JPH0470753A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JPH0470753A JPH0470753A JP2182841A JP18284190A JPH0470753A JP H0470753 A JPH0470753 A JP H0470753A JP 2182841 A JP2182841 A JP 2182841A JP 18284190 A JP18284190 A JP 18284190A JP H0470753 A JPH0470753 A JP H0470753A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main body
- section
- clean room
- unit
- cpu
- Prior art date
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- Granted
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、フォトリソグラフィ用の露光装置、特にＩＣ
，ＬＳ１．超ＬＳＩ等の半導体素子製造用として好適な
露光装置に関するものである。
，ＬＳ１．超ＬＳＩ等の半導体素子製造用として好適な
露光装置に関するものである。
［従来の技術〕
半導体露光装置は、操作部と本体部によって構成されて
いる。
いる。
操作部は、操作部ＣＰＵ、表示装置、入力装置、補助入
力装置、補助記憶装置、および通信Ｉ／Ｆで構成され、
クエへの焼付けに関する各種制御データの人力、装置の
動作を制御する命令の人力、装置本体の動作状態の表示
、入力した制御データの保存、および保存したデータの
再利用といった機能を持っている。
力装置、補助記憶装置、および通信Ｉ／Ｆで構成され、
クエへの焼付けに関する各種制御データの人力、装置の
動作を制御する命令の人力、装置本体の動作状態の表示
、入力した制御データの保存、および保存したデータの
再利用といった機能を持っている。
本体部は、ウェハの搬送装置、ウェハステージ、焼付レ
ンズ、露光照明源、各種環境・位置センサ、アクチュエ
ータ、本体部ＣＰＵ、および通信Ｉ／Ｆといったものか
ら構成され、ウェハの焼付シーケンスを実行する機能を
持つ。
ンズ、露光照明源、各種環境・位置センサ、アクチュエ
ータ、本体部ＣＰＵ、および通信Ｉ／Ｆといったものか
ら構成され、ウェハの焼付シーケンスを実行する機能を
持つ。
従来、本体部と操作部は１ｋｂｐｓ （ｂｉｔ／５ｅｃ
ｏｎｄ）程度の比較的低速で、かつ伝送距離も短い、１
対１の通信形態で結ばれて各種制御データ命令の通信を
行ない、アライメントや露光等、露光装置としての動作
を制御している。したがって、本体部と操作部間は数メ
ートル以内と近距離になければならなかったため、本体
部と操作部は一体となって構成され、かつ本体部−つに
つき一つの操作部が必ず存在していた。
ｏｎｄ）程度の比較的低速で、かつ伝送距離も短い、１
対１の通信形態で結ばれて各種制御データ命令の通信を
行ない、アライメントや露光等、露光装置としての動作
を制御している。したがって、本体部と操作部間は数メ
ートル以内と近距離になければならなかったため、本体
部と操作部は一体となって構成され、かつ本体部−つに
つき一つの操作部が必ず存在していた。
［発明が解決しようとする課題］
現在、半導体の微細化および高集積化に伴ない、半導体
製造の各工程における発塵は、半導体の生産性に極めて
悪い影響を与えている。したかって、露光装置において
も発塵に対する対策か装置の重要な性能−つと考えられ
ている。さて、従来の技術においては、装置本体部と操
作部は一体となって構成ざわていたため、装置を設置す
るクリーンルーム内にオペレータか入り込んで装置の操
作を行なう必要があり、人間によるクリーンルーム内の
発塵の問題は避けられないという欠点かあった。
製造の各工程における発塵は、半導体の生産性に極めて
悪い影響を与えている。したかって、露光装置において
も発塵に対する対策か装置の重要な性能−つと考えられ
ている。さて、従来の技術においては、装置本体部と操
