JPH0471109A - 誘電体磁器組成物および誘電体磁器の製造方法 - Google Patents

誘電体磁器組成物および誘電体磁器の製造方法

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JPH0471109A
JPH0471109A JP2183414A JP18341490A JPH0471109A JP H0471109 A JPH0471109 A JP H0471109A JP 2183414 A JP2183414 A JP 2183414A JP 18341490 A JP18341490 A JP 18341490A JP H0471109 A JPH0471109 A JP H0471109A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は誘電体磁器組成物および誘電体磁器の製造方
法に関し、特にチタン酸バリウムを主体とし、たとえば
セラミックコンデンサなどに用いられる誘電体磁器組成
物および誘電体磁器の製造方法に関する。
(従来技術) 従来より、磁器コンデンサに用いられる誘電体磁器組成
物として、チタン酸バリウムを主体とするものが数多く
知られている。チタン酸バリウムは、120℃付近にキ
ュリー点を持ち、10000近い誘電率を示すが、それ
だけでは常温で高誘電率とはなり得ない。そこで、シフ
ター材とよばれるものを加え、キュリー点を常温に移動
させて常温で高誘電率を持たせている。このシフター材
としては、錫酸化物、ジルコニア酸化物、稀土類元素な
どが知られている。
このようなシフター材を利用したチタン酸バリウムを主
体とする磁器コンデンサとしては、単板型リード線付タ
イプのものが製造されてきた。ところが、近年積層化技
術が進歩し、また30〜80μm程度の誘電体グリーン
シートが容易に得られるようになった。そして、内部電
極で誘電体薄膜を挟持する形で複数層積層したいわゆる
積層セラミックコンデンサがエレクトロニクス業界に進
出し、従来の誘電体磁器組成物もこのような積層セラミ
ックコンデンサの材料として利用されるようになった。
一方、最近の磁器コンデンサは小型化の傾向があり、特
に積層コンデンサにおいては、磁器誘電体層の厚みが1
0〜20μmというように薄層化する傾向にある。この
場合、100〜10000μmの厚みを持つ単板型コン
デンサに比べて、10倍以上の電界強度を受ける。した
がって、単板型コンデンサに比べて電圧依存性の小さい
組成物が要求されている。
また、誘電体層が薄くなるに従って、セラミックの構造
的な欠陥が特性に反映されやすくなるので、結晶粒子の
大きさ(グレインサイズ)が均一でかつ微細であること
と、空孔が少なくかつ小さいことが望まれる。
グレインサイズの小さいチタン酸バリウムを主体とした
誘電体磁器が、たとえば特願昭56−18059号、特
願昭57−16809号、特願昭57−105919号
、特願昭57−196469号などに開示されている。
これらのチタン酸バリウムを主体とする誘電体磁器は、
チタン酸バリウムに、酸化セリウムを加え、あるいは酸
化セリウムとジルコン酸バリウムを加え、あるいは酸化
ネオジウムを添加し、空気が流通する雰囲気下で焼成す
ることによって、グレインサイズを小さくしたものであ
る。
(発明が解決しようとする課B) グレインサイズの小さいこれらの誘電体磁器では、誘電
率が常温で最大10000前後と小さく、グレインサイ
ズの大きいものに比べると誘電率が小さいため、積層コ
ンデンサを小型にした場合、大きい静電容量を得ること
が困難であった。さらに、誘電率の温度変化曲線が急峻
であることも問題であった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、グレインサイズ
が小さく、大きい誘電率を有し、温度変化に対する誘電
率の変化が少なく、かつ電圧依存性の小さい誘電体磁器
を得ることができる誘電体磁器組成物を提供することで
ある。
この発明の他の目的は、グレインサイズが小さいにもか
かわらず、さらに大きい誘電率を有する誘電体磁器を得
ることができる誘電体磁器の製造方法を提供することで
ある。
本発明者は、誘電体磁器のグレインサイズが1〜3μm
と小さいときに誘電率が10000に満たない原因を種
々検討した結果、主原料であるチタン酸バリウムの不純
物の種類とその含有量とが多い場合、その誘電率が大き
くならないことを見出した。
さらに、アルカリ金属酸化物の含有量が少ないチタン酸
バリウムにおいて、これに酸化ランタン、酸化セリウム
、酸化ネオジウム、酸化プラセオジウムおよび酸化サマ
リウムの中から選ばれる少なくとも1種類を加えること
によって、グレインサイズが小さくなりしかも大きい誘
電率を示すことを見出した。
また、酸化錫を加えかつ必要に応じて酸化ジルコニウム
および酸化チタンのうち少なくとも一方を加えることに
よって、誘電率の温度変化が小さく電圧依存性の小さい
誘電体磁器が得られることを見出した。
(課題を解決するための手段) この発明にかかる誘電体磁器組成物は、不純物としての
アルカリ金属酸化物の含有量が0.03重量%以下のチ
タン酸バリウム100モル%に対して、酸化ランタン、
酸化セリウム、酸化ネオジウム、酸化プラセオジウム、
酸化サマリウムの中から選ばれる少なくとも1種を2.
