JPS6079405A - 半導体製造装置用制御装置 - Google Patents
半導体製造装置用制御装置Info
- Publication number
- JPS6079405A JPS6079405A JP58186911A JP18691183A JPS6079405A JP S6079405 A JPS6079405 A JP S6079405A JP 58186911 A JP58186911 A JP 58186911A JP 18691183 A JP18691183 A JP 18691183A JP S6079405 A JPS6079405 A JP S6079405A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control device
- processing
- controller
- information processing
- semiconductor manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W95/00—Packaging processes not covered by the other groups of this subclass
Landscapes
- Control By Computers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、半導体製造装置用制御装置に係り、特にドラ
イプロセスにて基板に所定の処理を施こす半導体製造装
置に好適な半導体製造装置用制御装置に関するものであ
る。
イプロセスにて基板に所定の処理を施こす半導体製造装
置に好適な半導体製造装置用制御装置に関するものであ
る。
ドライプロセスにて基板に所定の処理を施こす半導体製
造装置では、次のような制御機能が必要とされる。
造装置では、次のような制御機能が必要とされる。
（１）処理条件データの設定と記憶、処理状態のデータ
収集と記憶、サブコンピュータの状態把握上位コンピュ
ータとの通信１表示装置・操作パネルによるマン・マシ
ン・インターフェイス等の機能（以下、情報処理機能と
略） （２）基板の搬送、基板の位置合せ、基板搬送異常検出
等の機能（以下、搬送機能と略） （３）処理プロセス制御、処理路ｒ検出、処理室内圧力
制御等の機能（以下、プロセス機能と略）従来の半導体
製造装置では、例えば、情報処理機能を有する制御袋Ｍ
（以下、情報処理装置と幅と、搬送機能並びにプロセス
機能を有する制御装置（以下、搬送・プロセス制御装置
と略）とで構成された制御装置が慣用されている。
収集と記憶、サブコンピュータの状態把握上位コンピュ
ータとの通信１表示装置・操作パネルによるマン・マシ
ン・インターフェイス等の機能（以下、情報処理機能と
略） （２）基板の搬送、基板の位置合せ、基板搬送異常検出
等の機能（以下、搬送機能と略） （３）処理プロセス制御、処理路ｒ検出、処理室内圧力
制御等の機能（以下、プロセス機能と略）従来の半導体
製造装置では、例えば、情報処理機能を有する制御袋Ｍ
（以下、情報処理装置と幅と、搬送機能並びにプロセス
機能を有する制御装置（以下、搬送・プロセス制御装置
と略）とで構成された制御装置が慣用されている。
しかし、このような制御装置では、処理室の増設や基板
の搬送手順が変更された場合は、特に搬送・プロセス制
御装置の制御プログラムを全面的に変更する必要がある
と共に、より複雑な制御を行う必要がある。従って、処
理室の増設の程度や基板の搬送手順の変更の程度によっ
ては、処理能力が限界に達してしまい、これに対応する
のには更に処理能力の大きい制御装置に変更しなければ
ならない。このように、従来の制御装置は、拡張性に劣
るといった欠点があった。
の搬送手順が変更された場合は、特に搬送・プロセス制
御装置の制御プログラムを全面的に変更する必要がある
と共に、より複雑な制御を行う必要がある。従って、処
理室の増設の程度や基板の搬送手順の変更の程度によっ
ては、処理能力が限界に達してしまい、これに対応する
のには更に処理能力の大きい制御装置に変更しなければ
ならない。このように、従来の制御装置は、拡張性に劣
るといった欠点があった。
本発明の目的は、処理室が増設された場合や基板の搬送
手順の変更があった場合に制御プログラムの変更を極力
少なくし処理能力の低下を生じさせない二とで優れた拡
張性を有することができる半導体製造装置用制御装置を
提供することにある。
手順の変更があった場合に制御プログラムの変更を極力
少なくし処理能力の低下を生じさせない二とで優れた拡
張性を有することができる半導体製造装置用制御装置を
提供することにある。
本発明は、制御装置を、情報処理装置と、搬送機能を有
する制御装置（以下、搬送制御装置と略）と、プロセス
機能を有する制御装置（以下、プロセス制御袋ｄと略）
とに分割し、該プロセス制御された場合でも、制御プロ
グラムの変更を極力少なくし処理能力の低下を生じさせ
ないようにしたものである。
する制御装置（以下、搬送制御装置と略）と、プロセス
機能を有する制御装置（以下、プロセス制御袋ｄと略）
とに分割し、該プロセス制御された場合でも、制御プロ
グラムの変更を極力少なくし処理能力の低下を生じさせ
ないようにしたものである。
〔発明の実施例］
本発明の一実施例を図面により説明する。
図面で、制御装置は、情報処理装置１ｏと搬送制御装置
加とプロセス制御装置（資）、３１とに分割されている
