JPH0467141B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0467141B2
JPH0467141B2 JP62240570A JP24057087A JPH0467141B2 JP H0467141 B2 JPH0467141 B2 JP H0467141B2 JP 62240570 A JP62240570 A JP 62240570A JP 24057087 A JP24057087 A JP 24057087A JP H0467141 B2 JPH0467141 B2 JP H0467141B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
pump
stage
test member
turbo
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP62240570A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6396533A (ja
Inventor
Soojo Kuroodo
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nokia Inc
Original Assignee
Nokia Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=9339299&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH0467141(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Nokia Inc filed Critical Nokia Inc
Publication of JPS6396533A publication Critical patent/JPS6396533A/ja
Publication of JPH0467141B2 publication Critical patent/JPH0467141B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Emergency Alarm Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、吸入口が第１弁を介して被検部材に
接続され第２弁を介してターボモレキユラー二次
ポンプの排出口に接続された機械的一次ポンプを
含み、該ターボモレキユラーポンプの吸入口が第
３弁を介して被検部材に接続され、また、該ター
ボモレキユラーポンプの吸入側に分光測定セルが
接続されたトレーサーガスの漏れ検出装置に係
る。
第１図に示す公知装置は以下のごとく作動す
る。
分光測定セル１を停止状態に維持し、第１弁２
と第２弁３と第３弁４とを閉鎖状態に維持して機
械的一次ポンプ５を作動させ、次に第２弁３を開
く。
数分後、圧力計６の指示圧力が１ｍｂ未満の値
になるとターボモレキユラーポンプ７の起動が命
令される。
ターボモレキユラーポンプが定格回転速度に到
達すると、圧力計８の指示圧力が10-2ｍｂから
10-6ｍｂまで低下する。ここで分光測定セル１の
フイラメントが励起される。
第２弁３を閉鎖し第１弁２を開く。ここで一次
ポンプ５は被検部材９を減圧する。圧力計１０で
測定された被検部材９の圧力が１ｍｂ未満になる
と、第１弁２を閉鎖し第２弁３を開く。
数分後、圧力計８の指示圧力が１０-4ｍｂより
高い値にならないように第３弁４をゆつくりと開
く。第３弁４が全開したときに漏れの測定が行な
われる。
かかる装置及びかかる使用方法においては、被
検部材９ポンピングが比較的遅い。
本発明の目的は被検部材のポンピング時間を短
縮することである。
従つて本発明は、前記のタイプのトレーサーガ
スの漏れ検出装置において、前記ターボモレキユ
ラーポンプが直列２段から構成され、第４弁を介
して被検部材に接続された中間吸入オリフイスが
２つの段の境界部に設けられており、分光測定セ
ル側に位置する第１段は高いヘリウム圧縮比をも
ち一次ポンプ側に位置する第２段は高い窒素流量
をもつことを特徴とする装置を提供する。
添付図面に基づいて本発明を以下に詳細に説明
する。
第２図の装置は、機械的一次ポンプ５を含み、
該ポンプの吸入口は第１弁２を備えたパイプ１３
を介して被検部材９に接続されている。
一次ポンプ５の吸入口はまた、第２弁３を備え
たパイプ１４を介してターボモレキユラー二次ポ
ンプ７の排出口１７に接続されている。ターボモ
レキユラーポンプ７の吸入口は、第３弁４を備え
たパイプ１５を介して被検部材９に接続されてい
る。分光測定セル１がターボモレキユラーポンプ
７の吸入口に接続されている。
本発明によれば、ターボモレキユラーポンプ７
は直列２段から構成され、これらの２つの段の間
に中間吸入オリフイス１６をもつ。該オリフイス
は第４弁１２を備えたパイプ１１を介して被検部
材９に接続されている。