5〜5.0モル%、および酸化ジルコニウム、酸化錫、
酸化チタンを(Z rl−m−b Sna T ib 
) Ox  (ただし、a>Q、b≧0、0<a+b≦
1.0)に換算して0.5〜8.5モル%含有した、誘
電体磁器組成物である。
この発明にかかる誘電体磁器の製造方法は、チタン酸バ
リウム100モル%に対して、酸化ランタン、酸化セリ
ウム、酸化ネオジウム、酸化プラセオジウム、酸化サマ
リウムの中から選ばれる少なくとも1種以上の酸化物を
2.5〜5.0モル%、および酸化ジルコニウム、酸化
錫、酸化チタンを(Z r +−m−b S n、 T
 i b ) Ox  (ただし、a>Q、b≧0、0
<a+b≦1.0)に換算して0゜5〜8.5モル%含
有してなる誘電体磁器の製造方法であって、チタン酸バ
リウム原料に対して、ランタン化合物、セリウム化合物
、ネオジウム化合物、プラセオジウム化合物、サマリウ
ム化合物の中から選ばれる少なくとも1種類、およびジ
ルコニウム化合物、錫化合物、チタン化合物を添加した
組成物からなる成形体を、酸素濃度60%以上の雰囲気
で焼成する、誘電体磁器の製造方法である。
次に、この発明にかかる誘電体磁器組成物の組成範囲を
限定した理由について説明する。
従来、工業的に大量に用いられるチタン酸バリウムは9
8.5〜99.5%程度の純度であり、不純物としてS
rO,Cab、MgOなどのアルカリ土類金属、N a
 z O,Kg Oなどのアルカリ金属酸化物およびA
j!、O,、5iO1などの粉砕混合操作に伴う混入物
を含有するのが一般的である。
この発明は、これらチタン酸バリウム中の不純物のうち
、特にNa、O,に、Oなどのアルカリ金属酸化物の含
有量が一定限度を超えると、特性が劣化することを見出
したことによって考え出されたものである。
すなわち、この発明にかかる誘電体磁器組成物では、チ
タン酸バリウム中の不純物のうちアルカリ金属酸化物の
含有量が0.03重量%以下にされる。なぜなら、その
含有量が0.03重量%を超えると、誘電率がtooo
o以下と小さくなるためである。
また、この発明にかかる誘電体磁器組成物では、アルカ
リ金属酸化物の不純物としての含有量を003重量%以
下にしたチタン酸バリウム100モル%に対して、酸化
ランタン、#化セリウム。
酸化ネオジウム、酸化プラセオジウム、#化すマリウム
の中から選ばれる少なくとも1種類が2゜5〜5.0モ
ル%含有される。これらの含有量が2.5モル%未満で
は、得られた磁器のグレインサイズが十分に小さくなら
ない、一方、これらの含有量が5.0モル%を超えると
、キュリー点が常温より低温に移動し、常温での誘電率
が小さくなるか、あるいは焼結性が悪くなる。
このように、不純物としてのアルカリ金属酸化物の含有
量が0.03重量%以下のチタン酸バリウム100モル
%に対して、酸化ランタン、酸化セリウム、酸化ネオジ
ウム、酸化プラセオジウム酸化サマリウムの中から選ば
れる少なくとも1種類を2.5〜5.0モル%含有すれ
ば、グレインサイズが小さく、しかも誘電率が1100
0以上と大きい誘電体磁器を得ることができる。
しかしながら、このような組成物では、温度変化に対す
る誘電率の変化が大きくなり、JIS規格のF特性など
が満足されない。さらに、電圧依存性も太き(なり、積
層セラミックコンデンサにおいて、磁器誘電体層の薄層
化にとって好ましくない。
このような問題を解決するために、酸化ジルコニウム、
酸化錫、酸化チタンが(Z r I−@−b S n*
 T ib ) Ox  (ただし、a>Q、b≧0.