作部は一体となって構成ざわていたため、装置を設置す
るクリーンルーム内にオペレータか入り込んで装置の操
作を行なう必要があり、人間によるクリーンルーム内の
発塵の問題は避けられないという欠点かあった。
現在は、また、半導体の生産性向上のため操作効率の向
上も露光装置の重要な課題と考えられている。従来の技
術では、装置本体部の一つに１台の操作部か必ず必要で
あったので、−人のオペレータか複数の装置を操作しよ
うとするとオペレータか１台ずつ移動して操作をするこ
とになり、操作効率か向上しないという欠点があった。
上も露光装置の重要な課題と考えられている。従来の技
術では、装置本体部の一つに１台の操作部か必ず必要で
あったので、−人のオペレータか複数の装置を操作しよ
うとするとオペレータか１台ずつ移動して操作をするこ
とになり、操作効率か向上しないという欠点があった。
同様に、１台の操作部で設定されたウェハの焼付けに関
するデータを別の装置に設定する場合、−度そのデータ
をフロッピーディスクなどの媒体に保存し、それを他の
装置にオペレータが運んで設定しなければならないため
、時間かかかるたりてなくデータの設定の誤りを銹発す
る可能性も高いという欠点があった。
するデータを別の装置に設定する場合、−度そのデータ
をフロッピーディスクなどの媒体に保存し、それを他の
装置にオペレータが運んで設定しなければならないため
、時間かかかるたりてなくデータの設定の誤りを銹発す
る可能性も高いという欠点があった。
本発明は、前記の従来技術における問題点に鑑みてなさ
れたもので、クリーンルーム内の発塵を減少することが
可能な露光装置を提供することを目的とする。
れたもので、クリーンルーム内の発塵を減少することが
可能な露光装置を提供することを目的とする。
また、生産性の向上および操作性の向上を図った露光装
置を提供することをさらなる目的とする。
置を提供することをさらなる目的とする。
［課題を解決するための手段コ
前記の目的を達成するため、本発明の露光装置は、操作
部と本体部とが分離されており、かつこれらが高速バス
方式通信路で結ばれていることを特徴としている。
部と本体部とが分離されており、かつこれらが高速バス
方式通信路で結ばれていることを特徴としている。
本発明の一態様においては、一つの操作部で複数の本体
部を操作可能にしている。
部を操作可能にしている。
この場合、前記操作部の表示部を複数の表示エリアで構
成し、各表示エリアをそれぞれ複数の本体部のそれぞれ
に割り当てるようにすることが好ましい。
成し、各表示エリアをそれぞれ複数の本体部のそれぞれ
に割り当てるようにすることが好ましい。
本発明の別の態様においては、操作部の記憶装置を複数
の操作部で共有可能にしている。
の操作部で共有可能にしている。
［作用］
本発明によれば９本体部ＣＰＵと操作部ＣＰＵ間の通信
形態を高速（数メガｂｐｓ）で伝送距離の長いバス形式
のものとしたので、本体部と操作部を独立させ互いに離
して設置することか可能になる。このため、クリーンル
ーム外からの操作か可能な露光装置が実現し、従来の欠
点であったオペレータによるクリーンルーム内の発塵問
題が解決される。
形態を高速（数メガｂｐｓ）で伝送距離の長いバス形式
のものとしたので、本体部と操作部を独立させ互いに離
して設置することか可能になる。このため、クリーンル
ーム外からの操作か可能な露光装置が実現し、従来の欠
点であったオペレータによるクリーンルーム内の発塵問
題が解決される。
また、一つの操作部に複数の本体部を接続可能にし、か
つ１台の操作部のもつ表示装置による表示画面を複数の
領域に分割し、それを各装置に割り当てている。これに
より、１台の操作部で複数の装置の操作が可能となり、
−人のオペレータが移動せずに複数の装置を操作するこ
とか実現され、操作効率が悪いという欠点も解決する。
つ１台の操作部のもつ表示装置による表示画面を複数の
領域に分割し、それを各装置に割り当てている。これに
より、１台の操作部で複数の装置の操作が可能となり、
−人のオペレータが移動せずに複数の装置を操作するこ
とか実現され、操作効率が悪いという欠点も解決する。
さらに、一つの操作部のもつ補助記憶装置を複数の操作
