JPH046623A - 磁気ディスクの加工方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、外部記憶媒体として使用される磁気ディスク
の表面を平滑に研磨して塵埃や微小突起物等の浮上障害
物を取り除くためのバーニッシュ処理等のような加工方
法および装置に関する。

従来の技術 従来のこの種の磁気ディスクのバーニッシュ処理は、例
えば特開昭６１−２０３２５９号公報に記載されている
ように、磁気ディスクを回転軸に固定して高速回転させ
ながら、研磨テープを流体噴出ノズルから噴出させた圧
縮空気により磁気ディスクの表面に圧接して研磨するよ
うになっている。

第４図には前記従来の加工方法の基本構成が示されてい
る。第４図において、１は回転軸となるスピンドルであ
り、磁気ディスク円板２がこのスピンドルｌにチャック
等の手段により把持されて高速回転される。３は移動手
段となる駆動アームであり、その先端に支持部材４を介
して柔軟質材からなるパッド５が取り付けられている。

このパッド５には、磁気ディスク円板２に対向する面に
向けて末広がりのスリット状ノズル６が形成されており
、このノズル６は支持部材４を通じて圧縮空気源７に接
続されている。８は研磨テープであり、繰り出しリール
９から繰り出されてパッド５に被せられ、巻取りリール
１０に巻取られる。

なお、１１．１２はガイドローうである。

第４図において、磁気ディスク円板２がスピンドル１に
より高速回転され、圧縮空気源７から圧縮空気をパット
５のスリット状ノズル６を通じて噴出させると、各リー
ル９，１０間に捲回された研磨テープ８のノズル６に対
応する部分が空気圧により押圧されて撓み、これが磁気
ディスク円板２表面に対し線状に圧接する。そして駆動
アーム３でパッド５およびこのパッド５上を摺接する研
磨テープ８が磁気ディスク円板２上を半径方向に移動さ
れ、磁気ディスク円板２の表面全体が研磨され、浮上障
害物が取り除かれる。

発明が解決しようとする課題 このような磁気ディスクの加工方法では、構造上スピン
ドル１の磁気ディスク円板２に対する保持部分１ａが小
さいため、第５図に示すように、磁気ディスク円板２が
回転軸中心ｅに対し傾斜して面振れする場合が多い。し
かしながら、従来のこの種装置では、パット５．支持部
材４．駆動アーム３に磁気ディスク円板２の面振れによ
る動きを能動的に補償する手段がなく、研磨テープ８の
可撓性、すなわち撓み量だけに依存してこれを補償して
いた。どのため、パッド５と磁気ディスク円板２表面と
の間の距離りが増大すると、研磨テープ８の両端で圧縮
空気のリークが急激に増加するので、研磨テープ８に対
する一定の押圧力が得られず、磁気ディスク円板２の加
工面に均一性を欠くことになる。このような現象は回転
軸中心ｅから遠ざかる程著しい。

また、スピンドル１の保持部分１ａか大きくできたとし
ても、薄いアルミニウム等を使用した磁気ディスク円板
２に対し、スリット状ノズル６による圧縮空気の吹き出
しでは研磨テープ８の圧接状態が線接触であったり面接
触であったりして不安定になり、高品位な加工を実現す
ることができない。

本発明は、このような従来の問題を解決するものであり
、磁気ディスクの表面全体を均一に加工して高品位な加
工面を実現することのできる磁気ディスクの加工方法お
よび装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 本発明は前記目的を達成するために、磁気ディスク表面
との距離を検出する検出手段と、この検出手段を保持し
て磁気ディスクの回転軸に対し垂直な平面上で磁気ディ
スクの回転中心に対して研磨テープの磁気ディスク表面
に対する圧接点と同一距離の任意の点上に移送して位置
決めする手段と、検出手段により得られた磁気ディスク
表面までの距離情報に応じて流体噴出ノズルを研磨テー
プの圧接点に対する離間距離が一定になるように移動し
て位置決めする手段とを備えたものである。

