JPH0639357A - 洗浄方法 - Google Patents
洗浄方法Info
- Publication number
- JPH0639357A JPH0639357A JP21746792A JP21746792A JPH0639357A JP H0639357 A JPH0639357 A JP H0639357A JP 21746792 A JP21746792 A JP 21746792A JP 21746792 A JP21746792 A JP 21746792A JP H0639357 A JPH0639357 A JP H0639357A
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- Japan
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- surfactant
- drying
- water
- washing
- cleaning method
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 環境等に対する危険性がなく、かつ乾燥時間
が速く、しかも洗浄物の物性，品質を損なうことのない
洗浄方法を提供する。 【構成】 水洗工程および乾燥工程を含む洗浄方法にお
いて、乾燥工程直前に界面活性剤を含んだ水溶液で洗浄
物を処理し、その後に水洗を行わないで前記洗浄物を乾
燥させるようにした。また、この場合、界面活性剤とし
て多糖類を加工して得られたものを用いるようにした。
が速く、しかも洗浄物の物性，品質を損なうことのない
洗浄方法を提供する。 【構成】 水洗工程および乾燥工程を含む洗浄方法にお
いて、乾燥工程直前に界面活性剤を含んだ水溶液で洗浄
物を処理し、その後に水洗を行わないで前記洗浄物を乾
燥させるようにした。また、この場合、界面活性剤とし
て多糖類を加工して得られたものを用いるようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、水洗工程および乾燥
工程を含む洗浄方法に関するものである。
工程を含む洗浄方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、レンズ、プリズムあるいは表面
鏡等の光学部品の研磨工程では何回かの洗浄が行われ
る。例えば、レンズにあっては、玉はがし後、心取り後
およびヤケ落とし後にそれぞれ洗浄が行われている。
鏡等の光学部品の研磨工程では何回かの洗浄が行われ
る。例えば、レンズにあっては、玉はがし後、心取り後
およびヤケ落とし後にそれぞれ洗浄が行われている。
【０００３】これら光学部品の洗浄工程は一様ではない
が、例えばレンズにおける洗浄方法の一例を説明すれ
ば、まず、パークロルエチレンからなる洗浄液によって
レンズ表面の脱脂を通じて接着剤・研磨剤等の溶解除去
を行い、次いで、レンズ表面に付着する油分や汚れを剥
離し乳化する。その後、市水を用いた水洗によってレン
ズ表面の乳化剤を除去し、次いで、洗浄剤含有の市水を
用いて水溶性汚染物の溶解除去を行う。次いで、市水を
用いた水洗によって洗剤の水溶性汚染物質をレンズ表面
から除去し、その後、純水を用いた水洗によって洗剤や
無機有機塩類等の完全除去を行う。そして、その後に光
学部品の乾燥を行う。なお、レンズに限らず、プリズム
あるいは表面鏡等の光学部品や、半導体製造工程で用い
られるウェーハの洗浄もほぼ同様な工程によって行われ
る。
が、例えばレンズにおける洗浄方法の一例を説明すれ
ば、まず、パークロルエチレンからなる洗浄液によって
レンズ表面の脱脂を通じて接着剤・研磨剤等の溶解除去
を行い、次いで、レンズ表面に付着する油分や汚れを剥
離し乳化する。その後、市水を用いた水洗によってレン
ズ表面の乳化剤を除去し、次いで、洗浄剤含有の市水を
用いて水溶性汚染物の溶解除去を行う。次いで、市水を
用いた水洗によって洗剤の水溶性汚染物質をレンズ表面
から除去し、その後、純水を用いた水洗によって洗剤や
無機有機塩類等の完全除去を行う。そして、その後に光
学部品の乾燥を行う。なお、レンズに限らず、プリズム
あるいは表面鏡等の光学部品や、半導体製造工程で用い
られるウェーハの洗浄もほぼ同様な工程によって行われ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記光学部
品等の乾燥にあたっては、従来、溶剤乾燥、熱乾燥ある
