JPH0472471B2 - - Google Patents
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- JPH0472471B2 JPH0472471B2 JP57216000A JP21600082A JPH0472471B2 JP H0472471 B2 JPH0472471 B2 JP H0472471B2 JP 57216000 A JP57216000 A JP 57216000A JP 21600082 A JP21600082 A JP 21600082A JP H0472471 B2 JPH0472471 B2 JP H0472471B2
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- vibration wave
- aperture
- lever
- vibration
- drive
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
- G02B7/08—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted to co-operate with a remote control mechanism
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/145—Large signal circuits, e.g. final stages
- H02N2/147—Multi-phase circuits
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diaphragms For Cameras (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Exposure Control For Cameras (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電歪素子、磁歪素子などの電気−機
械エネルギ変換手段による機械的振動波を利用す
る振動波モータによる駆動装置に関するものであ
る。
械エネルギ変換手段による機械的振動波を利用す
る振動波モータによる駆動装置に関するものであ
る。
振動波モータは、既に特開昭52−29192号公報
などによつて知られているように、固定体と移動
体とを摩擦接触させ、これらの少なくとも一方の
電気−機械エネルギ変換素子自体、或は電気−機
械エネルギ変換素子を含む弾性振動体で構成し、
電気−機械エネルギ変換素子に可聴周波数以上の
高周波電気エネルギを加えることによつて、機械
的振動エネルギを発生させ、移動体を一方向に摩
擦駆動させるものである。
などによつて知られているように、固定体と移動
体とを摩擦接触させ、これらの少なくとも一方の
電気−機械エネルギ変換素子自体、或は電気−機
械エネルギ変換素子を含む弾性振動体で構成し、
電気−機械エネルギ変換素子に可聴周波数以上の
高周波電気エネルギを加えることによつて、機械
的振動エネルギを発生させ、移動体を一方向に摩
擦駆動させるものである。
本発明は、このような振動波モータのうち、特
に、固定体と移動体との摩擦接触面に屈曲振動を
発生させ、その進行振動波により移動体を摩擦駆
動させるタイプの振動波モータに関する。
に、固定体と移動体との摩擦接触面に屈曲振動を
発生させ、その進行振動波により移動体を摩擦駆
動させるタイプの振動波モータに関する。
従来、振動波モータを起動する方法は、直流モ
ータや交流モータと同様、駆動スタート信号によ
り進行振動波を発生させるものであつた。ところ
が、このような起動方法では、立上り特性がよく
なかつた。ここで、理解しやすくするために、振
動波モータ(圧電モータとか超音波モータとも言
われる)の駆動原理を第1図により説明する。
ータや交流モータと同様、駆動スタート信号によ
り進行振動波を発生させるものであつた。ところ
が、このような起動方法では、立上り特性がよく
なかつた。ここで、理解しやすくするために、振
動波モータ(圧電モータとか超音波モータとも言
われる)の駆動原理を第1図により説明する。
第1図において、1は力Fで加圧されている移
動体、2は電歪素子により弾性振動を行う固定体
で、x軸を固定体2の表面上の方向に、z軸をそ
の法線方向とする。電歪素子により固定体2の表
面に屈曲振動を与えると、進行振動波が発生し、
固定体2の表面上を伝搬していく。この進行振動
波は縦波と横波を伴なつた表面波で、その質点の
運動は楕円軌道を画く。質点Aに着目すると、縦
振幅u、横振幅wの楕円運動を行つており、表面
波の進行方向をx軸方向とすると、楕円運動は反
時計方向の向きである。この表面波は一波長毎に
頂点A,A′…を有し、その頂点速度はx成分の
みであつて、v=2πfu(fは振動数)である。そ
こで、移動体1の表面を固定体2の表面に摩擦接
触させると、移動体1の表面は頂点A,A′…の
みに接触するから、移動体1は摩擦力により矢印
Nの方向に駆動される。
動体、2は電歪素子により弾性振動を行う固定体
で、x軸を固定体2の表面上の方向に、z軸をそ
の法線方向とする。電歪素子により固定体2の表
面に屈曲振動を与えると、進行振動波が発生し、
固定体2の表面上を伝搬していく。この進行振動
波は縦波と横波を伴なつた表面波で、その質点の
運動は楕円軌道を画く。質点Aに着目すると、縦
振幅u、横振幅wの楕円運動を行つており、表面
波の進行方向をx軸方向とすると、楕円運動は反
時計方向の向きである。この表面波は一波長毎に
頂点A,A′…を有し、その頂点速度はx成分の
みであつて、v=2πfu(fは振動数)である。そ
こで、移動体1の表面を固定体2の表面に摩擦接
触させると、移動体1の表面は頂点A,A′…の
みに接触するから、移動体1は摩擦力により矢印
Nの方向に駆動される。
移動体1の速度は振動数fに比例する。また、
加圧接触による摩擦駆動のために、縦振幅uばか
りでなく、横振幅wにも依存する。即ち、移動体
1の速度は楕円運動の大きさに比例する。したが