部で共有することによって、ウエノ＼に関する焼付はデ
ータ等のデータ設定が各装置に高速な通信で可能となり
、データ設定の時間がかかりかつ設定の誤りを誘発しや
すいとり１つ欠点が解決される。
部で共有することによって、ウエノ＼に関する焼付はデ
ータ等のデータ設定が各装置に高速な通信で可能となり
、データ設定の時間がかかりかつ設定の誤りを誘発しや
すいとり１つ欠点が解決される。
［実施例］
以下、図面に基づいて本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る半導体露光装置のブ
ロック回路構成を示す。同図において、１は露光装置本
体部が設置されているクリーンルームの外壁を表わして
いる。２は本発明を実現するために必要不可欠な高速バ
ス通信路であり、本実施例では複数（本図では３つ）の
本体部と１つの操作部を結びつけている。る。３，４．
５はそれぞれ露光装置本体部Ｉ、ＩＩ、ＩＩ＋、６，７
．８はそれぞれの本体部のＣＰＵ、９．１０．１１は通
信インターフェースである。１２は装置操作部工のＣＰ
Ｕ、１３は装置部１通信インターフェース、１４は操作
部Ｉ表示装置、１５は操作部１人力装置、１６は補助人
力装置、１７は補助記憶装置である。
ロック回路構成を示す。同図において、１は露光装置本
体部が設置されているクリーンルームの外壁を表わして
いる。２は本発明を実現するために必要不可欠な高速バ
ス通信路であり、本実施例では複数（本図では３つ）の
本体部と１つの操作部を結びつけている。る。３，４．
５はそれぞれ露光装置本体部Ｉ、ＩＩ、ＩＩ＋、６，７
．８はそれぞれの本体部のＣＰＵ、９．１０．１１は通
信インターフェースである。１２は装置操作部工のＣＰ
Ｕ、１３は装置部１通信インターフェース、１４は操作
部Ｉ表示装置、１５は操作部１人力装置、１６は補助人
力装置、１７は補助記憶装置である。
第２図は、第１図における操作部Ｉの詳細を示す外観図
である。同図において、３２は表示部の画面を分割した
表示エリア■、３３は表示エリア■■、３４を表示エリ
アＩＩ＋、３５は補助入力装置の表示を表わしている。
である。同図において、３２は表示部の画面を分割した
表示エリア■、３３は表示エリア■■、３４を表示エリ
アＩＩ＋、３５は補助入力装置の表示を表わしている。
さて、本実施例においては第１図に示すように半導体の
焼付けの動作を行なう本体部Ｉ、Ｉ１．ＩＩ＋は、クリ
ーンルーム外壁１によって囲まれるクリーンルーム内に
設置されている。これらの本体部は各ＣＰＵ６，７．８
によフて実際の動作を制御している。これらのＣＰＵは
通信インターフェース９，１０．１１によってハス方式
の高速通信路２に接続されている。この通信路２は一般
に数百メートルの伝送距離を持ち、また数メガｂｙｔｅ
／ ｓ ｅ ｃの伝送速度を有している。また、各イン
ターフェース部もしくは通信ソフトウェアには通信相手
の識別に使用するアドレスが設定されており、このアド
レスにより、この通信バス路につながっているＣＰＵは
通信相手の指定をしたりまた自分に対する通信であるか
どうかの識別が可能である。この高速バス通信路２に操
作部ＣＰＵ１２も通信インターフェース１３を介して接
続されている。したがって、この通信方式により操作部
ＣＰＵならびにその周辺装置で構成される操作部を最大
５００メ一トル程度まで本体部より離して設置可能であ
りクリーンルーム外からの装置の操作が可能になる。
焼付けの動作を行なう本体部Ｉ、Ｉ１．ＩＩ＋は、クリ
ーンルーム外壁１によって囲まれるクリーンルーム内に
設置されている。これらの本体部は各ＣＰＵ６，７．８
によフて実際の動作を制御している。これらのＣＰＵは
通信インターフェース９，１０．１１によってハス方式
の高速通信路２に接続されている。この通信路２は一般
に数百メートルの伝送距離を持ち、また数メガｂｙｔｅ
／ ｓ ｅ ｃの伝送速度を有している。また、各イン
ターフェース部もしくは通信ソフトウェアには通信相手
の識別に使用するアドレスが設定されており、このアド
レスにより、この通信バス路につながっているＣＰＵは
通信相手の指定をしたりまた自分に対する通信であるか
どうかの識別が可能である。この高速バス通信路２に操