さらには、流体噴出ノズルに多数の気孔を有するポーラ
ス状のノズルを用いた構成としてもよい。

作用 本発明は前記のような構成により、次のような作用を有
する。すなわち、磁気ディスクの被加工面が回転軸に対
し面振れしている場合において、検出手段によるディス
ク表面との距離情報に基づき、流体噴出ノズルの研磨テ
ープの圧接点に対する離間距離を一定に保つことにより
、流体噴出ノズルから噴出する流体の研磨テープ両端か
らのリーク量をほぼ一定にすることができ、流体の研磨
テープに対する押圧が安定して磁気ディスク表面に対し
均一な研磨加工を実現することができる。

さらに、流体噴出ノズルを多数の気孔を有するポーラス
状のノズルで構成することにより、研磨テープに対し広
い面を均一に押圧することができ、研磨テープが磁気デ
ィスク表面に対しより広い接触面で圧接することができ
る。したがって、安定した加工状態を実現することがで
き、磁気ディスクの品位を向上させることができる。

実施例 第１図は本発明の一実施例の基本構成を示すものである
。第１１１ｆｆｌにおいて、２１はスピンドルであり、
磁気ディスク円板２２がこのスピンドル２１にチャック
等の手段により保持されて高速回転される。２３は駆動
アームであり、先端に支持部材２４を介して流体噴出ノ
ズル２５を取り付けられ、流体噴出ノズル２５を磁気デ
ィスク円板２２の半径方向に対応する矢印Ｃ方向に移動
させる手段と、さらに後述するギャップ検出器３２によ
る距離情報に応じてスピンドル２１の軸方向に対応する
矢印Ｚ方向に移送して位置決めする手段とを備えている
。流体噴出ノズル２５は、例えば焼結材による多数の気
孔を有するポーラス状のノズルであり、全面的に通気可
能になっており、支持部材２４を通じて圧縮空気源２６
に接続されている。２７は研磨テープであり、繰り出し
り−ル２８から繰り出され、ガイドローラ２９．３０間
に張り渡されて駆動アーム２３先端の支持部材２４およ
び流体噴出ノズル２５に沿って被せられ、巻取りリール
３１による巻取りによって流体噴出ノズル２５上を摺接
するようになっている。３２は検出手段となるギャップ
検出器であり、磁気ディスク円板２２上に一定の基準距
離ｈ２だけ離間して配置され、磁気ディスク円板２２表
面との距離を検出する。３３は二のギャップ検出器３２
を磁気ディスク円板２２の半径方向に対応する矢印ｄ方
向に移動させて位置決めする手段となる移動アーム、３
４はギャップ検出器３２のための保持部材であり、ギャ
ップ検出器３２を、スピンドル２１の回転軸中心ｅに対
し垂直な平面上を基準とし研磨テープ２７の磁気ディス
ク円板２２表面に対する中心圧接点ｆとスピンドル２１
の回転軸中心ｅに対して同一距離ｒの任意の点ｇ上に移
送して位置決めする。この実施例の場合、予め中心圧接
点ｆと検出点ｇとの位相差を１８０°と設定し、磁気デ
ィスク円板２２表面がスピンドル２１の回転軸中心ｅに
垂直な状態において、ギャップ検出器３２の磁気ディス
ク円板２２表面までの基準距離、すなわち検出点ｇまで
の基準距離をｈ２と設定するとともに、流体噴出ノズル
２５の研磨テープ２７による中心圧接点ｆに対する基準
の離間距離をｈｌと設定する。