つて、移動体1の速度は電歪素子に加える電圧に
比例する。
加圧接触による摩擦駆動のために、縦振幅uばか
りでなく、横振幅wにも依存する。即ち、移動体
1の速度は楕円運動の大きさに比例する。したが
つて、移動体1の速度は電歪素子に加える電圧に
比例する。
従来の起動方法では、駆動スタート信号により
進行振動波を発生させ、静止状態から動作状態に
すると、常定域に達する過渡期に、楕円運動が電
歪素子の振動エネルギにより少しずつ大きくな
り、ある時間後、定常状態となる。電歪素子の振
動エネルギが零の状態から安定した進行振動波の
縦振動エネルギと横振動エネルギに変換されるま
でにある時間がかかるのである。
進行振動波を発生させ、静止状態から動作状態に
すると、常定域に達する過渡期に、楕円運動が電
歪素子の振動エネルギにより少しずつ大きくな
り、ある時間後、定常状態となる。電歪素子の振
動エネルギが零の状態から安定した進行振動波の
縦振動エネルギと横振動エネルギに変換されるま
でにある時間がかかるのである。
本発明の目的は、上述した問題点を解決し、起
動時の立上り特性を良くすることができる振動波
モータ用駆動装置を提供することである。
動時の立上り特性を良くすることができる振動波
モータ用駆動装置を提供することである。
この目的を達成するために、本発明は、制御回
路を有する振動波モータ用駆動装置であつて、振
動波モータは、振動体と、被駆動体とを有し、振
動体が電気−機械エネルギ変換素子によつて励振
されて表面に振動波を発生し、被駆動体が振動体
の表面に圧接されて駆動されるものであり、制御
回路は交番電圧で電気−機械エネルギ変換素子を
駆動して、振動体に定在振動波を発生させ、その
後進行振動波を発生させるものであり、以て、進
行振動波による被駆動体の駆動前に、定在振動波
の発生により振動体に振動エネルギを蓄えておく
ようにしたことを特徴とする。
路を有する振動波モータ用駆動装置であつて、振
動波モータは、振動体と、被駆動体とを有し、振
動体が電気−機械エネルギ変換素子によつて励振
されて表面に振動波を発生し、被駆動体が振動体
の表面に圧接されて駆動されるものであり、制御
回路は交番電圧で電気−機械エネルギ変換素子を
駆動して、振動体に定在振動波を発生させ、その
後進行振動波を発生させるものであり、以て、進
行振動波による被駆動体の駆動前に、定在振動波
の発生により振動体に振動エネルギを蓄えておく
ようにしたことを特徴とする。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
第2図及び第3図は、本発明を実施する振動波
モータの一例を示す構造分解図、及び電気的接続
と進行振動波や定在振動波の発生状態を示す図で
ある。第1図と同様な部分は同一符号にて示す。
モータの一例を示す構造分解図、及び電気的接続
と進行振動波や定在振動波の発生状態を示す図で
ある。第1図と同様な部分は同一符号にて示す。
第2図において、被駆動体としての環状の移動
体1には摩擦接触しやすくするための硬質ゴム1
aが接着される。環状の固定体2には、二つのグ
ループを形成する、電気−機械エネルギ変換素子
としての電歪素子3a,3bが接着され、固定体
2と電歪素子3a,3bとで振動体96が構成さ
れる。振動としての環状の固定体2には二つのグ
ループを形成する電気−機械エネルギ変換素子と
しての電歪素子3a,3bが接着される。電歪素
子3a,3bは、単独で動作すると、固定体2が
共振するような状態、即ち、定在振動波が存在す
るような位置に配置され、且つ電歪素子3aによ
る定在振動波長と電歪素子3bによる定在振動波
長とが等しくなり、90°位相がずれる(1波長/
4だけ物理的位置がずれる)ように配置される。
フエルト4は、固定体2の摩擦接触面と反対の面
の振動を吸収する。支持体5は固定体2、電歪素
子3a,3b及びフエルト4を支持する。
体1には摩擦接触しやすくするための硬質ゴム1
aが接着される。環状の固定体2には、二つのグ
ループを形成する、電気−機械エネルギ変換素子
としての電歪素子3a,3bが接着され、固定体
2と電歪素子3a,3bとで振動体96が構成さ
れる。振動としての環状の固定体2には二つのグ
ループを形成する電気−機械エネルギ変換素子と
しての電歪素子3a,3bが接着される。電歪素
子3a,3bは、単独で動作すると、固定体2が
共振するような状態、即ち、定在振動波が存在す
るような位置に配置され、且つ電歪素子3aによ
る定在振動波長と電歪素子3bによる定在振動波
長とが等しくなり、90°位相がずれる(1波長/
4だけ物理的位置がずれる)ように配置される。
フエルト4は、固定体2の摩擦接触面と反対の面
の振動を吸収する。支持体5は固定体2、電歪素
子3a,3b及びフエルト4を支持する。
第3図においては、説明上電歪素子3a,3b
は第2図のような配置ではなく、交互に配列され
ているが、上記と同じ条件を満たしており、等価
な配置である。駆動用電源6はV=V0sinωtとい
う電圧を供給する。電歪素子3aには起動スイツ
チ7を経てライン8により駆動用電源6から直
接、電圧V0sinωtが印加され、電歪素子3bには
電源スイツチ9及び90°移相器10を経てライン
11により電圧V0sinωt(ωt±π/2)が印加さ
れる。電圧V0sinωt(ωt±π/2)の±は移動体
1を動かす方向によつて切り換えられる。第3図
のイ〜ヘは電圧V0sinωt(ωt−π/2)が印加さ
れている場合の振動波の状態を示す。イは電歪素
子3aのみにより定在振動波12を発生させてい
る状態、ロは電歪素子3bのみにより90°位相遅
れのある定在振動波13を発生させている状態、
をそれぞれ示す。ハ〜ニは二つの電歪素子3a,
3bを同時に動作させて、進行振動波14を発生
させている状態を示す。ハは時刻t=0+2nπ/
ω、ニは時刻t=π/ω+2nπ/ω、ホは時刻t
=π/ω+2nπ/ω、ヘは3π/2ω+2nπ/ω、の
進行振動波14の位相をそれぞれ示す。進行振動
波14は第3図の右方向に進むが、固定体2の摩
擦接触面の質点は反時計方向の楕円運動を行う。
したがつて、移動体1は左方向に移動する。
は第2図のような配置ではなく、交互に配列され
ているが、上記と同じ条件を満たしており、等価
