JPH0468540U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0468540U JPH0468540U JP11245290U JP11245290U JPH0468540U JP H0468540 U JPH0468540 U JP H0468540U JP 11245290 U JP11245290 U JP 11245290U JP 11245290 U JP11245290 U JP 11245290U JP H0468540 U JPH0468540 U JP H0468540U
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- JP
- Japan
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- semiconductor wafer
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- loading jig
- wafer loading
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
Description
第１図ａ，ｂは本考案の一実施例を示す平面図
及び正面図、第２図ａ，ｂは従来のウエーハ装填
治具の平面図及び正面図である。 １，２，３，４……支柱、５……支持体、６…
…半導体ウエーハ、７……支柱間支持体。
及び正面図、第２図ａ，ｂは従来のウエーハ装填
治具の平面図及び正面図である。 １，２，３，４……支柱、５……支持体、６…
…半導体ウエーハ、７……支柱間支持体。
Claims (1)
- 左右対称で且つ互に平行に設けた前方及び後方
の２対の支柱と、前記各支柱の側面より内側に向
けて突出した支持体を有する半導体ウエーハ装填
治具において、対をなす前記支柱の左右の間の間
隔がいずれも収納する半導体ウエーハの直径より
も僅か広く設定されていることを特徴とする半導
体ウエーハ装填治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11245290U JPH0468540U (ja) | 1990-10-25 | 1990-10-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11245290U JPH0468540U (ja) | 1990-10-25 | 1990-10-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0468540U true JPH0468540U (ja) | 1992-06-17 |
Family
ID=31859953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11245290U Pending JPH0468540U (ja) | 1990-10-25 | 1990-10-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0468540U (ja) |
-
1990
- 1990-10-25 JP JP11245290U patent/JPH0468540U/ja active Pending