。プロセス制御装置３ｔｌ 、 ３１は、処理室４０
。
加とプロセス制御装置（資）、３１とに分割されている
。プロセス制御装置３ｔｌ 、 ３１は、処理室４０
。
４１にそれぞれ設けられている。情報処理装置１ｏには
、例えばパーソナルコンピュータを、搬送制御装置加、
プロセス制御装置加、３１には、例えば、制御用マイク
ロコンピュータを用いている。
、例えばパーソナルコンピュータを、搬送制御装置加、
プロセス制御装置加、３１には、例えば、制御用マイク
ロコンピュータを用いている。
情報処理装置１０．搬送制御装置加、プロセス制御装置
（９）、３１は１例えば、ＩＥＢＥ−４８８標準インタ
ーフエイスを用いた通信回線（資）で接続され、情報処
理装置ｌＯをメインコンピュータ、搬送制御装置加、プ
ロセス制御装置３１１ 、３１をサブコンピュータとす
るマルチドロップ・ネットワークを構成している。従っ
て、情報処理袋Ｍ、 １０は通信回線（資）を介して搬
送制御装置シ加、プロセス制御装置３ｆ＋ 、 ３１に
設定データ、処理開始信号、処理停止信号を送り、逆に
、搬送制御装置加、プロセス制御装置３】。
（９）、３１は１例えば、ＩＥＢＥ−４８８標準インタ
ーフエイスを用いた通信回線（資）で接続され、情報処
理装置ｌＯをメインコンピュータ、搬送制御装置加、プ
ロセス制御装置３１１ 、３１をサブコンピュータとす
るマルチドロップ・ネットワークを構成している。従っ
て、情報処理袋Ｍ、 １０は通信回線（資）を介して搬
送制御装置シ加、プロセス制御装置３ｆ＋ 、 ３１に
設定データ、処理開始信号、処理停止信号を送り、逆に
、搬送制御装置加、プロセス制御装置３】。
３１から処理状態テ゛−タ、割り込み信号等を受付ける
。又、搬送制御装置加とプロセス制御装置加。
。又、搬送制御装置加とプロセス制御装置加。
３１とは５通信回線印を介してインターロック信号、処
理開始信号等のやりとりを行なう。
理開始信号等のやりとりを行なう。
尚、情報処理装置ｌＯには、ＣＲＴディスプレイを用い
た表示装置６０と、フロッピーディスクを用いた外部記
憶装置６１と、照光式スイッチを用いた操作パネル６２
がそれぞれ接続されると共に、上位コンピュータ（図示
省略）に接続される通信回線５１が接続されている。又
、情報処理装置ｌＯと搬送制御袋Ｍ２０と表示装置ωと
外部記憶装置６１と操作パネル６２とは制御盤７０に実
装されている。
た表示装置６０と、フロッピーディスクを用いた外部記
憶装置６１と、照光式スイッチを用いた操作パネル６２
がそれぞれ接続されると共に、上位コンピュータ（図示
省略）に接続される通信回線５１が接続されている。又
、情報処理装置ｌＯと搬送制御袋Ｍ２０と表示装置ωと
外部記憶装置６１と操作パネル６２とは制御盤７０に実
装されている。
このような状態において１例えば、処理室４２が増設さ
れた場合１次のように対処される。
れた場合１次のように対処される。
まず、ハードウェアにおいては。
（１）処理室４２を制御するためのプロセス制御装置３
２と通信回線間を増設する。
２と通信回線間を増設する。
（２）処理室４２に基板を搬送するのに必要な装置を制
御するため、搬送制御装置加に入出力回路を増設する。
御するため、搬送制御装置加に入出力回路を増設する。
次に、制御システムのソフトウェアの変更においてｉよ
。
。
（１） 基板の搬送箇所が追加されるため、搬送制御袋
ｗ２０のプログラムに処理室４２の基板搬送プログラム
を追加する。
ｗ２０のプログラムに処理室４２の基板搬送プログラム
を追加する。
（２）増設されたプロセス制御装置３２と通信を行うた
め、情報処理装置ｌ １０ ＋搬送制御装置１“イ加、
プロセス制御装置３１１ 、３１のそれぞれに通信用プ
ログラムを追加する。
め、情報処理装置ｌ １０ ＋搬送制御装置１“イ加、
プロセス制御装置３１１ 、３１のそれぞれに通信用プ
ログラムを追加する。
（３） プロセス制御装置３２のプロセス処理プログラ
ムの追加をする。尚、処理室４２のプロセスが、処理室
４０ 、４１のいずれかのプロセスと回シ場合は、同じ
プロセスを有する処理室を制御するプロセス制御装置の
プログラムをプロセス制御装置３２のプログラムとして
流用する。
ムの追加をする。尚、処理室４２のプロセスが、処理室
４０ 、４１のいずれかのプロセスと回シ場合は、同じ
プロセスを有する処理室を制御するプロセス制御装置の
プログラムをプロセス制御装置３２のプログラムとして
流用する。
又、基板の搬送手順が変更された場合は、処理室が増設
された場合と異なり、ハードウェアの増設は不要で、搬
送制御装置加の制御プログラムの変更のみで対処される
。
された場合と異なり、ハードウェアの増設は不要で、搬
送制御装置加の制御プログラムの変更のみで対処される
。
本実施例のような半導体製造装置用制御ＩＡ詔では、次
のような効果が得られる。
のような効果が得られる。
（１） 情報処理装置、搬送制御装置、プロセス制御装
置に分割し、プロセス制御装置を処理室毎に設けている
ため、処理室が増設された場合や基板の搬送手順が変更
され大場合でも、制御プログラムの変更を少なくできる
と共に、各制御装置の負担軽減により処理能力の低下を
防止でき、拡張性を優れたものにできる。
置に分割し、プロセス制御装置を処理室毎に設けている
ため、処理室が増設された場合や基板の搬送手順が変更
され大場合でも、制御プログラムの変更を少なくできる
と共に、各制御装置の負担軽減により処理能力の低下を
防止でき、拡張性を優れたものにできる。
