜＜２．７ ０．８５＜　　Ｉ　φ５／φ４｜＜（１，４５１，８５
＜　ｌφ２３／φ　ｌ＜２．２５０．８３＜　　ｌ　　
φ４５／φ　　ｌ＜０．８９で示される不等式が満足さ
れている。

また、請求項３記載の発明は、結像レンズと協働して、
物体の像を所定の結像倍率をもって結像レンズの焦点面
上に結像する対物レンズと交換可能であり、しかも前記
対物レンズに代えて前記結像レンズと組合せて使用され
たときに、結像倍率をほぼ倍増させる顕微鏡用対物レン
ズに向けられたものである。

そして、上記第２の目的を達成するために、物体側から
像側へ、第１ないし１５レンズをこの順序に所定の空気
間隔をもって配列している。これら第１ないし第５レン
ズのうち、前記第１レンズは石英製または蛍石製で物体
側に凹面を向けたメニスカスレンズであり、前記第２レ
ンズは石英製で物体側に凸面を向けた負のパワーを有す
るメニスカスレンズであり、前記第３および第５レンズ
はともに蛍石製で正のパワーを有し、前記第４レンズは
石英製で負のパワーを有している。

しかも、前記第２ないし第５レンズのパワーをそれぞれ
φ　、φ８．φ４．φ５、前記第２および第３レンズか
らなる合成系のパワーをφ２３、前記第４および第５レ
ンズからなる合成系のパワーをφ　、全系のパワーをφ
とするとき、前記対物レンズでは、 ２．１　＜　ｌφ　／φ２｜＜２．７ ０．３５＜　　ｌ　　φ　　／φ４｜＜０．４５１．８
５＜　１−φ２３／φ　ｌ＜２．２５０、［ｉ３＜　　
ｌ　　φ４５／φ　　ｌ＜０．６９で示される不等式が
満足されている。

（作用） 請求項１の発明によれば、第２および第４レンズはいず
れも石英製であり、第３および第５レンズはともに蛍石
製であり、また第１レンズは石英製または蛍石製である
。したがって、紫外域あるいは遠紫外域の光が当該対物
レンズを透過可能であり、紫外域および遠紫外域におい
て使用することができる。

また、前記第１ないし第５レンズは所定の空気間隔をも
って相互に離隔されている。そのため、オプチカルコン
タクトの必要がなくなり、当該対物レンズを低コストで
提供することができる。

特に、前記第２ないし第５レンズのパワーをそれぞれφ
　、φ３．φ４．φ５、前記第２および第３レンズから
なる合成系のパワーをφ　、前記ｊ１１４および第５レ
ンズからなる合成系のパワーをφ　、全系のパワーをφ
とするとき、当該対物レンズが、 ２．１　＜　Ｉφ　／φ２｜＜２．７　　　　　　・・
・（２）０．１５＜　　Ｉ　　φ　　／φ４｜＜０．４
５　　　　　　・・・（３）１．８５＜　　ｌ　　φ２
３／φ　　ｌ＜２．２５　　　　　　・・・（４）０．
６８＜　　ｌ　φ４５／φ　　ｌ　＜　０．６９　　　
　　　・・・（５）で示される不等式を満足する場合に
は、球面収差。

色収差等がより、良好なものとなる。

その理由は、値１φ　／φ２１が２．７よりも大きくな
ると、収差補正が不足（アンダー）するからである。逆
に、値Ｉφ８／φ２１が２．１よりも小さくなると、収
差補正が過剰（オーバー）となるからである。

また、値１φ　／φ４１が０．４５よりも大きくなると
、収差補正が不足（アンダー）するからである。逆に、
値１φ　／φ４１が０．３５よりも小さくなると、収差
補正が過剰（オーバー）となるからである。

また、値Ｉφ２３／φ　１が２．２５よりも大きくなる
と、収差補正が不足（アンダー）するからである。逆に
、゛値１φ２３／φ　１が１．８５よりも小さくなると
、収差補正が過剰（オーバー）となるからである。