作部ＣＰＵ１２も通信インターフェース１３を介して接
続されている。したがって、この通信方式により操作部
ＣＰＵならびにその周辺装置で構成される操作部を最大
５００メ一トル程度まで本体部より離して設置可能であ
りクリーンルーム外からの装置の操作が可能になる。
次に、複数の本体部を１台の操作部で操作するには、第
２図のごとく表示部１４の画面を複数の表示エリアＩ、
ＩＩ、ＩＩＩ （３２，３３，３４）に疑似的に分割す
る。この疑似的に分割されたエリアはソフトウェアで管
理されている。また補助人力装置１６は、表示部画面内
の２次元座標を指定することかできる。この座標指定は
補助人力表示３５のような矢印形状の表示により座標を
指示する。この補助人力もソフトウェアにより管理され
ており、前記矢印形状の表示は補助人力装置１６の操作
により表示部画面内を移動する。オペレータが本体部■
３をコントロールするためには、まず補助人力装置１６
を操作し、補助人力表示３５を表示エリアＩ３２に動か
す。この時、ソフトウェアは補助入力表示３５の画面的
座標により表示エリアＩ３２内に補助入力表示３５が進
入したことを知ることができる。ソフトウェアではこの
表示エリア進入により表示エリアＩが現在選択されてい
ることをオペレータに通知するために例えば表示エリア
Ｉ内の背景色を変化させる。この通知方法は他にも表示
エリアの枠をより太い枠で表示するとか、エリア内の文
字を変えるといった手法でもよい。同様に、表示エリア
ＩＩ 、 ＩＩＩを本体部ＩＩ 、 ＩＩＩに割り当て
る。このようにして表示エリア■から入力されたデータ
およびコマンドはすべて本体部Ｉに、表示エリアＩＩか
らのものは本体部ＩＩに、表示エリアＩＩＩからのもの
は本体部ＩＩＩに対する入力となる。この機能はバス方
式の通信のアドレス設定機能により容易に実現される。
２図のごとく表示部１４の画面を複数の表示エリアＩ、
ＩＩ、ＩＩＩ （３２，３３，３４）に疑似的に分割す
る。この疑似的に分割されたエリアはソフトウェアで管
理されている。また補助人力装置１６は、表示部画面内
の２次元座標を指定することかできる。この座標指定は
補助人力表示３５のような矢印形状の表示により座標を
指示する。この補助人力もソフトウェアにより管理され
ており、前記矢印形状の表示は補助人力装置１６の操作
により表示部画面内を移動する。オペレータが本体部■
３をコントロールするためには、まず補助人力装置１６
を操作し、補助人力表示３５を表示エリアＩ３２に動か
す。この時、ソフトウェアは補助入力表示３５の画面的
座標により表示エリアＩ３２内に補助入力表示３５が進
入したことを知ることができる。ソフトウェアではこの
表示エリア進入により表示エリアＩが現在選択されてい
ることをオペレータに通知するために例えば表示エリア
Ｉ内の背景色を変化させる。この通知方法は他にも表示
エリアの枠をより太い枠で表示するとか、エリア内の文
字を変えるといった手法でもよい。同様に、表示エリア
ＩＩ 、 ＩＩＩを本体部ＩＩ 、 ＩＩＩに割り当て
る。このようにして表示エリア■から入力されたデータ
およびコマンドはすべて本体部Ｉに、表示エリアＩＩか
らのものは本体部ＩＩに、表示エリアＩＩＩからのもの
は本体部ＩＩＩに対する入力となる。この機能はバス方
式の通信のアドレス設定機能により容易に実現される。
例えば表示エリアＩと本体部Ｉとの関係について説明す
ると、以下のようである。操作部ＣＰＵのソフトウェア
は表示エリアＩから人力されたデータに本体部Ｉの通信
アドレスＩを付けて操作部ＣＰＵによりインターフェー
ス１３を経由してバス通信路２へ送る。バスに送られた
データもしくはコマンドは、アドレス１への送信である
ことが本体部ＩのＣＰＵ６によりインターフェース９を
通じて識別され、ＣＰＵ６は自分へのデータもしくはコ
マンドとして受とり、本体部Ｉの動作制御に使用する。
ると、以下のようである。操作部ＣＰＵのソフトウェア
は表示エリアＩから人力されたデータに本体部Ｉの通信
アドレスＩを付けて操作部ＣＰＵによりインターフェー
ス１３を経由してバス通信路２へ送る。バスに送られた
データもしくはコマンドは、アドレス１への送信である
