JPH0469830A - 光磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

光磁気記録媒体の製造方法

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JPH0469830A
JPH0469830A JP18059290A JP18059290A JPH0469830A JP H0469830 A JPH0469830 A JP H0469830A JP 18059290 A JP18059290 A JP 18059290A JP 18059290 A JP18059290 A JP 18059290A JP H0469830 A JPH0469830 A JP H0469830A
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layer
recording
laser beam
magnetic field
koe
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JP18059290A
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Kazuhiko Hayashi
一彦 林
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、磁性多層膜と初期補助磁界を用いるオーバラ
イト可能な光磁気記録媒体の製造方法に関する。
[従来の技術] 近年、初期補助磁界と磁性多層膜を用いることにより、
情報の重ね書きを可能にする光磁気記録方式が注目され
ている。この方式は、 (a)記録媒体として、垂直異方性を有する第1層を記
録再生層とし、垂直異方性を有する第2層を記録補助層
とする多層光磁気記録媒体を使用すること、 (b)前記記録媒体を移動させること、(C)初期補助
磁界を印加することによって、記録前に前記記録補助層
の磁化のみを上向きまたは下向きのいずれか一方に揃え
ておくこと、(d)レーザビームを前記記録媒体に照射
すること、(e)前記レーザビームの強度を記録すべき
2値化情報に従って、パルス状に変調すること、(f)
前記レーザビームを照射した前記記録媒体部分に記録磁
界を印加すること、 (C1)前記パルス状に変調したレーザビームの強度が
高レベルの時に上向き磁化を有するビットと下向き磁化
を有するビットのいずれか一方のビットを形成させ、レ
ーザビームの強度が低レベルの時に他方のビットを形成
させること、からなることを特徴とする重ね書き(オー
バライト)可能な記録方法である(例えば特開昭62−
175948号公報参照)。
オーバライト可能な2層膜媒体のM−Hループは、環境
温度において、第2図の21に示すようなものでなけれ
ばならない。
例えば、第11i性層の磁化と第2磁性層の磁化が反対
方向の時にエネルギー的に安定なアンチパラレルタイプ
の2層媒体において、第2図に示すようなM−Hループ
が得られる条件は、Hc2−σw/2M、t2>0 Hc2’記録補助層の保磁力 M、2;記録補助層の飽和磁化 t2 :記録補助層の膜厚 を満たすことであるが、2層間の交換結合力が強すぎる
とσ が大きくなりすぎるため、上式を満たさなくなり
、M−1−(ループは第3図の31に示したようなルー
プになってしまう。
第2図のようなM−1−1ループを得るためには、記録
層と記録補助層の間の交換結合力を弱めることが必要で
ある。交換力を弱める方法としては、2層間にGdFe
Co層を挟む方法が知られている(に、 Aratan
i et、al、、  5PIE Vol、1078゜
L25B 、  0ptical Data Stor
age Meeting 。
1989)。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、従来のように2層間の交換結合力を調節
するためにGdFeCo制御層を2層間に挟んだ場合、
2層間の結合力を弱めるにはこの制御層をかなり厚くす
る必要があり、2層間に制御層を余り厚く挟むとオーバ
ライト特性が悪くなるという問題があった。
本発明の目的は、光磁気記録膜を構成している各磁性層
間に薄い交換結合力制m+層を挟むことにより、交換結
合力が適当な値を有し、記録層と記録補助層の間の結合
力が弱い光磁気記録媒体の製造方法を提供することにあ
る。
[課題を解決するための手段] 本発明は、基板上に第1.第2および第3の磁性膜が順
次形成され、レーザ光によって情報の記録、再生、消去
を行うオーバライト可能な光磁気記録媒体の製造方法に
おいて、第1の磁性膜をスパッタにより成膜する際のA
rガス圧を1.0X10−1〜1.0Paの範囲にする
ことを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法である。
[実施例] 次に本発明の実施例について、図面を参照して詳細に説
明する。
第1図は本発明の一実施例により得られる光磁気記録媒
体の部分断面図である。媒体構成は、基板1/スペ一サ
層2/第1の磁性層3/第2の磁性層4/第3の磁性層
5/保護層6である。
ここで、基板1としては、ポリカーボネート樹脂、エポ
キシ樹脂またはガラス等を用いた基板を使用する。基板
はガラスの上に紫外線硬化樹脂等でグループを形成させ
たものでもよい。スペーサ層2および保護層6としては
、珪素の窒化物、珪素の酸化物、タンタルの酸化物、ア
ルミニウムの窒化物、アルミニウムの酸化物等が使用で
きる。
また、第1の磁性層3および第3の磁性層5は、希土類
と遷移金属の組み合わせからなるアモルファス合金薄膜
である。この場合、希土類としては、例えばTb、Gd
、DV、Nd、、Ho等の中から単独または複数の元素
、遷移金属としては、Fe。
Co、Ni等の中から単独または複数の元素を用いる。
また、少量のTr、Or、MO等を添加することも可能
である。
比較例(記録層作成時のAr圧が、0.2X 10−1
 。
065xlO−1および0.8xlO−I Paの場合
)はじめに、比較例としてポリカーボネート(グループ
付き)基板/窒化珪素(800人)/T、bFeCO合
金(180人>/NdFeCo合金(40人) /Gd
 T、b F e Co合金(600人)/窒化珪素(
800人)という膜構成の媒体を、TbFeC0合金層
成膜時のアルゴンガス圧、0.2X10−1 、 0.