ターボモレキユラーポンプ７は更に、空気のヘ
リウムのバツクグラウンドノイズを低減するため
に分光測定セル１の側の上半部に位置する第１段
で高いヘリウム圧縮率をもち、部材のポンピング
時間を短縮するために一次ポンプ５の側の下半部
に位置する第２段で高い窒素流量をもつように構
成されている。
圧力計６，８，１０は種々のレベルで圧力を測
定し得る。
装置は以下のごとく作動する。
弁２，３，４及び１２を閉鎖状態に維持して、
一次ポンプ５を作動させ、次に第２弁３を開く。
数秒後圧力計６の指示圧力は１ｍｂ未満になり、
ターボモレキユラーポンプ７の起動が命令され
る。該ターボモレキユラーポンプが回転速度に到
達すると、圧力計８の指示圧力は10-6ｍｂまで低
下する。
ここで分光測定セル１のフイラメントが励起さ
れる。
ここで被検部材９を装置アセンブリの入口オリ
フイス１８に接続するが、該部材は通常はデテク
タと指称されるケースに内蔵されている。
第２図に点線１９で示された部材９の包囲スペ
ースにはヘリウムのごときトレーサーガスが封入
されている。部材自体は常圧の空気を収容してい
る。
ここで第２弁３を閉鎖し第１弁２を開いて部材
９を減圧する。一次ポンプ５は部材９から空気を
排出し、圧力計１０の指示圧力が１ｍｂ未満にな
ると第１弁２を閉鎖し第２弁３と第４弁１２とを
開く。ここで被検部材は直列に接続されたターボ
モレキユラーポンプ７の一部と一次ポンプ５とに
よつて減圧される。
この構造によれば、１ｍｂ未満の圧力範囲でタ
ーボモレキユラーポンプ７の優れた性能を利用し
得る。対照的に従来技術ではこの程度の圧力では
一次ポンプ５だけを用いるのでポンピング速度が
遅く、10-2ｍｂの圧力で定格値の35％に到達する
までに速度が次第に低下する。
圧力計１０によつて測定された圧力が10-2ｍｂ
に到達すると第４弁１２を閉鎖し、数分後に、圧
力計８が指示するセル１の圧力が10-4ｍｂより高
い値に再上昇しないように第３弁４をゆつくりと
開く。この弁は徐々に入口弁となる。
弁４が全開したときに漏れの測定が行なわれ
る。
前記のごとく被検部材を１ｍｂ〜10-2ｍｂの範
囲にポンピングするための所要時間が従来技術に
比較してかなり短縮される。
直列２段から構成された２つの段の境界部に中
間吸入オリフイス１６を備えたターボモレキユラ
ー装置７の特性値の例を以下に示す。
(A) セル１側の第１段： ヘリウム圧縮比：1000 ヘリウム流量：20／秒 窒素流量：50／秒 ２つの構造例： (1) ８段ターボで吸入側の２段の羽根列は傾斜
22度、３段は17度、排出側の３段は15度。
(2) １段Holweckポンプ。
(B) 一次ポンプ５の側の第２段： 窒素流量：100／秒 窒素圧縮比：100 ヘリウム圧縮比：６ 構造例： ４段ターボで吸入側２段は傾斜35度、排出側２
段は22度。
【図面の簡単な説明】
第１図は前記に説明した公知の漏れ検出装置の
説明図、第２図は本発明の漏れ検出装置の説明図
である。 １……分光測定セル、２，３，４，１２……
弁、５……一次ポンプ、６，８，１０……圧力
計、７……ターボモレキユラー二次ポンプ、９…
…被検部材。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 吸入口が一方で第１弁を介して被検部材に接
    続され、他方で第２弁を介してターボモレキユラ
    ー二次ポンプの排出口に接続された機械的一次ポ
    ンプを含み、該ターボモレキユラーポンプの吸入
    口が第３弁を介して被検部材に接続され、また該
    ターボモレキユラーポンプの吸入側に分光測定セ
    ルが接続されたトレーサーガスの漏れ検出装置で
    あつて、前記ターボモレキユラーポンプが直列２
    段から構成され、第４弁を介して被検部材に接続
    された中間吸入オリフイスが２つの段の境界部に
    設けられており、分光測定セル側に位置する第１
    段は高いヘリウム圧縮比をもち一次ポンプ側に位
    置する第２段は高い窒素流量をもつことを特徴と
    するトレーサーガスの漏れ検出装置。 ２ 吸入口が一方で第１弁を介して被検部材に接
    続され、他方で第２弁を介してターボモレキユラ
    ー二次ポンプの排出口に接続された機械的一次ポ
    ンプを含み、該ターボモレキユラーポンプの吸入
    口が第３弁を介して被検部材に接続され、また該
    ターボモレキユラーポンプの吸入側に分光測定セ
    ルが接続されており、前記ターボモレキユラーポ
    ンプが直列２段から構成され、第４弁を介して被
    検部材に接続された中間吸入オリフイスが２つの
    段の境界部に設けられており、分光測定セル側に
    位置する第１段が高いヘリウム圧縮比をもち一次
    ポンプ側に位置する第２段が高い窒素流量をもつ
    トレーサーガスの漏れ検出装置の使用方法であつ
    て、前記被検部材が最初に前記機械的一次ポンプ
    によつて約１ｍｂまで予め減圧され、１ｍｂを越
    える減圧は前記機械的一次ポンプと、直列の前記
    ターボモレキユラーポンプの第２段とによつて行