さらに、値１φ４５／φ　１が０．６９よりも大きくな
ると、収差補正が過剰（オーバー）となるからである。

逆に、値１φ４５／φ　Ｉが０．６３よりも小さくなる
と、収差補正が不足（アンダー）するからである。

請求項３の発明によれば、当該対物レンズがいわゆるア
ミチ型の変形タイプとなっているために、瞳径を変化さ
せることなく、当該対物レンズの焦点距離を被交換用の
先の出願の対物レンズのほぼ半分にすることがてき、そ
の結果、結像倍率を２倍にてきる。ここで、当該対物レ
ンズが純粋なアミチ型と相違する点は、最も物体側に配
置されたレンズ（第１レンズ）がメニスカスレンズとな
っている点である。これは、このメニスカスレンズにア
ブラナチックな性格とフィールドフラットナーの性格と
を持たせて積極的に収差補正を行うためである。なお、
特に当該対物レンズをテレセレトリック系とする場合に
は、このメニスカスレンズが負のパワーを有するように
設定するのが望ましい。

また、当該対物レンズが不等式（２）〜（５）を満足す
る場合には、球面収差等がより良好なものとなる。なお
、その理由については、上記と同様である。

さらに、上記のように、当該対物レンズの焦点距離は被
交換用の先の出願の対物レンズのほぼ半分であるため、
焦点距離が短くなったのに対応して当該対物レンズの主
点間隔が先の出願の対物レンズより大きくなるように、
当該対物レンズを設計すれば、当該対物レンズの同焦点
距離が先の出願の対物レンズと一致する。この主点間隔
の量は、同焦点距離のおよそ１／３て、焦点距離と同し
てあり、量としては小さな値である。したがって、請求
項３の発明にかかる対物レンズによれば、当該対物レン
ズと先の出願の対物レンズとを同焦点にすることは容易
である。

（実施例） Ａ、第１実施例 第１図はこの発明にかかる顕微鏡用対物レンズの第１実
施例を示す図である。同図に示すように、この対物レン
ズ１０は第１ないし第５レンズ１１〜１５により構成さ
れている。これら第１ないし第５レンズ１１〜１５は、
物体側（同図の左側）から像側（同図の右側）へこの順
序に所定の空気間隔をもって配列されている。

第２レンズ１２は物体側に凹面１１ａを向けたメニスカ
スレンズである。また、第２レンズ１２は物体側に凸面
１２ａを向けた負のパワーを有するメニスカスレンズで
ある。さらに、第３および第５レンズ１３．１５はとも
に正のパワーを有する一方、第４レンズ１４は負のパワ
ーを有している。

第１表は、上記のように構成された対物レンズ１０のレ
ンズデータを示すものである。

第１表 なお、同表（および後で説明する第３表）において、ｒ
ｌは物体側から数えてｉ番目（ｉ−１〜１０）のレンズ
面の曲率半径を、またｄｌは物体側から数えてｉ番目（
ｉ−１〜９）のレンズ面と（ｉ＋１）番目のレンズ面と
の光軸Ｚ上のレンズ面間距離を示すものである。また、
同表かられがるように、第１．第２および第４レンズ１
１．１２．１４はいずれも石英製であり、第３および第
５レンズ１３．１５はともに蛍石製である。

また、対物レンズ１ｏの焦点距離ｆは１５であり、開口
数（Ｎ＾）はｌ／６てあり、像サイズは１０．８である
。

また、波長２９８．０１３（ｎｇ）に対する、第１ない
し第５レンズ１１〜１５のパワーφ　、φ２．φ３゜φ
　、φ５は、それぞれ以下の通りである。

φ、　−−０，０４５４４，＜６２−−０．０８２４７
φ３−０．２１４２　、　　　　φ４−−０．２５０７
φ５−０．１００５ また、第２および第３レンズ１２．１３からなる合成系
のパワーφ２３と、第４および第５レンズ１４．１５か
らなる合成系のパワーφ４５と、全系（対物レンズ１０
）のパワーφとは、それぞれφ２ｓ−０，１４３６、φ
４５−−０．０４３２５゜φ　　−０，０８８６７ である。

したがって、上記データから、 φ　／φ２１−２．５９７ φ５／φ４１−０．４０１０ φ２３／φ　　ｌ−２，１５４ φ４５／φ　　ｌ　−０，６４８７ がそれぞれ求まり、対物レンズ１ｏが不等式（２）〜（
５）をそれぞれ満足していることは明らかである。