な配置である。駆動用電源6はV=V0sinωtとい
う電圧を供給する。電歪素子3aには起動スイツ
チ7を経てライン8により駆動用電源6から直
接、電圧V0sinωtが印加され、電歪素子3bには
電源スイツチ9及び90°移相器10を経てライン
11により電圧V0sinωt(ωt±π/2)が印加さ
れる。電圧V0sinωt(ωt±π/2)の±は移動体
1を動かす方向によつて切り換えられる。第3図
のイ〜ヘは電圧V0sinωt(ωt−π/2)が印加さ
れている場合の振動波の状態を示す。イは電歪素
子3aのみにより定在振動波12を発生させてい
る状態、ロは電歪素子3bのみにより90°位相遅
れのある定在振動波13を発生させている状態、
をそれぞれ示す。ハ〜ニは二つの電歪素子3a,
3bを同時に動作させて、進行振動波14を発生
させている状態を示す。ハは時刻t=0+2nπ/
ω、ニは時刻t=π/ω+2nπ/ω、ホは時刻t
=π/ω+2nπ/ω、ヘは3π/2ω+2nπ/ω、の
進行振動波14の位相をそれぞれ示す。進行振動
波14は第3図の右方向に進むが、固定体2の摩
擦接触面の質点は反時計方向の楕円運動を行う。
したがつて、移動体1は左方向に移動する。
先ず、電源スイツチ9がオンになると、電歪素
子3bのみが動作し、ロの定在振動波13のみが
発生する。この状態において、固定体2の摩擦接
触面上の節以外の質点では横振動、即ち、第3図
で上下運動だけである。これにより、固定体2に
は振動エネルギが蓄えられ、起動の準備がなされ
る。次に起動スイツチ7がオンになると、電歪素
子3aによつて定在振動波12も発生し、定在振
動波13と合成されて、進行振動波14が発生す
る。起動前から振動エネルギが固定体2に蓄えら
れているので、進行振動波14の発生の立上りは
速くなる。
子3bのみが動作し、ロの定在振動波13のみが
発生する。この状態において、固定体2の摩擦接
触面上の節以外の質点では横振動、即ち、第3図
で上下運動だけである。これにより、固定体2に
は振動エネルギが蓄えられ、起動の準備がなされ
る。次に起動スイツチ7がオンになると、電歪素
子3aによつて定在振動波12も発生し、定在振
動波13と合成されて、進行振動波14が発生す
る。起動前から振動エネルギが固定体2に蓄えら
れているので、進行振動波14の発生の立上りは
速くなる。
第4図及び第5図は、本発明をカメラの絞り駆
動に適用した絞りユニツトの一例を示す構造分解
図及び回路図である。この絞りユニツトは、カメ
ラのレリーズボタンの第1段ストロークにより測
光演算を開始すると共に定在振動波13を発生し
て、絞り駆動準備を行い、第2段ストロークによ
り撮影シーケンスを開始すると共に進行振動波1
4を発生して、絞り駆動を行うものである。第2
図と同様な部分は同一符号にて示す。
動に適用した絞りユニツトの一例を示す構造分解
図及び回路図である。この絞りユニツトは、カメ
ラのレリーズボタンの第1段ストロークにより測
光演算を開始すると共に定在振動波13を発生し
て、絞り駆動準備を行い、第2段ストロークによ
り撮影シーケンスを開始すると共に進行振動波1
4を発生して、絞り駆動を行うものである。第2
図と同様な部分は同一符号にて示す。
第4図において、基板15はカメラ基部の筐体
(図示せず)に固定され、その円筒部15a上に
は絞り羽根16(後述)の回転支点となる複数個
のピン15bが植設される。基板15には、くし
歯状電極を有するコード板17が取り付けられ、
回転体18に取り付けられた摺動子19がくし歯
状電極上を摺動する至とによつて回転量に相当す
る数のパルスから成る絞りモニタ信号が発生す
る。基板15上には、フエルト4、電歪素子3
a,3b、及び固定体2が固定される。回転体1
8は第2図の移動体1に相当するもので、固定体
2と摩擦接触し、その上に絞り羽根16の回転を
制御する複数個のピン18aが植設される。突起
部18bは絞り開放時に基板15に取り付けられ
た開放リセツトスイツチ20をオンにするもので
ある。
(図示せず)に固定され、その円筒部15a上に
は絞り羽根16(後述)の回転支点となる複数個
のピン15bが植設される。基板15には、くし
歯状電極を有するコード板17が取り付けられ、
回転体18に取り付けられた摺動子19がくし歯
状電極上を摺動する至とによつて回転量に相当す
る数のパルスから成る絞りモニタ信号が発生す
る。基板15上には、フエルト4、電歪素子3
a,3b、及び固定体2が固定される。回転体1
8は第2図の移動体1に相当するもので、固定体
2と摩擦接触し、その上に絞り羽根16の回転を
制御する複数個のピン18aが植設される。突起
部18bは絞り開放時に基板15に取り付けられ
た開放リセツトスイツチ20をオンにするもので
ある。
絞り羽根16は、第4図では一枚のみが示さ
れ、他は省略されているが、回転体18上に絞り
口径を形成すべく複数枚が回転体18と固定カバ
ー21との間に配置される。絞り羽根16の円弧
孔16a,16bにはそれぞれピン18a,18
bが挿入される。回転体18と固定カバー21と
の間には鋼球22及びスペーサ23が介在し、ス
ラストベアリングの機能を果す。固定カバー21
は複数のビス24によりバネ25を介して基板1
5に固定される。バネ25の力により鋼球22を
介して回転体18は固定体2に対して回転可能に
圧接される。
れ、他は省略されているが、回転体18上に絞り
口径を形成すべく複数枚が回転体18と固定カバ
ー21との間に配置される。絞り羽根16の円弧
孔16a,16bにはそれぞれピン18a,18
bが挿入される。回転体18と固定カバー21と
の間には鋼球22及びスペーサ23が介在し、ス
ラストベアリングの機能を果す。固定カバー21
は複数のビス24によりバネ25を介して基板1
5に固定される。バネ25の力により鋼球22を
介して回転体18は固定体2に対して回転可能に
圧接される。
第5図において、測光演算回路26は、開放レ
ンズを通して被写体から入射する光量を検出する
受光器27、演算増幅器28、ダイオード29、
演算増幅器28の出力により開放レンズを通した
被写体輝度情報VV0を発生する抵抗30、フイル
ム感度情報SVを発生する可変抵抗31、設定露
