JPH0469511A - 半田付部及び実装部品の外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、実装部品の外観検査機能を備えたＸ線方式の
半田付外観検査装置に関する。更に詳しく述べると、検
査ステージ等を共通化し、Ｘ線による半田付外観検査機
能と光学方式の実装部品検査機能とを合体した装置に関
するものである。

この装置は例えばプリント配線基板に電子部品を実装し
た電子機器の検査に用いられる。

［従来の技術］ 電子部品の半田付部の欠陥等を検査する装置としてＸ線
方式の半田付外観検査装置がある。

これは被検査体（プリント配線基板など）を動かす検査
ステージと、その真上に位置し被検査体にＸ線を照射す
るＸ線チューブと、真下に位置し被検査体を透過したＸ
線を光変換する蛍光スクリーンと、その蛍光映像を検出
するＸｖＡカメラなどを備え、被検査体を透過したＸ線
による蛍光映像で半田付部の状態を検査するように構成
されている。

ＸｋｌＡ方式は例えばＪリードやピングリッドタイプの
ＩＣ等のように、リードが部品本体の下方に隠れて光学
的に検査できないものも検査できるため、近年ますます
有用になっている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしＸ線方式の外観検査装置では、Ｘ線の漏洩対策上
、被検査体のハンドリングや装置への搬入・搬出に時間
がかかる。またその割には検査内容が半田付部の検査の
みで、実装部品のチエツクができず、不十分となる場合
が多い等の欠点がある。

外観検査装置としては光学方式もある。光学方式の外観
検査装置は、実装部品をチエツクすることは可能である
が、半田付部の検査精度が悪く、上記のようにリードが
隠れてしまうような場合には検査が不可能である。

そこで実装部品状態も検査したい場合には、Ｘ線方式の
半田付外観検査装置の他に、実装部品の検査装置を別に
設ける必要がある。

本発明の目的は、上記のような従来技術の実情を考慮し
、半田付部の外観検査のみならず、実装部品のチエツク
も行えるようにした検査装置を提供することである。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、検査ステージを共通化し、Ｘ線による半田付
外観検査機能と光学式の実装部品検査機能とを合体した
装置である。Ｘ線方式の半田付外観検査装置といっても
、基本的な構成は光学方式のそれと非常に似ている。違
う点は、映像を捕らえる方式がＸ線方式か光学方式かで
ある。しかしＸ線の漏洩対策などの面で、単に従来のＸ
線方式および光学方式の外観検査装置を寄せ集めても所
期の目的を達成できるシステムは構成できない。

本発明は被検査体を動かす検査ステージと、その被検査
体にＸ線を照射するＸｆｉチューブと、被検査体を透過
したＸ線を光変換する蛍光スクリーンと、その蛍光映像
を検出するＸ線カメラを備えたＸ線方式の半田付外観検
査装置を曲折とする。そしてこの装置に、更にＸ線と同
し側から前記被検査体に光を照射する照明ランプを設置
し、被検査体の光学映像を反射するミラをＸ線チューブ
と検査ステージとの間のＸｇ照射軸線上に設け、該ミラ
ーの反射光路に光学力メラを設置したものである。

実際には、Ｘ線チューブを検査ステージの真上に、蛍光
スクリーンを検査ステージの真下にそれぞれ設け、照明
ランプを検査ステージの上方に設置する構成が好ましい
。

［作用］ Ｘ線方式の半田付外観検査装置の部分は、被検査体の半
田付部の検査を行う、Ｘ線方式であるためリードが部品
本体に隠れるような場合でも何ら支障なく正確な検査が
行われる。また照明ランプによって被検査体を照射し、
その反射光学映像をＸ線チューブ近傍のミラーで反射し
て光学力メラに送り、それによって実装部品の検査が行
われる。

ミラーによって反射光学映像の光路が曲げられるため光
学力メラはＸ線照射の影響の及ばない個所に設置でき、
両機能の合体が可能となる。

またミラーの位置がＸ線照射軸線上にあるため、半田付
部と実装部品が最小のロス時間で検査できることになる
。

［実施例］ 第１図は本発明に係る外観検査装置の一実施例を示す説
明図である。被検査体１０を載せて動かす検査ステージ
（ＸＹ子テーブル１２と、その検査ステージ１２の真上
に位置し被検査体１０にＸ線を照射するＸ線チューブ１
４と、検査ステージ１２の真下に位置し被検査体１０を
透過したＸ線を光変換する蛍光スクリーン１６と、その
蛍光映像を反射して光路をほぼ直角方向に曲げる第１の
ミラー１８と、その反射蛍光映像を検出するＸ線カメラ
（高感度カメラ）２０とを具備している。ここで被検査
体１０は例えばプリント配線基板に実装部品を搭載した
ものである。また蛍光スクリーン１６としては光が透過
しない構造のものを使用する。

