JPH0476603B2 - - Google Patents

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JPH0476603B2
JPH0476603B2 JP62194568A JP19456887A JPH0476603B2 JP H0476603 B2 JPH0476603 B2 JP H0476603B2 JP 62194568 A JP62194568 A JP 62194568A JP 19456887 A JP19456887 A JP 19456887A JP H0476603 B2 JPH0476603 B2 JP H0476603B2
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JP
Japan
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fixed
casing
measuring device
position measuring
sealing unit
Prior art date
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JP62194568A
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English (en)
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JPS6382313A (ja
Inventor
Afua Arufureeto
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Publication of JPH0476603B2 publication Critical patent/JPH0476603B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/3473Circular or rotary encoders
    • G01D5/34738Axles; Driving or coupling means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Sealing Devices (AREA)
  • Dental Tools And Instruments Or Auxiliary Dental Instruments (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、相互に並んだ2つの可動の対象物の
相対位置を測定するためのカプセル封入式位置測
定装置で、ケーシング内に固定された支持体のス
ケールがケーシング内に支承された走査ユニツト
によつて走査され、そこで更にケーシングは第1
の対象物に固定されており、そして走査ユニツト
は摺動棒を介して他方の対象物に固定されてお
り、その際摺動棒用のケーシング開口は、測定方
向には頑丈ではあるが測定方向に対して横方向に
摺動棒位置に順応するシールユニツトによつてシ
ールされている様なカプセル封入式位置測定装置
に関する。
この種の位置測定装置は特に数値制御の加工機
械における工作物と工具との相対位置を検出する
のに適用される。
[従来の技術] ドクトル ヨハネス ハイデンハイン社(トラ
ウンロイト在)の1982年2月発行の会社カタログ
「カプセル封入式万能測長器ULS、ロール間〓測
定システムWMS」からこの種の位置測定装置は
知られており、それにおいてはケーシング開口は
摺動棒の貫通のためにシールされている。測定方
向に頑丈で、それに直角に偏向可能なケーシング
開口のシールユニツトは測定方向に向けられたプ
ラスチツク製の管部材を介してケーシングに固定
されている。測定方向に管部材を頑丈に保つため
には、それは比較的厚い壁をもつて形成されねば
ならない。これにはしかし、摺動棒に対してケー
シングを移動する場合、従つてその結果として生
じ測定方向に対して直角にケーシングに対しシー
ルユニツトを相対運動させる場合摺動棒に強制力
が作用するという欠点があつた。摺動棒に加わる
強制力は摺動棒を曲げることになり且つこの曲げ
は走査車を移動することになり、従つて測定誤差
を起こすことにある。摺動棒からシールユニツト
へ作用させて、均等でラジアル方向の強制力は貫
通開口を誤差があるようシールすることになる。
[発明の解決しようとする問題点] 本発明は、摺動棒に対してケーシング開口を確
実にシールし、そして高い測定精度を保証するよ
うな上記した種のカプセル封入式位置測定装置を
提案することを課題の基礎にするものである。
[問題点を解決するための手段] この課題は本発明によれば、シールユニツトが
少なくとも測定方向に頑丈で、その方向に対して
横方向に旋回可能で測定方向に延び且つ摺動棒に
対して平行に延びる部材を介してケーシングは固
定されているようにして解決される。
本発明の特に有利な実施形態は特許請求の範囲
の従属項に記載されている。
[実施例およびその作用] 次に図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説
明することにする。
第1図及び第2図において2つの図はカプセル
封入式位置測定装置が示されている。インクレメ
ンタル目盛り2を有するガラススケール1は尺度
具体化部材としてケーシング3の中に貼り付けら