出情報(例えばシヤツター秒時情報Tv)を発生
する可変抵抗32、絞り込み値△AVを演算する
演算増幅器33及びA/D変換器34から成る。
モニタ信号発生回路35はコード板17、摺動子
19及び定電圧電源に接続された抵抗36から成
る。チヤタリング吸収回路37はモニタ信号発生
回路35が出力する絞りモニタ信号のチヤタリン
グ成分を吸収するもので、その出力側がプリツセ
ツタブルダウンカウンタ38の入力端子Iに接続
される。制御信号発生回路39はRSフリツプフ
ロツプ40,41から成り、レリーズボタンの第
1段ストロークに連動した電源信号P1、第2段
ストロークに連動した絞り起動信号P2、露光完
了信号P3が入力する。単一パルス発生回路42
は出力側がプリセツタブルダウンカウンタ38の
ロード端子Lに接続される。パルス発生回路43
は発振器44、分周比1/2の分周器45,46
及びインバータ47から成り、90°位相差のある
パルスを分周器45,46から出力する。48〜
50はアンドゲート、51はオアゲート、52は
排他的オアゲート、53は電源に接続された抵抗
である。排他的オアゲート52は、RSフリツプ
フロツプ40の出力端子Qからの入力がハイレベ
ルの時に分周器45のパルスに対する分周器46
のパルスの位相を90°進んだものとし、ローレベ
ルの時に90°遅れたものとする。
ンズを通して被写体から入射する光量を検出する
受光器27、演算増幅器28、ダイオード29、
演算増幅器28の出力により開放レンズを通した
被写体輝度情報VV0を発生する抵抗30、フイル
ム感度情報SVを発生する可変抵抗31、設定露
出情報(例えばシヤツター秒時情報Tv)を発生
する可変抵抗32、絞り込み値△AVを演算する
演算増幅器33及びA/D変換器34から成る。
モニタ信号発生回路35はコード板17、摺動子
19及び定電圧電源に接続された抵抗36から成
る。チヤタリング吸収回路37はモニタ信号発生
回路35が出力する絞りモニタ信号のチヤタリン
グ成分を吸収するもので、その出力側がプリツセ
ツタブルダウンカウンタ38の入力端子Iに接続
される。制御信号発生回路39はRSフリツプフ
ロツプ40,41から成り、レリーズボタンの第
1段ストロークに連動した電源信号P1、第2段
ストロークに連動した絞り起動信号P2、露光完
了信号P3が入力する。単一パルス発生回路42
は出力側がプリセツタブルダウンカウンタ38の
ロード端子Lに接続される。パルス発生回路43
は発振器44、分周比1/2の分周器45,46
及びインバータ47から成り、90°位相差のある
パルスを分周器45,46から出力する。48〜
50はアンドゲート、51はオアゲート、52は
排他的オアゲート、53は電源に接続された抵抗
である。排他的オアゲート52は、RSフリツプ
フロツプ40の出力端子Qからの入力がハイレベ
ルの時に分周器45のパルスに対する分周器46
のパルスの位相を90°進んだものとし、ローレベ
ルの時に90°遅れたものとする。
駆動制御回路54は電歪素子3a,3bの駆動
を制御する回路で、トランジスタ、抵抗及びイン
バータから成る二つのプツシユプル回路55,5
6、スイツチングトランジスタ57,58などに
よつて構成される。スイツチングトランジスタ5
7,58は抵抗59を経て電源に接続される。
を制御する回路で、トランジスタ、抵抗及びイン
バータから成る二つのプツシユプル回路55,5
6、スイツチングトランジスタ57,58などに
よつて構成される。スイツチングトランジスタ5
7,58は抵抗59を経て電源に接続される。
次に第4,5図に示される絞りユニツトの動作
につて説明する。
につて説明する。
カメラの撮影操作のために、レリーズボタンの
第1段ストロークが押されると、電源信号P1が
RSフリツプフロツプ41のセツト入力端子Sに
入力し、これをセツト状態にする。同時に測光演
算回路26、パルス発生回路43などが動作を開
始し、駆動制御回路54などに電源が供給され
る。被写体輝度をBV、開放絞り値をAV0とすれ
ば、受光器27には開放レンズを通して光量が入
射するので、演算増幅器28の出力により抵抗3
0に発生する被写体輝度情報BV0は下記のように
なる。
第1段ストロークが押されると、電源信号P1が
RSフリツプフロツプ41のセツト入力端子Sに
入力し、これをセツト状態にする。同時に測光演
算回路26、パルス発生回路43などが動作を開
始し、駆動制御回路54などに電源が供給され
る。被写体輝度をBV、開放絞り値をAV0とすれ
ば、受光器27には開放レンズを通して光量が入
射するので、演算増幅器28の出力により抵抗3
0に発生する被写体輝度情報BV0は下記のように
なる。
BV0=BV−AV0
一方、制御すべき絞り値をAVとすれば、絞り
込み値△AVは、△AV=AV−AV0の式から求めら
れる。アペツクス演算式BV+SV=AV+TVを上記
2式により変形すると、下記の式が得られる。
込み値△AVは、△AV=AV−AV0の式から求めら
れる。アペツクス演算式BV+SV=AV+TVを上記
2式により変形すると、下記の式が得られる。
(BV−AV0)+SV−TV=AV−AV0=△AV
演算増幅器33はこの式を演算し、絞り込み値
△AV、即ち絞り羽根16を開放位置か絞り込む
べき絞り段数信号を出力する。この信号はA/D
変換器34によりデジタル値に変更され、プリセ
ツタブルダウンカウンタ38のデータ端子Dに与
えられる。
△AV、即ち絞り羽根16を開放位置か絞り込む
べき絞り段数信号を出力する。この信号はA/D
変換器34によりデジタル値に変更され、プリセ
ツタブルダウンカウンタ38のデータ端子Dに与
えられる。
RSフリツプフロツプ41の出力端子Qからの
ハイレベルの出力によつて、オアゲート51の出
力はハイレベルに反転し、スイツチングトランジ
スタ58をオンにする。一方、RSフリツプフロ
ツプ41の出力端子からのローレベルの出力に
よつて、アンドゲート50の出力はローレベルに
保持され、スイツチングトランジスタ57はオフ
のままとなる。したがつて、プツシユプル回路5
5には電源が供給されず、プツシユプル回路56
のみに電源が供給され、分周回路45のパルスが
プツシユプル回路56を制御することによつて、
電歪素子3bのみが振動運動を行い、固定体2に
定在振動波13が発生する。これにより、回転体
18が移動することなく、固定体2に振動エネル
ギが蓄えられ、起動準備がされる。
ハイレベルの出力によつて、オアゲート51の出
力はハイレベルに反転し、スイツチングトランジ
スタ58をオンにする。一方、RSフリツプフロ
ツプ41の出力端子からのローレベルの出力に
よつて、アンドゲート50の出力はローレベルに
保持され、スイツチングトランジスタ57はオフ
のままとなる。したがつて、プツシユプル回路5
5には電源が供給されず、プツシユプル回路56
のみに電源が供給され、分周回路45のパルスが
プツシユプル回路56を制御することによつて、
電歪素子3bのみが振動運動を行い、固定体2に
定在振動波13が発生する。これにより、回転体
18が移動することなく、固定体2に振動エネル
ギが蓄えられ、起動準備がされる。
レリーズボタンの第2段ストロークが押される
と、絞り起動信号P2が入力し、RSフリツプフロ
ツプ40をセツトすると同時に、RSフリツプフ
ロツプ41をリセツトする。これにより、プリセ
ツタブルダウンカウンタ38のリセツト端子Rに
与えられていたハイレベルの信号はローレベルに
反転し、リセツトが解除される。同時に、単一パ
ルス発生回路42が動作して、単一パルスをロー
ド端子Lに与えるので、プリセツタブルダウカウ
ンタ38にはA/D変換器34の出力がプリセツ
トされる。RSフリツプフロツプ40の出力端子
Qのハイレベルの信号により、アンドゲート49
及びオアゲート51の出力がハイレベルとなり、
RSフリツプフロツプ41の出力端子のハイレ
ベルの信号により、アンドゲート50の出力がハ
イレベルとなるので、スイツチングトランジスタ
57,58は共にオンとなる。そのため、電歪素
子3a,3bには90°位相の異なつた駆動電圧が
供給され、固定体2には進行振動波14が速やか
に発生する。これにより回転体18が回転し、絞
り羽根16を開放位置から小絞り方向に絞り込
む。回転体18の回転角に対応したパルス数の絞
りモニタ信号がモニタ信号発生回路35からチヤ
タリング吸収回路37を経てプリセツタブルダウ
ンカウンタ38の入力端子に入力し、プリセツ
タブルダウンカウンタ38はプリセツト値から減
算する。カウント値が零になされると、キヤリ端
子Cからハイレベルの信号が出力され、アンドゲ
ート49,50及びオアゲート51の出力をロー
レベルにするので、スイツチングトランジスタ5
7,58はオフとなり、電歪素子3a,3bへの
電源供給が止まつて、回転体18は停止し、絞り
羽根16により絞り口径が形成される。この時の
絞り値AVは、開放絞り値AV0から絞り込み値AV
だけ絞り込まれた値(AV0+△AV)となる。
と、絞り起動信号P2が入力し、RSフリツプフロ
ツプ40をセツトすると同時に、RSフリツプフ
ロツプ41をリセツトする。これにより、プリセ
ツタブルダウンカウンタ38のリセツト端子Rに
与えられていたハイレベルの信号はローレベルに
反転し、リセツトが解除される。同時に、単一パ
ルス発生回路42が動作して、単一パルスをロー
ド端子Lに与えるので、プリセツタブルダウカウ
ンタ38にはA/D変換器34の出力がプリセツ
トされる。RSフリツプフロツプ40の出力端子
Qのハイレベルの信号により、アンドゲート49
及びオアゲート51の出力がハイレベルとなり、
RSフリツプフロツプ41の出力端子のハイレ
ベルの信号により、アンドゲート50の出力がハ
イレベルとなるので、スイツチングトランジスタ
57,58は共にオンとなる。そのため、電歪素
子3a,3bには90°位相の異なつた駆動電圧が
供給され、固定体2には進行振動波14が速やか
に発生する。これにより回転体18が回転し、絞
り羽根16を開放位置から小絞り方向に絞り込
む。回転体18の回転角に対応したパルス数の絞
りモニタ信号がモニタ信号発生回路35からチヤ
タリング吸収回路37を経てプリセツタブルダウ
ンカウンタ38の入力端子に入力し、プリセツ
タブルダウンカウンタ38はプリセツト値から減
算する。カウント値が零になされると、キヤリ端
子Cからハイレベルの信号が出力され、アンドゲ
ート49,50及びオアゲート51の出力をロー
レベルにするので、スイツチングトランジスタ5
7,58はオフとなり、電歪素子3a,3bへの
電源供給が止まつて、回転体18は停止し、絞り
羽根16により絞り口径が形成される。この時の
絞り値AVは、開放絞り値AV0から絞り込み値AV
だけ絞り込まれた値(AV0+△AV)となる。
シヤツター動作によりフイルムの露光が完了す
ると、露光完了信号P3がRSフリツプフロツプ4
0をリセツトする。この時、開放リセツトスイツ
チ20はオフしているので、アンドゲート48の
出力はハイレベルに反転し、オアゲート51及び
アンドゲート50の出力もハイレベルに反転す
る。そのため、スイツチグトランジスタ57,5
8は共にオンとなり、電歪素子3a,3bは振動
運動を行い、固定体2に進行振動波を発生させ
る。この時は、排他的オアゲート52により分周
器46のパルスの位相が分周器45のパルスに対
して90°遅らされるので、進行振動波の進行方向
は逆となり、回転体18は絞り羽根16の開放方
向に回転する。開放位置まで回転すると、回転体
18の突起部18bによつて開放リセツトスイツ
チ20がオンにされるために、アンドゲート48
の出力はローレベルに戻り、電歪素子3a,3b
への給電は断たれ、回転体18は停止する。
ると、露光完了信号P3がRSフリツプフロツプ4
0をリセツトする。この時、開放リセツトスイツ
チ20はオフしているので、アンドゲート48の
出力はハイレベルに反転し、オアゲート51及び
アンドゲート50の出力もハイレベルに反転す
る。そのため、スイツチグトランジスタ57,5
8は共にオンとなり、電歪素子3a,3bは振動
運動を行い、固定体2に進行振動波を発生させ
る。この時は、排他的オアゲート52により分周
器46のパルスの位相が分周器45のパルスに対
して90°遅らされるので、進行振動波の進行方向
は逆となり、回転体18は絞り羽根16の開放方
向に回転する。開放位置まで回転すると、回転体
18の突起部18bによつて開放リセツトスイツ