いは真空乾燥が行われているが、従来の洗浄方法にあっ
ては下記のような問題があった。
品等の乾燥にあたっては、従来、溶剤乾燥、熱乾燥ある
いは真空乾燥が行われているが、従来の洗浄方法にあっ
ては下記のような問題があった。
【０００５】すなわち、溶剤乾燥にあっては、溶剤とし
てイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）が用いられ、この
ＩＰＡにより洗浄物表面の水切りを行い、最終の乾燥工
程でＩＰＡを蒸気化して揮散させる方法が取られるが、
この場合のＩＰＡ蒸気は沸点（８３℃）近くの温度下で
使用されることから、引火や爆発の危険性を有するとい
う問題がある。また、ＩＰＡ蒸気の代わりにフロン蒸気
を用いることもあるが、このフロン蒸気を用いる場合に
はオゾン槽の破壊等の環境上の問題を生ずる。
てイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）が用いられ、この
ＩＰＡにより洗浄物表面の水切りを行い、最終の乾燥工
程でＩＰＡを蒸気化して揮散させる方法が取られるが、
この場合のＩＰＡ蒸気は沸点（８３℃）近くの温度下で
使用されることから、引火や爆発の危険性を有するとい
う問題がある。また、ＩＰＡ蒸気の代わりにフロン蒸気
を用いることもあるが、このフロン蒸気を用いる場合に
はオゾン槽の破壊等の環境上の問題を生ずる。
【０００６】また、ＩＰＡ等の溶剤を用いない熱乾燥あ
るいは真空乾燥にあっては、水洗直後の洗浄物表面には
水の表面張力によって水滴が付着したままのため、その
まま乾燥した場合乾きムラができてしまう。また、水滴
の存在によって乾燥表面積が著しく減少している上、水
の蒸発潜熱は大きいので、乾燥に時間がかかるという問
題がある。
るいは真空乾燥にあっては、水洗直後の洗浄物表面には
水の表面張力によって水滴が付着したままのため、その
まま乾燥した場合乾きムラができてしまう。また、水滴
の存在によって乾燥表面積が著しく減少している上、水
の蒸発潜熱は大きいので、乾燥に時間がかかるという問
題がある。
【０００７】かかる問題は、水洗後の洗浄物を乾燥させ
る場合に一般的に生ずる問題であり、その改善が望まれ
ていた。
る場合に一般的に生ずる問題であり、その改善が望まれ
ていた。
【０００８】本発明は、かかる点に鑑みなされたもの
で、環境等に対する危険性がなく、かつ乾燥時間が速
く、しかも洗浄物の物性，品質を損なうことのない洗浄
方法を提供することを目的としている。
で、環境等に対する危険性がなく、かつ乾燥時間が速
く、しかも洗浄物の物性，品質を損なうことのない洗浄
方法を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
る洗浄方法は、乾燥工程直前に界面活性剤を含んだ水溶
液で洗浄物を処理し、その後に水洗を行わないで前記洗
浄物を乾燥させるようにしたものである。
る洗浄方法は、乾燥工程直前に界面活性剤を含んだ水溶
液で洗浄物を処理し、その後に水洗を行わないで前記洗
浄物を乾燥させるようにしたものである。
【００１０】請求項２記載の発明に係る洗浄方法は、請
求項１記載の洗浄方法における界面活性剤として多糖類
を加工して得られたものを用いるようにしたものであ
る。
求項１記載の洗浄方法における界面活性剤として多糖類
を加工して得られたものを用いるようにしたものであ
る。
【００１１】
【作用】前記した手段によれば、乾燥工程直前に界面活
性剤を含んだ水溶液で洗浄物を処理しているので、洗浄
物表面に界面活性剤が吸着して水の表面張力を著しく減
少させるという作用によって、洗浄物表面に水滴が生ず
ることがなくなる。そして、この状態で乾燥させるよう
にしているため、乾きムラがなくなるとともに、乾燥表
面積が増加して乾燥時間が短くなる。また、ＩＰＡ等の
溶剤を用いないので、ＩＰＡあるいはフロンを用いる場
合の問題点（引火、爆発の危険性、オゾン槽の破壊等の
環境上の問題点）が解消されることになる。また、界面
活性剤として多糖類のものを用いた場合には、ＩＰＡお
よびフロンのように毒性がないため、人体にも安全であ
る。
性剤を含んだ水溶液で洗浄物を処理しているので、洗浄
物表面に界面活性剤が吸着して水の表面張力を著しく減
少させるという作用によって、洗浄物表面に水滴が生ず
ることがなくなる。そして、この状態で乾燥させるよう
にしているため、乾きムラがなくなるとともに、乾燥表
面積が増加して乾燥時間が短くなる。また、ＩＰＡ等の