れている。光電的走査ユニツト4はローラ5を用
いて摩擦がなくガラススケール1上に並びに内側
のケーシング面に案内される。2つの機械部分の
相対運動を測定するためにケーシング3は機械台
6に固定され、そして取り付け部品7は機械スラ
イダー8に固定される。摺動棒9は取り付け部品
7を走査ユニツト4と結合し、従つて機械スライ
ダー8の相対運動は測定方向に走査ユニツト4へ
と伝達される。その際摺動棒9は端面側のケーシ
ング開口10を通して動く。
ケーシング開口10はケーシング3と摺動棒9
との間でシールユニツト11でもつて気密にシー
ルされている。従つて走査ユニツト4及びインク
レメンタル目盛り2はほこりや液体の如き障害と
なる汚染の影響から保護されている。製造公差に
よつて機械台6にケーシング3を取り付ける場合
及び機械スライダー8に取り付け部品7を取り付
け場合、測定方向に垂直に摺動棒9の間違つた方
向付けや角度の移動が生ずることがある。摺動棒
9は測定方向に頑丈な枢着部材12を介して取り
付け部品7にそして別の枢着部材13でもつて走
査ユニツト4に連結されている。従つてこのよう
な移動をする場合、取り付け乃至は測定軽過の時
には何ら障害となるような強制力が走査ユニツト
4には作用しない。弱い個所のある形状をしたこ
れらの枢着部材12,13は取り付け部品7とケ
ーシング3に案内された走査ユニツト4との間で
僅かな相対運動(角度運動並びに測定方向に対し
て垂直な運動)しか許さない。
シールユニツト11はケーシング3に偏向可能
に支承されている。この手段によつて摺動棒9が
移動した場合にもケーシング開口10の確実なシ
ールが保証されている。このシールユニツト11
は掻き取り部材14とシールリング15とから成
り、これらは保持体16内に収められている。こ
の保持体16は測定方向に頑丈な3本の線材17
を介して中間部材18を用いてケーシング3に固
定されている。3本の線材17はそれぞれ120゜ず
れてケーシング開口10に対して同心的に取り付
けられている。軸方向におけるシールユニツト1
1に加わる摺動棒9の摩擦力は線材17によつて
吸収され、それに対して比較的大きな側方の力が
摺動棒9に加わることなく、シールユニツト11
は摺動棒9のラジアル方向偏向に追従する。線材
17の範囲で保持体16とケーシング3との間に
はこの範囲をシールするために全ての方向に曲が
り易いベロー19はケーシング3に固定さつれた
金属製の保護カバー20によつて取り囲まれてい
る。
図示していない態様のものではシールユニツト
とケーシングとの結合は一本の線材だけを介して
又は180゜互いにラジカル方向にずれて設けられた
2本の線材を介して行うこともできる。
更に枢着部材としてそれぞれ測定方向に間隔を
置いた2つの弱い個所を備えている部材を連結要
素として使用することができ、そして残りの範囲
ではすべての方向に頑丈になつている。
部材はまたそれぞれボールベアリングを介して
ケーシングとシールユニツトとを角度運動可能に
相互に結合しうる。
第3図と第4図は本発明の別の実施例を示すも
のである。その際第1図と第2図に示した部分と
同一部分には同一の参照番号が付されている。
ケーシング開口10の周りで180゜ラジアル方向
に相互にずれている2枚の板ばね21はその一端
で中間部材18を介してケーシング3に、そして
他端でリング22に固定されている。第1の枢着
部材としての板ばね21は、それらが測定方向に
平行で且つ一平面内に位置する様に配設されてい
る。板ばね21が位置している平面に直角に2つ
の更に別の板ばね23が第2の枢着部材として互
いに配設されている。板ばね23はそれぞれ一端
でリング22内にそして他端でそれぞれシールユ
ニツト11と結合されている。板ばね21と23
の長手軸はケーシング3の長手軸に平行に延びて
いる。
第1の板ばね21は測定方向に対して直角にシ
ールユニツト11の角度運動を許すものである。
第1の板ばね21に対してそれぞれ90゜ラジアル
方向に互いにずれて設けられている第2の板ばね
23は測定方向に対して直角にそして第1の角度
運動に対して直角に更に別の角度運動を許すもの
である。このことは、摺動棒9に障害となる強制
力を加えずに、(測定方向を除いて)あらゆる方
向にケーシング3に対するシールユニツト11の
相対運動−角度運動および/または平行移動−が
可能であることを意味する。測定方向における頑
丈さは板ばね21,23によつて保証されてい
る。ベロー19と保護カバー20とから成る付加
的な保護装置はこの実施例の場合にも板ばね2
1,23及びシールユニツト11を取り囲んでい
ても良い。
図示していない実施例では板ばねの代わりに折
れ曲がらず測定方向に対して平行に延びる線材又
は枢着部材を有する部材を使用することも可能で
ある。本発明は、図示したインクレメンタル光電
的測定装置に制限されるものではない。本発明
は、例えばインクレメンタル様式又は絶対様式の
容量的、磁気的及び誘電的装置の如き他の測定装
置も含んでいる。
[発明の効果] 本発明で得られる長所は特に、障害となる強制
力が摺動棒乃至はシールユニツトに加わることな
く、ケーシングに対してシールユニツトが測定方
向に安定して保たれるが、しかしケーシングとシ
ールユニツトとの間の角度運動と平行移動とは測
定方向に対して横方向に可能であるという点にそ
の本質がある。それによつて高い測定精度が保証
されることである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に従うカプセル封入式位置測定