Oくa+b≦1.0)に換算して0.5〜8.5−Eル
%の範囲で加えられる。酸化ジルコニウム、酸化錫、酸
化チタンの含有量が0.5モル%未満では、誘電率の温
度特性が向上せず、電圧依存性も大きい。一方、酸化ジ
ルコニウム、酸化錫、酸化チタンの含有量が8.5モル
%を超えると、誘電率の温度特性は向上するが、誘電率
が低下する。
なお、この発明にかかる誘電体磁器組成物から誘電体磁
器を得るにあたって、還元防止剤として微量のMnCO
5、Fez 03などを添加しても、得られる磁器の特
性を損なうことがない。
(発明の効果) この発明によれば、グレインサイズが小さく、大きい誘
電率を有し、温度変化に対する誘電率の変化が少なく、
かつ電圧依存性の小さい誘電体磁器を得ることができる
さらに、この発明によれば、グレインサイズが小さいに
もかかわらず、さらに大きい誘電率を有する誘電体磁器
を得ることができる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
(実施例) 実1111 原料として種々の純度のBaC0,とTiO□とを用い
て、これらをB a CO3とTie、とのモル比が1
.000となるように秤量し、ジルコニア玉石を用いた
ボールミルによって16時時間式混合を行って、混合物
を得た。
得られた混合物中の水分を蒸発した後、1150℃で2
時間保持して仮焼し、再びボールミルで平均粒径が2μ
m以下になるまで粉砕した。このようにして、表1のA
、B、CおよびDに示す純度の異なる4種類のチタン酸
バリウムを得た。
そして、このチタン酸バリウム100モル%に対して、
表2に示すように、酸化ランタン(Lagos)、酸化
セリウム(Ce O□)、酸化ネオジウム(Nd203
 )、酸化プラセオジウム(Pr、O,、)、酸化サマ
リウム(Sm203)、酸化ジルコニウム(Z r O
x ) 、酸化錫(SnO2)、酸化チタン(TiO□
)などを秤量し、酢酸ビニルバインダを加えて16時時
間式混合して混合物を得た。この混合物を乾燥、造粒後
2000kg/Jの圧力で直径10鶴、厚さ0.5−+
nの円板に成形した。この円板を、表3に示す温度で2
時間焼成し、円板状の磁器を得た。
この磁器表面を電子顕微鏡を用いて2000倍で観察し
、グレインサイズを測定した。
得られた磁器の両生面に銀電極を焼き付けて測定試料(
コンデンサ)とし、その室温での誘電率ε、誘電損失t
anδ(%)および温度変化に対する静電容量の変化率
を測定した。また、100V/we、1kHzの交流電
圧を印加し、誘電損失tanδ(%)を測定した。
なお、誘電率εおよび誘電損失tanδは、温度25℃
2周波数1k)lzで測定した。また、温度変化に対す
る静電容量の変化率については、20℃での静電容量を
基準とした一25℃および85℃での静電容量の変化率
(Δc、、’cz。)を示した。
これらの測定結果を表3に示した。
次に、表12表2および表3に示す結果に基づいて、こ
の発明にかかる誘電体磁器組成物の組成範囲を限定した
理由について説明する。
試料番号lおよび2のように、酸化ランタン酸化セリウ
ム、酸化ネオジウム、酸化プラセオジウム、酸化サマリ
ウムなどの含有量が2.5モル%より少ない場合、誘電
率が小さくなるかまたはグレインサイズが3μmより大
きくなってしまう。
一方、試料番号13および14のように、これらの含有
量が5モル%より多い場合、誘電率が小さくなったり、
焼成温度が高くなる。
試料番号15のように、酸化ジルコニウム、酸化錫およ
び酸化チタンの含有量が0.5モル%より少ない場合、
静電容量の変化率が一80%を超えてしまい好ましくな
い。一方、試料番号16のように、酸化ジルコニウム、
酸化錫および酸化チタンの含有量が8.5モル%より多
い場合、静電容量の変化率は小さいが、誘電率が大幅に
減少してしまう。また、試料番号17のように、酸化ジ
ルコニウム、酸化錫および酸化チタンの含有量が0.5
〜8.5モル%の範囲にあっても、酸化錫および酸化チ
タンが全く含まれない場合、すなわちa+b=oの場合
では、100V/flの交流電圧を印加したときの誘電
損失が大きくなって好ましくない。
試料番号18および19のように、アルカリ金属酸化物
の含有量が多いチタン酸バリウム原料CDを用いた場合
、誘電率が小さくなる。
それに対して、この発明の範囲内の誘電体磁器組成物を
用いた試料(試料番号3〜12参照)では、いずれも、
磁器の焼結体のグレインサイズが1〜3μmと小さく、
誘電率が11000以上と大きく、また100V/mの
交流電圧を印加したときの誘電損失が3.0%以内と小
さい。しかも、20℃を基準にした一25℃および85
℃での静電容量の変化率が一80%以内であり、JIS
規格のF特性を満足する。
実見1 表2の試料番号8の組成となるように秤量した原料に、
有機バインダ、分散剤、消泡剤の混合水溶液を15重量
%添加し、50重量%の水とともにボールミルで粉砕、
混合して原料スラリを得た。
この原料スラリを用いて、ドクターブレード法によって
22μmのセラミックグリーンシートを作製した。この
セラミックグリーンシート上に、スクリーン印刷法によ
って内部電極用のパラジウムペーストを印刷した。印刷
したパラジウムペーストが互いに対向するように、複数
のセラミックグリーンシートを積層し、熱圧着して積層
体を得た。
得られた積層体を1320℃で2時間焼成して焼結体を
得た。得られた焼結体の両端面に銀ペーストを塗布し、
空気中において800℃で焼き付け、内部電極と電気的
に接続された外部電極を形成した。このようにして、積
層セラミックコンデンサを得た。この積層セラミックコ
ンデンサの寸法は、次に示す通りである。
外形寸法 幅:1.6mm 長さ:3.2■ 厚さ:1.2m セラミック厚さ:13μm 有効誘電体層数:19 1層あたりの対向電極面積:2.0■2得られた積層セ
ラミックコンデンサの試料について、温度25℃におけ
る1 kHz、  I Vr+msでの静電容量C(n
F)および誘電損失tanδ(%)を測定した。また、
25Vの直流電圧を2分間印加して、絶縁抵抗IR(Ω
)を測定した。また、20℃での静電容量を基準とした
一25℃および85℃での静電容量変化率へC/Cz。
(%)を測定した。さらに、直流破壊電圧値BDV (
V)と抗折強度とを測定した。
なお、抗折強度は、第1図に示す抗折強度測定装置10
を用いて測定した。第1図において、12は試料である
被試験積層セラミックコンデンサであり、14は試料保
持台である。試料保持台14上に置かれたコンデンサ1
2は、加圧ピン16によって加圧される。そして、加圧
された圧力が、置き針材テンションゲージ18によって
表示される。この試験に際して、試料保持台14の治具
のスパンは2mとした。
比較例として、BaTiOs  iooモル%に対して
、BaZrOs 18.5モル%、CaZrO38,9
モル%を添加し、上述と同様の方法によって積層セラミ
ックコンデンサを作製した。そして、この比較例につい
て、上述の各特性を測定した。
また、それぞれの積層セラミックコンデンサの表面を電
子顕微鏡で2000倍で観察し、グレインサイズを測定
した。以上の結果を表4に示した。
表4かられかるように、この発明の組成を有する材料で
作製した積層セラミックコンデンサは、比較例に比べて
グレインサイズが小さく、誘電損失が小さい。また、こ
の発明の材料で作製した積層セラミックコンデンサは、
比較例に比べて、2倍程度の絶縁破壊電圧および抗折強
度を有する。
1施■1 まず、炭酸バリウムと酸化チタンとをそのモル比が1=
1となるように秤量し、ジルコニア玉石を用いたボール
ミルにて16時時間式混合を行い混合物を得た。そして
、この得られた混合物中の水分を蒸発した後、1150
℃で2時間保持して仮焼し、再びボールミルにて平均粒
径が2μm以下になるまで粉砕してチタン酸バリウムの
微小粉末を得た。
次に、得られたチタン酸バリウムの微小粉末に対して、
表5に示すような割合で酸化ランタン。
酸化セリウム、酸化プラセオジウム、酸化ネオジウム、
酸化サマリウム、酸化ジルコニウム、酸化錫、酸化チタ
ンを選択的に秤量して添加し、酢酸ビニルバインダを加
え16時時間式混合した。
次に、これを乾燥後造粒した後、2000kg/−の圧
力でプレス成形し、直径10m、[さ0゜5mの円板状
の成形体を得た。そして、得られた成形体を表5に示す
焼成条件で焼成し、誘電体磁器を得た。なお、焼成条件
の焼成パターンA、 BおよびCは、次の通りである。
焼成パターンAは、第2図(A)に示すように、大気中
で表5に示した焼成温度まで200℃/1時間の割合で
昇温し、その焼成温度で2時間保持した後、室温まで2
00℃71時間の割合で冷却するものである。
焼成パターンBは、第2図(B)に示すように、表5に
示した酸素濃度の酸素雰囲気下で、表5に示した焼成温
度まで200℃/工時間の割合で昇温し、その焼成温度
で2時間保持した後、室温まで200℃/1時間の割合
で冷却するものである。
焼成パターンCは、第2図(C)に示すように、大気中
で800℃まで200℃/1時間の割合で昇温し、さら
に焼成雰囲気を大気中から表5に示した酸素濃度の酸素
雰囲気下に変えて、800℃から表5に示した焼成温度
まで同じ割合で昇温する。そして、酸素雰囲気下のまま
その焼成温度で2時間保持した後、800℃まで200
℃/1時間の割合で冷却し、再び焼成雰囲気を大気中に
戻して室温まで同じ割合で冷却するものである。
このようにして得られた磁器表面を電子顕微鏡を用いて
2000倍で観察し、グレインサイズを測定した。
次に、磁器の両生面に銀電極を焼き付けて測定試料(コ
ンデンサ)とし、その室温での誘電率ε、誘電損失ta
nδ(%)および温度変化に対する静電容量の変化率を
測定した。また、100VZ■、1kHzの交流電圧を
印加し、誘電損失tanδ(%)を測定した。
なお、誘電率6および誘電損失tanδは、温度25℃
1周波数1kHzで測定した。また、温度変化に対する
静電容量の変化率については、20℃での静電容量を基
準とした一25℃および85℃での変化率ΔG/(、z
。(%)を示した。
以上の測定結果を表6に示した。
表5および表6から明らかなように、この発明の誘電体
磁器の製造方法によって作製された試料(試料番号24
〜33参照)では、焼結体のグレインサイズが1〜3μ
mと小さく、しかも13000以上の高誘電率を示した
。また、85℃での静電容量の温度変化率は一80%以
内であり、JIs規格の温度特性であるF特性(20℃
における静電容量を基準として、−25℃〜+85℃に
おける静電容量の変化率が一80%〜+30%の範囲内
である。)を満足した。
しかも、100V/mの交流電圧を印加したときの誘電
損失tanδが3.0%以内と小さい。
また、この発明の範囲外である試料(試料番号21〜2
3および34〜38参照)については、次のようなこと
が理解できる。
試料番号21および22では、添加した酸化ランタン、
酸化セリウム、酸化ネオジウム、酸化サマリウムの添加
量が少なく、室温での誘電率が小さくなる。
試料番号23では、酸化ジルコニウム、酸化錫、酸化チ
タンの添加量が少なく、静電容量の温度変化率が一80
%を超えてしまいJIS規格の温度特性であるF特性を
満足させることができな(なる。
試料番号34では、酸化セリウム、酸化ネオジウム、酸
化サマリウムの添加量が多いために、キュリー点が低温
に移動し室温での誘電率が小さくなる。
試料番号35では、酸化ジルコニウム、酸化錫、酸化チ
タンの添加量が多いために、キュリー点が低温に移動し
室温での誘電率が小さくなる。
試料番号36では、酸化錫、酸化チタンが添加されてい