ところで、この対物レンズ１ｏは落射照明型顕微鏡に適
用することを考慮して、いわゆる無限遠補正系としてい
る。すなわち、以下に説明する結像レンズと組合せて、
物体の像を所定の結像面に結像するように構成されてい
る。

〈結像レンズ〉 第２図は結像レンズの構成を示す図であり、先の出願に
おいて示された結像レンズと同一のものである。同図に
示すように、結像レンズ５ｏは、第１ないし第３レンズ
５１〜５３により構成されている。これら第１ないし第
３レンズ５１〜５３は、物体側（同図の左側）から像側
（同図の右側）へこの順序に所定の空気間隔をもって配
列されている。

第２表は、上記のように構成された結像レンズ５０のレ
ンズデータを示すものである。

第２表 なお、同表において、Ｒ，は物体側から数えて１番目（
ｉ−１〜６）のレンズ面の曲率半径を、またＤｌは物体
側から数えてｉ番目（１−１〜５）のレンズ面と（ｉ＋
１）番目のレンズ面との光軸Ｚ上のレンズ面間距離を示
すものである。また、同表かられかるように、第３レン
ズ５２は蛍石製てあり、第２および第３レンズ５２．５
３は石英製である。また、この結像レンズ５０の焦点距
離ｆ′は３００である。

したがって、この結像レンズ５０と上記第１実施例１に
かかる対物レンズ１０とからなる顕微鏡の結像倍率Ｍは
、 Ｍ　−−ｆ　’　／　ｆ　−−３００／１５−−２０．
０となる。

第３Ａ図および第３Ｂ図は、それぞれ対物レンズ１０と
結像レンズ５０とを組合せたレンズ系の球面収差および
正弦条件を示す図である。なお、両図（および後で説明
する第５Ａ図、第５Ｂ図）において、符号Ａ−Ｄはそれ
ぞれ波長２９８．０８（ｎｍ）。

２０２．５４（ｒ＋ｍ）、　３９８．８４（ｎｍ）、　
２５３．７０（ｎｍ）の光についての結果を示している
。

第３Ｃ図およ、び第３Ｄ図は、それぞれ波長２９８゜０
６（ｎａ）についての非点収差および歪曲収差を示す図
である。なお、第２Ｃ図（および後で説明する第５Ｃ図
）において、実線Ｓはサジタル像面を、また破線Ｍはメ
リジオナル像面を示している。

第３Ａ図および第３Ｂ図から、この対物レンズ１０によ
れば、紫外域および遠紫外域の光に対して収差が少ない
ことかわかる。したがって、この対物レンズ１０を紫外
域や遠紫外域において使用可能であることは明らかであ
る。また、第３Ｃ図および第３Ｄ図から、対物レンズ１
０を用いたレンズ系の非点収差および歪曲収差も少ない
ことが明らかである。

Ｂ、第２実施例 第４図はこの発明にかかる顕微鏡用対物レンズの第２実
施例を示す図である。この第２実施例にかかる対物レン
ズ２０は、対物レンズ１０と基本的に同一の構成をとっ
ている。すなわち、対物レンズ２０は、物体側（同図の
左側）から像側（同図の右側）へこの順次に所定の空気
間隔をもって配列された第１ないし第５レンズ２１〜２
５により構成されている。

第３表は、この対物レンズ２０のレンズデータを示すも
のである。

第３表 なお、同表かられかるように、第２および第４レンズ２
２．２４はいずれも石英製であり、第１゜第３および第
５レンズ２１，２３．２５はともに蛍石製である。

また、対物レンズ１０の焦点距離ｆは１５てあり、開口
数（ＮＡ）は１／６てあり、像サイズはｌ０１８である
。

また、波長２９８．０６（ｎａ）に対する、第２ないし
第５レンズ２２〜２５のパワーφ　、φ３．φ４φ５は
、それぞれ以下の通りである。

φ、　−−０，０２２４２，φ２−−０．０９０６８φ
　−０，２０７５、φ４−−０．２２０８φ５−０．０
８９２７ また、第２および第３レンズ２２．２３からなる合成系
のパワーφ　と、第４および第５レンズ２４．２５から
なる合成系のパワーφ４５と、全系（対物レンズ２０）
のパワーφは、それぞれφ　＝　０．１３０４　、　　
　φ４５−−０．０４４６６φ　−０，０１３６６７ である。

