JPH0472343B2 - - Google Patents
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- JPH0472343B2 JPH0472343B2 JP63137514A JP13751488A JPH0472343B2 JP H0472343 B2 JPH0472343 B2 JP H0472343B2 JP 63137514 A JP63137514 A JP 63137514A JP 13751488 A JP13751488 A JP 13751488A JP H0472343 B2 JPH0472343 B2 JP H0472343B2
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、薄膜形成装置、イオン注入装置等の
イオンを利用する装置にアルカリ土類金属イオン
を供給するイオン源及び該アルカリ土類金属イオ
ンを生成させる方法に関する。Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to an ion source that supplies alkaline earth metal ions to devices that use ions, such as thin film forming devices and ion implantation devices, Concerning how to generate .
（従来の技術）
従来、金属イオンを得るための代表的なイオン
源としてフリーマン型イオン源が知られている。
このイオン源は、通常円筒状のアークチヤンバー
内にタングステンフイラメントを張り、その前方
のアークチヤンバーにスリツト状のイオン引出口
を形成した構成を有し、該フイラメントとアーク
チヤンバーとの間で放電を生じさせ、そのプラズ
マ中にAsやＰの蒸気を導入してイオン化し、こ
れをイオン引出口からイオン注入装置等に供給す
べく引出している。(Prior Art) A Freeman ion source has been known as a typical ion source for obtaining metal ions.
This ion source has a structure in which a tungsten filament is usually stretched inside a cylindrical arc chamber, and a slit-shaped ion extraction port is formed in the arc chamber in front of the tungsten filament. A discharge is generated, vapors of As and P are introduced into the plasma, ionized, and extracted from an ion extraction port to be supplied to an ion implanter or the like.
また、出願人は、先に、イオン引出口を備えた
アークチヤンバーの側方に、フイラメントを内部
に備えた放電室を設け、該アークチヤンバーと放
電室とをその中間に設けたアノード電極の細孔を
介して互に連通させ、該細孔の軸方向にほぼ沿つ
た磁場を形成する磁石を該アークチヤンバー及び
放電室の外側に設け、該放電室内の圧力を該アー
クチヤンバー内の圧力よりも高く保持して該放電
室で発生したプラズマを該細孔を介してアークチ
ヤンバー内へと噴出させるようにしたもの（プラ
ズマフイラメント型イオン源）を提案した。これ
に於いては該アークチヤンバーに活性なガスを導
入し、該ガスを噴出するプラズマとアークチヤン
バーとの間でのメインの放電によりイオン化する
ことが出来、そのイオン化に際して活性なガスが
放電室内のフイラメントと接触することがないの
でイオン源を長時間運転することが出来て有利で
ある。 In addition, the applicant first provided a discharge chamber with a filament inside on the side of an arc chamber provided with an ion extraction port, and proposed an anode electrode in which the arc chamber and the discharge chamber were provided in the middle thereof. Magnets that communicate with each other through pores and form a magnetic field substantially along the axial direction of the pores are provided outside the arc chamber and the discharge chamber, and the pressure inside the discharge chamber is proposed an ion source (plasma filament type ion source) in which the plasma generated in the discharge chamber is ejected into the arc chamber through the pores by maintaining the pressure higher than the arc chamber. In this case, an active gas is introduced into the arc chamber, and the gas can be ionized by the main discharge between the ejected plasma and the arc chamber, and during the ionization, the active gas is discharged. Since there is no contact with the filament in the room, the ion source can be operated for a long time, which is advantageous.
（発明が解決しようとする課題）
上記したフリーマン型イオン源により化学的に
非常に活性なアルカリ土類金属のイオン例えば
Baのイオンを得ようとする場合、Baは大気中で
表面に酸化物等の化合物が出来てしまうため、こ
の金属Baをるぼに入れてその蒸気をアークチヤ
ンバーに供給する時に酸化物の被膜のためにBa
が蒸発し難く、Baの蒸発温度にまで上げると突
然該被膜が破れてBaが多量に蒸発し、蒸発量を
適量に制御し乍ら供給することが出来ない。ま
た、Baの単元素や酸化物がアークチヤンバー内
のフイラメントの表面に付着するので、フイラメ
ントからの電子放射が不安定になり、一定のイオ
ンビームを引出すことが出来なくなる。この点を
解決するためにBaの臭化物や塩化物等を用いる
ことが提案されたが、これらの物は非常に高温に
ならないと蒸発せず、しかも生成されるイオン種
のうちBaはわずか1/5〜1/10と少なく、残りはCl
その他のイオンで収量が悪い欠点がある。(Problems to be Solved by the Invention) The Freeman type ion source described above can be used to generate ions of chemically very active alkaline earth metals, for example.
