JPH046735A - マグネトロン用排気装置 - Google Patents
マグネトロン用排気装置Info
- Publication number
- JPH046735A JPH046735A JP10724990A JP10724990A JPH046735A JP H046735 A JPH046735 A JP H046735A JP 10724990 A JP10724990 A JP 10724990A JP 10724990 A JP10724990 A JP 10724990A JP H046735 A JPH046735 A JP H046735A
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- JP
- Japan
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- exhaust
- container
- magnetrons
- magnetron
- pump system
- Prior art date
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- Granted
Links
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 9
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- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、マグネトロンの製造において、その管内を真
空に排気するための排気装置、とくに複数個のマグネト
ロンを一つの気密外囲器内で一挙に排気処理できるよう
に構成した排気装置に関するものである。
空に排気するための排気装置、とくに複数個のマグネト
ロンを一つの気密外囲器内で一挙に排気処理できるよう
に構成した排気装置に関するものである。
従来の技術
■
マグネトロンを製造するための排気工程では、排気前マ
グネトロンをその排気管の先端部で排気ポンプ系マニホ
ールドに一つ一つ連結しておく必要があった。特公昭５
９−３６３８２号公報に開示されている排気方法を例に
とると、第３図に示すように排気前マグネトロンｌは、
その金属製排気管２の拡口加工された先端部において排
気ポート３の先端部に、スリーブ４およびナツト５を用
いて気密に連結される。そして、排気ポート３に連結さ
れたマニホールド６ｆｌＦの排気ポンプによってマグネ
トロン１の管内が真空に排気される。排気処理が進んだ
段階で陰極端子間に電圧を印加するとともに、陰極と陽
極との間にも電圧を印加してマグネトロンを高温に加熱
する。そして、電極に吸蔵されていたガスを放出させた
のち排気管２を所定の位置で圧着封止し、残余分を排除
する。
グネトロンをその排気管の先端部で排気ポンプ系マニホ
ールドに一つ一つ連結しておく必要があった。特公昭５
９−３６３８２号公報に開示されている排気方法を例に
とると、第３図に示すように排気前マグネトロンｌは、
その金属製排気管２の拡口加工された先端部において排
気ポート３の先端部に、スリーブ４およびナツト５を用
いて気密に連結される。そして、排気ポート３に連結さ
れたマニホールド６ｆｌＦの排気ポンプによってマグネ
トロン１の管内が真空に排気される。排気処理が進んだ
段階で陰極端子間に電圧を印加するとともに、陰極と陽
極との間にも電圧を印加してマグネトロンを高温に加熱
する。そして、電極に吸蔵されていたガスを放出させた
のち排気管２を所定の位置で圧着封止し、残余分を排除
する。
発明が解決しようとする課題
このような従来の排気方法によると、排気管の先端部を
排気ポンプ系マニホールドにスリーブおよびナツトを用
いて気密に連結したり、排気管の先端部に拡口加工を施
したすせねばｔｉらず、しかも、前記ナツトを人力で締
め付けつけたり外したりしなければならないので、完全
自動化を望み難いという課題があった。また、大気中で
加熱されたマグネトロンの銅製陽極の表面に炭化被膜か
生成されるので、この被膜を除去するのための処理工程
を必要とした。
排気ポンプ系マニホールドにスリーブおよびナツトを用
いて気密に連結したり、排気管の先端部に拡口加工を施
したすせねばｔｉらず、しかも、前記ナツトを人力で締
め付けつけたり外したりしなければならないので、完全
自動化を望み難いという課題があった。また、大気中で
加熱されたマグネトロンの銅製陽極の表面に炭化被膜か
生成されるので、この被膜を除去するのための処理工程
を必要とした。
課題を解決するための手段
本発明に係る排気装置は、排気ポンプ系に連結されて複
数個の排気前マグネトロンを搭載する容器と、この容器
に着脱自在に被せられる容器蓋と、この容器蓋の両側壁
部を気密に貫通した複数対のロッドと、このロッドの各
内端部に設けられて同ロッドの移動に伴い前記マグネト
ロンの金属製排気管を圧着封止する圧着封止刃とを備え
る。
数個の排気前マグネトロンを搭載する容器と、この容器
に着脱自在に被せられる容器蓋と、この容器蓋の両側壁
部を気密に貫通した複数対のロッドと、このロッドの各
内端部に設けられて同ロッドの移動に伴い前記マグネト
ロンの金属製排気管を圧着封止する圧着封止刃とを備え
る。
作用
このような構成であると、複数個のマグネトロンに対す
る管内排気処理を真空中で一挙に行うことができ、各マ
グネトロンの排気管をマニホルダに対し個別に連結させ
ることが不要となり、しかも、陽極表面に炭化被膜が生
成されないので同被膜を除去するための処理工程が不要