5x 10−1および0.8X10−I Paで作成し
た。成膜はすべてRFマグネトロンスパッタ装置の連続
スパッタによる。
第1表に成膜時のAr圧を変えた場合の、NdFeCo
層の単層における諸特性を、第2表に成膜時のAr圧を
変えた場合のGdTbFeCo層の単層における諸特性
を、第3表に成膜時のAr圧を1.0X10−I Pa
未満の範囲で変えた場合のTbFeCo合金層の諸特性
を示した。
第1表から第3表に示したNdFeCo制御層、GdT
bFeCo記録補助層およびTbFeC0記録層を組み
合わせて種々の3層媒体を作成したところ、いずれのカ
ーループも、第3図に示すようなループとなった。Tb
FeCo合金層とGdTbFeCo合金層間の磁気的結
合力が強すぎるためである。これらの媒体は、オーバラ
イトができなかった。
(以下余白) 第1表 Ar圧を変えた場合のNdFeC。
制御層の特性 第2表 Ar圧を変えた場合のGdTbFeC0記録補
助層の特性 第3表 各Arガス圧におけるTbFeC。
記録層の特性 実施例 (1)記録層作成時のAr圧が1.0xlO−I Pa
の場合 TbFeCo層の単層での諸特性は第4表に示すとおり
であった。
第4表 (1−1)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞn a、 ox 10−2 Paおよび8.0
X10−2Paの時 第4表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeCo制御層およびGdTbFeCo記録
補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカール
ープは、第2図に示すようなループになった。このとき
の、TbFeC。
層およびGdTbFeCo層の反転磁界は、それぞれ2
5.0 koeおよび2.0kOeであった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 mis 、記録周波数3.7 
MHz。
DuTy比50%、初期補助磁界2.9 kOe、記録
磁界4000e 、低レベルのレーザビームのパワ4、
OmW 、高レベルのレーザビームのパワー13.0 
mWの条件で記録し、再生したところ、C/854d8
が得られた。この上に、線速度11.3 mis 。
記録周波数7.4 MB2. DUTV比50%、初期
補助磁界2.9 kOe、記録磁界4000e 、低レ
ベルのレーザビームのパワー4.0 mW 、高レベル
のレーザビームのパワー13.0mΔの条件でオーバラ
イトしたところ、48 dBの再生信号が得られた。エ
ラー発生率は10−5〜10−6であった。このとき3
.78H2の信号(前の情報)は全く現れなかった。
(1−2)制a層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれ4.0X10−2 Paおよび3.0Xio
−+ paの時 第4表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeCo制御層およびGdTbFeCo記録
補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカール
ープは、第2図に示すようなループになった。このとき
の、TbFeC。
層およびGdTbFeCo層の反転磁界は、それぞれ2
5.0 kOeおよび2.4 kOeであった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 mis 、記録周波数3.7 
MHz。
DuTy比50%、初期補助磁界4.0 koe、記録
磁界3000e 、低レベルのレーザビームのパワ4.
0 mW 、高レベルのレーザビームのパワ13、Om
Wの条件で記録し、再生したところ、C/N53 dB
が得られた。この上に、線速度11.3 mis 。
記録周波数7.48H2,D u T y比50%、初
期補助磁界4.0 kOe、記録磁界3500e 、低
レベルのレーザビームのパワー4.0111W、高レベ
ルのレーザビームのパワー13.0+nWの条件でオー
バライトしたところ、48 dBの再生信号が得られた
。エラー発生率は10−5〜10−6であった。このと
き3.7)IHzの信号(前の情報)は全く現れなかっ
た。
(1−3)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれ6.0x10−I Paおよび6.0x10
−I Paの時 第4表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeCo制御層およびGdTbFeCo記録
補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカール
ープは、第2図に示すようなループになった。このとき
の、TbFeC。
層およびGdTbFeCo層の反転磁界は、それぞれ2
5.0 kOeおよび3.0 kOerあった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 mis 、記録周波数3.78
H2゜DuTy比50%、初期補助磁界4.0 kOe
、記録磁界3500e 、低レベルのレーザビームのパ
ワ4.0 mW 、高レベルのレーザビームのパワー1
3、OmWの条件で記録し、再生したところ、C/N5
3 (1Bが得られた。この上に、線速度月、3 mi
s 。
記録周波数7.4 MHz、 D u T y比50%
、初期補助磁界4.0 kOe、記録磁界3500e 
、低レベルのレーザビームのパワー4.0 mW 、高
レベルのレーザビームのパワー13.OmWの条件でオ
ーバライトしたところ、48dBの再生信号が得られた
。エラー発生率は10−5〜10−6であった。このと
き3.7MHzの信@(前の情報)は全く現れなかった
(2)記録層作成時のAr圧が3.0X10−I Pa
の場合 TbFeCo層の単層での諸特性は第5表に示すとおり
であった。
第5表 (2−1)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれ4、OX 10−2 Paおよび8.0x1
0−2Paの時 第5表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeCo制御層I層およびGdTbFeC0
記録補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカ
ーループは、第2図に示すようなループになった。この
ときの、TbFeC。
層およびGdTbFeC0層の反転磁界は、それぞれ2
6.0 kOeおよび2.2 kOeであった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 m/s 、記録周波数3.7 
MHz。
DLJTV比50%、初期補助磁界2.9 kOe、記
録磁界3500e 、低レベルのレーザビームのパワ4
、OmW 、高レベルのレーザビームのパワー13.0
 mWの条件で記録し、再生したところ、C/854 
dBが得られた。この上に、線速度11;3 m/s 
記録周波数7.4 HN3. D u T ¥比50%
、初期補助磁界2.9 kOe、記録磁界3000e 
、低レベルのレーザビームのパワー4.0 mW 、高
レベルのレーザビームのパワー13.0mWの条件でオ
ーバライトしたところ、47 dBの再生信号が得られ
た。エラ発生率は1叶5〜1叶6であった。このとき3
.7MHzの信号(前の情報)は全く現れなかった。
(2−2)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれ6.0xlO−I Paおよび8.0×10
−2 Paの時 第5表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeCo制御層およびGdTbFeCo記録
補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカール
ープは、第2図に示すようなループになった。このとき
の、TbFeC0層およびGdTbFeCo層の反転磁
界は、それぞれ25.0 kOeおよび2.3 kOe
であった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 m/s 、記録周波数3.7 
MHz。
DuTy比50%、初期補助磁界2.9 kOe、記録
磁界3500e 、低レベルのレーザビームのパワ4、
OmW 、高レベルのレーザビームのパワー13.0m
−の条件で記録し、再生したところ、C/854 dB
が得られた。この上に、線速度11.3 m/s 。
記録周波数7.48H2,D u T y比50%、初
期補助磁界2.9 kOe、記録磁界3500e 、低
レベルのレーザビームのパワー4、OmW 、高レベル
のレーザビームのパワー13.0mWの条件でオーバラ
イトしたところ、48 dBの再生信号が得られた。エ
ラー発生率は10−5〜10−6であった。このとき3
.7MHzの信号(前の情報)は全く現れなかった。
(2−3)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれ3.0xlO−I Paおよび3.0×10
−I Paの時 第5表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeC0制御層およびGdTbFeCo記録
補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカール
ープは、第2図に示すようなループになった。このとき
の、TbFeC。
層およびGdTbFeCo層の反転磁界は、それぞれ2
6.0 kOeおよび3.0kOeであった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 m/S 、記録周波数3.7聞
2゜DuTy比50%、初期補助磁界4.0 kOe、
記録磁界350. Oe 、低レベルのレーザビームの
パワ4、OmW 、高レベルのレーザビームのパワー1
3.0 mWの条件で記録し、再生したところ、C/8
53 dBが得られた。この上に、線速度11.3 m
/s 。
記録周波数7.48H2,D u T V比50%、初
期補助磁界2.9 kOe、記録磁界3500e 、低
レベルのレーザビームのパワー4゜OmW 、高レベル
のレーザビームのパワー13.0111Hの条件でオー
バライトしたところ、47 dBの再生信号が得られた
。エラー発生率は10−5〜10−6であった。このと
き3.7MHzの信@(前の情報)は全く現れなかった
(3)記録層作成時のAr圧が5.0X10−I Pa
の場TbFeCo層の単層での諸特性は第6表に示すと
おりであった。
第6表 (3−1)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれ4. Ox 10−2 Paおよび4.OX
 10−2 Paの時 第6表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeCo制御層およびGdTbFeCo記録
補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカール
ープは、第2図に示すようなループになった。このとき
の、TbFeC。
層およびGdTbFeCo層の反転磁界は、それぞれ2
6.0 kOeおよび2.2 kOeであった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 m/S 、記録周波数3.78
H2゜DuTy比50%、初期補助磁界4.、Okoe
、記録層PiL3500e 、低レベルのレーザビーム
のパワ4、Oin 、高レベルのレーザビームのパワー
12.0 mWの条件で記録し、再生したところ、C/
N53dBが得られた。この上に、線速度11.3 m
is 。
記録周波数7.4 )IHz、 D u T y比50
%、初期補助磁界4.0 kOe、記録磁界3000e
 、低レベルのレーザビームのパワー4.0 mW 、
高レベルのレザビームのパワー12.0 m−の条件で
オーバライトしたところ、47 dBの再生信号が得ら
れた。エラー発生率は10−5〜10−6であった。こ
のとき3.78H2の信号(前の情報)は全く現れなか
った。
(3−2)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれ1.5xlO−I Paおよび1.5×10
−f Paの時 第6表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeCo制御層およびGdTbFeCo記録
補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカール
ープは、第2図に示すようなループになった。このとき
の、TbFeC0層およびGdTbFeCo層の反転磁
界は、それぞれ26、OkOeおよび2.4 kOeテ
あった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 mis 、記録周波数3.7 
MHz。
DuT’i/比50%、初期補助磁界4゜Okoe、記
録磁界3500e 、低レベルのレーザビームのパワ4
、OmW 、高レベルのし〜ザビームのパワー12.0
 mWの条件で記録し、再生したところ、C/N53 
dBが得られた。この上に、線速度11.3 mis 
記録周波数7.48H2,D u T V比50%、初
期補助磁界2.9 kOe、記録磁界3000e 、低
レベルのレーザビームのパワー4.0 mW 、高レベ
ルのレーザビームのパワー13.0m−の条件でオーバ
ライトしたところ、47dBの再生信号が得られた。エ
ラー発生率は10−5〜10−6であった。このとき3
,7)fHzの信号(前の情報)は全く現れなかった。
(3−3)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれ3.0xlO−I Paおよび3.0×1叶
I Paの時 第6表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeCo!IJwJ層および(3dTbFe
Co記録補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜
のカーループは、第2図に示すようなループになった。
このときの、TbFeC。
層およびGdTbFeCo層の反転磁界は、それぞれ2
6.0 koeおよび2.7kOeであった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 mis 、記録周波数3.7間
Z。
DuTy比50%、初期補助磁界4.0 kOe、記録
磁界3500e 、低レベルのレーザビームのパワ4、
Oml+l 、高レベルのレーザビームのパワー12.
0 mWの条件で記録し、再生したところ、C/852
 dBが得られた。この上に、線速度11.3111/
S 。
記録周波数7.4 MHz、 DuTy比50%、初期
補助磁界4.0 koe、記録磁界3000e 、低レ
ベルのレーザビームのパワー4.0 mW 、高レベル
のレーザビームのパワー12.0 mwの条件でオーバ
ライトしたところ、46 dBの再生信号が得られた。
エラ発生率は10−5〜1叶6であった。このとき3,
7HHzの信号(前の情報)は全く現れなかった。
(4)記録層作成時のAr圧が8.0xlO−I  P
aの場合 TbFeCo層の単層での諸特性は第7表に示すとあり
であった。
第7表 (4−1)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれ4.Ox 10−2 Paおよび1.5X 
10−1 Paの時 第7表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeC○制御層およびGdTbFeCo記録
補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカール
ープは、第2図に示すようなループになった。このとき
の、TbFeC。
層およびGdTbFeC0層の反転磁界は、それぞれ2
8.0 kOeおよび2.4 kOeであった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11..3 m/s 、記録周波数3.7
 MHz。
DuTy比50%、初期補助磁界4.0 kOe、記録
磁界3000e 、低レベルのレーザビームのパワ4、
、OmW 、高レベルのレーザビームのパワー11.0
 mWの条件で記録し、再生したところ、C/852 
dBが得られた。この上に、線速度11.3 m/S 
記録周波数7.4 MIIZ、 D LJ T V比5
0%、初期補助磁界4.0 koe、記録磁界3000
e 、低レベルのレーザビームのパワー4.0 mW 
、高レベルのレーザビームのパワー11.0 mWの条
件でオーバライトしたところ、46dBの再生信号が得
られた。エラー発生率は10−5〜10−6であった。
このとき3.7HHzの信号(前の情報)は全く現れな
かった。
(4−2)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれe、oxio−t paおよび4.0X10
−2 Paの時 第7表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeCo1VilI御層およびGdTbFe
Co記録補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜
のカーループは、第2図に示すようなループになった。
このときの、TbFeC。
層およびGdTbFeCo層の反転磁界は、それぞれ2
8.0 koeおよび2.4kOeであった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 m/s 、記録周波数3.78
H2゜DuTy比50%、初期補助磁界4.0 kOe
、記録磁界3000e 、低レベルのレーザビームのパ
ワ4、OtW 、高レベルのレーザビームのパワ11、
OmWの条件で記録し、再生したところ、C/853 
dBが得られた。この上に、線速度11.3 m/s 
記録周波数7.4 MHz、 [)uTy比50%、初
期補助磁界4.0 koe、記録磁界3000e 、低
レベルのレーザビームのパワー4.0 mW 、高レベ
ルのレザビームのパワー11.0 mWの条件でオーバ
ライトしたところ、46d8の再生信号が得られた。エ
ラー発生率は1叶5〜10−6であった。このとき3.
1)tHzの信@(前の情報)は全く現れなかった。
(4−3)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれ6.0X10−嘗Paおよび3.0×10−
f Paの時 第7表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFe’COIIJm層およびGdTbFeC
o記録補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜の
カーループは、第2図に示すようなループになった。こ
のときの、TbFeC。
層およびGdTbFeCo層の反転磁界は、それぞれ2
8.0 kOeおよび2.7 kOeであった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 m/s 、記録周波数3.7 
Mn2゜DuTy比50%、初期補助磁界4.0 kO
e、記録磁界3000e 、低レベルのレーザビームの
パワ4、OmW 、高レベルのレーザビームのパワー1
1゜OmHの条件で記録し、再生したところ、C/N5
1 dBが得られた。この上に、線速度11.311/
S 。
記録周波数7.4 MH7,D u T V比50%、
初期補助磁界4.0 kOe、記録磁界3000e 、
低レベルのレーザビームのパワー4.0111W 、高
レベルのレーザビームのパワー11.0 mWの条件で
オーバライトしたところ、46 dBの再生信号が得ら
れた。エラー発生率は10−5〜10−6であった。こ
のとき3.78H2の信号(前の情報)は全く現れなか
った。
(5)記録層作成時のAr圧が1.0Paの場合TbF
eC0層の単層での諸特性は第8表に示すとおりであっ
た。
第8表 (5−1)制御層および記録補助層作成時のArカス圧
がそれぞれ3. Ox 10−1 Paおよび4、OX
 10−2 Paの時 第8表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeCo制御層およびGdTbFeCo記録
補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカール
ープは、第2図に示すようなループになった。このとき
の、TbFeC。
層およびGdTbFeCo層の反転磁界は、それぞれ2