When trying to obtain Ba ions, compounds such as oxides are formed on the surface of Ba in the atmosphere, so when the metal Ba is placed in a crucible and the vapor is supplied to the arc chamber, oxides and other compounds are formed on the surface of Ba. Ba for coating
is difficult to evaporate, and when raised to the evaporation temperature of Ba, the film suddenly breaks and a large amount of Ba evaporates, making it impossible to supply Ba while controlling the evaporation amount to an appropriate amount. Furthermore, since the single element Ba or oxide adheres to the surface of the filament in the arc chamber, electron emission from the filament becomes unstable, making it impossible to extract a constant ion beam. In order to solve this problem, it has been proposed to use Ba bromide or chloride, but these substances do not evaporate unless the temperature is extremely high, and moreover, only 1/2 of the ion species produced is Ba. As little as 5 to 1/10, the rest is Cl
It has the disadvantage of poor yield with other ions.
本発明の目的はこうした不都合欠点のないアル
カリ土類金属イオン源を得ること及びアルカリ土
類金属イオンを生成させる方法を提案することに
ある。 The object of the present invention is to obtain a source of alkaline earth metal ions free from these disadvantages and to propose a method for producing alkaline earth metal ions.
（課題を解決するための手段）
本発明の前記した第１の目的は、イオン引出口
を備えたアークチヤンバーの側方に、フイラメン
トを内部に備えた放電室を設け、該アークチヤン
バーと放電室とをその中間に設けたアノード電極
の細孔を介して互に連通させ、該細孔の軸方向に
ほぼ沿つた磁場を形成する磁石を該アークチヤン
バー及び放電室の外側に設け、該放電室内の圧力
を該アークチヤンバー内の圧力よりも高く保持し
て該放電室で発生したプラズマを該細孔を介して
該アークチヤンバー内へと噴出させるようにした
ものに於いて、該アークチヤンバーにアルカリ土
類金属の化合物を収めたるつぼを取付け、該るつ
ぼで発生するアルカリ土類金属の蒸気を該アーク
チヤンバーに導入することにより達成される。該
るつぼは複数個取付けるようにしてもよい。(Means for Solving the Problems) The above-mentioned first object of the present invention is to provide a discharge chamber equipped with a filament inside on the side of an arc chamber equipped with an ion extraction port. The arc chamber and the discharge chamber are communicated with each other through a pore of an anode electrode provided in the middle thereof, and a magnet is provided outside the arc chamber and the discharge chamber to form a magnetic field substantially along the axial direction of the pore. In one in which the pressure within the discharge chamber is maintained higher than the pressure within the arc chamber and the plasma generated in the discharge chamber is ejected into the arc chamber through the pores, This is achieved by attaching a crucible containing an alkaline earth metal compound to the arc chamber and introducing alkaline earth metal vapor generated in the crucible into the arc chamber. A plurality of crucibles may be installed.
更に本発明の前記した第２の目的は、前記るつ
ぼ内にアルカリ土類金属のアジ化物を収め、前記
イオン源内を真空化したのち該るつぼを加熱して
該アジ化物の窒素を放出させ、次いで前記放電室
に希ガスを導入すると共に該放電室内の圧力を該
アークチヤンバー内の圧力よりも高く保持し、該
放電室のフイラメントとアノードとに通電して該
放電室で生ずるプラズマを細孔を介してアークチ
ヤンバーへ噴出させ乍ら加熱したるつぼからアル
カリ土類金属の蒸気を該アークチヤンバーへ導入
し、該アークチヤンバーとその内部へ噴出するプ
ラズマとの放電により該アルカリ土類金属の蒸気
をイオン化することにより達成される。 Furthermore, the second object of the present invention is to store an alkaline earth metal azide in the crucible, evacuate the ion source, and then heat the crucible to release nitrogen from the azide. A rare gas is introduced into the discharge chamber, the pressure within the discharge chamber is maintained higher than the pressure within the arc chamber, and current is applied to the filament and anode of the discharge chamber to direct the plasma generated in the discharge chamber into the pores. Alkaline earth metal vapor is introduced into the arc chamber from the heated crucible while being ejected into the arc chamber, and the alkaline earth metal is This is accomplished by ionizing the vapor.
（作用）
該るつぼ内にアルカリ土類金属の化合物、例え
ば大気中に於いて安定なBaのアジ化合物を収め、
アークチヤンバー、放電室及びイオン引出口に連
なる系を例えば10-2Torrの真空に排気する。そ
してるつぼを加熱すると該アジ化合物が熱分解し
て窒素が高速で排出され黒色のスポンジ状の塊の
金属Baが該るつぼ内に得られる。この金属Baは
真空中に存するので表面に酸化物が出来ることな
く、るつぼの温度を制御することによつて徐々に
蒸発させアークチヤンバーに供給することが出来
る。金属Baが蒸発するようになると、アークチ
ヤンバー及び放電室にアークチヤンバー内の圧力
よりも高い圧力となるようにArガス等の希ガス
を導入し、その内部のフイラメント及びアノード
電極へ通電する。(Function) A compound of an alkaline earth metal, such as an azide compound of Ba, which is stable in the atmosphere, is placed in the crucible,
The system connected to the arc chamber, discharge chamber, and ion extraction port is evacuated to a vacuum of, for example, 10 -2 Torr. When the crucible is heated, the azide is thermally decomposed, nitrogen is discharged at high speed, and a black spongy mass of metal Ba is obtained in the crucible. Since this metal Ba exists in a vacuum, no oxide is formed on the surface, and by controlling the temperature of the crucible, it can be gradually evaporated and supplied to the arc chamber. When the metal Ba begins to evaporate, rare gas such as Ar gas is introduced into the arc chamber and discharge chamber so that the pressure is higher than the pressure inside the arc chamber, and electricity is applied to the filament and anode electrode inside. .
これによつて放電室内にアーク放電が発生し、
出来たプラズマは細孔を通つてアークチヤンバー
へ導かれ、磁石の磁力線に沿つてフイラメント状
になる。このフイラメント状のプラズマとアーク
チヤンバーとの間でメインの放電が発生し、アー
クチヤンバー内に供給されるBaの蒸気をイオン
化し、生成したイオンはイオン引出口から引出さ
れる。 This causes arc discharge inside the discharge chamber,
The resulting plasma is guided into the arc chamber through the pores and forms a filament along the magnetic field lines of the magnet. A main discharge occurs between this filament-shaped plasma and the arc chamber, ionizes the Ba vapor supplied into the arc chamber, and the generated ions are extracted from the ion extraction port.
（実施例）
本発明の実施例を別紙図面につき説明するに、
その第１図及び第２図に於いて、符号１は側方に
スリツト状のイオン引出口２を形成した円筒状の
アークチヤンバー、３は該アークチヤンバー１の
下側に設けられた中空の放電室を示し、該放電室
３の内部には外部の電源４に接続されたタングス
テンフイラメント５が設けられる。該アークチヤ
ンバー１と放電室３の内部は、アノード６に形成
した細孔７により互に接続され、該アークチヤン
バー１及び放電室３には夫々ガス例えばArガス
を導入するガス管８，９が取付けられる。各ガス
管８，９には、放電室３内の圧力がアークチヤン
バー１内の圧力よりも高くなるように夫々のガス
を制御して供給するバルブが設けられる。１０，
１１はアノード６の細孔７の孔軸方向にほぼ沿つ
た磁場１２を形成するようにアークチヤンバー１
と放電室３の外側に設けられた磁石の磁極を示
す。(Example) An example of the present invention will be described with reference to the attached drawings.
In FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 is a cylindrical arc chamber with a slit-shaped ion extraction port 2 formed on the side, and 3 is a hollow space provided below the arc chamber 1. A tungsten filament 5 connected to an external power source 4 is provided inside the discharge chamber 3 . The interiors of the arc chamber 1 and the discharge chamber 3 are connected to each other by a pore 7 formed in the anode 6, and the arc chamber 1 and the discharge chamber 3 are each provided with a gas pipe 8, which introduces a gas such as Ar gas, into the arc chamber 1 and the discharge chamber 3, respectively. 9 is installed. Each gas pipe 8, 9 is provided with a valve that controls and supplies the respective gas so that the pressure in the discharge chamber 3 is higher than the pressure in the arc chamber 1. 10,
11 is an arc chamber 1 so as to form a magnetic field 12 substantially along the axial direction of the pores 7 of the anode 6.
and shows the magnetic poles of the magnet provided outside the discharge chamber 3.