    われることを特徴とするトレーサーガスの漏れ検
    出装置の使用方法。
JP62240570A 1986-09-26 1987-09-25 トレーサーガスの漏れ検出装置及びその使用方法 Granted JPS6396533A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8613455A FR2604522B1 (fr) 1986-09-26 1986-09-26 Installation de detection de fuite a gaz traceur et procede d'utilisation
FR8613455 1986-09-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6396533A JPS6396533A (ja) 1988-04-27
JPH0467141B2 true JPH0467141B2 (ja) 1992-10-27

Family

ID=9339299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62240570A Granted JPS6396533A (ja) 1986-09-26 1987-09-25 トレーサーガスの漏れ検出装置及びその使用方法

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4773256A (ja)
EP (1) EP0268777B1 (ja)
JP (1) JPS6396533A (ja)
AT (1) ATE60441T1 (ja)
DE (1) DE3767670D1 (ja)
ES (1) ES2019915B3 (ja)
FR (1) FR2604522B1 (ja)
GR (1) GR3001595T3 (ja)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0344345B1 (de) * 1988-06-01 1991-09-18 Leybold Aktiengesellschaft Pumpsystem für ein Lecksuchgerät
DE3828588C1 (ja) * 1988-08-23 1989-12-07 Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh, 6980 Wertheim, De
DE3831258C1 (ja) * 1988-09-14 1989-10-12 Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh, 6980 Wertheim, De
FR2657164B1 (fr) * 1990-01-16 1992-04-03 Cit Alcatel Installation de detection de fuite a pompe holweck a prise intermediaire.
US5076728A (en) * 1990-04-25 1991-12-31 Tracer Research Corporation Landfill liner leak detection system and method
ES2069713T3 (es) * 1990-07-06 1995-05-16 Cit Alcatel Conjunto mecanico de bombeo para vacio secundario e instalacion para la deteccion de fuga que utiliza un conjunto de este tipo.
JPH07111389B2 (ja) * 1990-07-10 1995-11-29 アルカテル・セイテ 機械式ポンプ組立及び漏れ検出装置
US5167323A (en) * 1990-08-09 1992-12-01 Tomei Sangyo Co., Ltd. Lens treating device for treating contact lens
US5181604A (en) * 1990-09-14 1993-01-26 Tomei Sangyo Co., Ltd. Contact lens holder and treating device
FR2667937B1 (fr) * 1990-10-15 1995-03-10 Cit Alcatel Detecteur de fuite a gaz traceur.
FR2681688B1 (fr) * 1991-09-24 1993-11-19 Alcatel Cit Installation de detection de fuites de gaz utilisant la technique de reniflage.
FR2681689B1 (fr) * 1991-09-25 1993-11-12 Alcatel Cit Detecteur de fuite a gaz traceur.
DE4140366A1 (de) * 1991-12-07 1993-06-09 Leybold Ag, 6450 Hanau, De Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen
DE4228313A1 (de) * 1992-08-26 1994-03-03 Leybold Ag Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe
US5317900A (en) * 1992-10-02 1994-06-07 The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust Ultrasensitive helium leak detector for large systems
US5733104A (en) * 1992-12-24 1998-03-31 Balzers-Pfeiffer Gmbh Vacuum pump system
US5447055A (en) * 1993-02-09 1995-09-05 Tracer Research Corporation Automated leak detection apparatus and method
DE4408877A1 (de) * 1994-03-16 1995-09-21 Leybold Ag Testgaslecksucher
DE9405028U1 (de) * 1994-03-24 1994-06-09 Leybold AG, 50968 Köln Testgas-Lecksuchgerät
JP2655315B2 (ja) * 1994-06-29 1997-09-17 日本真空技術株式会社 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置
FR2728072B1 (fr) * 1994-12-07 1997-01-10 Cit Alcatel Detecteur de fuite
EP0718613B1 (de) * 1994-12-23 2003-03-05 Unaxis Balzers Aktiengesellschaft Verfahren zur Gasanalyse und Gasanalysator
FR2734633B1 (fr) * 1995-05-24 1997-06-20 Cit Alcatel Installation pour detecter la presence d'helium dans un circuit de fluide
DE19638506A1 (de) * 1996-09-20 1998-03-26 Leybold Vakuum Gmbh Verfahren zur Untersuchung einer Mehrzahl ähnlicher Prüflinge auf Lecks sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Lecksucher
FR2761776B1 (fr) * 1997-04-03 1999-07-23 Alsthom Cge Alcatel Detecteur de fuite a gaz traceur
JPH11230352A (ja) * 1998-02-10 1999-08-27 Nec Corp 密閉容器及びその試験方法
US6357280B1 (en) * 2000-06-06 2002-03-19 Winbond Electronics Corp. Leakage testing tool for a bellow of a semiconductor manufacturing machine
DE10156205A1 (de) * 2001-11-15 2003-06-05 Inficon Gmbh Testgaslecksuchgerät
US7204127B2 (en) * 2003-06-11 2007-04-17 Varian, Inc. Method and apparatus for large leak testing
EP1860419B1 (en) 2003-06-11 2014-02-26 Agilent Technologies, Inc. Apparatus for leak detection
US7168297B2 (en) 2003-10-28 2007-01-30 Environmental Systems Products Holdings Inc. System and method for testing fuel tank integrity
US6886389B1 (en) * 2003-12-10 2005-05-03 The Boeing Company Systems and methods for detecting and locating leaks in internal pressure vessels
DE102005041501A1 (de) * 2005-09-01 2007-03-08 Leybold Vacuum Gmbh Vakuum-Turbomolekularpumpe
US7427751B2 (en) 2006-02-15 2008-09-23 Varian, Inc. High sensitivity slitless ion source mass spectrometer for trace gas leak detection
US7459677B2 (en) * 2006-02-15 2008-12-02 Varian, Inc. Mass spectrometer for trace gas leak detection with suppression of undesired ions
CN104568337A (zh) * 2015-02-02 2015-04-29 上海贤日自动化设备有限公司 一种截流取样法氦质谱检漏方法及装置
CN106017819B (zh) * 2016-06-24 2018-09-18 中国科学院光电研究院 一种分压漏率测量装置及方法
CN108444651A (zh) * 2018-06-21 2018-08-24 中国核动力研究设计院 一种同位素靶件氦质谱泄漏检测装置及检测方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1648648C3 (de) * 1967-04-12 1980-01-24 Arthur Pfeiffer-Hochvakuumtechnik Gmbh, 6330 Wetzlar Anordnung zur Lecksuche nach dem Massenspektrometer-Prinzip
US3616680A (en) * 1969-10-27 1971-11-02 Sargent Welch Scientific Co Leak detector