となる。
る管内排気処理を真空中で一挙に行うことができ、各マ
グネトロンの排気管をマニホルダに対し個別に連結させ
ることが不要となり、しかも、陽極表面に炭化被膜が生
成されないので同被膜を除去するための処理工程が不要
となる。
実施例
つぎに、本発明を図面に示した実施例とともに説明する
。
。
第１図を参照して、排気カート１０に搭載されている金
属製容器１１は、着脱可能な容器Ｍ１２および耐熱性Ｏ
リング１３とともに気密外囲器を形成しており、この気
密外囲器内に複数鯉のマグネトロン１が紙面に直角な方
向へ一列に配置されている。容器１１の裾部１１ａは図
外の排気ポンプ系に通じている。
属製容器１１は、着脱可能な容器Ｍ１２および耐熱性Ｏ
リング１３とともに気密外囲器を形成しており、この気
密外囲器内に複数鯉のマグネトロン１が紙面に直角な方
向へ一列に配置されている。容器１１の裾部１１ａは図
外の排気ポンプ系に通じている。
容器蓋１２の両側壁部に設けられた複数対の穴には、そ
れぞれのはと目状リング１４が気密に装着されており、
このリング１４にロッド１５が出没自在に貫通している
。リング１４とロッド１５との三者間に設けられた筒状
のへローズ１６は前記三者間における気密性を保つため
のもので、コイル状のスプリング１７は没入したロッド
Ｉ５を復帰させるためのものである。１対のロッド１５
の各内端部には圧着封止刃１８が相対向して設けられて
おり、外部から矢印方向の力Ｆが１対のロッド１５に与
えられたとき、スプリング１７のはね圧に抗しで前進し
た１対の圧着封止刃１８が、マグネトロン１の金属製排
気管２を両側から圧潰して圧着封止する。１９はリング
状のカスゲットを示す。
れぞれのはと目状リング１４が気密に装着されており、
このリング１４にロッド１５が出没自在に貫通している
。リング１４とロッド１５との三者間に設けられた筒状
のへローズ１６は前記三者間における気密性を保つため
のもので、コイル状のスプリング１７は没入したロッド
Ｉ５を復帰させるためのものである。１対のロッド１５
の各内端部には圧着封止刃１８が相対向して設けられて
おり、外部から矢印方向の力Ｆが１対のロッド１５に与
えられたとき、スプリング１７のはね圧に抗しで前進し
た１対の圧着封止刃１８が、マグネトロン１の金属製排
気管２を両側から圧潰して圧着封止する。１９はリング
状のカスゲットを示す。
マグネトロン１の陽極７は金属製板はね２０を通じて金
属製容器１１に電気的に接続されており、陽極電位（接
地電位）が与えられる。また、マグネトロン１の１対の
陰極端子８はそれぞれの接続プローブ２１．Ｑ２および
導入線２３を通じて導入端子２５に至り、これより外部
リート線２４に通じている。導入端子２５は絶縁筒体２
６、座金２７およびカスゲット２８を介して容器１１に
気密に固定されている。２９は接続プローブ２１゜２２
を電気的に絶縁してとり付ける絶縁板を示す。
属製容器１１に電気的に接続されており、陽極電位（接
地電位）が与えられる。また、マグネトロン１の１対の
陰極端子８はそれぞれの接続プローブ２１．Ｑ２および
導入線２３を通じて導入端子２５に至り、これより外部
リート線２４に通じている。導入端子２５は絶縁筒体２
６、座金２７およびカスゲット２８を介して容器１１に
気密に固定されている。２９は接続プローブ２１゜２２
を電気的に絶縁してとり付ける絶縁板を示す。
かかる装置は第２図に示すように、１列に配置された複
数個のマグネトロン１を同時に排気処理することができ
る。第２図の左側の排気装置の容器！ｉ１２は上昇かつ
後退しており、右側の排気装置の容器蓋は容器上に着装
されている。かかる上昇・下降および前後方向への移動
は、容器蓋とり付は板３０．スライド用レール３１およ
びエアーシリンダ３３．３４によって行われる。３２は
圧着封止用の加圧動力機を示す。
数個のマグネトロン１を同時に排気処理することができ
る。第２図の左側の排気装置の容器！ｉ１２は上昇かつ
後退しており、右側の排気装置の容器蓋は容器上に着装
されている。かかる上昇・下降および前後方向への移動
は、容器蓋とり付は板３０．スライド用レール３１およ
びエアーシリンダ３３．３４によって行われる。３２は
圧着封止用の加圧動力機を示す。
複数個のマグネトロン１を装填した容器１１に容器！１
ｉ１２を被せて気密外囲器となし、その内部を真空排気
用ポンプ系の駆動で排気する。この間、各マグネトロン
の１対の陰極端子間および陰極と陽極との間に所定の電
圧を印加してマグネトロンを加熱し、電極材料中に吸蔵
されているガスを放出させるのは従来どおりである。排
気処理が完了した時点で加圧動力機３２を駆動させると
、１対のロッド１５が前進してマグネトロン１の金属製
排気管２が１対の圧着封止刃１８で三方から圧潰され、
圧着封圧が完了する。封止後の圧着封止刃１８はスプリ
ング１７のはね圧により復帰し、容器Ｎ１２はとり付は
板３０．レール３１およびエアーシリンダ３３．３４に
よる駆動で上昇し後退する。
ｉ１２を被せて気密外囲器となし、その内部を真空排気
用ポンプ系の駆動で排気する。この間、各マグネトロン
の１対の陰極端子間および陰極と陽極との間に所定の電
圧を印加してマグネトロンを加熱し、電極材料中に吸蔵
されているガスを放出させるのは従来どおりである。排
気処理が完了した時点で加圧動力機３２を駆動させると
、１対のロッド１５が前進してマグネトロン１の金属製
排気管２が１対の圧着封止刃１８で三方から圧潰され、
圧着封圧が完了する。封止後の圧着封止刃１８はスプリ
ング１７のはね圧により復帰し、容器Ｎ１２はとり付は
板３０．レール３１およびエアーシリンダ３３．３４に