チ20がオンにされるために、アンドゲート48
の出力はローレベルに戻り、電歪素子3a,3b
への給電は断たれ、回転体18は停止する。
第6図は、本発明をカメラのシヤツター駆動に
適用したシヤツター機構の一例を示す斜視図であ
る。60は後羽根駆動用の振動波モータで、第2
図及び第3図に示されるものとほぼ同様の構造及
び電気的回路構成を有する。先羽根駆動用の振動
波モータは別に設けられるが、第6図では省略さ
れている。
適用したシヤツター機構の一例を示す斜視図であ
る。60は後羽根駆動用の振動波モータで、第2
図及び第3図に示されるものとほぼ同様の構造及
び電気的回路構成を有する。先羽根駆動用の振動
波モータは別に設けられるが、第6図では省略さ
れている。
第6図はカメラがチヤージ完了状態にある時の
シヤツター機構を示す。61は巻上げ軸、62は
巻上げ軸61と一体に回転する巻上げカム、63
は、巻上げカム62により右旋させられてミラー
駆動レバー64をメインバネ65に抗してチヤー
ジする巻上げレバー、66は、ミラー駆動レバー
64上に軸支され、バネ67によりミラー押上げ
レバー68に係合するように付勢されたクラツ
チ、69はミラー、70は、ミラー押上げレバー
68により押されてミラー復帰バネ71に抗して
ミラー69を押し上げるミラーピン、72は、ミ
ラー69が押し上げられた時にミラーピン70に
よりオンされ、不図示の回路により一定時間、振
動波モータ60に定在振動波を発生させた後、進
行振動波を発生させるスイツチ、73は係止レバ
ー、74は係止レバー73を付勢するバネ、75
はレリーズ用マグネツトで、常時はアーマチユア
を吸引し、電流が流れた時にアーマチユアを離反
させるタイプのもの、76は、リレーズ用マグネ
ツト75が作動した時にバネ77の力により回転
して係止レバー73を右旋させ、ミラー駆動レバー
64の係止を解くマグネツトレバー、78はセツ
トレバー、79は、クラツチ66の先端を矢印方
向に叩いてクラツチ66とミラー押上げレバー6
8との係合を解く解除レバー、80は、ミラー押
上げレバー68に押されてバネ81に抗して右旋
し、レンズの絞り連動部材(不図示)を駆動する
絞り駆動レバー、82はシヤツター地板、83は
シヤツター後羽根、84はシヤツター先羽根、8
5は、後羽根補助レバー86と共にシヤツター後
羽根83を支える後羽根駆動レバー、87は、先
羽根補助レバー88と共にシヤツター先羽根84
を支える先羽根駆動レバーである。
シヤツター機構を示す。61は巻上げ軸、62は
巻上げ軸61と一体に回転する巻上げカム、63
は、巻上げカム62により右旋させられてミラー
駆動レバー64をメインバネ65に抗してチヤー
ジする巻上げレバー、66は、ミラー駆動レバー
64上に軸支され、バネ67によりミラー押上げ
レバー68に係合するように付勢されたクラツ
チ、69はミラー、70は、ミラー押上げレバー
68により押されてミラー復帰バネ71に抗して
ミラー69を押し上げるミラーピン、72は、ミ
ラー69が押し上げられた時にミラーピン70に
よりオンされ、不図示の回路により一定時間、振
動波モータ60に定在振動波を発生させた後、進
行振動波を発生させるスイツチ、73は係止レバ
ー、74は係止レバー73を付勢するバネ、75
はレリーズ用マグネツトで、常時はアーマチユア
を吸引し、電流が流れた時にアーマチユアを離反
させるタイプのもの、76は、リレーズ用マグネ
ツト75が作動した時にバネ77の力により回転
して係止レバー73を右旋させ、ミラー駆動レバー
64の係止を解くマグネツトレバー、78はセツ
トレバー、79は、クラツチ66の先端を矢印方
向に叩いてクラツチ66とミラー押上げレバー6
8との係合を解く解除レバー、80は、ミラー押
上げレバー68に押されてバネ81に抗して右旋
し、レンズの絞り連動部材(不図示)を駆動する
絞り駆動レバー、82はシヤツター地板、83は
シヤツター後羽根、84はシヤツター先羽根、8
5は、後羽根補助レバー86と共にシヤツター後
羽根83を支える後羽根駆動レバー、87は、先
羽根補助レバー88と共にシヤツター先羽根84
を支える先羽根駆動レバーである。
振動波モータ60の回転軸89は後羽根駆動レ
バー85を回転させるように連結される。同じよ
うに先羽根駆動用の振動波モータの回転軸が先羽
根駆動レバー87に連結される。スイツチ90は
先羽根走行完了信号を発生するためのもので、先
羽根補助レバー88に設けられたピン91によつ
てオンオフされ、先羽根走行完了時にオンし、先
羽根起動用の振動波モータを停止させる。先羽根
リセツトスイツチ92は、撮影完了後、シヤツタ
ー先羽根84がリセツト位置に戻された時にピン
91によりオンされ、先羽根駆動用の振動波モー
タを停止させる。後羽根走行完了信号発生用のス
イツチ93と後羽根リセツトスイツチ94も同様
にピン95によりオンオフされ、振動波モータ6
0を制御する。
バー85を回転させるように連結される。同じよ
うに先羽根駆動用の振動波モータの回転軸が先羽
根駆動レバー87に連結される。スイツチ90は
先羽根走行完了信号を発生するためのもので、先
羽根補助レバー88に設けられたピン91によつ
てオンオフされ、先羽根走行完了時にオンし、先
羽根起動用の振動波モータを停止させる。先羽根
リセツトスイツチ92は、撮影完了後、シヤツタ
ー先羽根84がリセツト位置に戻された時にピン
91によりオンされ、先羽根駆動用の振動波モー
タを停止させる。後羽根走行完了信号発生用のス
イツチ93と後羽根リセツトスイツチ94も同様
にピン95によりオンオフされ、振動波モータ6
0を制御する。
次の動作について説明する。カメラのレリーズ
ボタンによりシヤツターレリーズが行われると、
レリーズ用マグネツト75に通電され、マグネツ
トレバー76は解放されて、バネ77により左旋
される。これにより、係止レバー73はバネ74
に抗して右旋され、ミラー駆動レバー64の係止
を解く。ミラー駆動レバー94はメインバネ65
により左旋し、この時、クラツチ66を介してミ
ラー押上げレバー68を左旋させ、ミラー69を
上昇させる。同時に、絞り駆動レバー80がレン
ズの絞りを絞る。また、ミラー69の上昇により