8.0 kOeおよび2.5 koeであった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 m/s 、記録周波数3.7 
)IHz。
DuTytL5o%、初期補助磁界4.0 koe、記
録磁界2C)OOe 、低レベルのレーザビームのパワ
4.0111W 、高レベルのレーザビームのパワー9
.0mWの条件で記録し、再生したところ、C/N 5
0dBが得られた。この上に、線速度11.3 m/s
 、記録周波数7.4.8H2,D LJ T V比5
0%、初期補助磁界4.0 koe、記録磁界2000
e 、低レベルのレーザビ−ムのパワー4.0 mW 
、高レベルのレーザビームのパワー9.0IIIWの条
件でオーバライトしたところ、45d8の再生信号が得
られた。エラ発生率は1叶5〜10−6であった。この
とき3.78H2の信号(前の情報〉は全く現れなかっ
た。
(5−2)制御層および記録補助層作成時のArガス圧
がそれぞれ3.0x10−I Paおよび1.5×10
−2 Paの時 第8表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeCo制御層およびGdTbFeCo記録
補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカール
ープは、第2図に示すようなループになった。このとき
の、TbFeC0層およびGdTbFeCo層の反転磁
界は、それぞれ28.0 koeおよび2.7 koe
であった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 m/s 、記録周波数3.7 
MHz。
DuTy比50%、初期補助磁界4.0 kOe、記録
磁界2000e 、低レベルのレーザご−ムのパワ4、
OmW 、高レベルのレーザビームのパワー9.0Il
lIlの条件で記録し、再生したところ、C/N 51
dBが得られた。この上に、線速度11.3111/S
 、記録周波数7.4 MHz、 D u T V比5
0%、初期補助磁界4.0 kOe、記録磁界2000
e 、低レベルのレーザビームのパワー4.0 mW 
、高レベルのレーザビームのパワー9.0mWの条件で
オーバライトしたところ、45dBの再生信号が得られ
た。エラ発生率は10−5〜10−6であった。このと
き3.7)IH7の信号(前の情報)は全く現れなかっ
た。
(5−3)制御層および記録補助層作成時のArカス圧
がそれぞれ6.()xlO−I Paおよび6.0×1
0−f Paの時 第8表に特性を示した記録層、第1表、第2表に特性を
示したNdFeC0制御層およびGdTbFeCo記録
補助層を用いて3層膜を作成した。この3層膜のカール
ープは、第2図に示すようなループになった。このとき
の、TbFeC。
層およびGdTbFeCo層の反転磁界は、それぞれ2
9.0 kOeおよび3、OkOeであった。
次にこの媒体に対し、オーバライトを実施した。
まず、線速度11.3 m/s 、記録周波数3.78
H7゜DuTy比50%、初期補助磁界4.0 kOe
、記録磁界2000e 、低レベルのレーザビームのパ
ワー4.0 mW 、高レベルのレーザビームのパワー
9.0mWの条件で記録し、再生したところ、C/N 
50dBが得られた。この上に、線速度11.3 m/
s 、記録周波数7.4 MH2,D u T V比5
0%、初期補助磁界4.0 kOe、記録磁界2000
e 、低レベルのレザビームのパワー4.0 mW 、
高レベルのレーザビームのパワー9.0mWの条件でオ
ーバライトしたところ、45 dBの再生信号が1qら
れた。エラー発生率は10−5〜10−6であった。こ
のとき3.7MH2の信号(前の情報)は全く現れなか
った。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明の方法によれば磁性層間の
磁気的結合力を調節することが可能になり、その結果、
オーバライト特性の良好な光磁気記録媒体を得ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の方法によって得られた光磁気記録媒体
の一例の部分断面図、第2図は本発明の方法により得ら
れた光磁気記録媒体の一例のM−Hループを示す特性図
、第3図は本発明の方法を適用しない時の光磁気記録媒
体のM−1−1ループを示す特性図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上に第1、第2および第3の磁性膜が順次形
    成され、レーザ光によつて情報の記録、再生、消去を行
    うオーバライト可能な光磁気記録媒体の製造方法におい
    て、第1の磁性膜をスパッタにより成膜する際のArガ
    ス圧を1.0×10^−^1〜1.0Paの範囲にする
    ことを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
JP18059290A 1990-07-10 1990-07-10 光磁気記録媒体の製造方法 Pending JPH0469830A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5978174A (en) * 1994-10-31 1999-11-02 Sullivan; Thomas Milton Magnetic recording component
JP2009176687A (ja) * 2008-01-28 2009-08-06 Panasonic Electric Works Co Ltd 表示付スイッチ

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US5978174A (en) * 1994-10-31 1999-11-02 Sullivan; Thomas Milton Magnetic recording component
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