よる駆動で上昇し後退する。
発明の効果
以上のように本発明によると、排気前マグネトロンをそ
の排気管部でマニホルダにいちいち連結することが不要
となるので、排気工程を著しく簡略化でき、完全自動化
を図ることも可能となる。
の排気管部でマニホルダにいちいち連結することが不要
となるので、排気工程を著しく簡略化でき、完全自動化
を図ることも可能となる。
また、陽極の外面に炭化被膜が生成されることかないの
で、同被膜の除去工程を必要としない利点がある。
で、同被膜の除去工程を必要としない利点がある。
第１図は本発明を実施したマグネトロン排気装置の要部
の一部破断側面図、第２図は同装置の全１・・・・・・
マグネトロン、２・・・・・・排気管、７・・・・・・
陽極、８・・・・・・陰極端子、１０・・・・・・排気
カート、１１・・・・・・容器、１２・・・・・・容器
蓋、１８・・・・・・圧着封止刃。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ばか１名第２図 ＼ ＼ ｌ マクネト口） ２ 塀気管 １０ 利を気カート １１ 謁 １２、、、ＩＥ日凰
の一部破断側面図、第２図は同装置の全１・・・・・・
マグネトロン、２・・・・・・排気管、７・・・・・・
陽極、８・・・・・・陰極端子、１０・・・・・・排気
カート、１１・・・・・・容器、１２・・・・・・容器
蓋、１８・・・・・・圧着封止刃。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ばか１名第２図 ＼ ＼ ｌ マクネト口） ２ 塀気管 １０ 利を気カート １１ 謁 １２、、、ＩＥ日凰
Claims (1)
- 排気ポンプ系に連結されて複数個の排気前マグネトロン
を搭載する容器と、この容器に着脱自在に被せられる容
器蓋と、この容器蓋の両側壁部を気密に貫通した複数対
のロッドと、このロッドの各内端部に設けられて同ロッ
ドの移動に伴い前記マグネトロンの金属製排気管を圧着
封止する圧着封止刃とを備えてなることを特徴とするマ
グネトロン用排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107249A JP2558919B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | マグネトロン用排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107249A JP2558919B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | マグネトロン用排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH046735A true JPH046735A (ja) | 1992-01-10 |
| JP2558919B2 JP2558919B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=14454264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2107249A Expired - Fee Related JP2558919B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | マグネトロン用排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2558919B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62129316A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-06-11 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | ポリイミド前駆体を部分的に閉環させた薄膜 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115241024A (zh) * | 2022-07-26 | 2022-10-25 | 中山市美格电子科技有限公司 | 一种磁控管排气台 |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP2107249A patent/JP2558919B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62129316A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-06-11 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | ポリイミド前駆体を部分的に閉環させた薄膜 |
| JPS62143929A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-06-27 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | ポリイミド前駆体薄膜 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2558919B2 (ja) | 1996-11-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |