JPH0471162B2 - - Google Patents
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- JPH0471162B2 JPH0471162B2 JP58069330A JP6933083A JPH0471162B2 JP H0471162 B2 JPH0471162 B2 JP H0471162B2 JP 58069330 A JP58069330 A JP 58069330A JP 6933083 A JP6933083 A JP 6933083A JP H0471162 B2 JPH0471162 B2 JP H0471162B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring device
- sealing lip
- housing
- longitudinal direction
- joints
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34761—Protection devices, e.g. caps; Blowing devices
- G01D5/34769—Sealing means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S277/00—Seal for a joint or juncture
- Y10S277/906—Seal for article of indefinite length, e.g. strip, sheet
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は特許請求の範囲第１項の前提概念によ
る密閉型測定装置、特に長さ又は角度のインクリ
メンタル又はアブソリユート測定装置に関する。
る密閉型測定装置、特に長さ又は角度のインクリ
メンタル又はアブソリユート測定装置に関する。
（従来の技術）
西独国特許明細書2846768号は密閉型長さ測定
装置を示し、この際測定尺と走査装置とが１つの
中空体中に取付けられており、中空体は測定方向
に貫通するスリツトを有し、スリツトは被測定物
と走査ユニツトとを結合するために連行体が通過
する、合成樹脂又はゴムリツプの形の屋根形に配
設されたシール要素によつて閉鎖されている。
装置を示し、この際測定尺と走査装置とが１つの
中空体中に取付けられており、中空体は測定方向
に貫通するスリツトを有し、スリツトは被測定物
と走査ユニツトとを結合するために連行体が通過
する、合成樹脂又はゴムリツプの形の屋根形に配
設されたシール要素によつて閉鎖されている。
前記測定装置ではハウジングのできる限り気密
な遮蔽のために連行体に狭く当接しなければなら
ず、従つて高い復元力をもつて弾性的に形成され
ている。測定運動の際高い復元力によつて生ずる
連行体の摩擦力のために連行体は測定精度を損な
う変形を被る。連行体によるシールリツプの撓み
はスリツトの長手方向におけるシールリツプのね
じれを生ずることとなり、その結果連行体の好適
に剣形の横断面形態の場合でも連行体の端にシー
ルリツプによつては閉鎖されない小さい範囲が回
避できない。
な遮蔽のために連行体に狭く当接しなければなら
ず、従つて高い復元力をもつて弾性的に形成され
ている。測定運動の際高い復元力によつて生ずる
連行体の摩擦力のために連行体は測定精度を損な
う変形を被る。連行体によるシールリツプの撓み
はスリツトの長手方向におけるシールリツプのね
じれを生ずることとなり、その結果連行体の好適
に剣形の横断面形態の場合でも連行体の端にシー
ルリツプによつては閉鎖されない小さい範囲が回
避できない。
（発明の課題）
本発明は上記の種類の測定装置において、測定
精度を損なうことなしにかつハウジングのより気
密な遮蔽を可能にするようにハウジングスリツト
のための被覆手段を提供することを課題の基礎と
する。
精度を損なうことなしにかつハウジングのより気
密な遮蔽を可能にするようにハウジングスリツト
のための被覆手段を提供することを課題の基礎と
する。
（課題の解決のための手段）
本発明によればこの課題は特許請求の範囲第１
項の特徴部によつて解決される。
項の特徴部によつて解決される。
（実施例）
以下の説明中ジヨイントの回転軸線とは本発明
によるシール部材が連行体を通過する際に撓む場
合のシールリツプの撓みが最大となる個所をい
い、シール部材の長手方向に対して横に向いてい
る。ジヨイントの回転軸線はシールリツプの連行
体への緊塞を確実にするために設けられ、シール
リツプの全長に渡つて多数存在する。
によるシール部材が連行体を通過する際に撓む場
合のシールリツプの撓みが最大となる個所をい
い、シール部材の長手方向に対して横に向いてい
る。ジヨイントの回転軸線はシールリツプの連行
体への緊塞を確実にするために設けられ、シール
リツプの全長に渡つて多数存在する。
第１ａ図及び第１ｂ図によればインクリメンタ
ル又はアブソリユート長さ測定装置の中空形材の
形のハウジング１は任意の方法で図示しない工作
機械のベツド２に固定されている。ハウジング１
の内面には接着層３によつて測定尺４が取付けら
れており、その目盛は図示しない方法で走査板、
照明装置及び光電要素を有する走査ユニツト５に
よつて走査される。走査ユニツト５はローラ６に
よつて測定尺４上にかつローラ７によつて走査ユ
ニツト５の補助案内を形成するハウジング１の案
内面８上に支持される。工作機械の往復台９には
任意の方法で連行体１１と共に組立足部１０が固
定されており連行体はスリツト１２を通つてハウ
ジング１の内方に係入しかつベツド２と往復台９
との間の相対位置の測定のための走査ユニツト５
と結合している。ハウジング１の内方への汚染物
の侵入を回避するためにスリツト１２は剣形に形
成された連行体１１によつて通過される２つの屋
根形に突き合わされたシールリツプ１３によつて
閉鎖される。
ル又はアブソリユート長さ測定装置の中空形材の
形のハウジング１は任意の方法で図示しない工作
機械のベツド２に固定されている。ハウジング１
の内面には接着層３によつて測定尺４が取付けら
れており、その目盛は図示しない方法で走査板、
照明装置及び光電要素を有する走査ユニツト５に
よつて走査される。走査ユニツト５はローラ６に
よつて測定尺４上にかつローラ７によつて走査ユ
ニツト５の補助案内を形成するハウジング１の案
内面８上に支持される。工作機械の往復台９には
任意の方法で連行体１１と共に組立足部１０が固
定されており連行体はスリツト１２を通つてハウ
ジング１の内方に係入しかつベツド２と往復台９
との間の相対位置の測定のための走査ユニツト５
と結合している。ハウジング１の内方への汚染物
の侵入を回避するためにスリツト１２は剣形に形
成された連行体１１によつて通過される２つの屋
根形に突き合わされたシールリツプ１３によつて
閉鎖される。
第１図に示されたシールリツプ１３の本発明に
よる構成は第２ａ図〜第２ｇ図に拡大して示され
ている。第２ａ図においてはハウジング１ａのス
リツト１２ａは間を連行体１１ａが通る相互に屋
根状に配列された２つのシールリツプ１３ａによ
つて緊塞される。シールリツプ１３ａはハウジグ
１ａのスリツト１２ａに隣接した外面１４ａ上に
接着剤によつて固定されかつシールリツプ１３ａ
のスリツト状凹部２１ａによる断面減少部により
シールリツプ１３ａの長手方向に対して横に向い
たジヨイントの回転軸線２０ａが形成されている
（第２ｂ図）。凹部２１ａはシールリツプ１３ａの
長手方向に対して横に向きかつ実際上スリツト１
２ａの範囲にのみ設けられており、案内した固定
のためにハウジング１ａの外面１４ａへの固定部
に設けられていない（第２ａ図）。
よる構成は第２ａ図〜第２ｇ図に拡大して示され
ている。第２ａ図においてはハウジング１ａのス
リツト１２ａは間を連行体１１ａが通る相互に屋
根状に配列された２つのシールリツプ１３ａによ
つて緊塞される。シールリツプ１３ａはハウジグ
１ａのスリツト１２ａに隣接した外面１４ａ上に
接着剤によつて固定されかつシールリツプ１３ａ
のスリツト状凹部２１ａによる断面減少部により
シールリツプ１３ａの長手方向に対して横に向い
たジヨイントの回転軸線２０ａが形成されている
（第２ｂ図）。凹部２１ａはシールリツプ１３ａの
長手方向に対して横に向きかつ実際上スリツト１
２ａの範囲にのみ設けられており、案内した固定
のためにハウジング１ａの外面１４ａへの固定部
に設けられていない（第２ａ図）。
第２ｃ図においてはハウジング１ｃのスリツト
１２ｃは連行体１１ｃが間を通過する２つのシー
ルリツプ１３ｃによつて緊塞される。シールリツ
プ１３ｃはハウジング１ｃのスリツト１２ｃに隣
接した凹形外面１４ｃ上に相応した押え金１５ｃ
により固定されておりかつシールリツプ１３ｃは
薄い部材１７上に接着によつて所定の等間隔で補
強細長片２３が固定されて成る。ジヨイントの回
転軸線２０ｃは第２ｄ図中シールリツプ１３ｃの
長手方向に対して横に延びている。補強細長片２
３の間の凹部２１ｃによる断面減少部によりシー
ルリツプ１３ｃの長手方向に対して横にジヨイン
トの回転軸線が延びている（第２ｄ図）。補強細
長片２３は実際上スリツト１２ｃの範囲にのみ設
けられており、ハウジング１ｃの外面１４ｃの範
囲には外面１４ｃへの固定の安定の理由からシー
ルリツプ１３ｃの長手方向に延びており、補強細
長片２３と薄い部材１７が一体的にくし型部材と
して形成されることもできる。
１２ｃは連行体１１ｃが間を通過する２つのシー
ルリツプ１３ｃによつて緊塞される。シールリツ
プ１３ｃはハウジング１ｃのスリツト１２ｃに隣
接した凹形外面１４ｃ上に相応した押え金１５ｃ
により固定されておりかつシールリツプ１３ｃは
薄い部材１７上に接着によつて所定の等間隔で補
強細長片２３が固定されて成る。ジヨイントの回
転軸線２０ｃは第２ｄ図中シールリツプ１３ｃの
長手方向に対して横に延びている。補強細長片２
３の間の凹部２１ｃによる断面減少部によりシー
ルリツプ１３ｃの長手方向に対して横にジヨイン
トの回転軸線が延びている（第２ｄ図）。補強細
長片２３は実際上スリツト１２ｃの範囲にのみ設
けられており、ハウジング１ｃの外面１４ｃの範
囲には外面１４ｃへの固定の安定の理由からシー
ルリツプ１３ｃの長手方向に延びており、補強細
長片２３と薄い部材１７が一体的にくし型部材と
して形成されることもできる。
第２ｅ図においてハウジング１ｅのスリツト１
２ｅは図示しない連行体が通つている相互に屋根
形に突当てられた２つのシールリツプ１３ｅによ
つて緊塞される。シールリツプ１３ｅはスリツト
１２ｅに隣接した溝１６に接着によつて固定さ
れ、そしてジヨイントの回転軸線２０ｅはシール
リツプ１３ｅの長手方向に対して横に向きかつ切
目２４の付け根を結ぶ直線に対して直交しシール
リツプ１３ｅの幅の中心に位置する。切目２４は
シールリツプ１３ｅの長手方向に対して横に向
き、かつ実際上スリツト１２ｅの範囲にのみ設け
られており、ハウジング１ｅの溝１６の範囲にお
いては存在しない。シールリツプ１３ｅは外面を
少なくとも切目２４の範囲において薄い弾性部材
２５によつて被覆される場合、シールリツプはハ
ウジング１ｅ内方に真空を生じる。
２ｅは図示しない連行体が通つている相互に屋根
形に突当てられた２つのシールリツプ１３ｅによ
つて緊塞される。シールリツプ１３ｅはスリツト
１２ｅに隣接した溝１６に接着によつて固定さ
れ、そしてジヨイントの回転軸線２０ｅはシール
リツプ１３ｅの長手方向に対して横に向きかつ切
目２４の付け根を結ぶ直線に対して直交しシール
リツプ１３ｅの幅の中心に位置する。切目２４は
シールリツプ１３ｅの長手方向に対して横に向
き、かつ実際上スリツト１２ｅの範囲にのみ設け
られており、ハウジング１ｅの溝１６の範囲にお
いては存在しない。シールリツプ１３ｅは外面を
少なくとも切目２４の範囲において薄い弾性部材
２５によつて被覆される場合、シールリツプはハ
ウジング１ｅ内方に真空を生じる。
ジヨイント構造のためにシールリツプは測定運
動の際連行体上に小さい摩擦力しか作用せず、そ
の結果連行体の変形によつて制約される測定誤差
は回避される。更に連行体の端での閉鎖されない
範囲の発生は著しく減少され確実な緊塞が行われ
る。シールリツプ１３は例えば合成樹脂又はゴム
から成る可撓材料から成る。
動の際連行体上に小さい摩擦力しか作用せず、そ
の結果連行体の変形によつて制約される測定誤差
は回避される。更に連行体の端での閉鎖されない
範囲の発生は著しく減少され確実な緊塞が行われ
る。シールリツプ１３は例えば合成樹脂又はゴム
から成る可撓材料から成る。
シールリツプのスリツト状凹部、補強細長片、
及び切目がシールリツプの長手方向にも延在する
ことができる。
及び切目がシールリツプの長手方向にも延在する
ことができる。
本発明は密閉型光電測定装置に限定されず、光
学的、磁器的、誘導的密閉型測定装置でも使用さ
れることができる。例えば干渉計では、例えば西
独国特許明細書2421371号による連行体は干渉計
の反射鏡を備えそして西独国特許明細書2425066
による連行体は干渉計の反射鏡及びオートコリメ
ータ測定系のミラーと結合されている。
学的、磁器的、誘導的密閉型測定装置でも使用さ
れることができる。例えば干渉計では、例えば西
独国特許明細書2421371号による連行体は干渉計
の反射鏡を備えそして西独国特許明細書2425066
による連行体は干渉計の反射鏡及びオートコリメ
ータ測定系のミラーと結合されている。
（発明の効果）
シールリツプがそのジヨイント軸線の故に測定
運動の際に連行体上に僅かな摩擦力しか及ぼさ
ず、連行体の変形に基づく測定誤差が回避され
る。シールリツプのジヨイント軸線によつて分離
された各構成部分は大きな相互独立性を有し、そ
の結果シールリツプの可撓性は実質上連行体の範
囲に制限され閉鎖されない範囲は著しく減少し、
緊塞が確実に行われる。
運動の際に連行体上に僅かな摩擦力しか及ぼさ
ず、連行体の変形に基づく測定誤差が回避され
る。シールリツプのジヨイント軸線によつて分離
された各構成部分は大きな相互独立性を有し、そ
の結果シールリツプの可撓性は実質上連行体の範
囲に制限され閉鎖されない範囲は著しく減少し、
緊塞が確実に行われる。
第１ａ図、第１ｂ図は密閉型長さ測定装置の横
断面及び正面図、そして第２ａ図〜第２ｇ図は本
発明による密閉型測定装置のハウジングに装着さ
れるシールリツプの種々の構成の拡大断面図であ
る。 図中符号、１３，１３ａ，１３ｃ，１３ｅ……
シールリツプ、２０ａ，２０ｃ，２０ｅ……ジヨ
イントの回転軸線、２４……切目。
断面及び正面図、そして第２ａ図〜第２ｇ図は本
発明による密閉型測定装置のハウジングに装着さ
れるシールリツプの種々の構成の拡大断面図であ
る。 図中符号、１３，１３ａ，１３ｃ，１３ｅ……
シールリツプ、２０ａ，２０ｃ，２０ｅ……ジヨ
イントの回転軸線、２４……切目。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 密閉型測定装置、特に相互に運動可能な２つ
の対象物の相対位置の測定のための、長さ又は角
度のインクリメンタル又はアブソリユート測定装
置にして、一方の対象物と結合されたハウジング
は少なくとも片側に可働対象物の運動方向に延び
るスリツトを有し、スリツトを通つて他方の対象
物と結合している連行体がハウジングの内方に係
入しており、通行体はハウジングに格納されてい
て測定に役立つ走査ユニツトと結合しており、そ
の際スリツトは可撓性シールリツプによつて緊塞
されかつ可撓性シールリツプを連行体が通過して
いる、密閉型測定装置において、 シールリツプ１３はシールリツプが連行体と当
接する際撓みが最大となる個所である複数のジヨ
イントの回転軸線を備えており、ジヨイントの回
転軸はシールリツプ１３の長手方向に対して横に
向いていることを特徴とする密閉型測定装置。 ２ シールリツプ１３ａにスリツト状の凹部２１
ａを設けることによつて横断面積を減少させて、
シールリツプの長手方向に対して横に向いた複数
のジヨイントの回転軸線２０ａが形成されてい
る、請求項１記載の測定装置。 ３ 薄い部材１７上に所定の間隔で補強細長片２
３が固定されることにより隣接する補強細長片２
３の間の横断面減少部によりシールリツプの長手
方向に対して横に向いた複数のジヨイントの回転
軸線２０ｃが形成されている、特許請求の範囲第
１項記載の測定装置。 ４ シールリツプ１３ｅに所定の間隔の平行な切
目２４を設けることによつてシールリツプの長手
方向に対して横に向いた複数のジヨイントの回転
軸線２０ｅが形成されている特許請求の範囲第１
項記載の測定装置。 ５ シールリツプ１３ｅの切目２４が薄い弾性部
材２５によつて被覆されている、特許請求の範囲
第４項記載の測定装置。 ６ シールリツプ１３が合成樹脂又はゴム等の可
撓性材料から成る、特許請求の範囲第１項記載の
測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE32153368 | 1982-04-24 | ||
| DE3215336A DE3215336C1 (de) | 1982-04-24 | 1982-04-24 | Gekapselte Messeinrichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58191914A JPS58191914A (ja) | 1983-11-09 |
| JPH0471162B2 true JPH0471162B2 (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=6161843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58069330A Granted JPS58191914A (ja) | 1982-04-24 | 1983-04-21 | カプセルに入つた測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4490915A (ja) |
| EP (1) | EP0092664B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58191914A (ja) |
| AT (1) | ATE17276T1 (ja) |
| DE (1) | DE3215336C1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3400395C1 (de) * | 1984-01-07 | 1985-08-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Laengen- oder Winkelmesseinrichtung |
| US4598481A (en) * | 1985-08-12 | 1986-07-08 | Hein-Werner Corporation | Intersecting laser alignment apparatus and method |
| DE4333651A1 (de) * | 1993-10-02 | 1995-04-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE19703355C2 (de) * | 1997-01-30 | 2003-05-15 | Zf Sachs Ag | Dichtungsanordnung |
| JP6129640B2 (ja) * | 2013-05-15 | 2017-05-17 | 株式会社ミツトヨ | 防塵部材及び測定器 |
| ES2924869T3 (es) | 2017-05-17 | 2022-10-11 | Renishaw Plc | Aparato codificador |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3183009A (en) * | 1963-09-19 | 1965-05-11 | Kunel Heinrich | Grooved packing cup |
| JPS4935817U (ja) * | 1972-06-29 | 1974-03-29 | ||
| DE2421371C2 (de) * | 1974-05-03 | 1975-11-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Optische Meßanordnung, insbesondere interferometrische LängenmeBvorrlchtung |
| DE2425066C3 (de) * | 1974-05-24 | 1979-04-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Optische Meßanordnung |
| CH602974A5 (ja) * | 1974-12-20 | 1978-08-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | |
| JPS5210364U (ja) * | 1975-07-11 | 1977-01-25 | ||
| JPS5272738U (ja) * | 1975-11-25 | 1977-05-31 | ||
| DE2712421C2 (de) * | 1977-03-22 | 1982-06-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Längenmeßeinrichtung |
| DE2724858A1 (de) * | 1977-06-02 | 1978-12-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung |
| DE2820753C2 (de) * | 1978-05-12 | 1980-03-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
| DE2846768C2 (de) * | 1978-10-27 | 1980-04-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Meßeinrichtung |
-
1982
- 1982-04-24 DE DE3215336A patent/DE3215336C1/de not_active Expired
-
1983
- 1983-03-01 AT AT83101966T patent/ATE17276T1/de active
- 1983-03-01 EP EP83101966A patent/EP0092664B1/de not_active Expired
- 1983-04-21 US US06/487,210 patent/US4490915A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-04-21 JP JP58069330A patent/JPS58191914A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ATE17276T1 (de) | 1986-01-15 |
| DE3215336C1 (de) | 1983-06-09 |
| EP0092664A1 (de) | 1983-11-02 |
| JPS58191914A (ja) | 1983-11-09 |
| EP0092664B1 (de) | 1986-01-02 |
| US4490915A (en) | 1985-01-01 |
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