したがって、上記データから、 φ　／φ２１−２．２８８ φ　／φ４１−０．４０４３ φ２３／φ　ｌ−１，９５６ φ４５／φ　ｌ　−０，６［ｉ９９ がそれぞれ求まり、対物レンズ２０が不等式（２）〜（
５）をそれぞれ満足していることは明らかである。

この対物レンズ２０についても、第１実施例と同様に、
いわゆる無限遠補正系として、第２図に示す結像レンズ
５０と組合せされる。したがって、この結像レンズ５０
と上記第２実施例にかかる対物レンズ２０とからなる顕
微鏡の結像倍率Ｍも、Ｍ　−−ｆ　’　／　ｆ　−−８
００／１５−−２０．０となる。

第５Ａ図および第５Ｂ図は、それぞれ対物レンズ２０と
結像レンズ５０とを組合せたレンズ系の球面収差および
正弦条件を示す図である。また、第５Ｃ図および第５Ｄ
図は、それぞれ波長２９８．０６（ｎｗ）についての非
点収差および歪曲収差を示す図である。

第５Ａ図および第５Ｂ図から、この対物レンズ２０によ
れば、紫外域および遠紫外域の光に対して収差が少ない
ことがわかる。したがって、この対物レンズ２０を紫外
域や遠紫外域において使用可能であることは明らかであ
る。また、第５Ｃ図および第５Ｄ図から、対物レンズ２
０を用いたレンズ系の非点収差および歪曲収差が少ない
ことが明らかである。

Ｃ６第１および第２実施例の効果 以上のように、第１および第２実施例にかかる対物レン
ズ１０．２０は紫外域や遠紫外域において使用可能であ
り、これらの波長領域において優れた特性を有している
。また、いずれの実施例においても、第１ないし第５レ
ンズは相互に離隔されている。そのため、オプチカルコ
ンタクトの必要はなくなり、対物レンズを低コストで提
供することができる。

なお、上記においては、特に説明しなかったが、いずれ
の実施例も、可視域および赤外域においてもいずれの収
差も少なく、各対物レンズ１０．２０を赤外域から遠紫
外域の範囲において使用可能であることか確認された。

ところで、本願発明者が先に開示した、先の出願にかか
る対物レンズ６０（第７図）は結像レンズ５０と組合さ
れて、結像倍率Ｍが一１０倍のレンズ系を構成している
。すなわち、対物レンズ６０の焦点距離は３０である。

これに対して、上記実施例にかかる対物レンズ１０．２
０の焦点距離はいずれも１５である。したがって、結像
レンズ５０を固定しておき、例えば第１実施例の対物レ
ンズ１０を対物レンズ６０と交換することによって、結
像倍率Ｍを一１０倍から一２０倍に変化させることがで
きる。

しかも、対物レンズ１０．２０はいずれも対物レンズ６
０と同焦点になっている。その結果、対物レンズの交換
（例えば、対物レンズ６ｏがら対物レンズ１０への交換
）後も、ピントを合わせ直す必要がなくなり、顕微鏡の
操作性が向上する。

その上、各対物レンズ１０．２０の瞳径は対物レンズ６
０とほぼ同程度となっている。したがって、レンズ交換
によっても、物体を照明する光量に大きな変化は認めら
れず、良好な状態で物体の観察を行うことができる。

すなわち、上記実施例にかがる対物レンズ１０゜２０は
いずれも本願の第２の目的に合致する対物レンズといえ
る。

（発明の効果） 以上のように、請求項１の発明によれば、石英製または
蛍石製の第１レンズと、石英製の第２レンズと、蛍石製
の第３レンズと、石英製の第４レンズと、蛍石製の第５
レンズとを、物体側から像側へ、この順序に所定の空気
間隔をもって配列しているために、当該対物レンズを紫
外域や遠紫外域において使用することができる。

また、各レンズは所定の空気間隔をもって相互に離隔さ
れているために、オプチカルコンタクトの必要がなくな
り、当該対物レンズを安価に提供することができる。

特に、請求項２の発明では、当該対物レンズが不等式（
２）〜（５）を満足しているので、球面収差や色収差等
をより良好なものとすることができる。

請求項３の発明によれば、当該対物レンズをいわゆるア
ミチ型の変形タイプとしているので、瞳径を変化させる
ことなく、当該対物レンズの焦点距離を被交換用の先の
出願の対物レンズのほぼ半分にすることができ、結像倍
率を２倍にすることができる。