溶剤を用いないので、ＩＰＡあるいはフロンを用いる場
合の問題点（引火、爆発の危険性、オゾン槽の破壊等の
環境上の問題点）が解消されることになる。また、界面
活性剤として多糖類のものを用いた場合には、ＩＰＡお
よびフロンのように毒性がないため、人体にも安全であ
る。
【００１２】
【実施例】以下、本発明に係る洗浄方法の実施例を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１３】図１には洗浄方法の工程が記載されてい
る。この実施例の洗浄方法は超音波を用いた洗浄方法で
あって、この基本工程は大別して脱脂工程１、乳化工程
２、洗浄工程３、水洗工程４、純水洗浄工程５、界面活
性剤処理工程６および乾燥工程７からなっている。
る。この実施例の洗浄方法は超音波を用いた洗浄方法で
あって、この基本工程は大別して脱脂工程１、乳化工程
２、洗浄工程３、水洗工程４、純水洗浄工程５、界面活
性剤処理工程６および乾燥工程７からなっている。
【００１４】脱脂工程１は、レンズ加工で用いる接着剤
等の油脂類を溶解し除去する工程であって、溶剤として
は、溶解力とその安定性等を考慮して一般にパークロル
エチレンが用いられる。
等の油脂類を溶解し除去する工程であって、溶剤として
は、溶解力とその安定性等を考慮して一般にパークロル
エチレンが用いられる。
【００１５】次の乳化工程２は、前工程から持ち込まれ
るパークロルエチレンと乳化剤（界面活性剤、無機ビル
ダー）との作用および超音波作用により、レンズ表面に
付着した油分や汚れを剥離し乳化するためのものであっ
て、この場合の乳化剤としては、例えば、キレート剤系
洗浄助剤を含有した非イオン系界面活性剤が使用され
る。
るパークロルエチレンと乳化剤（界面活性剤、無機ビル
ダー）との作用および超音波作用により、レンズ表面に
付着した油分や汚れを剥離し乳化するためのものであっ
て、この場合の乳化剤としては、例えば、キレート剤系
洗浄助剤を含有した非イオン系界面活性剤が使用され
る。
【００１６】洗浄工程３は、水溶性汚染物質の除去を行
うためのものである。この場合の水溶性汚染物質の除去
は、市水＋洗浄剤によってなされるが、その前に、前工
程から持ち込まれる乳化剤を市水の水洗いによって除去
する工程が前置される。なお、前記洗剤としては、例え
ば陰イオン系界面活性剤のものが使用される。
うためのものである。この場合の水溶性汚染物質の除去
は、市水＋洗浄剤によってなされるが、その前に、前工
程から持ち込まれる乳化剤を市水の水洗いによって除去
する工程が前置される。なお、前記洗剤としては、例え
ば陰イオン系界面活性剤のものが使用される。
【００１７】水洗工程４は、レンズ表面に付着している
洗剤、水溶性汚染物質、無機塩類および有機塩類を除去
するためのものであって、これらの除去のため、この工
程では市水による水洗が行われる。
洗剤、水溶性汚染物質、無機塩類および有機塩類を除去
するためのものであって、これらの除去のため、この工
程では市水による水洗が行われる。
【００１８】純水洗浄工程５は、レンズ表面に付着して
いる洗剤、水溶性汚染物質、無機塩類および有機塩類を
完全除去するためのものであって、これらの完全除去の
ため、この工程では純水による水洗が行われる。純水と
しては、例えば比抵抗が数ＭΩのものが用いられる。
いる洗剤、水溶性汚染物質、無機塩類および有機塩類を
完全除去するためのものであって、これらの完全除去の
ため、この工程では純水による水洗が行われる。純水と
しては、例えば比抵抗が数ＭΩのものが用いられる。
【００１９】界面活性剤処理工程６は、レンズ表面の水
の濡れ性を良くするためのもので、処理液としては界面
活性剤含有の水溶液が用いられ、レンズは、この界面活
性剤含有の水溶液中に浸漬されるようになっている。こ
の場合の界面活性剤としては多糖類を加工したものが用
いられる。この多糖類としては、特に制限はされない
が、デキストラン、イヌリン、ガッチガム、ヒアルロン
酸、コンドロイチン硫酸等が挙げられる。多糖類を用い
るにあたっては、１種のみならず２種以上のものを同時
に使用しても良い。また、界面活性剤としては多糖類を
加工したものに限定はされず、あらゆる界面活性剤を使
用することができるが、洗剤のように界面活性効果はあ
っても、乾燥後に成分がレンズ表面に残り、レンズの物
性や品質の低下を生じさせるようなものは好ましくはな
い。なお、この場合の多糖類の界面活性剤の濃度として
は、用いる界面活性剤の多糖類の種類によっても異なる
