JPH0472712A - 物体移動装置 - Google Patents
物体移動装置Info
- Publication number
- JPH0472712A JPH0472712A JP2184346A JP18434690A JPH0472712A JP H0472712 A JPH0472712 A JP H0472712A JP 2184346 A JP2184346 A JP 2184346A JP 18434690 A JP18434690 A JP 18434690A JP H0472712 A JPH0472712 A JP H0472712A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hinge
- plate
- movement
- hinges
- moving device
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- Granted
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、半導体ウェハまたは液晶表示パネル等の平板
状物体にパターンを形成するための露光装置および各種
測定装置に関し、特に位置決め対象物の移動装置に関す
るものである。
状物体にパターンを形成するための露光装置および各種
測定装置に関し、特に位置決め対象物の移動装置に関す
るものである。
［従来の技術］
従来例を１ｉＳ３図に示す。１はクエへ等（図示しない
）の位置決めされるべき対象物を（図では上面側に）載
置・固定するプレート、３はピエゾでありＺ方向に伸縮
する。ピエゾ３の一端は基準面（図では下側に位置する
）に固定され、他端はヒンジ５を関してレバー６に固定
されている。４はピエゾドライバである。レバー６の一
端は基準面（側面）に固定され、他端はヒンジ１６に固
定されている。ヒンジ１６の他端はプレート１に固定さ
れている。プレート１にはヒンジ１６と同様の構成の他
の２本のヒンジ１７．１８がヒンジ１６と同様にして装
着される。
）の位置決めされるべき対象物を（図では上面側に）載
置・固定するプレート、３はピエゾでありＺ方向に伸縮
する。ピエゾ３の一端は基準面（図では下側に位置する
）に固定され、他端はヒンジ５を関してレバー６に固定
されている。４はピエゾドライバである。レバー６の一
端は基準面（側面）に固定され、他端はヒンジ１６に固
定されている。ヒンジ１６の他端はプレート１に固定さ
れている。プレート１にはヒンジ１６と同様の構成の他
の２本のヒンジ１７．１８がヒンジ１６と同様にして装
着される。
１０．１１．１２は板バネであり、それぞれ−端はプレ
ート１に固定され、他端は基準面に固定されている。板
バネ１０〜１２によりプレート１はＸ、Ｙ方向の並進運
動（ＸＹ面内でのＸ方向およびＹ方向の移動）および、
Ｘ軸回りの回転運動が拘束される。
ート１に固定され、他端は基準面に固定されている。板
バネ１０〜１２によりプレート１はＸ、Ｙ方向の並進運
動（ＸＹ面内でのＸ方向およびＹ方向の移動）および、
Ｘ軸回りの回転運動が拘束される。
ピエゾドライバ４によりピエゾを伸ばした時、レバー６
はそのヒンジを回転中心として回転し、この要領でヒン
ジ１６を押し上げ、プレート１を押し上げる。ヒンジ１
７．１８についても同様である。
はそのヒンジを回転中心として回転し、この要領でヒン
ジ１６を押し上げ、プレート１を押し上げる。ヒンジ１
７．１８についても同様である。
各ヒンジ１６．１７．１８のピエゾの伸び量を制御する
ことによりプレート１は２方向の並進運動（Ｚ軸に沿っ
た移動）、Ｘ軸回りおよびＹ軸回りの回転運動（チルト
動作）が可能となる。
ことによりプレート１は２方向の並進運動（Ｚ軸に沿っ
た移動）、Ｘ軸回りおよびＹ軸回りの回転運動（チルト
動作）が可能となる。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記従来例ではピエゾ駆動時にヒンジ１
６〜１８に対し圧縮力が加わる構成となっているため、
次のような欠点があった。各ヒンジ１６〜１８に形成さ
れた２か所のくびれ部は、第４図に示すように必ずしも
２方向同一直線上にない。組立誤差、加工誤差によって
くびれ部分はＸ、Ｙ方向にズレを生じる。また、運動学
的にもピエゾを伸縮させることによりＸＹ力方向若干の
ズレを生じる。プレート１を２方向またはチルト方向に
素早く移動させるためには、ヒンジ１６〜１８の２方向
剛性をできるだけ高くすることが必要である。しかしな
がら、ヒンジ１６〜１８に圧縮力が加わると上記ズレが
大きくなる方向に作用し、Ｚ方向剛性が低下する。この
ため、従来はプレート１の素早い移動ができなかった。
６〜１８に対し圧縮力が加わる構成となっているため、
次のような欠点があった。各ヒンジ１６〜１８に形成さ
れた２か所のくびれ部は、第４図に示すように必ずしも
２方向同一直線上にない。組立誤差、加工誤差によって
くびれ部分はＸ、Ｙ方向にズレを生じる。また、運動学
的にもピエゾを伸縮させることによりＸＹ力方向若干の
ズレを生じる。プレート１を２方向またはチルト方向に
素早く移動させるためには、ヒンジ１６〜１８の２方向
剛性をできるだけ高くすることが必要である。しかしな
がら、ヒンジ１６〜１８に圧縮力が加わると上記ズレが
大きくなる方向に作用し、Ｚ方向剛性が低下する。この
ため、従来はプレート１の素早い移動ができなかった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたものであっ
て、ピエゾ駆動時にプレートに対しＺ方向に作用してプ
レートを２方向に移動させるヒンジのＺ方向の剛性を高
めて迅速で確実な移動を達成可能な移動装置の提供を目
的とする。
て、ピエゾ駆動時にプレートに対しＺ方向に作用してプ
レートを２方向に移動させるヒンジのＺ方向の剛性を高
めて迅速で確実な移動を達成可能な移動装置の提供を目
的とする。
［課題を解決するための手段および作用コ前記目的を達
成するため、本発明によれば、Ｚ方向並進運動およびＸ
、Ｙ軸廻りのチルト運動可能なプレート１を駆動する要
素の１つであるヒンジに関して、前記ヒンジに常に引っ
張り力が加わるような構成とすることにより、ヒンジ部
の高い２方向剛性を確保し、プレート１の素早い移動を
可能にしたものである。
成するため、本発明によれば、Ｚ方向並進運動およびＸ
、Ｙ軸廻りのチルト運動可能なプレート１を駆動する要
素の１つであるヒンジに関して、前記ヒンジに常に引っ
張り力が加わるような構成とすることにより、ヒンジ部
の高い２方向剛性を確保し、プレート１の素早い移動を
可能にしたものである。
［実施例］
第１図は本発明の実施例の斜視図である。同図において
、ｌは位置決めすべき対象となるウェハ等を載置・固定
するプレート、２はウェハである。３は２方向に伸縮す
るピエゾであり、一端は基準面に固定され、他端はヒン
ジ５を介してレバー６に固定されている。レバー６の一
端は基準面に固定され、他端はヒンジ７に固定されてい
る。
、ｌは位置決めすべき対象となるウェハ等を載置・固定
するプレート、２はウェハである。３は２方向に伸縮す
るピエゾであり、一端は基準面に固定され、他端はヒン
ジ５を介してレバー６に固定されている。レバー６の一
端は基準面に固定され、他端はヒンジ７に固定されてい
る。
４はピエゾドライバである。ヒンジ７の他端はプレート
１に固定されている。プレート！にはヒンジ７と同様の
構成の他の２本のヒンジ８．９がヒンジ７と同様にして
装着されている。１０．１１．１２は板バネであり各々
一端はプレート１に固定され、他端は板バネ台１３〜１
−５を介して基準面に固定されている。板バネ１０〜１
２および板バネ台１３〜１５によりプレート１は、Ｘ。
１に固定されている。プレート！にはヒンジ７と同様の
構成の他の２本のヒンジ８．９がヒンジ７と同様にして
装着されている。１０．１１．１２は板バネであり各々
一端はプレート１に固定され、他端は板バネ台１３〜１
−５を介して基準面に固定されている。板バネ１０〜１
２および板バネ台１３〜１５によりプレート１は、Ｘ。
Ｙ方向の並進運動（ＸＹ平面内でのＸ、Ｙ各方向の移動
）およびＸ軸回りの回転運動が拘束される。即ち、プレ
ート１は、Ｚ軸方向の移動およびＸ、Ｙ軸廻りのチルト
動作のみ可能となる。
）およびＸ軸回りの回転運動が拘束される。即ち、プレ
ート１は、Ｚ軸方向の移動およびＸ、Ｙ軸廻りのチルト
動作のみ可能となる。
ピエゾ３を伸ばすと、レバー６はくびれ部分を回転中心
として回転し、てこの要領でヒンジ７を介してプレート
１を引き上げる。ヒンジ８．９に関しても同様の動作が
行なわれる。各ヒンジ７．８．９のピエゾの伸び量を制
御することによりＺ方向並進移動およびＸ、Ｙ軸回りの
チルト回転を制御できる。このときヒンジ７〜９には常
に引っ張り力が加わるため、第２図に示すようにヒンジ
部のくびれ部分がＸＹ力方向ズレを生じていてもズレが
修正される方向に力が働ぎ、２方向剛性は高い値を確保
できる。したがって、２方向の並進およびＸ、Ｙ軸回り
の回転に関して素早い移動を実現できる。
として回転し、てこの要領でヒンジ７を介してプレート
１を引き上げる。ヒンジ８．９に関しても同様の動作が
行なわれる。各ヒンジ７．８．９のピエゾの伸び量を制
御することによりＺ方向並進移動およびＸ、Ｙ軸回りの
チルト回転を制御できる。このときヒンジ７〜９には常
に引っ張り力が加わるため、第２図に示すようにヒンジ
部のくびれ部分がＸＹ力方向ズレを生じていてもズレが
修正される方向に力が働ぎ、２方向剛性は高い値を確保
できる。したがって、２方向の並進およびＸ、Ｙ軸回り
の回転に関して素早い移動を実現できる。
［発明の効果］
以上説明したように、Ｚ方向並進運動、およびＸ、Ｙ軸
回りの回転運動可能なプレート１を駆動する要素の１つ
であるヒンジ部について、常に弓っ張り力が加わるよう
な構成としたことによりヒンジ部のＺ方向剛性が高まり
、素早い移動が可能となる。これによりウェハ処理等の
スループットが向上し、例えば、半導体露光装置に関し
てＩＣの製造コストを下げることができる。
回りの回転運動可能なプレート１を駆動する要素の１つ
であるヒンジ部について、常に弓っ張り力が加わるよう
な構成としたことによりヒンジ部のＺ方向剛性が高まり
、素早い移動が可能となる。これによりウェハ処理等の
スループットが向上し、例えば、半導体露光装置に関し
てＩＣの製造コストを下げることができる。
第１図は、本発明の実施例に係る平板状物体移動装置の
外観図、 第２図は、本発明の装置のヒンジ部への力の作用説明図
、 第３図は、従来の平板状物体移動装置の外観図、 第４図は、従来装置のヒンジ部への力の作用説明図であ
る。 １ニブレート、 ２：ウェハ、 ３ ： ４ 。 ５ ＝ ６ ＝ ７、 ピエゾ、 ピエゾトライバ、 ヒンジ、 レバー ８．９：ヒンジ、 １１．１２：板バネ。
外観図、 第２図は、本発明の装置のヒンジ部への力の作用説明図
、 第３図は、従来の平板状物体移動装置の外観図、 第４図は、従来装置のヒンジ部への力の作用説明図であ