以上の構成は先に提案したプラズマフイラメン
ト型イオン源とほぼ同様であるが、本発明のイオ
ン源は該アークチヤンバー１にアルカリ土類金属
の化合物を収めた１個若しくは複数個のるつぼ１
３，１４を気密に取付け、該るつぼ１３，１４か
らアークチヤンバー１へアルカリ土類金属の蒸気
を供給するようにしたもので、これによれば次の
ようにしてBa、Ca、Sr等のアルカリ土類金属の
イオンを生成することが出来る。 The above configuration is almost the same as the previously proposed plasma filament type ion source, but the ion source of the present invention has one or more crucibles 1 containing an alkaline earth metal compound in the arc chamber 1.
3 and 14 are installed airtightly, and alkaline earth metal vapor is supplied from the crucibles 13 and 14 to the arc chamber 1.According to this, Ba, Ca, Sr, etc. are It can generate alkaline earth metal ions.
まず、大気中に於いて安定性のあるアルカリ土
類金属のアジ化物、例えばBaのアジ化物１５と
Stのアジ化物１６を夫々るつぼ１３，１４へ収め
アークチヤンバー１に取付ける。次いでアークチ
ヤンバー１、放電室３及びイオン引出口２に連な
る系を真空ポンプ（図示しない）により例えば
10-2Torr程度に排気し、各アジ化物１５，１６
から水分を除き、各るつぼ１３，１４のヒータ１
３ａ，１４ａにより各アジ化合物１５，１６を
150℃〜300℃に加熱すると各アジ化物１５，１６
は熱分解して非常に高速で窒素ガスを放出し、こ
の窒素ガスは真空ポンプにより排気される。 First, azides of alkaline earth metals that are stable in the atmosphere, such as Ba azide 15,
The azide 16 of St is placed in crucibles 13 and 14, respectively, and attached to the arc chamber 1. Next, the system connected to the arc chamber 1, the discharge chamber 3, and the ion extraction port 2 is pumped with a vacuum pump (not shown), for example.
Evacuate to about 10 -2 Torr and remove each azide 15,16
Remove water from the heater 1 of each crucible 13, 14.
3a, 14a to each azide compound 15, 16
When heated to 150℃~300℃, each azide 15,16
thermally decomposes and releases nitrogen gas at a very high rate, which is evacuated by a vacuum pump.
熱分解により各アジ化物１５，１６は、金属
Ba、金属Srとなるが、これらの金属は真空中に
存するので表面酸化物等が生じることがなく、例
えばBaのアジ化物１５はるつぼ１３内で黒色の
スポンジ状の塊となる。 By thermal decomposition, each azide 15, 16 is converted into metal
Ba and metal Sr are formed, but since these metals exist in a vacuum, surface oxides and the like are not generated. For example, the azide 15 of Ba becomes a black spongy lump in the crucible 13.
窒素ガスの放出が収まり、るつぼ１３，１４内
に金属Ba、金属Srが得られると、アークチヤン
バー１及び放電室３にArガス等の希ガスをガス
管８，９を介して導入し、該放電室３内の圧力が
アークチヤンバー１内の圧力よりも高くなるよう
に保持する。例えば放電室３の圧力10-2〜
10-1Torrとし、これよりも低い圧力例えば
10-3Torrにアークチヤンバー１内の圧力を保持
する。 When the release of nitrogen gas subsides and metal Ba and metal Sr are obtained in the crucibles 13 and 14, a rare gas such as Ar gas is introduced into the arc chamber 1 and the discharge chamber 3 via the gas pipes 8 and 9, The pressure inside the discharge chamber 3 is maintained higher than the pressure inside the arc chamber 1. For example, the pressure in the discharge chamber 3 is 10 -2 ~
10 -1 Torr and lower pressure e.g.
Maintain the pressure in arc chamber 1 at 10 -3 Torr.
このあと放電室３内のフイラメント５とアノー
ド６とに外部の電源４から通電し、フイラメント
５とアノード６の間で放電を生じさせる。該放電
で生じたプラズマは放電室３とアークチヤンバー
１との圧力差及び磁場１２の作用により細孔７を
介してアークチヤンバー１内へ光柱状に噴出し、
この柱状のプラズマとアークチヤンバー１との間
でメインの放電が発生するようになり、そこへ温
度制御したるつぼ１３，１４からBa及びSrの蒸
気を供給するとその蒸気は電離されてBaイオン、
Srイオンとなる。 Thereafter, the filament 5 and the anode 6 in the discharge chamber 3 are energized from the external power source 4 to generate a discharge between the filament 5 and the anode 6. The plasma generated by the discharge is ejected into the arc chamber 1 through the pores 7 in the shape of a light column due to the pressure difference between the discharge chamber 3 and the arc chamber 1 and the action of the magnetic field 12.