が、概ね０．５ｗｔ％〜１０ｗｔ％が好ましい。０．５
ｗｔ％より濃度が低いと、界面活性効果が低く水をはじ
いてしまい、レンズ表面に水滴が生じてしまうからであ
る。また、１０ｗｔ％より濃度が高いと乾燥後にレンズ
に界面活性剤が多く残ってしまい、レンズに悪影響を与
えるからである。
の濡れ性を良くするためのもので、処理液としては界面
活性剤含有の水溶液が用いられ、レンズは、この界面活
性剤含有の水溶液中に浸漬されるようになっている。こ
の場合の界面活性剤としては多糖類を加工したものが用
いられる。この多糖類としては、特に制限はされない
が、デキストラン、イヌリン、ガッチガム、ヒアルロン
酸、コンドロイチン硫酸等が挙げられる。多糖類を用い
るにあたっては、１種のみならず２種以上のものを同時
に使用しても良い。また、界面活性剤としては多糖類を
加工したものに限定はされず、あらゆる界面活性剤を使
用することができるが、洗剤のように界面活性効果はあ
っても、乾燥後に成分がレンズ表面に残り、レンズの物
性や品質の低下を生じさせるようなものは好ましくはな
い。なお、この場合の多糖類の界面活性剤の濃度として
は、用いる界面活性剤の多糖類の種類によっても異なる
が、概ね０．５ｗｔ％〜１０ｗｔ％が好ましい。０．５
ｗｔ％より濃度が低いと、界面活性効果が低く水をはじ
いてしまい、レンズ表面に水滴が生じてしまうからであ
る。また、１０ｗｔ％より濃度が高いと乾燥後にレンズ
に界面活性剤が多く残ってしまい、レンズに悪影響を与
えるからである。
【００２０】乾燥工程７は、レンズ表面を乾燥させるた
めのものであって、乾燥にあたっては熱乾燥や真空乾燥
が用いられる。
めのものであって、乾燥にあたっては熱乾燥や真空乾燥
が用いられる。
【００２１】以上の実施例の洗浄方法によれば、下記の
ような効果を得ることができる。
ような効果を得ることができる。
【００２２】前記した手段によれば、乾燥工程直前に界
面活性剤を含んだ水溶液で洗浄物を処理しているので、
洗浄物表面に界面活性剤が吸着して水の表面張力を著し
く減少させるという作用によって、洗浄物表面に水滴が
生ずることがなくなる。そして、この状態で乾燥させる
ようにしているため、乾きムラがなくなるとともに、乾
燥表面積が増加して乾燥時間が短くなる。ちなみに、熱
乾燥を行った場合について比較すれば、従来の１／５程
度で完全乾燥が行えた。
面活性剤を含んだ水溶液で洗浄物を処理しているので、
洗浄物表面に界面活性剤が吸着して水の表面張力を著し
く減少させるという作用によって、洗浄物表面に水滴が
生ずることがなくなる。そして、この状態で乾燥させる
ようにしているため、乾きムラがなくなるとともに、乾
燥表面積が増加して乾燥時間が短くなる。ちなみに、熱
乾燥を行った場合について比較すれば、従来の１／５程
度で完全乾燥が行えた。
【００２３】また、ＩＰＡ等の溶剤を用いないので、Ｉ
ＰＡあるいはフロンを用いる場合の問題点（引火、爆発
の危険性、オゾン槽の破壊等の環境汚染等の問題点）が
解消されることになる。
ＰＡあるいはフロンを用いる場合の問題点（引火、爆発
の危険性、オゾン槽の破壊等の環境汚染等の問題点）が
解消されることになる。
【００２４】さらに、界面活性剤として多糖類のものを
用いた場合には、ＩＰＡおよびフロンのように毒性がな
いため、人体にも安全である。
用いた場合には、ＩＰＡおよびフロンのように毒性がな
いため、人体にも安全である。
【００２５】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明は前記実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱
しない範囲において種々の変形が可能である。
本発明は前記実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱
しない範囲において種々の変形が可能である。
【００２６】例えば、前記洗浄方法によれば、超音波洗
浄方法を例に説明したが、浸漬洗浄方法、シャワー洗浄
方法、蒸気洗浄方法などあらゆる洗浄方法にも本発明は
適用できる。
浄方法を例に説明したが、浸漬洗浄方法、シャワー洗浄
方法、蒸気洗浄方法などあらゆる洗浄方法にも本発明は
適用できる。
【００２７】また、界面活性剤による処理方法も浸漬に
限定されず、かけ流しのような方法によっても良い。ま
た、超音波を併用するようにしても良い。
限定されず、かけ流しのような方法によっても良い。ま
た、超音波を併用するようにしても良い。