また、当該対物レンズの焦点距離は被交換用の先の出願
の対物レンズのほぼ半分であるが、容易に当該対物レン
ズを、先の出願の対物レンズと同焦点にすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明にかがる顕微鏡用対物レンズの第１
実施例を示す図であり、 第２図は、結像レンズの構成を示す図であり、第３Ａ図
、第３Ｂ図、第３ｃ図および第３Ｄ図は、それぞれ第１
図に示す対物レンズと上記結像レンズとを組合せたレン
ズ系の球面収差、正弦条件、非点収差および歪曲収差を
示す図であり、第４図は、この発明にががる顕微鏡用対
物レンズの第２実施例を示す図であり、 第５Ａ図、第５Ｂ図、第５ｃ図および第５Ｄ図は、それ
ぞれ第４図に示す対物レンズと上記結像レンズとを組合
せたレンズ系の球面収差、正弦条件、非点収差および歪
曲収差を示す図であり、第６図および第７図は、それぞ
れ従来の顕微鏡用対物レンズの構成を示す図である。 １０．２０・・・対物レンズ、 １１．２１・・・第１レンズ、 １１ａ、２１ａ・・・凹面、 １２．２２・・・第２レンズ、 １２ａ、　　２２Ｂ・・・凸面、 １３．２３・・・第３レンズ、 １４．２４・・・第４レンズ、 １５．２５・・・第５レンズ、 ５０・・・結像レンズ、 ６０・・・対物レンズ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）物体側から像側へ、第１ないし第５レンズをこの
   順序に所定の空気間隔をもって配列してなり、前記第１
   レンズは石英製または蛍石製で物体側に凹面を向けたメ
   ニスカスレンズであり、前記第２レンズは石英製で物体
   側に凸面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズ
   であり、前記第３および第５レンズはともに蛍石製で正
   のパワーを有し、前記第４レンズは石英製で負のパワー
   を有することを特徴とする顕微鏡用対物レンズ。 （２）前記第２ないし第５レンズのパワーをそれぞれφ
   ＿２、φ＿３、φ＿４、φ＿５、前記第２および第３レ
   ンズからなる合成系のパワーをφ＿２＿３、前記第４お
   よび第５レンズからなる合成系のパワーをφ＿４＿５、
   全系のパワーをφとするとき、２．１＜｜φ＿３／φ＿
   ２｜＜２．７ ０．３５＜｜φ＿５／φ＿４｜＜０．４５ １．８５＜｜φ＿２＿３／φ｜＜２．２５ ０．６３＜｜φ＿４＿５／φ｜＜０．６９ を満足する請求項１記載の顕微鏡用対物レンズ。 （３）結像レンズと協働して物体の像を所定の結像倍率
   をもって結像面上に結像する対物レンズと交換可能であ
   り、しかも前記対物レンズに代えて前記結像レンズと組
   合せて使用されたときに、結像倍率をほぼ倍増させる顕
   微鏡用対物レンズであって、 物体側から像側へ、第１ないし第５レンズをこの順序に
   所定の空気間隔をもって配列してなり、前記第１レンズ
   は石英製または蛍石製で物体側に凹面を向けたメニスカ
   スレンズであり、前記第２レンズは石英製で物体側に凸
   面を向けた負のパワーを有するメニスカスレンズであり
   、前記第３および第５レンズはともに蛍石製で正のパワ
   ーを有し、前記第４レンズは石英製で負のパワーを有す
   るとともに、 前記第２ないし第５レンズのパワーをそれぞれφ＿２、
   φ＿３、φ＿４、φ＿５、前記第２および第３レンズか
   らなる合成系のパワーをφ＿２＿３、前記第４および第
   ５レンズからなる合成系のパワーをφ＿４＿５、全系の
   パワーをφとするとき、 ２．１＜｜φ＿３／φ＿２｜＜２．７ ０．３５＜｜φ＿５／φ＿４｜＜０．４５ １．８５＜｜φ＿２＿３／φ｜＜２．２５ ０．６３＜｜φ＿４＿５／φ｜＜０．６９ を満足することを特徴とする顕微鏡用対物レンズ。