装置の横断面図であり、第2図は第1図の線−
による断面図であり、第3図は位置測定装置の
別の実施例の部分断面図であり、第4図は第3図
の線−による断面図である。 図中参照番号、1……ガラススケール、2……
インクレメンタル目盛り、3……ケーシング、4
……走査ユニツト、5……ローラ、6……機械
台、7……取り付け部材、8……機械スライダ
ー、9……摺動棒、10……ケーシング開口、1
1……シールユニツト、12,13……枢着部
材、14……掻き取り部材、15……シールリン
グ、16……保持体、17……線材、18……中
間部材、19……ベロー、20……保護カバー、
21,23……板ばね、22……リング。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 相互に並んだ可動の2つの対象物の相対位置
    を測定するためのカプセル封入式位置測定装置
    で、ケーシング内に固定された支持体のスケール
    がケーシング内に支承された走査ユニツトによつ
    て走査され、そこで更にケーシングは第1の対象
    物に固定されており、そして走査ユニツトは摺動
    棒を介して他方の対象物に固定されており、その
    際摺動棒用のケーシング開口は、測定方向には頑
    丈ではあるが測定方向に対して横方向に摺動棒位
    置に順応するシールユニツトによつてシールされ
    ている様なカプセル封入式位置測定装置におい
    て、シールユニツト11が測定方向には頑丈で、
    それに対して横方向には偏向可能で、測定方向に
    延び且つ摺動棒9に対して平行に延びる少なくと
    も1つの部材17,21,23を介してケーシン
    グ3に固定されていることを特徴とする位置測定
    装置。 2 シールユニツト11がケーシング開口10に
    対してそれぞれラジアル方向に120゜ずれた同心的
    に配設された3つの部材17を介してケーシング
    3に固定されていることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項に記載の位置測定装置。 3 同心的に配設された部材が可撓性ではあるが
    測定方向に折れ曲がらない線材17であることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の位置測
    定装置。 4 少なくとも一方の部材が枢着部材として長手
    方向に互いにある間隔を置いた2つの弱い個所を
    備えていることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項に記載の位置測定装置。 5 一平面内に位置し180゜ラジアル方向に相互に
    ずれた2つの板ばね21の一端がケーシング3に
    枢着部材として固定されており、他端がリング2
    2内に固定されており、更にリング22を成した
    2つの更に別の板ばね23の一端と他端とがシー
    ルユニツト11に固定されており、従つて旋回運
    動と平行移動の可能性を有する更に別の枢着部材
    が第1の枢着部材に対して横方向に且つ測定方向
    に対して横方向に生ずることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項に記載の位置測定装置。 6 180゜ラジアル方向にずれて配設された折れ曲
    がらない枢着部材としての2本の線材の一端がケ
    ーシングに固定されており、他端がリング内に固
    定されており、更に枢着部材として2つの更に別
    の折れ曲がらない線材が第1の線材に対してそれ
    ぞれ90゜ラジアル方向に相互にずれて一端でリン
    グにそして他端でシールユニツトに固定されてい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
    の位置測定装置。
JP62194568A 1986-08-06 1987-08-05 カプセル封入式位置測定装置 Granted JPS6382313A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8621056U DE8621056U1 (de) 1986-08-06 1986-08-06 Gekapselte Positionsmeßeinrichtung
DE8621056.4 1986-08-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6382313A JPS6382313A (ja) 1988-04-13
JPH0476603B2 true JPH0476603B2 (ja) 1992-12-04

Family

ID=6797192

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62194568A Granted JPS6382313A (ja) 1986-08-06 1987-08-05 カプセル封入式位置測定装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4777361A (ja)
EP (1) EP0257210B1 (ja)
JP (1) JPS6382313A (ja)
DE (2) DE8621056U1 (ja)

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