次に前記実施例の動作について、第２図および第３図を
参照して説明する。なお、各部の運転中、磁気ディスク
円板２２は面振れしており、第２図では研磨テープ２７
による磁気ディスク円板２２に対する中心圧接点ｆが流
体噴出ノズル２５との基準の離間距離ｈ１に対し、距離
ｈ８だけ下がった状態を示し、第３図では第２図とは逆
に流体噴出ノズル２５の基準の離間距離ｈ１に対し距離
ｈ４だけ上がった状態を示している。磁気ディスク円板
２２の面振れは、このような状態を繰り返すことになる
。

前記実施例において、磁気ディスク円板２２がスピンド
ル２１により高速回転され、駆動アーム２３が磁気ディ
スク円板２２上を矢印ｃ１方向に移動する。同時に、圧
縮空気源２６がらは圧縮空気が送られ、ポーラス状の流
体噴出ノズル２５を通じて噴出され、この空気圧の押圧
により、各リール２８．３１間に捲回された研磨テープ
２７が磁気ディスク円板２２表面に対し平面的に圧接し
て研磨する。さらに、これらの動作と並行し、駆動アー
ム２３による研磨テープ２７の中心圧接点ｆの移動に追
従して、ギャップ検出器３２か駆動アーム３３により回
転軸中心ｅに対して中心圧接点ｆと同一距離の点ｇに位
置するように、矢印ｄ１方向に向けて移送され、位置決
めされる。

ここで、磁気ディスク円板２２０面振れが第２図に示す
ような状態では、流体噴出ノズル２５と磁気ディスク円
板２２表面における研磨テープ２７の中心圧接点ｆとの
距離が基準の離間距離ｈ１に対して距離６８分だけ長く
なっており、逆にギャップ検出器３２による検出点ｇに
おける検出距離が前述した基準距離ｈ２よりもｈ８だけ
短くなる。これがギャップ検出器３２により検出され、
この検出情報に基き、１８０°の位相差を補正した上で
、流体噴出ノズル２５を支持する駆動アーム２３が距離
）１ａだけＺ１方向に降下する。これにより流体噴出ノ
ズル２５の磁気ディスク円板２２表面に対する基準の離
間距離１１１が一定に確保される。

また、二の面振れが第３図に示すような状態では、流体
噴出ノズル２５と磁気ディスク円板２２表面における研
磨テープ２７の中心圧接点ｆとの距離が基準の離間距離
ｈＩに対し距離６４分たけ短くなっており、逆に距離検
出点ｇにおける検出距離が基準距離ｈ２よりもｈ４だけ
長くなる。これが同様にギャップ検出器３２により検出
され、この検出情報に基き、１８０°の位相差を補正し
た上で、流体噴出ノズル２５を支持する駆動アーム２３
が距離ｈ４だけＺ２方向に上昇する。これにより流体噴
出ノズル２５の磁気ディスク円板２２表面に対する基準
の離間距離ｈ１が一定に確保される。

このように本実施例によれば、磁気ディスク円板２２の
回転軸に対し垂直な平面上を基準とし、研磨テープ２７
の磁気ディスク円板２２表面に対する圧接点ｆと磁気デ
ィスク円板２２の回転軸中心ｅに対して同一距離の点で
磁気ディスク円板２２表面までの距離を検出して磁気デ
ィスク円板２２の面振れ状態を計測し、この面振れの状
態に応じて流体噴出ノズル２５の研磨テープ２７の圧接
点ｆに対する離間距離を一定に保持するようにしたので
、ディスク円板２２が面振れしていても、研磨テープ２
７からの圧縮空気のリーク量がほぼ一定で圧縮空気の研
磨テープ２７に対する押圧力を安定させることができ、
研磨テープ２７の撓み量を一定にすることができる。し
たがって、磁気ディスク円板２２表面全体に均一で品質
のよいバーニッシュ加工を実現することができる。また
この実施例では、流体噴出ノズル２５を焼結材によるポ
ーラス状ノズルとしたことにより、研磨テープ２７に対
し広い平面で均一に押圧をかけることができ、磁気ディ
スク円板２２表面に対する接触面が大きくなり加工タク
トも向上し、ディスク円板２２表面をより品位の高い加
工面とすることができる。