本発明では更に前記検査ステージ１２の上方にＸ線と同
じ側から前記被検査体ｌＯに光を照射する照明ランプ２
２を設置し、被検査体１０の光学映像を反射する第２の
ミラー２４をＸ線チューブ１４の真下（Ｘ線チューブ１
４と検査ステージ１２との間のＸ線照射軸線上）に設け
、該第２のミラー２４の反射光路に光学力メラ２６を設
置した構成になっている。第２のミラー２４は光学映像
をほぼ直角方向に反射し、Ｘ線の影響のない個所に光学
力メラ２６を設置できるようにする機能を果たす。

半田付外観検査は次のように行う。Ｘ線チューブ１４か
ら照射されたＸ線は被検査体１０を透過し、蛍光スクリ
ーン１６で光変換される。

半田付部を透過したＸ線量は減少しているので暗く、そ
れ以外は明るいコントラストの映像になる。その蛍光映
像は、その下方の第１のミラー１８で光路がほぼ直角方
向に曲げられ、その後Ｘ線カメラ２０に入射する。Ｘ線
カメラ２０で検出された画像情報は、画像処理装置（図
示せず）に送られる。

Ｘ線カメラ２０をＸ線チューブ１４の真下に設置してい
ないのは、カメラの電子回路等がＸ線に直接影響される
のを避けるためである。なおＸ線チューブ１４の真下に
ある第２のミラー２４は極く一般的なガラスの反射鏡で
よく、Ｘ線照射には殆ど影響を与えない。照明ランプ２
２の光量が大きい場合は、蛍光スクリーン１６に光が漏
れる場合があるので、Ｘ線画像を取り込む時には光量を
下げた方がよい。

実装部品検査は次のように行う。照明ランプ２２により
被検査体１０を照射し、その光学映像を第２のミラー２
４で反射する。光路をほぼ直角方向に曲げ、反射光学映
像は光学力メラ２６に入射する。光学力メラ２６で検出
された画像情報も画像処理装置に送られ、実装部品のチ
エツクが行われる。

蛍光スクリーン１６は光が透過しない構造であるから、
Ｘ線を使用しながら同時に照明による部品の光学的像を
取り込むことが可能である。

また本発明ではＸ線照射軸線上に第２のミラー２４が設
けられているので、Ｘ線による検査系の焦点位置と光学
式検査系の焦点位置を同一箇所に設定できる。この結果
、被検査体１０を動かさずに、Ｘ線方式による半田付外
観検査と光学方式による実装部品検査を同時に実施でき
、半田付部と実装部品を最小のロス時間で検査できる。

更に基本的にはＸ線方式と光学方式とで画像処理装置に
違いがないので、両者を共用することができ、システム
を安価に構成できる。このような構成では検査はシリア
ル処理になり時間がかかるが、高速処理が要求される場
合は処理装置をパラレル構成にすればよい。

［発明の効果］ 本発明は上記のように、Ｘ線方式の半田付外観検査機能
と光学方式の実装部品検査機能とを合体させた装置であ
るから、単一の検査ステージで半田付部と実装部品の両
方の外観検査を正確に且つ迅速に行うことができ、検査
性能が向上する。

本発明ではコストのかかる検査ステージ部や画像処理・
検査プロセッサ等を共通化できるため、システム全体の
コストを低減でき、またシステムの設置スペースを小さ
くできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る外観検査装置の一実施例を示す説
明図である。 １０・・・被検査体、１２・・・検査ステージ、１４・
・・Ｘ線チューブ、１６・・・蛍光スクリーン、１８・
・・第１のミラー　２０・・・Ｘ線カメラ、２２・・・
照明ランプ、２４・・・第２のミラー、２６・・・光学
力メラ。 特許出願人　　いわき電子株式会社

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. １．被検査体を動かす検査ステージと、その被検査体に
   Ｘ線を照射するＸ線チューブと、被検査体を透過したＸ
   線を光変換する蛍光スクリーンと、その蛍光映像を検出
   するＸ線カメラを備えたＸ線方式の半田付外観検査装置
   において、更にＸ線と同じ側から前記被検査体に光を照
   射する照明ランプを設置し、被検査体の光学映像を反射
   するミラーをＸ線チューブと検査ステージとの間のＸ線
   照射軸線上に設け、該ミラーの反射光路に光学力メラを
   設置したことを特徴とする半田付部及び実装部品の外観
   検査装置。
2. ２．Ｘ線チューブが検査ステージの真上に、蛍光スクリ
   ーンが検査ステージの真下にそれぞれ位置し、照明ラン
   プを検査ステージの上方に設置した請求項１記載の装置
   。