スイツチ72がオンし、振動波モータ60及び先
羽根駆動用の振動波モータに先ず定在振動波を発
生させ、それぞれ所定秒時後に進行振動波を発生
させる。したがつて、先羽根駆動レバー87、後
羽根駆動レバー85がそれぞれ回動し、シヤツタ
ー先羽根84、シヤツター後羽根83を駆動す
る。そして、シヤツター先羽根84に関してはス
イツチ90がオンすることにより、シヤツター後
羽根83に関してはスイツチ93がオンすること
により、それぞれの振動波モータが停止し、露光
が完了する。
ボタンによりシヤツターレリーズが行われると、
レリーズ用マグネツト75に通電され、マグネツ
トレバー76は解放されて、バネ77により左旋
される。これにより、係止レバー73はバネ74
に抗して右旋され、ミラー駆動レバー64の係止
を解く。ミラー駆動レバー94はメインバネ65
により左旋し、この時、クラツチ66を介してミ
ラー押上げレバー68を左旋させ、ミラー69を
上昇させる。同時に、絞り駆動レバー80がレン
ズの絞りを絞る。また、ミラー69の上昇により
スイツチ72がオンし、振動波モータ60及び先
羽根駆動用の振動波モータに先ず定在振動波を発
生させ、それぞれ所定秒時後に進行振動波を発生
させる。したがつて、先羽根駆動レバー87、後
羽根駆動レバー85がそれぞれ回動し、シヤツタ
ー先羽根84、シヤツター後羽根83を駆動す
る。そして、シヤツター先羽根84に関してはス
イツチ90がオンすることにより、シヤツター後
羽根83に関してはスイツチ93がオンすること
により、それぞれの振動波モータが停止し、露光
が完了する。
撮影完了後、巻上げ機構により巻上げが行われ
ると、それぞれの振動波モータは露光時と反対方
向に回転し、シヤツター先羽根84及びシヤツタ
ー後羽根83をリセツト位置に復帰させる。ま
た、セツトレバー78によりマグネツトレバー7
6が初期位置にチヤージされ、巻上げカム62の
回転で巻上げレバー63が右旋し、ミラー駆動レ
バー64を係止レバー73により係止される初期
位置に復帰させる。
ると、それぞれの振動波モータは露光時と反対方
向に回転し、シヤツター先羽根84及びシヤツタ
ー後羽根83をリセツト位置に復帰させる。ま
た、セツトレバー78によりマグネツトレバー7
6が初期位置にチヤージされ、巻上げカム62の
回転で巻上げレバー63が右旋し、ミラー駆動レ
バー64を係止レバー73により係止される初期
位置に復帰させる。
図示実施例において、移動体1が本発明の被駆
動体に相当し、電歪素子3a,3bが電気−機械
エネルギ変換素子に相当し、固定体2及び電歪素
子3a,3bが振動体に相当する。また、第3図
では、駆動用電源6、起動スイツチ7、電源スイ
ツチ9及び90°位相器10が本発明の制御回路に
相当し、第5図では、制御信号発生回路39、パ
ルス発生回路43、アンドゲート50、排他的オ
アゲート53及び駆動制御回路54が本発明の制
御回路に相当する。
動体に相当し、電歪素子3a,3bが電気−機械
エネルギ変換素子に相当し、固定体2及び電歪素
子3a,3bが振動体に相当する。また、第3図
では、駆動用電源6、起動スイツチ7、電源スイ
ツチ9及び90°位相器10が本発明の制御回路に
相当し、第5図では、制御信号発生回路39、パ
ルス発生回路43、アンドゲート50、排他的オ
アゲート53及び駆動制御回路54が本発明の制
御回路に相当する。
第2〜6図では、複数の電歪素子3a,3bを
用いているが、一つの電歪素子を複数に分極処理
したものでもよい。また、電歪素子を移動体1に
設けてもよいし、移動体1と固定体2との両方に
設けてもよい。更に、移動体1自体、或は固定体
2自体を電歪素子で構成することもできる。電歪
素子による振動波の周波数は超音波領域が最適で
ある。
用いているが、一つの電歪素子を複数に分極処理
したものでもよい。また、電歪素子を移動体1に
設けてもよいし、移動体1と固定体2との両方に
設けてもよい。更に、移動体1自体、或は固定体
2自体を電歪素子で構成することもできる。電歪
素子による振動波の周波数は超音波領域が最適で
ある。
第4,5図の絞りユニツトでは、レリーズボタ
ンの第1段ストロークに連動して定在振動波を発
生させているが、第2段ストロークに連動して所
定時間、定在引導波を発生させた後、進行振動波
を発生させるようにしてもよい。
ンの第1段ストロークに連動して定在振動波を発
生させているが、第2段ストロークに連動して所
定時間、定在引導波を発生させた後、進行振動波
を発生させるようにしてもよい。
以上説明したように、本発明によれば、制御回
路が交番電圧を電気−機械エネルギ変換素子に与
えて定在振動波を振動体に発生させ、その後進行
振動波を振動体に発生させ、以て、進行振動波に
よる被駆動体の駆動前に、定在振動波の発生によ
り振動体に振動エネルギを蓄えておくようにした
から、起動時の立上り特性を良くすることができ
る。
路が交番電圧を電気−機械エネルギ変換素子に与
えて定在振動波を振動体に発生させ、その後進行
振動波を振動体に発生させ、以て、進行振動波に
よる被駆動体の駆動前に、定在振動波の発生によ
り振動体に振動エネルギを蓄えておくようにした
から、起動時の立上り特性を良くすることができ
る。
第1図は振動波モータの駆動原理を説明する
図、第2図は本発明を実施する振動波モータの一
例を示す構造分解図、第3図は同じくその電気的
接続と進行振動波や定在振動波の発生状態を示す
図、第4図はカメラの絞り駆動に対する本発明の
適用例を示す構造分解図、第5図は同じく回路
図、第6図はカメラのシヤツター駆動に対する本
発明の適用例を示す斜視図である。 1……移動体(被駆動体)、2……固定体、3
a,3b……電歪素子(電気−機械エネルギ変換
素子)、6……駆動用電源、7……起動スイツチ、
9……電源スイツチ、10……90°移相器、12,
13……定在振動波、14……進行振動波、16
……絞り羽根、18……回転体、39……制御信
号発生回路、40,41……RSフリツプフロツ
プ、43……パルス発生回路、45,46……分
周器、54……駆動制御回路、55,56……プ
ツシユプル回路、57,58……スイツチングト
ランジスタ、60……振動波モータ、72……ス
イツチ、96……振動体。