ない(a+b=oである)ために、10Q V / m
の交流電圧を印加したときの誘電損失tanδが大きく
なる。
試料番号37および38では、焼成中の酸素濃度が低く
、誘電率が小さくなる。
それに対して、この発明にかかる誘電体磁器の製造方法
によれば、グレインサイズが小さいにもかがわかず、大
きい誘電率を有する誘電体磁器を得ることができる。
また、このような誘電体磁器を用いれば、従来の積層磁
器コンデンサよりも小型で大容量の積層磁器コンデンサ
を得ることができる。
なお、上述の実施例において、チタン酸バリウムに添加
する化合物として酸化物を用いたが、酸化物に限定する
ものではなく、次に示すような化合物を用いてもよい。
ランタン化合物−LazCO*、 La (NOs) 
t、 La (CzOn) sセリウム化合物−・Ce
CO5+Ce(NOs)s、Ce(OH)*ネオジウム
化合物・・・Nd(OH)i、Nd(NOx)s。
Ndt (COs) s、 Ndz (CzOt) s
プラセオジウム化合物=Pr2(CO3)s+P1”(
NOx)sセマリウム化合物・・・5at(CzOl)
z、S++(No3)sジルコニウム化合物・”BaZ
rOs+CaZr0.、、ZrC1,。
Zr0(N(h) z、Zr0(CF13COO) を
錫化合物・・・Ba5nOa+Ca5nOs、 5n(
OCF13) aチタン化合物”4aTi03.CaT
i0z、TiC1n。
Ti (OCH3) a
【図面の簡単な説明】
第1図は試料の抗折強度を測定するための抗折強度測定
装置を示す図解図である。 第2図(A)、  (B)および(C)は、それぞれ、
焼成パターン(焼成雰囲気および温度と時間との関係)
を示すグラフである。 図において、10は抗折強度測定装置、12は被試験積
層セラミックコンデンサ、工4は試料保持台、16は加
圧ピン、18は置き釘付テンションゲージである。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 岡 1) 全 啓 7一 第 図 1゜ 第 図 綺 (A) (B) (C) 聞

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 不純物としてのアルカリ金属酸化物の含有量が0.
    03重量%以下のチタン酸バリウム100モル%に対し
    て、 酸化ランタン、酸化セリウム、酸化ネオジウム、酸化プ
    ラセオジウム、酸化サマリウムの中から選ばれる少なく
    とも1種を2.5〜5.0モル%、および 酸化ジルコニウム、酸化錫、酸化チタンを(Zr_1_
    −_a_−_bSn_aTi_b)O_2(ただし、a
    >0、b≧0、0<a+b≦1.0)に換算して0.5
    〜8.5モル%含有した、誘電体磁器組成物。 2 チタン酸バリウム100モル%に対して、酸化ラン
    タン、酸化セリウム、酸化ネオジウム、酸化プラセオジ
    ウム、酸化サマリウムの中から選ばれる少なくとも1種
    以上の酸化物を2.5〜5.0モル%、および酸化ジル
    コニウム、酸化錫、酸化チタンを(Zr_1_−_a_
    −_bSn_aTi_b)O_2(ただし、a>0、b
    ≧0、0<a+b≦1.0)に換算して0.5〜8.5
    モル%含有した誘電体磁器の製造方法であって、 チタン酸バリウム原料に対して、ランタン化合物、セリ
    ウム化合物、ネオジウム化合物、プラセオジウム化合物
    、サマリウム化合物の中から選ばれる少なくとも1種類
    、およびジルコニウム化合物、錫化合物、チタン化合物
    を添加した組成物からなる成形体を、酸素濃度60%以
    上の雰囲気で焼成する、誘電体磁器の製造方法。
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