る。 １ニブレート、 ２：ウェハ、 ３ ： ４ 。 ５ ＝ ６ ＝ ７、 ピエゾ、 ピエゾトライバ、 ヒンジ、 レバー ８．９：ヒンジ、 １１．１２：板バネ。
Claims (3)
- （１）ＸＹ平面に平行な物体搭載面を有しＺ方向に移動
可能でかつＸおよびＹ軸廻りに回転可能なテーブルと、
該テーブルの少なくとも３か所に設けた各々独立に制御
可能なＺ方向駆動手段と、前記テーブルのＸ方向および
Ｙ方向の移動およびＺ軸廻りの回転動作を拘束するガイ
ド手段とを備え、前記各Ｚ方向駆動手段は駆動力発生手
段と２か所にくびれ部を有し駆動時にテーブルに対し前
記駆動力を作用させるためのヒンジ部材とを含み、該ヒ
ンジ部材は前記テーブルに対し駆動力が引っ張り方向に
作用するように配設されたことを特徴とする物体移動装
置。 - （２）前記駆動力発生手段はピエゾ素子からなり、前記
各ヒンジ部材は長軸をＺ方向に沿わせて一端がテーブル
に固定され他端がレバー部材を介して前記ピエゾ素子に
連結されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の物体移動装置。 - （３）前記物体は平板状物体であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の物体移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184346A JP2652263B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 物体移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2184346A JP2652263B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 物体移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0472712A true JPH0472712A (ja) | 1992-03-06 |
| JP2652263B2 JP2652263B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=16151665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2184346A Expired - Fee Related JP2652263B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 物体移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2652263B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0587502U (ja) * | 1992-04-28 | 1993-11-26 | 豊田工機株式会社 | フローティング装置 |
| JP2007251195A (ja) * | 2000-04-17 | 2007-09-27 | Asml Netherlands Bv | リトグラフ装置 |
| JP2009092552A (ja) * | 2007-10-10 | 2009-04-30 | Jtekt Corp | 調整ステージ及び調整ステージ装置 |
| CN104766634A (zh) * | 2015-03-18 | 2015-07-08 | 苏州大学 | 压电式二维串联小体积工作台 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104485839A (zh) * | 2014-12-09 | 2015-04-01 | 武汉理工大学 | 压电式俘能器 |
| CN110682084B (zh) * | 2019-10-22 | 2021-09-28 | 杜海峰 | 一种抽油机校正装置 |
-
1990
- 1990-07-13 JP JP2184346A patent/JP2652263B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0587502U (ja) * | 1992-04-28 | 1993-11-26 | 豊田工機株式会社 | フローティング装置 |
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| JP2009092552A (ja) * | 2007-10-10 | 2009-04-30 | Jtekt Corp | 調整ステージ及び調整ステージ装置 |
| CN104766634A (zh) * | 2015-03-18 | 2015-07-08 | 苏州大学 | 压电式二维串联小体积工作台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2652263B2 (ja) | 1997-09-10 |
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Legal Events
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100523 Year of fee payment: 13 |
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