ことが本体部ＩのＣＰＵ６によりインターフェース９を
通じて識別され、ＣＰＵ６は自分へのデータもしくはコ
マンドとして受とり、本体部Ｉの動作制御に使用する。
また、本体部Ｉより操作部に表示させる場合、本体部ｌ
ＣＰＵ６がデータを操作部Ｉのアドレス０を付けてバス
２へ送信することにより、操作部ＣＰＵ１２は表示エリ
アエヘ表示可能である。このような工夫により１つの操
作部で複数の本体部が操作可能になり、かつ一つの操作
部をあたかも複数の操作部のように使用可能である。
ＣＰＵ６がデータを操作部Ｉのアドレス０を付けてバス
２へ送信することにより、操作部ＣＰＵ１２は表示エリ
アエヘ表示可能である。このような工夫により１つの操
作部で複数の本体部が操作可能になり、かつ一つの操作
部をあたかも複数の操作部のように使用可能である。
第３図は、２つの操作部１．ＩＩと６つの本体部Ｉ〜■
とを高速バス通信路によって接続した例を示す。同図に
おいて、第１図のものと共通する部分は共通の番号を付
しである。第３図において、１８は装置操作部ＩＩ Ｌ
ｆ）ＣＰ Ｕ、１９は装置部ＴＩ通信インターフェース
、２０は操作部ＩＩ表示装置、２１は操作部１１人力装
置、２２は補助入力装置、２３ ２４ ２５はそれぞれ
露光装置本体部■ｖ、 ｖ’ｉ、２６，２７．２８はそ
れぞれの本体部のＣＰＵ、２９，３０．３１は通信イン
ターフェースである。
とを高速バス通信路によって接続した例を示す。同図に
おいて、第１図のものと共通する部分は共通の番号を付
しである。第３図において、１８は装置操作部ＩＩ Ｌ
ｆ）ＣＰ Ｕ、１９は装置部ＴＩ通信インターフェース
、２０は操作部ＩＩ表示装置、２１は操作部１１人力装
置、２２は補助入力装置、２３ ２４ ２５はそれぞれ
露光装置本体部■ｖ、 ｖ’ｉ、２６，２７．２８はそ
れぞれの本体部のＣＰＵ、２９，３０．３１は通信イン
ターフェースである。
次に、第１図の装置対し、第３図のごとくハス通信路２
を延長し、かつこのバス通信路２に、さらに、操作部Ｉ
Ｉ ＣＰ Ｕ １８、本体部ＩＶ、Ｖ、Ｖｌ（２３，２
４，２５）を結んた構成について説明する。操作部■に
おいてウェハの焼付けに関するデータを作成し補助記憶
装置へ保存する。ここで操作部Ｉより本体部Ｉ 、 Ｈ
，ＩＩ＋、 ＩＶ、 Ｖ、 Ｖｌへこの焼付はデータを
設定する場合、操作部Ｉ ＣＰＵは各本体部に割り当て
られたアドレス１．２３．４，５．６．７の情報を付加
して焼付はデータをバス通信路へ送信すれば、各本体部
ＣＰＵ（６，７，８，２６，２７，２８）は自分のアド
レスの付加されたウニへの焼付けに関するデータを取り
込んで自分の設定データとすることができる。
を延長し、かつこのバス通信路２に、さらに、操作部Ｉ
Ｉ ＣＰ Ｕ １８、本体部ＩＶ、Ｖ、Ｖｌ（２３，２
４，２５）を結んた構成について説明する。操作部■に
おいてウェハの焼付けに関するデータを作成し補助記憶
装置へ保存する。ここで操作部Ｉより本体部Ｉ 、 Ｈ
，ＩＩ＋、 ＩＶ、 Ｖ、 Ｖｌへこの焼付はデータを
設定する場合、操作部Ｉ ＣＰＵは各本体部に割り当て
られたアドレス１．２３．４，５．６．７の情報を付加
して焼付はデータをバス通信路へ送信すれば、各本体部
ＣＰＵ（６，７，８，２６，２７，２８）は自分のアド
レスの付加されたウニへの焼付けに関するデータを取り
込んで自分の設定データとすることができる。
さらに、操作部Ｉ＋より同様の操作を行なうことも以下
の手順で実現できる。操作部ＩＩ ＣＰ Ｕ １８は補
助記憶装置をもたないため、バス通信路２へ自分のアド
レス４と補助記憶装置をもつ操作部ＩのアドレスＯを付
加したウェハに関する焼付はデータ要求を送信する。操
作部Ｉはこの要求送信を受け、クエへの焼付けに関する
データを操作部ＩＩＣアドレス４）へ送信する。この送
信データを操作部ＩＩは取り込み、操作部ＩＩ内でデー
タを編集したりまた操作部ＩＩより各本体部へ送信した
りすることが実現する。このような手法により補助記憶
装置１７を操作部工とＩＩで見掛は上共有して使用する
ことができる。
の手順で実現できる。操作部ＩＩ ＣＰ Ｕ １８は補
助記憶装置をもたないため、バス通信路２へ自分のアド
レス４と補助記憶装置をもつ操作部ＩのアドレスＯを付
加したウェハに関する焼付はデータ要求を送信する。操
作部Ｉはこの要求送信を受け、クエへの焼付けに関する
データを操作部ＩＩＣアドレス４）へ送信する。この送
信データを操作部ＩＩは取り込み、操作部ＩＩ内でデー
タを編集したりまた操作部ＩＩより各本体部へ送信した
りすることが実現する。このような手法により補助記憶
装置１７を操作部工とＩＩで見掛は上共有して使用する
ことができる。
［発明の効果コ
以上説明したように、露光装置において操作部と本体部
をバス方式の高速通信路で結びつけることにより、クリ
ーンルーム外での装置の操作が可能になりクリーンルー
ム内の発塵防止に大きな効果がある。
をバス方式の高速通信路で結びつけることにより、クリ
ーンルーム外での装置の操作が可能になりクリーンルー
ム内の発塵防止に大きな効果がある。
また、１台の操作部で複数の装置が操作可能になり操作
効率の向上に効果があり、また複数の操作部で１つの操
作部の補助記憶装置を共有可能なためウェハに関する焼
付はデータの複数本体部への一括設定やデータの共通管
理が可能になり、データ設定時間の短縮という効果があ
る。
効率の向上に効果があり、また複数の操作部で１つの操
作部の補助記憶装置を共有可能なためウェハに関する焼
付はデータの複数本体部への一括設定やデータの共通管
理が可能になり、データ設定時間の短縮という効果があ
る。
さらに、複数の本体部に一つの操作部があれ６よ良いの
で装置全体のコストダウンという効果もある。
で装置全体のコストダウンという効果もある。
第１図は、本発明の一実施例に係る露光装置の構成を表
わすブロック図、 第２図は、第１図における操作部の詳細を表わす外観図
、そして 第３図は、本発明の他の実施例に係る、補助記憶装置を
共有した露光装置の構成を表わすブロック図である。 １：クリーンルーム外壁、 ２：高速バス通信路、
３：本体部Ｉ、 ４：本体部夏１、 ５：本体部ＩＩ
Ｉ、 ６：本体部ｌＣＰＵ、 ７：本体部１１ＣＰ
Ｕ、 ８：本体部ＩＩＩ ＣＰ Ｕ、 ９：本体部
１通信インターフェース、 １０：本体部Ｉ！通信イ
ンターフェース、 １１：本体部ｍ通信インターフェ
ース、１２：操作部ｌＣＰＵ、１３：操作部１通信イン
ターフェース、 １４：操作部工表示部、 工５：
操作部■入力装置、 １６：操作部Ｉ補助入力装置、
１７二補助記憶装置、 １８：操作部ＩＩ ＣＰ
Ｕ、１９：操作部１）通信インターフェース、 ２
０：操作部ＩＩ表示部、 ：２１：操作部ＩＩ入力装
置、 ２２．操作部ＩＩ補助入力装置、 ２３：本
体部■、 ２４：本体部Ｖ、 ２５：本体部■、 ２
６：本体部ｒＶｃＰＵ、 ２７：本体部ＶＣＰＵ、
２８：本体部ＶＩＣＰＵ、 ２９二本体部■通信イ
ンターフェース、 ３０：本体部Ｖ通信インターフェ
ース、３１：本体部■通信インターフェース、 ３２
：表示エリアＩ、３３：表示エリアＩＩ 。 ３５：補助入力表示。
わすブロック図、 第２図は、第１図における操作部の詳細を表わす外観図
、そして 第３図は、本発明の他の実施例に係る、補助記憶装置を
共有した露光装置の構成を表わすブロック図である。 １：クリーンルーム外壁、 ２：高速バス通信路、
３：本体部Ｉ、 ４：本体部夏１、 ５：本体部ＩＩ
Ｉ、 ６：本体部ｌＣＰＵ、 ７：本体部１１ＣＰ
Ｕ、 ８：本体部ＩＩＩ ＣＰ Ｕ、 ９：本体部
１通信インターフェース、 １０：本体部Ｉ！通信イ
ンターフェース、 １１：本体部ｍ通信インターフェ
ース、１２：操作部ｌＣＰＵ、１３：操作部１通信イン
ターフェース、 １４：操作部工表示部、 工５：
操作部■入力装置、 １６：操作部Ｉ補助入力装置、
１７二補助記憶装置、 １８：操作部ＩＩ ＣＰ
Ｕ、１９：操作部１）通信インターフェース、 ２
０：操作部ＩＩ表示部、 ：２１：操作部ＩＩ入力装
置、 ２２．操作部ＩＩ補助入力装置、 ２３：本
体部■、 ２４：本体部Ｖ、 ２５：本体部■、 ２
６：本体部ｒＶｃＰＵ、 ２７：本体部ＶＣＰＵ、
２８：本体部ＶＩＣＰＵ、 ２９二本体部■通信イ
ンターフェース、 ３０：本体部Ｖ通信インターフェ
ース、３１：本体部■通信インターフェース、 ３２
：表示エリアＩ、３３：表示エリアＩＩ 。 ３５：補助入力表示。
Claims (5)
