JPH047072A - 超音波洗浄方法 - Google Patents
超音波洗浄方法Info
- Publication number
- JPH047072A JPH047072A JP10719790A JP10719790A JPH047072A JP H047072 A JPH047072 A JP H047072A JP 10719790 A JP10719790 A JP 10719790A JP 10719790 A JP10719790 A JP 10719790A JP H047072 A JPH047072 A JP H047072A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- product
- lubricant
- heated
- vibrated
- fault
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、所定温度に加熱されかつ超音波によって振動
されている洗浄液の中に、潤滑剤付着の製品を浸漬して
この製品を洗浄する方法の改良に関する。
されている洗浄液の中に、潤滑剤付着の製品を浸漬して
この製品を洗浄する方法の改良に関する。
（従来技術と課題）
近年、超音波洗浄方法の一つとして特開昭６２−２８１
４３１号公報に記載されているように所定温度に加熱さ
れかつ超音波によって振動されている洗浄液の中に、製
造工程中に汚染物が付着したウェハを浸漬してこのウニ
ノーを洗浄し汚染物を除去するようにしたものがある。
４３１号公報に記載されているように所定温度に加熱さ
れかつ超音波によって振動されている洗浄液の中に、製
造工程中に汚染物が付着したウェハを浸漬してこのウニ
ノーを洗浄し汚染物を除去するようにしたものがある。
しかし、この従来の洗浄方法では、特に形状が複雑であ
ったり、表面に傷かある製品に付着した潤滑剤を、当該
製品から除去する場合、時間がかかって生産性か悪いな
との問題があった。
ったり、表面に傷かある製品に付着した潤滑剤を、当該
製品から除去する場合、時間がかかって生産性か悪いな
との問題があった。
本発明は上記の問題を解消するためになされたものであ
る。
る。
（課題を解決するための手段）
上記目的を達成するために本発明においては、所定温度
に加熱されかつ超音波によって振動されている洗浄液の
中に、潤滑剤付着製品を所定温度に加熱したのち浸漬す
るようにしたものである。
に加熱されかつ超音波によって振動されている洗浄液の
中に、潤滑剤付着製品を所定温度に加熱したのち浸漬す
るようにしたものである。
ここて、潤滑剤付着製品は、ガスバーナ、電気ヒータ等
の適宜の加熱手段で加熱するようにする。
の適宜の加熱手段で加熱するようにする。
（実施例）
実施例について説明する。７０°Ｃの温度に加熱されか
つ超音波によって振動されている洗浄液に、潤滑剤が付
着している鋼製の円筒状加工品を浸漬して洗浄する場合
、当該加工品を１５０°Ｃの温度に加熱したのち洗浄液
に浸漬したときには、１６秒で潤滑剤を１００％（完全
に）除去することかできて全表面が金属光沢を有するよ
うになったか、加工物を加熱せずに自然温度のまま上記
洗浄液に浸漬したときには、潤滑剤を１００％除去する
のに２５秒かかった。
つ超音波によって振動されている洗浄液に、潤滑剤が付
着している鋼製の円筒状加工品を浸漬して洗浄する場合
、当該加工品を１５０°Ｃの温度に加熱したのち洗浄液
に浸漬したときには、１６秒で潤滑剤を１００％（完全
に）除去することかできて全表面が金属光沢を有するよ
うになったか、加工物を加熱せずに自然温度のまま上記
洗浄液に浸漬したときには、潤滑剤を１００％除去する
のに２５秒かかった。
なお、製品に付着した潤滑剤は、製品を１００°Ｃを超
える温度に加熱すると、溶解されて急激に除去しやすく
なるが、１５０°Ｃの温度を超えると、それ以上製品を
加熱しても、この製品では除去の容易性はほとんど変わ
らなかった。
える温度に加熱すると、溶解されて急激に除去しやすく
なるが、１５０°Ｃの温度を超えると、それ以上製品を
加熱しても、この製品では除去の容易性はほとんど変わ
らなかった。
また、７０’Ｃの温度に加熱されかつ超音波によって振
動されている洗浄液の中に、潤滑剤が付着している直径
２ｍｍの伸線材を浸漬移動さ杖てその潤滑剤を１００％
（完全に）に除去する場合、当該伸線材を１５０°Ｃの
温度に加熱したときには、伸線材を７０ｍ／分の速度で
移動させることかできたが、伸線材を加熱せずに自然温
度のまま上記洗浄液中に浸漬移動させてその潤滑剤を１
００％除去することを試みたところ、伸線材を４５ｍ／
分の遅い速度で移動させる必要があった。
動されている洗浄液の中に、潤滑剤が付着している直径
２ｍｍの伸線材を浸漬移動さ杖てその潤滑剤を１００％
（完全に）に除去する場合、当該伸線材を１５０°Ｃの
温度に加熱したときには、伸線材を７０ｍ／分の速度で
移動させることかできたが、伸線材を加熱せずに自然温
度のまま上記洗浄液中に浸漬移動させてその潤滑剤を１
００％除去することを試みたところ、伸線材を４５ｍ／
分の遅い速度で移動させる必要があった。
なお、製品を加熱することにより、傷内の潤滑剤をも溶
解させて急速ににしみ出させることになるため、加熱を
行わないで傷内の潤滑剤を除去する場合の約１／２の時
間で洗浄除去できることが判った。
解させて急速ににしみ出させることになるため、加熱を
行わないで傷内の潤滑剤を除去する場合の約１／２の時
間で洗浄除去できることが判った。
（発明の効果）
以上の説明からも明らかなように本発明は、潤滑剤付着
の製品を所定温度に加熱してその潤滑剤の溶解性を高め
たのち、所定の洗浄液に浸漬させるようにしたため、複
雑な形状であったり、傷か付いている製品に付着してい
る潤滑剤を、従来の超音波洗浄による方法よりも短い時
間で確実に除去することができるなとの優れた効果を奏
する。
の製品を所定温度に加熱してその潤滑剤の溶解性を高め
たのち、所定の洗浄液に浸漬させるようにしたため、複
雑な形状であったり、傷か付いている製品に付着してい
る潤滑剤を、従来の超音波洗浄による方法よりも短い時
間で確実に除去することができるなとの優れた効果を奏
する。
Claims (1)
- 所定温度に加熱されかつ超音波によって振動されている
洗浄液の中に、所定温度に加熱された潤滑剤付着製品を
浸漬してこの製品を洗浄することを特徴とする超音波洗
浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10719790A JPH047072A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 超音波洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10719790A JPH047072A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 超音波洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH047072A true JPH047072A (ja) | 1992-01-10 |
Family
ID=14452942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10719790A Pending JPH047072A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 超音波洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047072A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5718181A (en) * | 1995-01-18 | 1998-02-17 | Juki Corporation | Bobbin exchanger |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP10719790A patent/JPH047072A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5718181A (en) * | 1995-01-18 | 1998-02-17 | Juki Corporation | Bobbin exchanger |
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