JPS5125158A (en) * 1974-08-26 1976-03-01 Nippon Kuatsu System Co Ryutaijikukeryono ryuryokei
FR2475728A1 (fr) * 1980-02-11 1981-08-14 Cit Alcatel Detecteur de fuites a helium
EP0070341B1 (fr) * 1981-07-22 1985-10-23 COMPAGNIE INDUSTRIELLE DES TELECOMMUNICATIONS CIT-ALCATEL S.A. dite: Détecteur de fuites à hélium
US4472962A (en) * 1981-08-03 1984-09-25 Balzers Aktiengesellschaft Low pressure leak detector
DE3133781A1 (de) * 1981-08-26 1983-03-10 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Fuer die durchfuehrung der gegenstrom-lecksuche geeignete turbomolekularpumpe
DE3144503C2 (de) * 1981-11-09 1985-03-21 Cit-Alcatel GmbH, 6980 Wertheim Massenspektrometer-Lecksuchgerät
FR2532424A1 (fr) * 1982-08-27 1984-03-02 Cit Alcatel Dispositif de mesure et d'affichage du taux q de fuite pour un detecteur de fuites a gaz traceur
DE3247975A1 (de) * 1982-12-24 1984-06-28 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Verfahren und vorrichtung zur auffindung von lecks in waenden
FR2561771B1 (fr) * 1984-03-23 1986-06-27 Cit Alcatel Procede pour depolluer un detecteur de fuite a helium et dispositif pour la mise en oeuvre du procede
US4608866A (en) * 1985-03-13 1986-09-02 Martin Marietta Corporation Small component helium leak detector
US4735084A (en) * 1985-10-01 1988-04-05 Varian Associates, Inc. Method and apparatus for gross leak detection
US4683749A (en) * 1986-05-22 1987-08-04 Westinghouse Electric Corp. Process and system for detecting and measuring a tritium gas leak

Also Published As

Publication number Publication date
US4773256A (en) 1988-09-27
FR2604522B1 (fr) 1989-06-16
EP0268777B1 (fr) 1991-01-23
ES2019915B3 (es) 1991-07-16
ATE60441T1 (de) 1991-02-15
DE3767670D1 (de) 1991-02-28
EP0268777A1 (fr) 1988-06-01
JPS6396533A (ja) 1988-04-27
GR3001595T3 (en) 1992-11-23
FR2604522A1 (fr) 1988-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0467141B2 (ja)
US4735084A (en) Method and apparatus for gross leak detection
JP3124842B2 (ja) ヘリウム漏れ検出器
US3690151A (en) Leak detector
US4779449A (en) Leak detector and leak detection method
US5900537A (en) Test gas leakage detector
KR102684152B1 (ko) 시험 가스 입구에서의 압력 측정
US7082813B2 (en) Test gas leakage detector
JPH0815078A (ja) 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置
JPH03195935A (ja) 漏洩を検出する装置および方法
US6014892A (en) Tracer gas leak detector
US5703281A (en) Ultra high vacuum pumping system and high sensitivity helium leak detector
JPH07146199A (ja) 大きな漏れを検出するための装置及び方法
CA1310765C (en) Counterflow leak detector with high and low sensitivity operating modes
JPH10510922A (ja) 向流形スニッファ漏れ検査器
US5681983A (en) Tracer gas leak detector
JP3737132B2 (ja) 多数の類似の被検体の漏洩を検査する方法
JP7822383B2 (ja) 試験体のガスリークを検出するガスリーク検知装置およびガスリーク検知方法
JPH03154837A (ja) トレーサガス式漏洩検出システム
CN1188543A (zh) 有预真空泵的检漏仪
JPH04233428A (ja) ヘリウム漏れ検出器
JP2024545492A (ja) 多段真空ポンプ及び一体型特定ガス用ガスセンサを備えた真空リークディテクタならびに真空リークディテクタの製造方法
US6282946B1 (en) Leak detector
JPH03225245A (ja) トレーサ用気体による試験すべき容器の漏れ検出設備
JP3371924B2 (ja) 逆拡散測定によるヘリウムリーク量検出方法