A main discharge begins to occur between this columnar plasma and the arc chamber 1, and when Ba and Sr vapors are supplied there from temperature-controlled crucibles 13 and 14, the vapors are ionized to form Ba ions and
Becomes Sr ions.
これらの生成したイオンはイオン引出口２から
その前方へ引出電極（図示しない）により２種の
アルカリ土類金属イオンが混合した複合イオンビ
ームとして引出され、例えば基板の表面に超電導
薄膜を形成するに供される。 These generated ions are extracted in front of the ion extraction port 2 by an extraction electrode (not shown) as a composite ion beam in which two types of alkaline earth metal ions are mixed. Served.
るつぼ１３，１４を交代して作動させ、種類の
異なるアルカリ土類金属イオンを順次得ることが
可能であり、またるつぼは１個或は３個以上であ
つてもよい。 It is possible to sequentially obtain different types of alkaline earth metal ions by operating the crucibles 13 and 14 alternately, and the number of crucibles may be one or three or more.
（発明の効果）
以上のように本発明の特定発明によるときは、
プラズマフイラメント型イオン源のアークチヤン
バーにアルカリ土類金属の化合物を収めたるつぼ
を取付けるようにしたので、イオン源内に於いて
該化合物を熱分解して純度の良いアルカリ土類金
属を得ることが出来、そのまま外気に触れること
なく該金属の蒸気をアークチヤンバーに供給出来
るので該金属のイオンを大量に効率良く発生させ
ることが可能になり、またその関連発明によると
きは、活性な該金属蒸気を放電室に侵入させるこ
となく該金属のイオンを生成させ得、該放電室内
のフイラメントに該金属が付着することがないの
で、フイラメントの耐久性を損うことがなく、長
時間に亘り該金属のイオンを生成出来る等の効果
がある。(Effect of the invention) As described above, according to the specific invention of the present invention,
Since a crucible containing an alkaline earth metal compound is attached to the arc chamber of the plasma filament type ion source, it is possible to thermally decompose the compound in the ion source to obtain an alkaline earth metal of high purity. Since the vapor of the metal can be directly supplied to the arc chamber without being exposed to the outside air, it is possible to efficiently generate ions of the metal in large quantities, and according to related inventions, the vapor of the metal can be supplied to the arc chamber without being exposed to the outside air. Ions of the metal can be generated without allowing the metal to enter the discharge chamber, and the metal will not adhere to the filament in the discharge chamber, so the durability of the filament will not be impaired and the metal will remain for a long time. It has the effect of being able to generate ions.
第１図は本発明の実施例の截断側面図、第２図
は第１図の右側面図である。
１……アークチヤンバー、２……イオン引出
口、３……放電室、５……フイラメント、６……
アノード、７……細孔、１０，１１……磁極、１
２……磁場、１３，１４……るつぼ、１５，１６
……アジ化物。
FIG. 1 is a cutaway side view of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a right side view of FIG. 1. 1...Arc chamber, 2...Ion extraction port, 3...Discharge chamber, 5...Filament, 6...
Anode, 7... Pore, 10, 11... Magnetic pole, 1
2... Magnetic field, 13, 14... Crucible, 15, 16
...Azide.