なお、本実施例では、圧接点ｆと検出点ｇとの位相差を
１８０°としたが、他の位相差であってもその位相差を
補正して噴出ノズル２５の位置決めを制御する手段を設
けることにより、位相差を任意とすることができる。

また、流体噴出ノズル２５をポーラス状のノズルとして
例示したが、従来例に示すようなスリット状ノズルを用
いても同様の作用効果を得ることができる。

発明の効果 本発明は前記実施例から明らかなように、磁気ディスク
の回転軸に対し垂直な平面上を基準とし、研磨テープの
磁気ディスク円板表面に対する圧接点と磁気ディスクの
回転中心に対して同一距離の点で磁気ディスク表面まで
の距離を検出し、この検出に応じて流体噴出ノズルの研
磨テープの圧接点に対する離間距離を一定に保持するよ
うにしたので、研磨テープに流体の安定した押圧を得て
、磁気ディスク表面に安定したバーニッシュ処理を行な
うことができ、均一で高品位な加工を実現することがで
きる。

また流体噴出ノズルにポーラス状ノズルを用いることに
より、研磨テープを磁気ディスク表面に対し広い面で均
一に圧接することができ、加工効率を高めて磁気ディス
クの表面をさらに高品位に加工することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における磁気ディスクの加工
方法および装置の基本構成を示す断面図、第２図および
第３図は各々同方法および装置で磁気ディスクの加工を
行なっている状態を示す断面図、第４図は従来の磁気デ
ィスクの加工方法における基本構成を示す断面図、第５
図は同方法において問題点を示すための断面図である。 ２１・・・スピンドル、２２・・・磁気ディスク円板、
２３・・・駆動アーム、２４・・・支持部材、２５・・
・流体噴出ノズル、２６・・・圧縮空気源、２７・・・
研磨テープ、３２・・・ギャップ検出器、３３・・・駆
動アーム、ｅ・・・回転軸中心、ｆ・・・中心圧接点、
９・・・距離検出点。 代理人の氏名　　弁理士　蔵　合　正　博４図 第５図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気ディスクを回転軸に固定して高速回転させな
   がら、流体噴出ノズルから噴出させた流体により研磨テ
   ープを前記磁気ディスクの表面に押下圧接して研磨する
   磁気ディスクの加工方法において、前記磁気ディスクの
   回転軸に対し垂直な平面上を基準とし、前記磁気ディス
   クの回転中心に対して前記研磨テープの前記磁気ディス
   ク表面に対する圧接点と同一距離の任意の点で前記磁気
   ディスク表面までの距離を検出し、その距離に応じて前
   記流体噴出ノズルの前記研磨テープの圧接点に対する離
   間距離を一定に保持するようにしたことを特徴とする磁
   気ディスクの加工方法。
2. （２）磁気ディスクを回転軸に固定して高速回転させな
   がら、流体噴出ノズルから噴出させた流体により研磨テ
   ープを前記磁気ディスクの表面に圧接して研磨する磁気
   ディスクの加工装置において、前記磁気ディスク表面と
   の距離を検出する検出手段と、前記検出手段を保持して
   前記磁気ディスクの回転軸に対し垂直な平面上で前記磁
   気ディスクの回転中心に対して前記研磨テープの前記磁
   気ディスク表面に対する圧接点と同一距離の点上に移送
   して位置決めする手段と、前記検出手段により得られた
   前記磁気ディスク表面までの距離情報に応じて前記流体
   噴出ノズルを前記研磨テープの圧接点に対する離間距離
   が一定になるように移動して位置決めする手段とを備え
   たことを特徴とする磁気ディスクの加工装置。
3. （３）流体噴出ノズルに多数の気孔を有するポーラス状
   のノズルを用いた請求項（２）記載の磁気ディスクの加
   工装置。