JPH0469767U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例１を示す断面図、第
２図は、本考案の実施例２を示す断面図、第３図
は、本考案に係る圧電素子の一例を示す断面図で
ある。 １……プローブ、２……プローブ探針部、３…
…ばね、４……圧電素子、５……支軸、６……被
探針部位、７……電極板、８……絶縁薄板。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 支軸と、プローブと、圧電素子とを有し、
   被探針部位に接触させて該被探針部位の電気的特
   性を計測する接触圧感知プローブであつて、 支軸は、昇降するもので、プローブを支持する
   ものであり、 プローブは、プローブ探針部を有し、 プローブ探針部は、支軸に支持されたプローブ
   に上下動可能に保持され、かつ下方に付勢された
   もので、被探針部位に接触させるものであり、 圧電素子は、プローブ探針部にて押圧され、該
   プローブ探針部の被探針部位に対する接触圧を感
   知するものであることを特徴とする接触圧感知プ
   ローブ。 (2) 支軸と、プローブと、圧電素子とを有し、
   被探針部位に接触させて該被探針部位の電気的特
   性を計測する接触圧感知プローブであつて、 支軸は、昇降するもので、プローブを支持する
   ものであり、 プローブは、プローブ探針部が一体に形成され
   、支軸に上下動可能に支持され、かつ、下方に付
   勢されたもので、被探針部位にプローブ探針部を
   接触させるものであり、 圧電素子は、プローブにて押圧され、該プロー
   ブのプローブ探針部の被探針部位に対する接触圧
   を感知するものであることを特徴とする接触圧感
   知プローブ。 (3) 前記圧電素子は、対をなす電極板を有し、 対をなす電極板は、プローブ探針部が被探針部
   位に接触した際の接触圧に対応して電気的に導通
   するものであることを特徴とする請求項第(1)項
   、第(2)項記載の接触圧感知プローブ。