Claims (1)
方に、フイラメントを内部に備えた放電室を設
け、該アークチヤンバーと放電室とをその中間に
設けたアノード電極の細孔を介して互に連通さ
せ、該細孔の軸方向にほぼ沿つた磁場を形成する
磁石を該アークチヤンバー及び放電室の外側に設
け、該放電室内の圧力を該アークチヤンバー内の
圧力よりも高く保持して該放電室で発生したプラ
ズマを該細孔を介して該アークチヤンバー内へと
噴出させるようにしたものに於いて、該アークチ
ヤンバーにアルカリ土類金属の化合物を収めたる
つぼを取付け、該るつぼで発生するアルカリ土類
金属の蒸気を該アークチヤンバーに導入すること
を特徴とするアルカリ土類金属イオン源。 ２ 前記アークチヤンバーにアルカリ土類金属の
化合物を収めたるつぼを複数個取付け、各るつぼ
で発生するアルカリ土類金属の蒸気を該アークチ
ヤンバーに導入することを特徴とする請求項１に
記載のアルカリ土類金属イオン源。 ３ イオン引出口を備えたアークチヤンバーの側
方に、フイラメントを内部に備えた放電室を設
け、該アークチヤンバーと放電室とをその中間に
設けたアノード電極の細孔を介して互に連通さ
せ、該細孔の軸方向にほぼ沿つた磁場を形成する
磁石を該アークチヤンバー及び放電室の外側に設
け、該放電室内の圧力を該アークチヤンバー内の
圧力よりも高く保持して該放電室で発生したプラ
ズマを該細孔を介して該アークチヤンバー内へと
噴出させるように構成したイオン源を用意し、該
アークチヤンバーにアルカリ土類金属のアジ化物
を収めたるつぼを取付け、該アークチヤンバー及
び放電室内を真空化したのち該るつぼを加熱して
該アジ化物の窒素を放出させ、次いで前記放電室
及びアークチヤンバーに希ガスを導入すると共に
該放電室内の圧力を該アークチヤンバー内の圧力
よりも高く保持し、該放電室のフイラメントとア
ノードとに通電して該放電室で生ずるプラズマを
細孔を介してアークチヤンバーへ噴出させ乍ら加
熱したるつぼからアルカリ土類金属の蒸気を該ア
ークチヤンバーへ導入し、該アークチヤンバーと
その内部へ噴出するプラズマとの放電により該ア
ルカリ土類金属の蒸気をイオン化することを特徴
とするアルカリ土類金属イオンの生成方法。[Claims] 1. A discharge chamber with a filament inside is provided on the side of an arc chamber provided with an ion extraction port, and the arc chamber and the discharge chamber are provided in the middle of the anode electrode. Magnets that communicate with each other through the holes and form a magnetic field substantially along the axial direction of the holes are provided outside the arc chamber and the discharge chamber, and the pressure inside the discharge chamber is controlled by the pressure inside the arc chamber. in which the plasma generated in the discharge chamber is ejected into the arc chamber through the pores, and the arc chamber contains an alkaline earth metal compound. An alkaline earth metal ion source characterized in that a crucible is attached and alkaline earth metal vapor generated in the crucible is introduced into the arc chamber. 2. According to claim 1, wherein a plurality of crucibles containing alkaline earth metal compounds are attached to the arc chamber, and alkaline earth metal vapor generated in each crucible is introduced into the arc chamber. source of alkaline earth metal ions. 3 A discharge chamber with a filament inside is provided on the side of the arc chamber equipped with the ion extraction port, and the arc chamber and the discharge chamber are connected to each other through the pores of the anode electrode provided in the middle. Magnets that communicate with each other and form a magnetic field substantially along the axial direction of the pores are provided outside the arc chamber and the discharge chamber, and the pressure inside the discharge chamber is maintained higher than the pressure inside the arc chamber. An ion source configured to eject plasma generated in the discharge chamber into the arc chamber through the pores is prepared, and a crucible containing an alkaline earth metal azide is placed in the arc chamber. After installation and evacuating the arc chamber and discharge chamber, the crucible is heated to release nitrogen from the azide, and then a rare gas is introduced into the discharge chamber and arc chamber, and the pressure inside the discharge chamber is reduced. The pressure in the arc chamber is maintained higher than that in the arc chamber, and the filament and anode in the discharge chamber are energized to eject the plasma generated in the discharge chamber through the pores into the arc chamber while alkali is discharged from the heated crucible. An alkaline earth metal ion method characterized by introducing earth metal vapor into the arc chamber and ionizing the alkaline earth metal vapor by discharge between the arc chamber and plasma ejected into the arc chamber. Generation method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63137514A JPH02175861A (en) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | Formation of alkaline earth metal ion source and alkaline earth metal ion |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63137514A JPH02175861A (en) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | Formation of alkaline earth metal ion source and alkaline earth metal ion |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02175861A JPH02175861A (en) | 1990-07-09 |
| JPH0472343B2 true JPH0472343B2 (en) | 1992-11-18 |
Family
ID=15200452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63137514A Granted JPH02175861A (en) | 1988-06-06 | 1988-06-06 | Formation of alkaline earth metal ion source and alkaline earth metal ion |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02175861A (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR102461901B1 (en) * | 2017-12-12 | 2022-11-01 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | Ion source and indirectly heated cathode ion source |
-
1988
- 1988-06-06 JP JP63137514A patent/JPH02175861A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02175861A (en) | 1990-07-09 |
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