【００２８】また、前記洗浄方法では洗浄物としてレン
ズを例に挙げたが、ガラスやプラスチック製の他の光学
部品、半導体ウェーハ、プラスチック成形品その他の非
親水性素材全般の洗浄に適用できることはいうまでもな
い。
ズを例に挙げたが、ガラスやプラスチック製の他の光学
部品、半導体ウェーハ、プラスチック成形品その他の非
親水性素材全般の洗浄に適用できることはいうまでもな
い。
【００２９】
【発明の効果】本発明に係る洗浄方法によれば、乾燥工
程直前に界面活性剤を含んだ水溶液で洗浄物を処理し、
その後に水洗を行わないで前記洗浄物を乾燥させるよう
にしたので、乾燥時間が極めて短くなる。また、ＩＰＡ
等の溶剤を用いないので、ＩＰＡあるいはフロンを用い
る場合の問題点（引火、爆発の危険性、オゾン槽の破壊
等の環境汚染等の問題点）が解消されることになる。ま
た、界面活性剤として多糖類のものを用いた場合には、
ＩＰＡおよびフロンのように毒性がないため、人体にも
安全である。
程直前に界面活性剤を含んだ水溶液で洗浄物を処理し、
その後に水洗を行わないで前記洗浄物を乾燥させるよう
にしたので、乾燥時間が極めて短くなる。また、ＩＰＡ
等の溶剤を用いないので、ＩＰＡあるいはフロンを用い
る場合の問題点（引火、爆発の危険性、オゾン槽の破壊
等の環境汚染等の問題点）が解消されることになる。ま
た、界面活性剤として多糖類のものを用いた場合には、
ＩＰＡおよびフロンのように毒性がないため、人体にも
安全である。
【図１】実施例に係る洗浄方法の基本工程図である。
１ 脱脂工程 ２ 乳化工程 ３ 洗浄工程 ４ 水洗工程 ５ 純水洗浄工程 ６ 界面活性剤処理工程 ７ 乾燥工程
Claims (2)
- 【請求項１】 水洗工程および乾燥工程を含む洗浄方法
において、乾燥工程直前に界面活性剤を含んだ水溶液で
洗浄物を処理し、その後に水洗を行わないで前記洗浄物
を乾燥させるようにしたことを特徴とする洗浄方法。 - 【請求項２】 前記界面活性剤として多糖類を加工して
得られたものを用いたことを特徴とする請求項１記載の
洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21746792A JPH0639357A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21746792A JPH0639357A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0639357A true JPH0639357A (ja) | 1994-02-15 |
Family
ID=16704693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21746792A Pending JPH0639357A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639357A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57128315A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-09 | Canon Inc | Manufacture for electrooptic display device |
| JPS6253233A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-07 | Mazda Motor Corp | ４輪駆動車の伝達トルク制御装置 |
-
1992
- 1992-07-24 JP JP21746792A patent/JPH0639357A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57128315A (en) * | 1981-01-30 | 1982-08-09 | Canon Inc | Manufacture for electrooptic display device |
| JPS6253233A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-07 | Mazda Motor Corp | ４輪駆動車の伝達トルク制御装置 |
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