図、第2図は本発明を実施する振動波モータの一
例を示す構造分解図、第3図は同じくその電気的
接続と進行振動波や定在振動波の発生状態を示す
図、第4図はカメラの絞り駆動に対する本発明の
適用例を示す構造分解図、第5図は同じく回路
図、第6図はカメラのシヤツター駆動に対する本
発明の適用例を示す斜視図である。 1……移動体(被駆動体)、2……固定体、3
a,3b……電歪素子(電気−機械エネルギ変換
素子)、6……駆動用電源、7……起動スイツチ、
9……電源スイツチ、10……90°移相器、12,
13……定在振動波、14……進行振動波、16
……絞り羽根、18……回転体、39……制御信
号発生回路、40,41……RSフリツプフロツ
プ、43……パルス発生回路、45,46……分
周器、54……駆動制御回路、55,56……プ
ツシユプル回路、57,58……スイツチングト
ランジスタ、60……振動波モータ、72……ス
イツチ、96……振動体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 制御回路6,7,9,10:39,43,5
0,52,54を有する振動波モータ用駆動装置
であつて、 振動波モータは、振動体96と、被駆動体1と
を有し、振動体96が電気−機械エネルギ変換素
子3a,3bによつて励振されて表面に振動波を
発生し、被駆動体1が振動体96の表面に圧接さ
れて駆動されるものであり、 制御回路6,7,9,10:39,43,5
0,52,54は、交番電圧で電気−機械エネル
ギ変換素子3a,3bを駆動して、振動体96に
定在振動波を発生させ、その後進行振動波の発生
させるものである 振動波モータ用駆動装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57216000A JPS59106886A (ja) | 1982-12-09 | 1982-12-09 | 振動波モータ用駆動装置 |
| US06/554,634 US4560263A (en) | 1982-12-03 | 1983-11-23 | Drive system for a vibration wave motor for lens control |
| DE19833343756 DE3343756A1 (de) | 1982-12-03 | 1983-12-02 | Antriebssystem fuer einen vibrationswellenmotor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57216000A JPS59106886A (ja) | 1982-12-09 | 1982-12-09 | 振動波モータ用駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59106886A JPS59106886A (ja) | 1984-06-20 |
| JPH0472471B2 true JPH0472471B2 (ja) | 1992-11-18 |
Family
ID=16681729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57216000A Granted JPS59106886A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-09 | 振動波モータ用駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59106886A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6437396U (ja) * | 1987-08-28 | 1989-03-07 | ||
| WO1992020141A1 (fr) * | 1991-04-26 | 1992-11-12 | Seiko Instruments Inc. | Moteur a ultrasons |
| JP2002107662A (ja) | 2000-09-27 | 2002-04-10 | Canon Inc | 投射型画像表示装置 |
| JP5137396B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2013-02-06 | ペンタックスリコーイメージング株式会社 | 移動装置 |
| JP5885380B2 (ja) | 2010-01-28 | 2016-03-15 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置の駆動制御装置及び駆動制御方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5832518B2 (ja) * | 1975-09-01 | 1983-07-13 | キエフスキ−.ポリチエフニチエスキ−.Inst.イメニ.50−レチア.ベリコイ.オクチヤブルスコイ.ソシイアリスチチエスコイ.レボリユツイ− | 圧電モ−タ |
| SU805475A1 (ru) * | 1978-05-12 | 1981-02-15 | Специальное Проектно-Конструкторскоеи Технологическое Бюро Малых Электри-Ческих Машин Производственного Объеди-Нения "Эльфа" | Вибродвигатель |
| JPS5937673B2 (ja) * | 1980-10-30 | 1984-09-11 | 年生 指田 | 超音波振動を利用した一方向駆動装置 |
-
1982
- 1982-12-09 JP JP57216000A patent/JPS59106886A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59106886A (ja) | 1984-06-20 |
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