- （１）露光装置の操作部と本体部とを分離し、かつこれ
らを高速バス方式通信路で接続したことを特徴とする露
光装置。 - （２）前記操作部と本体部とを離して設置したことを特
徴とする請求項１記載の露光装置。 - （３）一つの操作部で複数の本体部を操作可能にしたこ
とを特徴とする請求項１記載の露光装置。 - （４）前記操作部の表示部が複数の表示エリアから構成
され、その表示エリアがそれぞれ複数の本体部のそれぞ
れに割り当てられていることを特徴とする請求項３記載
の露光装置。 - （５）１つの操作部の記憶装置を複数の操作部で共有可
能にしたことを特徴とする請求項３記載の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2182841A JP2852696B2 (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2182841A JP2852696B2 (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0470753A true JPH0470753A (ja) | 1992-03-05 |
| JP2852696B2 JP2852696B2 (ja) | 1999-02-03 |
Family
ID=16125395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2182841A Expired - Fee Related JP2852696B2 (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2852696B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04130713A (ja) * | 1990-09-21 | 1992-05-01 | Hitachi Ltd | 荷電粒子露光装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6225419A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-03 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
| JPS62299024A (ja) * | 1986-06-18 | 1987-12-26 | Toshiba Mach Co Ltd | ウエハ処理装置用制御システム |
| JPS63174311A (ja) * | 1987-01-14 | 1988-07-18 | Hitachi Ltd | Ｃｖｄ装置 |
-
1990
- 1990-07-12 JP JP2182841A patent/JP2852696B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6225419A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-03 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
| JPS62299024A (ja) * | 1986-06-18 | 1987-12-26 | Toshiba Mach Co Ltd | ウエハ処理装置用制御システム |
| JPS63174311A (ja) * | 1987-01-14 | 1988-07-18 | Hitachi Ltd | Ｃｖｄ装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04130713A (ja) * | 1990-09-21 | 1992-05-01 | Hitachi Ltd | 荷電粒子露光装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2852696B2 (ja) | 1999-02-03 |
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