（２）プロセス制御と搬送制御とを分割して独立に制御
できるため、基板の処理、搬送における無駄時間を排除
でき、スループットを向上できる。
できるため、基板の処理、搬送における無駄時間を排除
でき、スループットを向上できる。
（３） プロセス制御と搬送制御とを分割して独立に制
御できるため、処理プロセスを複雑化でき。
御できるため、処理プロセスを複雑化でき。
高精度処理を行うことができる。
（４） 情報処理装置の入出力点数が少なくなるため、
情報処理装置のサイズをコンパクト化できる。
情報処理装置のサイズをコンパクト化できる。
（５）処理室には、プロセス制御装置のみを設けるため
、全体として装置占有面積を狭鳴することができる。
、全体として装置占有面積を狭鳴することができる。
尚、本実施例では、情報処理装置と搬送制御装置、各プ
ロセス制御装置とからなるマルチドロップ・ネットワー
クを構成しているが、その他に、情報処ＪＩ！装置と搬
送制御装置並びに情報処理装置と各プロセス制御装置と
からなるツリーネットワークを構成しても、又」情報処
理装置と搬送制御装ａと各プロセス制御装置とからなる
ループネットワークを構成しても良い。
ロセス制御装置とからなるマルチドロップ・ネットワー
クを構成しているが、その他に、情報処ＪＩ！装置と搬
送制御装置並びに情報処理装置と各プロセス制御装置と
からなるツリーネットワークを構成しても、又」情報処
理装置と搬送制御装ａと各プロセス制御装置とからなる
ループネットワークを構成しても良い。
本発明は１以上説明したように、半導体製造装置用制御
装置を、情報処理装置と搬送制御装置とプロセス制御装
置とに分割し、該プロセス制御装置を処理室毎に設けた
ことで、制御プログラムの変更を少なくできると共に処
理能力の低下を防止できるので、拡張性を優れたものに
できる効果がある。
装置を、情報処理装置と搬送制御装置とプロセス制御装
置とに分割し、該プロセス制御装置を処理室毎に設けた
ことで、制御プログラムの変更を少なくできると共に処
理能力の低下を防止できるので、拡張性を優れたものに
できる効果がある。
図面は１本発明による半導体Ｖ造装Ｕ用制御装置の一実
施例を示すブロック図である。
施例を示すブロック図である。
Claims (1)
- １、半導体製造装置に用いられる制御装置において、前
記制御装置を情報処理装置と搬送制御装置とプロセス制
御装置とに分割し、該プロセス制御装置を前記半導体製
造装置の処理室毎に設けたことを特徴とする半導体製造
装置用制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58186911A JPS6079405A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 半導体製造装置用制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58186911A JPS6079405A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 半導体製造装置用制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6079405A true JPS6079405A (ja) | 1985-05-07 |
Family
ID=16196840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58186911A Pending JPS6079405A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 半導体製造装置用制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6079405A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63254322A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-21 | フード オートメーション‐サービス テクニックス，インコーポレイテッド | 調理コンピュータ通信システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5119293A (ja) * | 1974-08-06 | 1976-02-16 | Toyoda Machine Works Ltd |
-
1983
- 1983-10-07 JP JP58186911A patent/JPS6079405A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5119293A (ja) * | 1974-08-06 | 1976-02-16 | Toyoda Machine Works Ltd |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63254322A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-21 | フード オートメーション‐サービス テクニックス，インコーポレイテッド | 調理コンピュータ通信システム |
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